技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種使用激光干涉反饋的超長(zhǎng)金屬帶式光柵尺刻劃系統(tǒng)，主要包括：為金屬帶覆膜的覆膜單元，使用激光在覆膜金屬帶預(yù)設(shè)位置刻劃掉覆膜的激光蝕刻單元以及通過(guò)化學(xué)/電化學(xué)手段腐蝕掉覆膜金屬帶中被激光刻劃掉覆膜位置的金屬，最終形成光柵尺的金屬蝕刻單元，以及保證金屬帶依次經(jīng)過(guò)上述機(jī)構(gòu)的傳輸機(jī)構(gòu)。激光蝕刻單元中設(shè)有夾持金屬帶沿工作方向運(yùn)動(dòng)的夾持模塊，該模塊作為金屬帶主要的前進(jìn)動(dòng)力源。同時(shí)為了保證能夠高精度的測(cè)量夾持模塊的運(yùn)動(dòng)距離，以使得運(yùn)動(dòng)距離和光柵刻劃位置精確對(duì)應(yīng)，激光蝕刻單元中還設(shè)有激光干涉測(cè)量模塊和輸出激光的激光模塊。

技術(shù)研發(fā)人員：張贊秋;孟祥瑞;高巖;葉東國(guó);張寧
受保護(hù)的技術(shù)使用者：大連榕樹(shù)光學(xué)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.08.02
技術(shù)公布日：2017.11.07