載臺和切割方法
【專利摘要】一種載臺和切割方法，該載臺包括臺體和多個活塞，該臺體包括臺面，臺面中設置有多個開孔，該多個活塞分別設置于至少部分多個開孔中，且被配置為可沿開孔的側壁相對臺面往復運動。該載臺和切割方法在使用中可減小或消除膜狀待切割物在被切割時局部的形變，減少或避免在切割過程中切割線變寬、切割精度下降等工藝不良。
【專利說明】
載臺和切割方法
技術領域
[0001 ]本公開的實施例涉及一種載臺和切割方法。
【背景技術】
[0002]在工業(yè)生產中，經常需要對待切割物進行切割，在切割時需要用到用于承載待切割物的載臺。
[0003]激光切割是利用物質激發(fā)產生的激光進行切割的工藝，當激光接觸待切割物時，能夠迅速使待切割物融化，再根據預設路徑移動完成切割。激光切割相對于傳統(tǒng)的切割方法，切割精度更高，縫隙更小，能夠節(jié)省材料，所以激光切割已經越來越廣泛地應用到工業(yè)生產中。
【發(fā)明內容】
[0004]本公開的實施例提供一種載臺，包括臺體和多個活塞，所述臺體包括臺面，所述臺面中設置有多個開孔，所述多個活塞分別設置于至少部分所述多個開孔中，且被配置為可沿所述開孔的側壁相對所述臺面往復運動。
[0005]例如，本公開實施例提供的載臺，還包括驅動機構，其中，所述驅動機構被配置為可分別驅動所述多個活塞沿所述開孔的側壁相對所述臺面往復運動。
[0006]例如，在本公開實施例提供的載臺中，所述驅動機構包括連接部和傳動部，所述活塞和所述傳動部通過所述連接部連接。
[0007]例如，本公開實施例提供的載臺，還包括動力設備，其中，所述動力設備與所述傳動部連接，并可驅動所述傳動部。
[0008]例如，在本公開實施例提供的載臺中，所述動力設備包括電動機、燃油發(fā)動機或手動動力設備中的一種或其組合。
[0009]例如，在本公開實施例提供的載臺中，所述活塞由彈性材料制成。
[0010]例如，在本公開實施例提供的載臺中，所述活塞與所述開孔的側壁為緊密配合。[0011 ]例如，在本公開實施例提供的載臺中，所述多個開孔的尺寸相同。
[0012]例如，在本公開實施例提供的載臺中，所述多個開孔呈矩陣分布。
[0013]例如，本公開實施例提供的載臺，還包括氣壓傳感器，其中，所述氣壓傳感器設置于至少一個所述開孔的側壁上且位于所述活塞與所述臺面之間的位置或所述活塞接近所述臺面的一側。
[0014]例如，本公開實施例提供的載臺，還包括控制器，其中，所述控制器被配置為接收所述氣壓傳感器檢測并發(fā)送的實際氣壓數據，并比較所述實際氣壓數據與預設氣壓數據，從而控制所述活塞的移動方向。
[0015]例如，本公開實施例提供的載臺，還包括輸入設備和輸出設備，其中，所述輸入設備被配置為輸入所述預設氣壓數據;所述輸出設備被配置為輸出所述實際氣壓數據。
[0016]本公開的實施例還提供一種采用本公開任一實施例所述載臺的薄膜切割方法，包括:在所述臺體的所述臺面上設置膜狀待切割物，其中，所述待切割物至少覆蓋部分所述開孔;驅動所述活塞沿所述開孔的側壁向遠離所述臺面的方向運動，以將所述膜狀待切割物吸附在所述臺面上;切割所述待切割物。
[0017]例如，本公開實施例提供的切割方法，還包括:在所述臺面上設置所述待切割物之前，驅動所述活塞沿所述開孔的側壁向接近所述臺面的方向運動以進行初始化。
[0018]例如，在本公開實施例提供的切割方法中，在切割所述待切割物的過程中，切割的路徑經過所述待切割物覆蓋的開孔中的部分。
[0019]例如，本公開實施例提供的切割方法，還包括:當所述開孔中的實際氣壓數據小于預設氣壓數據時，驅動所述活塞沿所述開孔的側壁向接近所述臺面的方向運動；當所述開孔中的實際氣壓數據大于預設氣壓數據時，驅動所述活塞沿所述開孔的側壁向遠離所述臺面的方向運動。
