一種壓印超疏水性微納米表面的金屬模具及其激光制備方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種壓印超疏水性微納米表面的金屬模具及其激光制備方法。包括如下步驟：用超短脈沖激光燒蝕金屬基材，經(jīng)過(guò)激光燒蝕去除，在所述金屬基材的表面得到荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)，至此即得到所述金屬模具；所述荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)為微米級(jí)凹坑和所述微米級(jí)凹坑內(nèi)表面的納米級(jí)亞結(jié)構(gòu)。本發(fā)明提供了一種用于壓印非金屬或輕金屬材料形成其表面超疏水性荷葉微納米結(jié)構(gòu)的微納米壓印金屬模具及其激光制備方法，尤其是利用高功率皮秒激光高效大面積制備這種微納米壓印金屬模具及其制備方法，具有制備效率高，微納米壓印模具耐高溫、高壓，壓印材料范圍廣，微納米結(jié)構(gòu)參數(shù)精密可調(diào)、荷葉結(jié)構(gòu)逼真等一系列綜合優(yōu)勢(shì)，是現(xiàn)有其他方法所難以比較的。
【專利說(shuō)明】一種壓印超疏水性微納米表面的金屬模具及其激光制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種壓印超疏水性微納米表面的金屬模具及其制備方法，具體涉及一種壓印超疏水性微納米表面的金屬模具及其激光制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]荷葉具有“出污泥而不染”的自清潔功能，這種功能來(lái)源于荷葉表面的低自由能成分和獨(dú)特的微納米結(jié)構(gòu)所產(chǎn)生的超疏水性，即表面與水的接觸角超過(guò)150°。20世紀(jì)70年代，德國(guó)Bonn大學(xué)植物學(xué)家Barthlott教授發(fā)現(xiàn),荷葉表面存在著多重的微米和納米結(jié)構(gòu)，由平均尺寸約為10 μ m的微納米凸起和直徑為100?200nm的納米級(jí)蠟絲構(gòu)成，這種結(jié)構(gòu)將水與界面的面接觸轉(zhuǎn)變?yōu)樗c微納米結(jié)構(gòu)凸起的點(diǎn)接觸，在微米凸起之間的凹陷處形成了納米級(jí)的空氣層，再與低表面能的蠟共同作用，使得荷葉表面具有超疏水特性，因此，超疏水性自清潔功能是由表面蠟質(zhì)和微米級(jí)結(jié)構(gòu)共同作用引起的。
[0003]荷葉的這種超疏水自清潔效應(yīng)長(zhǎng)期以來(lái)受到普遍的關(guān)注和研究，荷葉的表面結(jié)構(gòu)、化學(xué)成分與浸潤(rùn)性的關(guān)系，荷葉表面自清潔效應(yīng)的本質(zhì)以及理論上的解釋已基本澄清，各種仿荷葉的功能表面也在不斷研發(fā)。超疏水表面在國(guó)防、工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)和人們?nèi)粘Ｉ钪杏兄匾膽?yīng)用前景，如風(fēng)力發(fā)電機(jī)葉片、天線、門窗防積雪，船、潛艇等外殼減小阻力，石油輸送管道內(nèi)壁、微量注射器針尖防止粘附堵塞，減少損耗，建筑、紡織品、皮革制品防水防污等，超疏水表面在節(jié)能環(huán)保領(lǐng)域?qū)l(fā)揮越來(lái)越重要的作用。
[0004]超疏水性表面的基本制備思路是降低表面自由能同時(shí)形成表面微納米結(jié)構(gòu)，可以在低自由能疏水材料(與水的接觸角大于90° )表面制備微納米結(jié)構(gòu)，也可以在已經(jīng)具有微納米結(jié)構(gòu)的粗糙表面上修飾低自由能的材料，或者先制備表面微納米結(jié)構(gòu)然后再修飾低自由能材料。降低表面自由能可采取表面氟化處理等方法，相對(duì)容易實(shí)現(xiàn)，制備表面微納米結(jié)構(gòu)則是實(shí)現(xiàn)材料表面的超疏水性的重點(diǎn)。
