本實(shí)用新型涉及激光加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多層印刷電路板飛秒激光打孔裝置。

背景技術(shù)：

多層印刷電路板在大規(guī)模集成電路中得到了廣泛的應(yīng)用，在多層板中，為了實(shí)現(xiàn)層與層之間的電氣連接，需要在多層板上制造直徑為小于150微米的微孔。

飛秒激光被證明可以在多種材料上進(jìn)行微孔的加工，獲得高質(zhì)量的微孔。但是，由于多層電路板相鄰兩層的材質(zhì)不同，當(dāng)采用同一種工藝參數(shù)對(duì)多層印刷電路板進(jìn)行飛秒激光打孔時(shí)，由于材料的熱傳導(dǎo)率等因素的差異，加工出來(lái)的微孔橫斷面質(zhì)量無(wú)法得到保證，此外，當(dāng)需要獲得特定層數(shù)的盲孔時(shí)，常規(guī)的飛秒激光打孔方式無(wú)法實(shí)現(xiàn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型目的是：提供一種多層印刷電路板飛秒激光打孔裝置，其可在多層印刷電路板上加工出具有高質(zhì)量斷面的微孔，并實(shí)現(xiàn)加工特定層數(shù)的盲孔。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種多層印刷電路板飛秒激光打孔裝置，包括飛秒激光器、光束整形系統(tǒng)、多層印刷電路板、高靈敏度麥克風(fēng)、示波器、數(shù)據(jù)線和工控機(jī)，所述工控機(jī)通過(guò)數(shù)據(jù)線分別與飛秒激光器和示波器相連，所述高靈敏度麥克風(fēng)通過(guò)數(shù)據(jù)線和示波器相連，所述飛秒激光器正對(duì)光束整形系統(tǒng)，飛秒激光器工作時(shí)，飛秒激光器發(fā)出的激光束經(jīng)光束整形系統(tǒng)整形后輻照到多層印刷電路板。

其工作原理為：利用飛秒激光與多層印刷電路板不同層材質(zhì)相互作用發(fā)出的聲紋特征的不同，通過(guò)高靈敏度麥克風(fēng)接收飛秒激光與多層印刷電路板的音頻信號(hào)，并將音頻信號(hào)傳輸?shù)绞静ㄆ鬟M(jìn)行濾波，將濾波后的聲紋特征傳輸?shù)焦た貦C(jī)，當(dāng)工控機(jī)接收到的聲紋特征連續(xù)三次發(fā)生改變時(shí)，工控機(jī)發(fā)送指令控制飛秒激光器改變加工參數(shù)，直至打孔至指定的層或者打穿多層印刷電路板。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：本實(shí)用新型利用高靈敏度麥克風(fēng)獲得飛秒激光與多層印刷電路板不同層材質(zhì)相互作用產(chǎn)生的聲紋特征差異，通過(guò)工控機(jī)改變多層印刷電路板不同層的飛秒激光加工工藝參數(shù)，可以獲得高斷面質(zhì)量的微孔；此外，當(dāng)飛秒激光作用在多層印刷電路板層間界面時(shí)，聲紋特征發(fā)生改變，此時(shí)通過(guò)工控機(jī)關(guān)閉飛秒激光器，可以獲得特定深度的盲孔，該盲孔可以精確定位至多層印刷電路板的某一層間界面；工控機(jī)檢測(cè)到聲紋特征連續(xù)三次發(fā)生改變，可以非?？煽康谋ＷC多層印刷電路板的某一層已經(jīng)被打穿。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，本實(shí)用新型可在多層印刷電路板上加工出具有高質(zhì)量斷面的微孔，并實(shí)現(xiàn)加工特定層數(shù)的盲孔。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述：

圖1為本實(shí)用新型中結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型中多層印刷電路板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型中多層印刷電路板打孔后的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：1飛秒激光器；2激光束；3光束整形系統(tǒng)；4多層印刷電路板；41層間界面；42第一層；43第二層；44第三層；45盲孔；5高靈敏度麥克風(fēng)；6示波器；7數(shù)據(jù)線；8工控機(jī)。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例：如圖1所示，一種多層印刷電路板飛秒激光打孔裝置，其包括飛秒激光器1、光束整形系統(tǒng)3、多層印刷電路板4、高靈敏度麥克風(fēng)5、示波器6、數(shù)據(jù)線7和工控機(jī)8，所述工控機(jī)8通過(guò)數(shù)據(jù)線7分別與飛秒激光器1和示波器6相連，所述高靈敏度麥克風(fēng)5通過(guò)數(shù)據(jù)線7和示波器6相連，所述飛秒激光器1正對(duì)光束整形系統(tǒng)3，飛秒激光器1工作時(shí)，飛秒激光器1發(fā)出的激光束2經(jīng)光束整形系統(tǒng)3整形后輻照到多層印刷電路板4。

本實(shí)用新型的工作原理為：利用飛秒激光與多層印刷電路板不同層材質(zhì)相互作用發(fā)出的聲紋特征的不同，通過(guò)高靈敏度麥克風(fēng)接收飛秒激光與多層印刷電路板的音頻信號(hào)，并將音頻信號(hào)傳輸?shù)绞静ㄆ鬟M(jìn)行濾波，將濾波后的聲紋特征傳輸?shù)焦た貦C(jī)，當(dāng)工控機(jī)接收到的聲紋特征連續(xù)三次發(fā)生改變時(shí)，工控機(jī)發(fā)送指令控制飛秒激光器改變加工參數(shù)，直至打孔至指定的層或者打穿多層印刷電路板。

綜上所述，本實(shí)用新型能有效地提高多層印刷電路板打孔效率，提高孔斷面質(zhì)量，同時(shí)可以獲得深度精確的盲孔，解決了常規(guī)飛秒激光打孔中的難題。

以上僅是本實(shí)用新型的具體應(yīng)用范例，對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不構(gòu)成任何限制。除上述實(shí)施例外，本實(shí)用新型還可以有其它實(shí)施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。