【附圖說明】
[0020]為了更清楚地說明本公開實施例的技術方案，下面將對實施例或相關技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅涉及本公開的一些實施例，并非對本公開的限制。
[0021]圖1是本公開實施例提供的一種載臺的側視示意圖之一；
[0022]圖2是本公開實施例提供的一種載臺的側視示意圖之二；
[0023]圖3是本公開實施例提供的一種載臺的俯視示意圖；以及
[0024]圖4是本公開實施例提供的一種切割方法的流程圖。
[0025]附圖標記
[0026]10-載臺；100-臺體；110-臺面；120-開孔；130-活塞；200-驅動機構；210-連接部；220-傳動部;300-動力設備;400-氣壓傳感器;500-控制器;600-輸入設備；700-輸出設備；800-膜狀待切割物。
【具體實施方式】
[0027]下面將結合附圖，對本公開實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述參考在附圖中示出并在以下描述中詳述的非限制性示例實施例，更加全面地說明本公開的示例實施例和它們的多種特征及有利細節(jié)。應注意的是，圖中示出的特征不是必須按照比例繪制。本公開省略了已知材料、組件和工藝技術的描述，從而不使本公開的示例實施例模糊。所給出的示例僅旨在有利于理解本公開示例實施例的實施，以及進一步使本領域技術人員能夠實施示例實施例。因而，這些示例不應被理解為對本公開的實施例的范圍的限制。
[0028]除非另外特別定義，本公開使用的技術術語或者科學術語應當為本公開所屬領域內具有一般技能的人士所理解的通常意義。此外，在本公開各個實施例中，相同或類似的參考標號表不相同或類似的構件。
[0029]在例如制作柔性顯示面板的過程中，需要對柔性膜狀待切割物進行切割。在例如激光切割的過程中，可采用負壓吸附的方式將膜狀待切割物固定在載臺上，但負壓吸附的方式容易使膜狀待切割物變形，進而導致在切割過程中切割線變寬、切割精度下降等工藝不良。
[0030]本公開的實施例提供的載臺和切割方法，可減小或消除膜狀待切割物在被切割時局部的形變，減少或避免在切割過程中切割線變寬、切割精度下降等工藝不良。
[0031]圖1是本公開實施例提供的一種載臺的側視示意圖之一，圖2是本公開實施例提供的一種載臺的側視示意圖之二，圖3是本公開實施例提供的一種載臺的俯視示意圖。
[0032]如圖1、圖2和圖3所示，本公開的實施例提供一種載臺10，包括臺體100和多個活塞130。臺體100包括臺面110，臺面110中設置有多個開孔120。多個活塞130分別設置于至少部分多個開孔120中且被配置為可沿開孔120的側壁相對臺面110往復運動，由此當開孔的在臺面110的開口被薄膜(膜狀待切割物的示例)覆蓋時，可以調節(jié)相應的開孔120中的氣壓。
[0033]例如，載臺10可以由鋁等金屬或大理石等耐高溫無機材質制成，以使載臺10能夠承受例如激光切割產生的高溫。
[0034]例如，每個開孔120中均設置有活塞130。
[0035]例如，各個開孔120貫通臺體100。
[0036]例如，本公開實施例提供的載臺10還包括驅動機構200，該驅動機構200被配置為可分別驅動多個活塞130沿開孔120的側壁相對臺面110往復運動。
[0037]例如，驅動機構200也可以被配置為可驅動臺體100相對活塞130往復運動。
[0038]例如，在本公開實施例提供的載臺10中，驅動機構200包括連接部210和與連接部210相連接的傳動部220;活塞130和傳動部220通過連接部210連接，由此可被傳動部220驅動。