[0005]迄今，制備表面微納米結(jié)構(gòu)方面已經(jīng)有很多研究，發(fā)展了許多方法。主要可分為“自下而上”(Bottom-Up)和“自上而下”(Top-Down)兩類?！白韵露稀笔遣牧蠁卧ㄟ^(guò)彼此之間弱的相互作用經(jīng)自組裝形成微納米結(jié)構(gòu)的方法，包括模板法、溶膠凝膠法、物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積、水熱法、電化學(xué)沉積等；“自上而下”是通過(guò)刻蝕等微加工技術(shù)在材料表面制備出微納米結(jié)構(gòu)的方法，主要包括光刻蝕法、等離子體刻蝕法、激光燒蝕法、脫合金法等。用上述化學(xué)的和物理的方法已經(jīng)制備了不少表面微納米結(jié)構(gòu)而從實(shí)現(xiàn)了表面超疏水性，如:熔融烷基正乙烯酮二聚體的固化、聚四氟乙烯(PTFE)存在時(shí)聚丙烯(PP)的等離子體聚合(或刻蝕)、微波等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法、陽(yáng)極氧化法、將多孔氧化鋁凝膠浸入沸水中、將升華材料與硅石或鋁石混合、相分離法、激光燒蝕聚二甲基硅氧烷(PDMS)、在硼玻璃表面生長(zhǎng)出納米直徑的規(guī)則針尖陣列、具有微納米結(jié)構(gòu)顆粒的油漆涂覆，納米聚丙烯顆粒粘結(jié)在布料的纖維表面等等，上述方法各有特色，均實(shí)現(xiàn)了超疏水性表面。目前存在的首要問(wèn)題是如何大面積、高效、低成本地制備超疏水性表面，以使得超疏水自清潔表面的優(yōu)異性能能夠廣泛應(yīng)用。其中，通過(guò)微納米壓印方法是實(shí)現(xiàn)大面積、大批量、低成本制備超疏水性表面的有效方法，因此發(fā)明一種壓印超疏水性微納米表面的金屬模具及其制備方法、實(shí)現(xiàn)超疏水性表面的批量壓印生產(chǎn)具有重要的意義和廣闊的應(yīng)用前景。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的是提供一種壓印超疏水性微納米表面的金屬模具及其激光制備方法，本發(fā)明利用高功率皮秒激光或飛秒激光實(shí)現(xiàn)這種微納米壓印金屬模具的高效大面積制備。
[0007]本發(fā)明所提供的一種壓印超疏水性微納米表面的金屬模具的激光制備方法，包括如下步驟:
[0008]用超短脈沖激光燒蝕金屬基材，經(jīng)過(guò)激光燒蝕去除，在所述金屬基材的表面得到荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)，至此即得到所述金屬模具；
[0009]所述荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)為微米級(jí)凹坑和所述微米級(jí)凹坑內(nèi)表面的納米級(jí)亞結(jié)構(gòu)。
[0010]上述的激光制備方法中，所述金屬基材的材質(zhì)可為模具鋼、高速鋼或硬質(zhì)合金，所述模具鋼包括熱作模具鋼和冷作模具鋼。
[0011]上述的激光制備方法中，所述納米級(jí)亞結(jié)構(gòu)可為納米波紋或納米顆粒；
[0012]所述納米級(jí)波紋或納米顆粒的大小可為50?900nm,具體可為50?700nm、50nm、IOOnm 或 700nm。
[0013]上述的激光制備方法中，所述超短脈沖激光可為皮秒激光和/或飛秒激光。
[0014]上述的激光制備方法中，所述超短脈沖激光可為紅外光、可見(jiàn)光或紫外光。
[0015]上述的激光制備方法中，所述皮秒激光的脈沖寬度可為0.9?20皮秒，具體可為3?15皮秒、3皮秒或15皮秒，重復(fù)頻率可為IK?4MHz，具體可為100K?4MHz、IOOKHz或4MHz，平均功率可為IW?400W，具體可為40?100W、40W或100W ；
