專利名稱:石英晶圓切割機(jī)的帶鋸調(diào)整裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型有關(guān)于一種石英晶圓切割機(jī)的帶鋸調(diào)整裝置,尤指一種可將帶鋸調(diào)整至最佳的切割角度及張力,而達(dá)到高平整度、偏擺幅度小、不易扭曲、增加切割速度、延長帶鋸壽命及迅速更換帶鋸功效的帶鋸調(diào)整裝置。
背景技術(shù):
一般現(xiàn)有的石英晶圓切割機(jī),由一機(jī)臺、二分別設(shè)置于機(jī)臺內(nèi)部二端的傳動(dòng)輪及飛輪、以及一環(huán)設(shè)于傳動(dòng)輪及飛輪上的環(huán)形帶鋸所構(gòu)成,而該機(jī)臺具有一工作區(qū)間,且該工作區(qū)間的一面具有一平臺,而該環(huán)形帶鋸由工作區(qū)間穿過于平臺上,可將石英晶圓放置于平臺上,通過該環(huán)形帶鋸的鋸齒達(dá)到進(jìn)行石英晶圓切割的功效。
雖然上述現(xiàn)有的石英晶圓切割機(jī),可將石英晶圓放置于平臺上,通過該帶鋸進(jìn)行石英晶圓的切割,但是由于該石英切割屬重切削,因此,進(jìn)行切割時(shí)須調(diào)整該環(huán)形帶鋸的張力,使該環(huán)形帶鋸與飛輪之間無間隙產(chǎn)生,且該環(huán)形帶鋸于使用一段時(shí)間之后也必須將其卸除更換,而以目前的石英晶圓切割機(jī)而言,其必須以手搖動(dòng)的方式將飛輪往上或往下移動(dòng),達(dá)到調(diào)整環(huán)形帶鋸的張力或?qū)w輪下移作環(huán)形帶鋸的卸除更換,而雖然以手搖動(dòng)的方式可調(diào)整環(huán)形帶鋸的張力并做環(huán)形帶鋸的卸除更換,但在調(diào)整時(shí)不但較為費(fèi)時(shí)、費(fèi)力,且必須相當(dāng)具有經(jīng)驗(yàn)的人才能將環(huán)形帶鋸的張力調(diào)整至最佳狀態(tài),所以一般以手搖式調(diào)整之后通常導(dǎo)致環(huán)形帶鋸與飛輪之間產(chǎn)生較大的間隙,使該帶鋸于切割時(shí)造成偏擺較大,使切割時(shí)較不穩(wěn)定也不平整,且易扭曲,進(jìn)而縮短帶鋸的使用壽命,而使帶鋸的切割速度較慢;況且以現(xiàn)有的石英晶圓切割機(jī)而言,其僅能調(diào)整飛輪往上或往下移動(dòng),并無法調(diào)整飛輪往左或往右偏移的角度,故于實(shí)際使用時(shí)無法完全符合使用者的需要。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的在于為解決上述缺點(diǎn)、避免缺點(diǎn)存在而提供一種石英晶圓切割機(jī)的帶鋸調(diào)整裝置,可通過座體、軸座、軌道及致動(dòng)元件的配合,而將帶鋸調(diào)整至最佳的切割角度及張力,而于切割時(shí)具有高平整度、偏擺幅度小以及不易扭曲的功效,并可同時(shí)達(dá)到增加切割速度、延長帶鋸壽命及迅速更換帶鋸的效果。
為達(dá)上述目的,本實(shí)用新型提供的一種石英晶圓切割機(jī)的帶鋸調(diào)整裝置,其包含一具有中空部且一端具有套接孔的座體;一活動(dòng)設(shè)置于座體中空部中的軸座,該軸座具有一軸套,該軸套延伸有一柄部,該柄部具有一頂掣于套接孔外側(cè)面的調(diào)整元件;二分別活動(dòng)接合于座體二側(cè)的導(dǎo)軌;一具有傳動(dòng)桿可活動(dòng)設(shè)置于套接孔中的致動(dòng)元件。