[0039]例如，連接部210與傳動部220通過螺紋結構或齒輪結構等連接。傳動部220例如為傳動軸。
[0040]例如，本公開實施例提供的載臺10還可包括動力設備300，該動力設備300在工作中可與傳動部220連接，由此可驅動該傳動部220。
[0041 ]例如，傳動部220與動力設備300通過螺紋結構或齒輪結構等連接，由此動力設備300可驅動傳動部220。
[0042]例如，在本公開實施例提供的載臺10中，動力設備300包括電動機、燃油發(fā)動機或手動動力設備中的一種或其組合。電動機例如為步進電機，可通過調整步進電機被施加的脈沖信號調整步進電機的轉動角度、轉動速度和轉動方向。
[0043]例如，動力設備300可帶動傳動部220運動，傳動部220可帶動連接部210運動，連接部210進而可帶動活塞130運動。
[0044]例如，通過改變動力設備300的運動方向(例如電動機的轉動方向)，可改變傳動部220、連接部210的運動方向，進而改變活塞130的運動方向，進而實現驅動活塞130沿開孔120的側壁相對臺面110往復運動。
[0045]例如，如圖1和圖2所示，活塞130通過連接部210組成一個整體，在動力設備300和傳動部220的帶動下同步運動，也就是說在同一時刻所有活塞130處于開孔120中相同的位置，并可同步沿開孔120的側壁向接近或遠離臺面110的方向運動。
[0046]需要說明的是，本公開的實施例包括但不僅限于活塞130通過連接部210組成一個整體的情況。也可以是每個活塞130由一套獨立的驅動機構和動力設備驅動，也就是說每個活塞130分別由一套與其對應的連接部、傳動部和動力設備驅動，這樣可以實現每個活塞130的分別運動，靈活調整每個活塞130的位置，由此在工作中可更精確地控制該活塞130所在的開孔中的氣壓。
[0047]例如，活塞130為實心活塞，實心活塞是指活塞130在接近臺面110的表面和遠離臺面110的表面之間沒有連通的孔或氣道，以保證活塞130的密閉性。
[0048]例如，在本公開實施例提供的載臺10中，活塞130可以由彈性材料制成。例如，由彈性材料制成的活塞130可更好地保證活塞130與開孔120側壁的密閉性。
[0049]例如，在本公開實施例提供的載臺10中，活塞130與開孔120的側壁為緊密配合。
[0050]例如，活塞130與開孔120的側壁為緊密配合是指活塞130與開孔120的側壁之間不漏氣或基本不漏氣，以保證當膜狀待切割物800被設置在臺面110上時，膜狀待切割物800、開孔120的側壁和活塞130共同組成一個密閉的腔體，從而保證當活塞130沿開孔120的側壁運動時可改變該腔體的氣壓。
[0051]例如，在本公開實施例提供的載臺10中，多個開孔120的尺寸相同，其截面例如可以均為圓形、橢圓形、方形等。
[0052]例如，在本公開實施例提供的載臺10中，多個開孔120呈矩陣/陣列分布，可以分布在幾乎整個臺面或者僅占據部分臺面。
[0053]例如，活塞130可設置為可拆卸的，以方便活塞130的維護和替換。例如，可根據膜狀待切割物的尺寸和切割路徑在開孔120中靈活設置活塞130，在膜狀待切割物尺寸較小時可節(jié)省活塞130的數量。
[0054]例如，開孔120為圓柱形。例如，圓柱形的開孔120便于活塞130的安裝和拆卸。
[0055]例如，本公開實施例提供的載臺10還包括氣壓傳感器400，該氣壓傳感器400設置于至少一個開孔120中，例如設置在該開孔120的側壁上且位于活塞130與臺面110之間的位置或活塞130接近臺面的一側。