[0016]所述飛秒激光的脈沖寬度可為10?900飛秒，如100飛秒，重復(fù)頻率可為IK?IMHz，如IKHz，平均功率可為IW?100W，如4W。
[0017]上述的激光制備方法中，所述荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)可通過(guò)下述I)或2)的方法來(lái)制備:
[0018]I)、固定所述金屬基材，所述超短脈沖激光經(jīng)掃描振鏡掃描燒蝕所述金屬基材形成所需面積的所述荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)；
[0019]2)、固定所述超短脈沖激光，所述超短脈沖激光燒蝕所述金屬基材，所述金屬基材經(jīng)數(shù)控X-Y平臺(tái)移動(dòng)形成所需面積的所述荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)。
[0020]本發(fā)明提供的激光制備方法中的“激光燒蝕去除”是指當(dāng)脈沖激光能量密度超過(guò)某種材料的燒蝕閾值時(shí)，激光作用區(qū)內(nèi)材料表面出現(xiàn)蒸發(fā)現(xiàn)象，形成材料的去除，去除量取決于激光參數(shù)；材料的燒蝕閾值與材料特性和脈沖激光參數(shù)如脈沖寬度等有關(guān)，如在70飛秒激光作用下，Cu、Al、Fe、Ni和Mo等金屬的燒蝕閾值分別為0.25、0.25、0.28、0.20和
0.40J/cm2 ;在10皮秒激光作用下，H13熱作模具鋼的燒蝕閾值為0.9J/cm2，而高速鋼的燒蝕閾值為1.02J/cm2。
[0021]本發(fā)明還進(jìn)一步提供了由上述方法制備得到的壓印超疏水性微納米表面的金屬模具，所述金屬模具的表面具有荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)，所述荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)為微米級(jí)凹坑和所述微米級(jí)凹坑內(nèi)表面的納米級(jí)亞結(jié)構(gòu)。
[0022]上述的金屬模具中，所述微米級(jí)凹坑的形狀可為圓形，其直徑可為5~ΙΟΟμπι，具體可為5~60 μ m、20~60 μ m、5 μ m、20 μ m或60 μ m,深度可為5~30 μ m,具體可為5 μ m~20 μ m>5 μ m> 10 μ m 5? 20 μ m ；
[0023]所述微米級(jí)凹坑呈蜂窩狀密集分布，所述微米級(jí)凹坑之間的間距可為5~50 μ m， 為 5μηι~20μηι、5μηι、20μηι--^50μηι。
[0024]上述的金屬模具中，所述納米級(jí)亞結(jié)構(gòu)可為納米波紋或納米顆粒；
[0025]所述納米級(jí)波紋或納米顆粒的大小可為50~900nm,具體可為50~700nm、50nm、IOOnm 或 700nm。[0026]本發(fā)明還提供了所述金屬模具在壓印超疏水性微納米表面中的應(yīng)用，所述金屬模具進(jìn)行壓印時(shí)，可在被壓印材料表面壓制出與荷葉微納米結(jié)構(gòu)一致或相近的密集分布的微米級(jí)凸起和其上分布的納米級(jí)亞結(jié)構(gòu)，如該材料本身是低自由能材料(如聚合物等)則壓印上述微納米結(jié)構(gòu)后該材料表面具有超疏水性，如該材料本身不是低自由能材料(如輕金屬等)，則在壓印上述微納米結(jié)構(gòu)后再進(jìn)行低自由能處理(如氟化處理)，處理后該表面具有超疏水性。
[0027]本發(fā)明由于采取以上技術(shù)方案，具有如下優(yōu)點(diǎn):
[0028](I)本發(fā)明利用高功率皮秒或飛秒激光燒蝕金屬材料表面形成荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)-即微米級(jí)凹坑和其凹坑內(nèi)表明的納米級(jí)凹陷亞結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)逼真度高，微納米結(jié)構(gòu)參數(shù)如凹坑外形、直徑、深度、間距及凹坑密集分布形式均可精密調(diào)節(jié)，具有極大的靈活性和可設(shè)計(jì)性；這種模具經(jīng)壓印后可以得到可設(shè)計(jì)的微納米結(jié)構(gòu)，獲得可設(shè)計(jì)的疏水性；
