專利名稱：一種用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種除塵裝置，特別涉及一種薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置。
背景技術(shù)：
薄膜太陽能電池制備過程中激光刻劃工藝產(chǎn)生的粉塵會帶來三方面不良影響一 是部分粉塵殘留在激光刻線的刻線槽內(nèi)，導(dǎo)致短路的發(fā)生；二是粉塵會散步到空氣中，影響 凈化車間的潔凈度；三是這些粉塵是導(dǎo)電的，極易粘附在電路板上對各電子元件造成損壞。目前，薄膜太陽能電池領(lǐng)域使用的激光刻劃機主要有兩種工作方式，一種是激光 束透過玻璃對膜層進行刻劃，刻劃中產(chǎn)生的粉塵、顆粒沿激光束出射方向高速噴出，具有 一定的運動方向，采用這種刻劃方式的除塵裝置與激光刻劃機分別位于薄膜太陽能電池兩 側(cè)，設(shè)計較為容易；另一種是由于特殊工藝需要，激光束需直接作用到膜層上，激光刻線中 產(chǎn)生的粉塵只能沿激光束入射方向返回，且由于激光束的沖擊，粉塵具有多個發(fā)散的運動 方向，普通的除塵系統(tǒng)難以達(dá)到較好的除塵效果。申請?zhí)?00810218755. 3的中國專利公開 了一種激光刻線除塵裝置，是針對激光束透過玻璃對膜層進行加工的激光刻線機設(shè)計的， 該裝置包括吸塵裝置和抽風(fēng)裝置兩部分，其優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單、易于實現(xiàn)，但該裝置不適用于 激光束直接作用到電池板膜層的刻劃方式，不能解決激光加工中產(chǎn)生的粉塵、顆粒沿激光 入射方向返回后對激光束的遮擋和聚焦鏡片的污染。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的任務(wù)是針對現(xiàn)有除塵裝置無法解決粉塵、顆粒沿激光入射方向返回 后對激光束造成遮擋和污染聚焦鏡片的問題，提供一種適用于激光束直接作用電池板膜面 的激光刻線除塵裝置，具有效果好、成本低、設(shè)計簡單、易于產(chǎn)業(yè)化的優(yōu)點。為實現(xiàn)以上任務(wù)，本實用新型采用的技術(shù)方案是一種用于薄膜太陽能電池激光 刻線除塵裝置，包括吸塵機構(gòu)、抽風(fēng)機構(gòu)以及連接所述吸塵機構(gòu)與所述抽風(fēng)機構(gòu)的連接機 構(gòu)，所述吸塵機構(gòu)固定在激光聚焦鏡頭的固定板上，其特征在于所述吸塵機構(gòu)包括環(huán)繞激 光束的空心套筒，所述空心套筒外側(cè)設(shè)有與所述連接構(gòu)件相通的孔，由所述連接機構(gòu)將吸 塵機構(gòu)連接至所述抽風(fēng)機構(gòu)。所述空心套筒包括內(nèi)管、外管、片狀大圓環(huán)以及片狀小圓環(huán)，所述內(nèi)管和外管通過 所述大圓環(huán)和所述小圓環(huán)共軸焊接，所述大圓環(huán)位于頂部，所述小圓環(huán)位于外管和內(nèi)管之 間的中上部。所述與連接構(gòu)件相通的孔的位置不高于所述小圓環(huán)。所述抽風(fēng)機構(gòu)包括抽風(fēng)機和濾塵箱。所述連接機構(gòu)包括連接固定管、波紋管和拖鏈，所述連接固定管的一端焊接在所 述空心套筒外側(cè)，另一端和所述波紋管相連，所述波紋管置于所述拖鏈內(nèi)。所述抽風(fēng)機是2KW 3KW的渦輪風(fēng)機。[0011]所述吸塵機構(gòu)距離薄膜太陽能電池板1 2cm。所述連接固定管是不銹鋼材質(zhì)本實用新型的有益效果是吸塵機構(gòu)采用空心套筒結(jié)構(gòu)有效防止粉塵對激光束的 污染，克服了傳統(tǒng)除塵系統(tǒng)針對激光光路保護需要額外增加吹風(fēng)裝置的問題。

圖1是本實用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖及實施例圖圖2是本方案吸塵部分的剖面圖圖3是圖2中A-A剖視示意圖圖1-3中，抽風(fēng)機1，濾塵箱2，固定板3，激光聚焦鏡頭4，拖鏈5，波紋管6，吸塵機 構(gòu)7，激光束8，薄膜太陽能電池板9，粉塵10，大圓環(huán)7-1，小圓環(huán)7-2，外管7-3，內(nèi)管7-4， 連接固定管7-5，固定片7-6。