[0056]例如，如圖1所示，氣壓傳感器400設置在活塞130接近臺面110的一側。例如，如圖2所示，氣壓傳感器400設置于開孔120的側壁上且位于活塞130與臺面110之間的位置。又例如，氣壓傳感器400設置于開孔120的側壁上且位于活塞130往復運動中可到達的最接近臺面110的位置與臺面110之間的位置。這樣設置的氣壓傳感器400，可測量在工作過程中膜狀待切割物800、開孔120的側壁和活塞130共同組成的腔體中的實際氣壓。
[0057]需要說明的是，本公開的實施例包括但不局限于圖1或圖2所示的情形，也可以在每個活塞130上或每個開孔120的側壁上均設置氣壓傳感器400，以獲取每個密閉腔體中的氣壓，結合上文介紹的每個活塞130單獨驅動的方式和下文介紹的控制器500實現對每個密閉腔體中的氣壓的精確控制，進而使膜狀待切割物均勻地被吸附在載臺100的臺面110上，以減小膜狀待切割物800的形變。
[0058]例如，本公開實施例提供的載臺10，還可包括控制器500。該控制器500例如與氣壓傳感器400、驅動機構200或動力設備300等通過有線或無線方式信號連接。氣壓傳感器400可向控制器500發(fā)送在工作實時測量的實際氣壓數據，控制器500被配置為接收氣壓傳感器400發(fā)送的實際氣壓數據，并比較實際氣壓數據與預設氣壓數據(或稱為參考氣壓數據)，從而控制活塞130的移動方向。
[0059]例如，預設氣壓數據包括控制器500中存儲的歷史數據或者人工輸入的數據。
[0060]例如，氣壓傳感器400和控制器500通過無線通訊(例如藍牙或無線局域網)或有線通訊傳輸數據。
[0061]例如，控制器500和動力設備300通過無線通訊(例如藍牙或無線局域網)或有線通訊傳輸數據。
[0062]例如，在切割過程中，當密閉腔體中的實際氣壓數據小于預設氣壓數據時，控制器500向動力設備300發(fā)送增壓信號，動力設備300進而帶動驅動機構200驅動活塞130沿開孔120的側壁向接近臺面110的方向運動，以增大密閉腔體中的氣壓；當密閉腔體中的實際氣壓數據大于預設氣壓數據時，控制器500向動力設備300發(fā)送減壓信號，動力設備300進而帶動驅動機構200驅動活塞130沿開孔120的側壁向遠離臺面110的方向運動，以減小密閉腔體中的氣壓。
[0063 ] 例如，控制器500可以通過FPGA、DSP、單片機等信號處理器實現。
[0064]例如，控制器500可以包括處理器和存儲器，處理器執(zhí)行存儲器中存儲的軟件程序實現比較實際氣壓數據與預設氣壓數據以及向動力設備300發(fā)送增壓或減壓信號的功能，進而控制活塞130的移動方向。
[0065]例如，本公開實施例提供的載臺10還可包括輸入設備600和輸出設備700，輸入設備600被配置為輸入預設氣壓數據;輸出設備700被配置為輸出實際氣壓數據。
[0066]例如，輸入設備600可以為觸控屏、鍵盤或鼠標等設備。例如，輸出設備700可以為顯示屏、信號燈、打印機、聲音或震動提示設備等。
[0067]例如，輸入設備600與控制器500通過無線通訊(例如藍牙或無線局域網)或有線通訊傳輸數據。
[0068]例如，輸出設備700與控制器500通過無線通訊(例如藍牙或無線局域網)或有線通訊傳輸數據。
[0069]例如，輸入設備600可以方便操作者根據不同的膜狀待切割物的情況(例如膜狀待切割物的材料、大小、形狀等)靈活輸入預設氣壓數據。
[0070]例如，輸出設備700可以輸出預設氣壓數據、實際氣壓數據以及預設氣壓數據與實際氣壓數據之差，使操作者直觀地了解載臺10的工作狀況。
[0071 ]例如，接下來示例性地介紹載臺10的工作過程。