[0029](2)本發(fā)明利用高功率皮秒或飛秒激光作用高強(qiáng)韌性金屬材料如各類模具鋼(如熱作模具鋼、冷作模具鋼等)、高速鋼、硬質(zhì)合金等經(jīng)激光燒蝕形成模具的微納米結(jié)構(gòu)，具有高耐久性，能夠工作于高溫(可達(dá)700度)、高壓(可達(dá)30噸壓力)的微納米壓印環(huán)境，可壓印輕金屬、玻璃、橡膠、塑料、有機(jī)物等多種材料，有廣泛的實(shí)用性；
[0030](3)本發(fā)明利用高功率皮秒激光(最高可達(dá)100W)配合高速掃描振鏡(最高速度可達(dá)llm/s)作用高強(qiáng)韌性金屬材料形成微納米壓印模具，制備面積大，效率高，可達(dá)2.6mm2/min,明顯高于已知方法。
[0031]綜上所述，本發(fā)明提供了一種用于壓印非金屬或輕金屬材料形成其表面超疏水性荷葉微納米結(jié)構(gòu)的微納米壓印金屬模具及其激光制備方法，尤其是利用高功率皮秒激光高效大面積制備這種微納米壓印金屬模具及其制備方法，具有制備效率高，微納米壓印模具耐高溫、高壓，壓印材料范圍廣，微納米結(jié)構(gòu)參數(shù)精密可調(diào)、荷葉結(jié)構(gòu)逼真等一系列綜合優(yōu)勢(shì)，是現(xiàn)有其他方法所難以比較的。本分明制備的超疏水微納米壓印模具可用于輕金屬、玻璃、橡膠、塑料、有機(jī)物等多種材料的壓印，應(yīng)用面十分廣泛。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0032]圖1是本發(fā)明實(shí)施例1制備的H13熱作模具鋼超疏水微納米壓印模具的掃描電鏡照片。[0033]圖2是本發(fā)明實(shí)施例2制備的高速鋼超疏水微納米壓印模具的掃描電鏡照片。
[0034]圖3是本發(fā)明實(shí)施例3制備的硬質(zhì)合金超疏水微納米壓印模具的掃描電鏡照片。
[0035]圖4是用本發(fā)明實(shí)施例1制備的疏水微納米壓印模具壓印鋁硅合金所得到的疏水性表面的掃描電鏡照片(圖4 (a))及疏水性測(cè)試(圖4 (b))。
[0036]圖5是用本發(fā)明實(shí)施例2制備的疏水微納米壓印模具壓印硅橡膠所得到的疏水性表面的掃描電鏡照片(圖5 (a))及疏水性測(cè)試(圖5 (b))。
【具體實(shí)施方式】
[0037]下述實(shí)施例中所使用的實(shí)驗(yàn)方法如無(wú)特殊說(shuō)明，均為常規(guī)方法。
[0038]下述實(shí)施例中所用的材料、試劑等，如無(wú)特殊說(shuō)明，均可從商業(yè)途徑得到。
[0039]本發(fā)明采用的激光制備方法的基本原理是采用高功率超短脈沖激光，利用激光燒蝕去除原理，在高強(qiáng)韌性金屬材料金屬基材表面形成荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)，即相應(yīng)于荷葉表面密集分布的微米級(jí)凸起和其上的納米級(jí)亞結(jié)構(gòu)，由激光燒蝕形成密集分布的微米級(jí)凹坑和其凹坑內(nèi)表面分布的納米級(jí)亞結(jié)構(gòu)。
[0040]實(shí)施例1、高功率皮秒激光制備壓印超疏水性微納米表面的模具鋼模具
[0041]本實(shí)施例利用高功率皮秒激光制備壓印超疏水性微納米表面的H13熱作模具鋼模具，包括以下步驟:
[0042]I )、金屬基材的準(zhǔn)備:首先用機(jī)械加工方法將H13熱作模具鋼基材表面磨平，再用磨拋機(jī)進(jìn)行磨光，用酒精進(jìn)行超聲清洗，干燥待用；