根據(jù)上述方案,本實(shí)用新型的石英晶圓切割機(jī)的帶鋸調(diào)整裝置可有效改善現(xiàn)有結(jié)構(gòu)的種種缺點(diǎn),可通過座體、軸座、軌道及致動(dòng)元件的配合,而將帶鋸調(diào)整至最佳的切割角度及張力,而于切割時(shí)具有高平整度、偏擺幅度小以及不易扭曲的功效,并可同時(shí)達(dá)到增加切割速度、延長帶鋸壽命及迅速更換帶鋸的效果。
圖1為本實(shí)用新型的立體外觀示意圖。
圖2為本實(shí)用新型的立體分解示意圖。
圖3為本實(shí)用新型的側(cè)視狀態(tài)示意圖。
圖4為本實(shí)用新型的組裝狀態(tài)示意圖。
圖5為本實(shí)用新型調(diào)整張力的示意圖。
圖6為本實(shí)用新型調(diào)整角度的示意圖。
元件標(biāo)號對照1 ……座體11 ……中空部12 ……套接孔 121……內(nèi)螺紋部13 ……樞接部 2 ……軸座21 ……軸桿22 ……軸套23 ……柄部24 ……調(diào)整元件241……螺桿242……螺接套3 ……導(dǎo)軌31 ……固定孔4 ……致動(dòng)元件41 ……固定座42 ……傳動(dòng)桿 421……外螺紋部5 ……切割機(jī) 51 ……工作區(qū)間52 ……平臺6 ……傳動(dòng)輪組7 ……軸桿71 ……飛輪8 ……環(huán)形帶鋸具體實(shí)施方式
參閱圖1、2、3所示,本實(shí)用新型為一種石英晶圓切割機(jī)的帶鋸調(diào)整裝置,其由一座體1、一軸座2、二導(dǎo)軌3及一致動(dòng)元件4所構(gòu)成,可通過座體1、軸座2、軌道3及致動(dòng)元件4的配合,而將帶鋸調(diào)整至最佳的切割角度及張力,而于切割時(shí)具有高平整度、偏擺幅度小以及不易扭曲的功效,并可同時(shí)達(dá)到增加切割速度、延長帶鋸壽命及迅速更換帶鋸的效果。
上述座體1具有一中空部11,且該座體1的一端具有一套接孔12,該套接孔12具有一內(nèi)螺紋部121,且該座體1的一端且位于中空部11的二側(cè)分別具有一樞接部13。
該軸座2設(shè)置于上述座體1的中空部11中,且該軸座2的二側(cè)分別以一軸桿21與座體的樞接部13活動(dòng)套接,而該軸座2具有一軸套22,該軸套22延伸有一柄部23,該柄部23具有一頂掣于套接孔12外側(cè)面的調(diào)整元件24,該調(diào)整元件24由一端頂掣于套接孔12外側(cè)面的螺桿241以及分別螺合于螺桿241上的螺接套242所構(gòu)成。
該導(dǎo)軌3分別活動(dòng)接合且緊配于上述座體1的二側(cè),并于各導(dǎo)軌3上具有一個(gè)以上的固定孔31。
該致動(dòng)元件4具有一可供設(shè)置于切割機(jī)內(nèi)部預(yù)定處的固定座41,且該致動(dòng)元件4具有一活動(dòng)設(shè)置于上述座體1套接孔12中的傳動(dòng)桿42,而該傳動(dòng)桿42環(huán)設(shè)有一與套接孔12的內(nèi)螺紋部121對應(yīng)的外螺紋部421,如圖5所示,并于該致動(dòng)元件4上連接有一可供擷取外部電源的導(dǎo)線以及控制致動(dòng)元件4正、反轉(zhuǎn)的控制器(圖未示)。因此,通過上述結(jié)構(gòu)構(gòu)成一全新的石英晶圓切割機(jī)的帶鋸調(diào)整裝置。