[0072]如圖1所示，在把膜狀待切割物800(例如柔性基板)設置在載臺10的臺面110上之前，控制器500通過有線或無線通訊向動力設備300發(fā)送初始化信號，響應于該初始化信號，動力設備300帶動傳動部220運動，傳動部220帶動連接部210運動，進而驅動活塞130沿開孔120的側壁向接近于臺面110的方向運動，并使活塞130停留在靠近臺面110的初始化位置，初始化位置例如為活塞130在開孔120中往復運動過程中最靠近臺面110的位置，此時，開孔120內的氣壓與外界大氣壓相同(例如為I個大氣壓)。
[0073]如圖2所示，將膜狀待切割物800鋪設在載臺10的臺面110上由此覆蓋了臺面中開孔120的開口，膜狀待切割物800、開孔120的側壁以及活塞130組成密閉的腔體。操作者根據膜狀待切割物800的材料、大小及形狀信息確定預設氣壓，并通過輸入設備600輸入該預設氣壓(該預設氣壓例如小于外界大氣壓)，輸入設備600將該預設氣壓數據發(fā)送給控制器500。氣壓傳感器400測量此時該密閉腔體內的實際氣壓數據，并將該實際氣壓數據通過有線或無線通訊發(fā)送給控制器500，控制器500比較預設氣壓數據和實際氣壓數據，判斷實際氣壓數據大于預設氣壓數據，控制器500向動力設備300發(fā)送減壓信號，動力設備300進而帶動驅動機構200驅動活塞130沿開孔120的側壁向遠離臺面110的方向運動，減小密閉腔體中的氣壓，將膜狀待切割物吸附在臺面110上。例如，在活塞130運動的過程中，氣壓傳感器400實時向控制器500發(fā)送實際氣壓數據，控制器500實時向輸出設備700發(fā)送預設氣壓數據和實際氣壓數據，輸出設備700實時輸出預設氣壓數據和實際氣壓數據。當密閉腔體中的實際氣壓數據小于預設氣壓數據時，控制器500向動力設備300發(fā)送增壓信號，動力設備300進而帶動驅動機構200驅動活塞130沿開孔120的側壁向接近臺面110的方向運動，以增大密閉腔體中的氣壓。通過減壓和增壓的循環(huán)實現密閉腔體內實際氣壓的閉環(huán)控制，直到實際氣壓等于預設氣壓。此時，控制器500向動力設備發(fā)送氣壓調節(jié)完成信號，響應于該氣壓調節(jié)完成信號，動力設備300停止運動。
[0074]如圖3所示，沿切割線810對膜狀待切割物800進行切割，在整個切割過程中，動力設備300不再運動，以使活塞130保持靜止狀態(tài)。例如，切割線810經過被膜狀待切割物800覆蓋的部分通孔120，當切割至某個通孔120的邊緣時，由于膜狀待切割物800被貫穿，使得對應于該通孔120的密閉腔體與外界大氣連通，該通孔120附近的膜狀待切割物800處于自然伸展狀態(tài)，減小或消除了因吸附造成的局部形變，進而避免了切割線變寬、切割精度下降等工藝不良。
[0075]圖4是本公開實施例提供的一種切割方法的流程圖。如圖4所示，本公開的實施例還提供一種采用本公開任一實施例提供載臺的薄膜切割方法，包括如下步驟:
[0076]步驟S10:驅動活塞沿開孔的側壁向接近臺面的方向運動以進行初始化；
[0077]步驟S20:在臺體的臺面上設置膜狀待切割物，待切割物至少覆蓋部分開孔；
[0078]步驟S30:驅動活塞沿開孔的側壁向遠離臺面的方向運動，以將膜狀待切割物吸附在臺面上；
[0079]步驟S40:切割待切割物。
[0080]例如，步驟SlO也可以在每次切割完成后進行。例如，當活塞處于接近于臺面的位置，活塞的運動足以使密閉腔體中的實際氣壓等于預設氣壓時，也可以省略步驟S10。
[0081]例如，在本公開實施例提供的切割方法中，在切割待切割物的過程中，切割的路徑經過待切割物覆蓋的開孔中的部分。