[0043]2)、激光處理:采用高功率皮秒激光，激光波長(zhǎng)為1.06微米的近紅外，激光束為高斯分布，脈沖寬度為15皮秒、重復(fù)頻率為4M、平均功率為100W，采用超過(guò)燒蝕閾值的激光能量密度為3.0J/cm2,配合X-Y掃描振鏡，燒蝕H13熱作模具鋼表面，形成荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)，即密集分布的微米級(jí)凹坑和其凹坑內(nèi)表明的納米級(jí)亞結(jié)構(gòu)，凹坑直徑為20微米，深度為10微米，間距為20微米，微米級(jí)凹坑內(nèi)表面分布尺度為100納米的波紋亞結(jié)構(gòu)，所得模具的微納米結(jié)構(gòu)的掃描電鏡照片如圖1所示。
[0044]用本實(shí)施例制備的H13壓印模具壓印鋁硅合金，得到疏水性表面，其掃描電鏡如圖4 Ca)所示,得到的疏水性表面與水的接觸角可達(dá)145度,如圖4 (b)所示；如對(duì)該表面再進(jìn)行氟化處理，則接觸角可達(dá)155度。
[0045]實(shí)施例2、高功率皮秒激光制備壓印超疏水性微納米表面的高速鋼模具
[0046]本實(shí)施例利用高功率皮秒激光制備壓印超疏水性微納米表面的模具鋼模具，包括以下步驟:
[0047]I)、金屬基材的準(zhǔn)備:首先用機(jī)械加工方法將高速鋼基材表面磨平，再用磨拋機(jī)進(jìn)行磨光，用酒精進(jìn)行超聲清洗，干燥待用；
[0048]2)、激光處理:采用高功率皮秒激光，激光波長(zhǎng)為532nm的綠光，激光束為高斯分布，脈沖寬度為3皮秒、重復(fù)頻率為100K、平均功率為40W，采用超過(guò)燒蝕閾值的激光能量密度1.2J/cm2，配合3D掃描振鏡，燒蝕高速鋼表面，形成荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)，即密集分布的微米級(jí)凹坑和其凹坑內(nèi)表明的納米級(jí)凹陷亞結(jié)構(gòu)，凹坑直徑為60微米，深度為20微米，間距為50微米，微米級(jí)凹坑內(nèi)表面分布尺度為700納米的納米顆粒亞結(jié)構(gòu)，所得模具的微納米結(jié)構(gòu)的掃描電鏡照片如圖2所示。[0049]用本實(shí)施例制備的微納米壓印模具壓印硅橡膠，得到超疏水性表面，其掃描電鏡如圖5 (a)所示，得到的疏水性表面與水的接觸角可達(dá)152度，如圖5 (b)所示。
[0050]實(shí)施例3、高功率飛秒激光制備壓印超疏水性微納米表面的硬質(zhì)合金模具
[0051]本實(shí)施例利用高功率飛秒激光制備壓印超疏水性微納米表面的硬質(zhì)合金模具，包括以下步驟:
[0052]I)、金屬基材的準(zhǔn)備:首先用機(jī)械加工方法將硬質(zhì)合金基材表面磨平，再用磨拋機(jī)進(jìn)行磨光，用酒精進(jìn)行超聲清洗，干燥待用；
[0053]2)、激光處理:采用高功率飛秒激光，激光波長(zhǎng)為1.06微米的近紅外，激光束為高斯分布，脈沖寬度為100飛秒、重復(fù)頻率為1K、平均功率為4W，采用超過(guò)燒蝕閾值的激光能量密度1.5J/cm2，配合X-Y平臺(tái)移動(dòng)激光束掃描硬質(zhì)合金基材進(jìn)行燒蝕，形成荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)，即密集分布的微米級(jí)凹坑和其凹坑內(nèi)表明的納米級(jí)凹陷亞結(jié)構(gòu)，凹坑直徑為5微米，深度為5微米，間距為5微米，微米級(jí)凹坑內(nèi)表面分布尺度為50納米的波紋亞結(jié)構(gòu)，所得模具的微納米結(jié)構(gòu)的掃描電鏡照片如圖3所示。
[0054]用本實(shí)施例制備的微納米壓印模具壓印輕金屬、玻璃、橡膠、塑料、有機(jī)物等材料，直接得到或經(jīng)氟化處理后得到超疏水性表面，與水的接觸角均超過(guò)150度。
【權(quán)利要求】