參閱圖4、5所示,當(dāng)本實(shí)用新型于運(yùn)用時(shí),可設(shè)置于一切割機(jī)5內(nèi)部,而該切割機(jī)5具有一工作區(qū)間51,且該工作區(qū)間51的一面具有一平臺52,并于該切割機(jī)5內(nèi)的底部設(shè)置有一傳動(dòng)輪組6,而將本實(shí)用新型的導(dǎo)軌3通過固定孔31配合固定元件設(shè)置于切割機(jī)5內(nèi)部的一端預(yù)定位置處,且使該座體1活動(dòng)設(shè)置于二導(dǎo)軌3間,之后再以致動(dòng)元件4的固定座41將其設(shè)置于切割機(jī)5內(nèi)部預(yù)定處,再將一軸桿7的一端活動(dòng)設(shè)置于該軸座2的軸套22中,且該軸桿7的另一端設(shè)置有一飛輪71,而當(dāng)該環(huán)形帶鋸8于設(shè)置時(shí),跨設(shè)于該傳動(dòng)輪組6及飛輪71上,由于石英切割屬重切削,因此欲進(jìn)行切割須調(diào)整該環(huán)形帶鋸8的張力,使該環(huán)形帶鋸8與飛輪71之間無間隙產(chǎn)生,當(dāng)調(diào)整時(shí)可利用控制器啟動(dòng)該致動(dòng)元件4正轉(zhuǎn),使該致動(dòng)元件4的運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)其傳動(dòng)桿42轉(zhuǎn)動(dòng),而使該傳動(dòng)桿42于轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)通過其外螺紋部421對應(yīng)座體1套接孔12的內(nèi)螺紋部121,而將座體1連同其上的軸座2于二導(dǎo)軌3間往上推動(dòng),進(jìn)而帶動(dòng)軸桿7及其飛輪71往上移動(dòng),此時(shí),該環(huán)形帶鋸8則會(huì)產(chǎn)生有被往外頂推、拉撐的情形,待將該環(huán)形帶鋸8調(diào)整至所需的最佳切割張力時(shí)即關(guān)閉該致動(dòng)元件4。
當(dāng)環(huán)形帶鋸8使用一段時(shí)間之后需做更換時(shí),可利用控制器啟動(dòng)該致動(dòng)元件4反轉(zhuǎn),使該致動(dòng)元件4的運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)其傳動(dòng)桿42轉(zhuǎn)動(dòng),而使該傳動(dòng)桿42于轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)通過其外螺紋部421對應(yīng)座體1套接孔12的內(nèi)螺紋部121,而將座體1連同其上的軸座2于二導(dǎo)軌3間往下拉引,進(jìn)而帶動(dòng)軸桿7及其飛輪71往下移動(dòng),此時(shí),該環(huán)形帶鋸8則會(huì)與飛輪71間產(chǎn)生間隙,待將該環(huán)形帶鋸8與飛輪71間產(chǎn)生適當(dāng)?shù)拈g隙時(shí)即關(guān)閉該致動(dòng)元件4,而讓使用者進(jìn)行更換環(huán)形帶鋸8的動(dòng)作。
另外,參閱圖6所示,本實(shí)用新型除可通過座體1上升、下降調(diào)整環(huán)形帶鋸8的張力外,也可通過調(diào)整軸套22柄部23的調(diào)整元件24達(dá)到調(diào)整飛輪71往左或往右偏移的角度,當(dāng)調(diào)整時(shí),以正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)的方式轉(zhuǎn)動(dòng)該螺桿241,使該螺桿241頂掣推動(dòng)該座體1一端套接孔12外側(cè)面,使該軸座2通過軸桿21于座體1的樞接部13上往一側(cè)(飛輪71的方向)移動(dòng),進(jìn)而帶動(dòng)軸套22上的軸桿7及其飛輪71移動(dòng),或轉(zhuǎn)動(dòng)該螺桿241,使該螺桿241離開座體1一端套接孔12外側(cè)面,使該軸座2通過軸桿21于座體1的樞接部13上往另一側(cè)(螺桿241的方向)移動(dòng),進(jìn)而帶動(dòng)軸套22上的軸桿7及其飛輪71移動(dòng),如此,即可達(dá)到調(diào)整環(huán)形帶鋸8的切割角度。