以下結(jié)合附圖對本實用新型進一步說明。本實用新型主要由吸塵機構(gòu)7、抽風(fēng)機構(gòu)以及連接所述吸塵機構(gòu)和抽風(fēng)機構(gòu)的連 接機構(gòu)組成，吸塵機構(gòu)7固定在激光聚焦鏡頭4的固定板3上。抽風(fēng)機構(gòu)包括抽風(fēng)機1、濾 塵箱2，連接機構(gòu)包括拖鏈5、波紋管6、連接固定管7-5。吸塵機構(gòu)7呈一空心套筒，包括大 圓環(huán)7-1、小圓環(huán)7-2、外管7-3、內(nèi)管7-4、固定片7-6，大、小圓環(huán)呈片狀，各部分優(yōu)選不銹鋼 材質(zhì)，內(nèi)管7-4在外管7-3內(nèi)部，兩者通過位于頂部和中上部的片狀圓環(huán)形大圓環(huán)7-1和小 圓環(huán)7-2共軸焊接，外管7-3、內(nèi)管7-4和小圓環(huán)7-2三者間形成頂部密封，外管7-3的側(cè)面 開有孔，并與連接固定管7-5焊接，連接固定管7-5又通過焊接于其上面的固定片7-6將整 個吸塵機構(gòu)7通過螺絲固定在激光聚焦鏡頭4的固定板3上，這樣可以保證吸塵裝置7 — 直處于激光聚焦鏡頭4下方。波紋管6置于拖鏈5內(nèi)，一頭與吸塵機構(gòu)7相連，一頭與濾塵 箱2相連。激光刻劃時，固定板3在電機作用下帶動激光聚焦鏡頭4和吸塵機構(gòu)7做同步 往復(fù)運動，拖鏈5同時也帶動波紋管6隨同做伸長和收縮運動，激光束8直接作用到電池板 9上表面的膜層上，產(chǎn)生了運動方向發(fā)散的粉塵10，吸塵機構(gòu)7將粉塵10吸出后，通過波紋 管6進入濾塵箱2進行過濾，過濾后的氣體經(jīng)抽風(fēng)機1的排風(fēng)口排出，最終完成除塵過程。
具體實施方式
實施例1 見圖1，本實用新型主要由吸塵機構(gòu)7、抽風(fēng)機構(gòu)以及連接所述吸塵機構(gòu)和抽風(fēng)機 構(gòu)的連接機構(gòu)組成，吸塵機構(gòu)7固定在激光聚焦鏡頭4的固定板3上。抽風(fēng)機構(gòu)包括抽風(fēng)機 1、濾塵箱2，連接機構(gòu)包括拖鏈5、波紋管6、連接固定管7-5。吸塵機構(gòu)7呈一空心套筒，包 括大圓環(huán)7-1、小圓環(huán)7-2、外管7-3、內(nèi)管7-4、固定片7-6，大、小圓環(huán)呈片狀，各部分均為不 銹鋼材質(zhì)，內(nèi)管7-4在外管7-3內(nèi)部，兩者通過位于頂部和中上部的片狀圓環(huán)形大圓環(huán)7-1 和小圓環(huán)7-2共軸焊接，外管7-3、內(nèi)管7-4和小圓環(huán)7-2三者間形成頂部密封，外管7-3的 側(cè)面開有孔，并與連接固定管7-5焊接，連接固定管7-5又通過焊接于其上面的固定片7-6 將整個吸塵機構(gòu)7通過螺絲固定在激光聚焦鏡頭4的固定板3上，這樣可以保證吸塵裝置 7 一直處于激光聚焦鏡頭4下方。波紋管6置于拖鏈5內(nèi)，一頭與吸塵機構(gòu)7相連，一頭與 濾塵箱2相連。抽風(fēng)機1選用2KW的渦輪風(fēng)機，吸塵裝置7與電池板9的間距為1cm。激光刻劃時，固定板3在電機作用下帶動激光聚焦鏡頭4和吸塵機構(gòu)7做同步往復(fù)運動，拖鏈5 同時也帶動波紋管6隨同做伸長和收縮運動，激光束8直接作用到電池板9上表面的膜層 上，產(chǎn)生了運動方向發(fā)散的粉塵10，吸塵機構(gòu)7將粉塵10吸出后，通過波紋管6進入濾塵箱 2進行過濾，過濾后的氣體經(jīng)抽風(fēng)機1的排風(fēng)口排出，最終完成除塵過程。實施例2 見圖1，具體實施方式
同實施例1，在此不再贅述。不同之處在于，抽風(fēng)機1選用 3KW的渦輪風(fēng)機，吸塵裝置7與電池板9的間距為2cm。激光刻劃時，固定板3在電機作用 下帶動激光聚焦鏡頭4和吸塵機構(gòu)7做同步往復(fù)運動，拖鏈5同時也帶動波紋管6隨同做 伸長和收縮運動，激光束8直接作用到電池板9上表面的膜層上，產(chǎn)生了運動方向發(fā)散的粉 塵10，吸塵機構(gòu)7將粉塵10吸出后，通過波紋管6進入濾塵箱2進行過濾，過濾后的氣體經(jīng) 抽風(fēng)機1的排風(fēng)口排出，最終完成除塵過程。實施例3 見圖1，具體實施方式