[0082]例如，本公開實施例提供的切割方法，還可包括:當實際氣壓數據小于預設氣壓數據時，驅動活塞沿開孔的側壁向接近臺面的方向運動；當實際氣壓數據大于預設氣壓數據時，驅動活塞沿開孔的側壁向遠離臺面的方向運動。
[0083]本公開的實施例提供的載臺和切割方法，可減小或消除膜狀待切割物在被切割時局部的形變，減少或避免在切割過程中切割線變寬、切割精度下降等工藝不良。
[0084]雖然上文中已經用一般性說明及【具體實施方式】，對本公開作了詳盡的描述，但在本公開實施例基礎上，可以對之作一些修改或改進，這對本領域技術人員而言是顯而易見的。因此，在不偏離本公開精神的基礎上所做的這些修改或改進，均屬于本公開要求保護的范圍。
【主權項】
1.一種載臺，包括: 臺體，所述臺體包括臺面，所述臺面中設置有多個開孔； 多個活塞，所述多個活塞分別設置于至少部分所述多個開孔中，且被配置為可沿所述開孔的側壁相對所述臺面往復運動。2.根據權利要求1所述的載臺，還包括驅動機構，其中，所述驅動機構被配置為可分別驅動所述多個活塞沿所述開孔的側壁相對所述臺面往復運動。3.根據權利要求2所述的載臺，其中，所述驅動機構包括連接部和與所述連接部相連接的傳動部； 所述活塞和所述傳動部通過所述連接部連接。4.根據權利要求3所述的載臺，還包括動力設備，其中，所述動力設備與所述傳動部連接，并可驅動所述傳動部。5.根據權利要求4所述的載臺，其中，所述動力設備包括電動機、燃油發(fā)動機或手動動力設備中的一種或其組合。6.根據權利要求1所述的載臺，其中，所述活塞由彈性材料制成。7.根據權利要求1或6所述的載臺，其中，所述活塞與所述開孔的側壁為緊密配合。8.根據權利要求1所述的載臺，其中，所述多個開孔的尺寸相同。9.根據權利要求1或8所述的載臺，其中，所述多個開孔呈矩陣分布。10.根據權利要求1-6任一所述的載臺，還包括氣壓傳感器，其中，所述氣壓傳感器設置于至少一個所述開孔的側壁上且位于所述活塞與所述臺面之間的位置或所述活塞接近所述臺面的一側。11.根據權利要求10所述的載臺，還包括控制器，其中，所述控制器被配置為接收所述氣壓傳感器檢測并發(fā)送的實際氣壓數據，并比較所述實際氣壓數據與預設氣壓數據，從而控制所述活塞的移動方向。12.根據權利要求11所述的載臺，還包括輸入設備和輸出設備，其中， 所述輸入設備被配置為輸入所述預設氣壓數據； 所述輸出設備被配置為輸出所述實際氣壓數據。13.—種采用如權利要求1所述的載臺的薄膜切割方法，包括: 在所述臺體的所述臺面上設置膜狀待切割物，其中，所述待切割物至少覆蓋部分所述開孔； 驅動所述活塞沿所述開孔的側壁向遠離所述臺面的方向運動，以將所述膜狀待切割物吸附在所述臺面上； 切割所述待切割物。14.根據權利要求13所述的切割方法，還包括: 在所述臺面上設置所述待切割物之前，驅動所述活塞沿所述開孔的側壁向接近所述臺面的方向運動以進行初始化。15.根據權利要求13所述的切割方法，其中，在切割所述待切割物的過程中，切割的路徑經過所述待切割物覆蓋的開孔中的部分。16.根據權利要求13所述的切割方法，還包括: 當所述開孔中的實際氣壓數據小于預設氣壓數據時，驅動所述活塞沿所述開孔的側壁向接近所述臺面的方向運動； 當所述開孔中的實際氣壓數據大于預設氣壓數據時，驅動所述活塞沿所述開孔的側壁向遠離所述臺面的方向運動。
【文檔編號】B23K26/38GK105921894SQ201610326162
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2016年5月17日
【發(fā)明人】李曉虎, 孫中元, 王路, 朱海彬
【申請人】京東方科技集團股份有限公司