1.一種壓印超疏水性微納米表面的金屬模具的激光制備方法，包括如下步驟: 用超短脈沖激光燒蝕金屬基材，經(jīng)過(guò)激光燒蝕去除，在所述金屬基材的表面得到荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)，至此即得到所述金屬模具； 所述荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)為微米級(jí)凹坑和所述微米級(jí)凹坑內(nèi)表面的納米級(jí)亞結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光制備方法，其特征在于:所述金屬基材的材質(zhì)為模具鋼、高速鋼或硬質(zhì)合金。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光制備方法，其特征在于:所述超短脈沖激光為皮秒激光和/或飛秒激光。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光制備方法，其特征在于:所述超短脈沖激光為紅外光、可見(jiàn)光或紫外光。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的激光制備方法，其特征在于: 所述皮秒激光的脈沖寬度為0.9?20皮秒，重復(fù)頻率為IK?4MHz，平均功率為IW?400W ； 所述飛秒激光的脈沖寬度為10?900飛秒，重復(fù)頻率為IK?1MHz，平均功率為IW?IOOff0
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的激光制備方法，其特征在于:所述荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)是通過(guò)下述I)或2)的方法制備: 1)、固定所述金屬基材，所述超短脈沖激光經(jīng)掃描振鏡掃描燒蝕所述金屬基材形成所需面積的所述荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)； 2)、固定所述超短脈沖激光，所述超短脈沖激光燒蝕所述金屬基材，所述金屬基材經(jīng)數(shù)控X-Y平臺(tái)移動(dòng)形成所需面積的所述荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)。 所述超短脈沖激光燒蝕所述金屬基材形成所需面積的所述荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)。
7.權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述方法制備的壓印超疏水性微納米表面的金屬模具，所述金屬模具的表面具有荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)，所述荷葉微納米結(jié)構(gòu)的對(duì)稱負(fù)結(jié)構(gòu)為微米級(jí)凹坑和所述微米級(jí)凹坑內(nèi)表面的納米級(jí)亞結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的金屬模具，其特征在于:所述微米級(jí)凹坑的形狀為圓形，其直徑為5?100 μ m,深度為5?30 μ m ; 所述微米級(jí)凹坑呈蜂窩狀密集分布，所述微米級(jí)凹坑之間的間距為10?50μπι。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的金屬模具，其特征在于:所述納米級(jí)亞結(jié)構(gòu)為納米波紋或納米顆粒； 所述納米波紋或納米顆粒的大小為50?900nm。
10.權(quán)利要求7-9中任一項(xiàng)所述金屬模具在壓印超疏水性微納米表面中的應(yīng)用。
【文檔編號(hào)】B23K26/362GK103521929SQ201310498764
【公開(kāi)日】2014年1月22日 申請(qǐng)日期:2013年10月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月22日
【發(fā)明者】鐘敏霖, 林澄, 張紅軍, 范培迅, 龍江游 申請(qǐng)人:清華大學(xué)