同實施例1，在此不再贅述。不同之處在于，抽風(fēng)機1選用 2. 5KW的渦輪風(fēng)機，吸塵裝置7與電池板9的間距為1. 5cm。激光刻劃時，固定板3在電機 作用下帶動激光聚焦鏡頭4和吸塵機構(gòu)7做同步往復(fù)運動，拖鏈5同時也帶動波紋管6隨 同做伸長和收縮運動，激光束8直接作用到電池板9上表面的膜層上，產(chǎn)生了運動方向發(fā)散 的粉塵10，吸塵機構(gòu)7將粉塵10吸出后，通過波紋管6進入濾塵箱2進行過濾，過濾后的氣 體經(jīng)抽風(fēng)機1的排風(fēng)口排出，最終完成除塵過程。本實用新型的技術(shù)方案不限于上述實施例，在本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所具備的知識 范圍內(nèi)，還可以在不脫離本實用新型宗旨的前提下作出各種變化，從本實用新型公開的內(nèi) 容直接導(dǎo)出或聯(lián)想到的所有變形，均應(yīng)認(rèn)為是本實用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1.一種用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，包括吸塵機構(gòu)、抽風(fēng)機構(gòu)以及連接所 述吸塵機構(gòu)與所述抽風(fēng)機構(gòu)的連接機構(gòu)，所述吸塵機構(gòu)固定在激光聚焦鏡頭的固定板上， 其特征在于所述吸塵機構(gòu)包括環(huán)繞激光束的空心套筒，所述空心套筒外側(cè)設(shè)有與所述連接構(gòu)件相通的孔，由所述連接機構(gòu)將吸塵機構(gòu)連接至 所述抽風(fēng)機構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，其特征在于 所述空心套筒包括內(nèi)管、外管、片狀大圓環(huán)以及片狀小圓環(huán)，所述內(nèi)管和外管通過所述大圓環(huán)和所述小圓環(huán)共軸焊接，所述大圓環(huán)位于頂部，所述 小圓環(huán)位于外管和內(nèi)管之間的中上部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，其特征在于 所述與連接構(gòu)件相通的孔的位置不高于所述小圓環(huán)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，其特征在于 所述抽風(fēng)機構(gòu)包括抽風(fēng)機和濾塵箱。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，其特征在于 所述連接機構(gòu)包括連接固定管、波紋管和拖鏈，所述連接固定管的一端焊接在所述空心套筒外側(cè)，另一端和所述波紋管相連，所述波紋管置于所述拖鏈內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，其特征在于所 述抽風(fēng)機是2KW 3KW的渦輪風(fēng)機。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，其特征在于所 述吸塵機構(gòu)距離薄膜太陽能電池板1 2cm。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，其特征在于所 述連接固定管是不銹鋼材質(zhì)。
專利摘要本實用新型公開了一種薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，屬于太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域。本實用新型包括吸塵機構(gòu)、抽風(fēng)機構(gòu)以及連接吸塵機構(gòu)與抽風(fēng)機構(gòu)的連接機構(gòu)，吸塵機構(gòu)固定在激光聚焦鏡頭的固定板上，其特征在于所述吸塵機構(gòu)包括環(huán)繞激光束的空心套筒，空心套筒外側(cè)設(shè)有與所述連接構(gòu)件相通的孔，連接機構(gòu)將吸塵機構(gòu)連接至抽風(fēng)機構(gòu)。本實用新型的吸塵機構(gòu)采用空心套筒結(jié)構(gòu)有效防止粉塵對激光束的污染，克服了傳統(tǒng)除塵系統(tǒng)針對激光光路保護需要額外增加吹風(fēng)裝置的問題。
文檔編號B23K26/16GK201856037SQ201020554230
公開日2011年6月8日 申請日期2010年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月30日
發(fā)明者于明珠, 李毅 申請人:深圳市創(chuàng)益科技發(fā)展有限公司