但以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,當(dāng)不能以此限定本實(shí)用新型實(shí)施的范圍;凡依本實(shí)用新型所作的簡單的等效變化與修飾,皆應(yīng)仍屬本實(shí)用新型專利涵蓋的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種石英晶圓切割機(jī)的帶鋸調(diào)整裝置,其特征在于,包括有一座體,該座體具有一中空部,且該座體的一端具有一套接孔;一軸座,該軸座活動(dòng)設(shè)置于上述座體的中空部中,且該軸座具有一軸套,該軸套延伸有一柄部,該柄部具有一頂掣于套接孔外側(cè)面的調(diào)整元件;二導(dǎo)軌,該導(dǎo)軌分別活動(dòng)接合于上述座體的二側(cè);以及一致動(dòng)元件,該致動(dòng)元件具有一活動(dòng)設(shè)置于上述座體套接孔中的傳動(dòng)桿。
2.如權(quán)利要求1所述的石英晶圓切割機(jī)的帶鋸調(diào)整裝置,其特征在于,該座體的一端且位于中空部的二側(cè)分別具有一與軸座活動(dòng)接合的樞接部。
3.如權(quán)利要求1所述的石英晶圓切割機(jī)的帶鋸調(diào)整裝置,其特征在于,該套接孔具有一內(nèi)螺紋部。
4.如權(quán)利要求1所述的石英晶圓切割機(jī)的帶鋸調(diào)整裝置,其特征在于,該軸座的二側(cè)分別以一軸桿與座體活動(dòng)套接。
5.如權(quán)利要求1所述的石英晶圓切割機(jī)的帶鋸調(diào)整裝置,其特征在于,該調(diào)整元件由一端頂掣于套接孔外側(cè)面的螺桿以及分別螺合于螺桿上的螺接套所構(gòu)成。
6.如權(quán)利要求1所述的石英晶圓切割機(jī)的帶鋸調(diào)整裝置,其特征在于,各導(dǎo)軌上具有一個(gè)以上的固定孔。
7.如權(quán)利要求1所述的石英晶圓切割機(jī)的帶鋸調(diào)整裝置,其特征在于,該致動(dòng)元件具有一供設(shè)置于切割機(jī)內(nèi)部預(yù)定處的固定座。
8.如權(quán)利要求1所述的石英晶圓切割機(jī)的帶鋸調(diào)整裝置,其特征在于,該傳動(dòng)桿環(huán)設(shè)有一外螺紋部。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種石英晶圓切割機(jī)的帶鋸調(diào)整裝置,其包含一具有中空部且一端具有套接孔的座體;一活動(dòng)設(shè)置于座體中空部中的軸座,該軸座具有一軸套,該軸套延伸有一柄部,該柄部具有一頂掣于套接孔外側(cè)面的調(diào)整元件;二分別活動(dòng)接合于座體二側(cè)的導(dǎo)軌;一具有傳動(dòng)桿可活動(dòng)設(shè)置于套接孔中的致動(dòng)元件。根據(jù)上述方案,可將帶鋸調(diào)整至最佳的切割角度及張力,而于切割時(shí)具有高平整度、偏擺幅度小以及不易扭曲的功效,并可同時(shí)達(dá)到增加切割速度、延長帶鋸壽命及迅速更換帶鋸的效果。
文檔編號B23D53/04GK2848520SQ20052013277
公開日2006年12月20日 申請日期2005年11月18日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月18日
發(fā)明者楊嘉豐 申請人:熔晶股份有限公司