專利名稱：反應(yīng)腔的輸氣管道系統(tǒng)及其控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種反應(yīng)腔的輸氣管道系統(tǒng)及其控制方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體加工生產(chǎn)領(lǐng)域中，等離子加工裝置、氣相沉積裝置以及清潔裝置等設(shè)備在工作時均需要在反應(yīng)腔內(nèi)通入氣體或者抽真空形成真空環(huán)境，與上述反應(yīng)腔相連接的輸氣管道系統(tǒng)通常包括分別用于排氣的排氣泵、用于通氣的通氣泵等。其中為了簡化管路，上述排氣泵以及通氣泵并非獨立設(shè)置的，而是共用部分管路，并通過閥門控制管道內(nèi)的氣流走向。更多關(guān)于半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔的氣體管道系統(tǒng)可以參見申請?zhí)枮?00720073814. 3的中國專利申請。現(xiàn)有的一種氣體管道系統(tǒng)見圖1所示，包括用于對反應(yīng)腔100進(jìn)行抽氣的粗泵 101、用于對反應(yīng)腔100通氣的渦輪通氣泵102。其中，所述粗泵101經(jīng)由蝶形閥201與反應(yīng)腔100連接，所述渦輪通氣泵102與反應(yīng)腔連接。所述渦輪通氣泵102的氣冷單元還通過冷卻閥202與粗泵101連接，以便于排出渦輪通氣泵102的冷卻氣體。當(dāng)反應(yīng)腔進(jìn)行半導(dǎo)體工藝時，其腔室氣壓通常小于外界氣壓，甚至為真空狀態(tài)。此時所述渦輪通氣泵102不工作，冷卻閥202保持關(guān)閉，所述蝶形閥201開啟，所述粗泵工作對反應(yīng)腔100進(jìn)行抽氣，調(diào)節(jié)反應(yīng)腔100內(nèi)的氣壓。當(dāng)反應(yīng)腔完成半導(dǎo)體工藝，需要移除晶圓時，必須使得反應(yīng)腔內(nèi)的氣壓恢復(fù)至與外界氣壓相平衡。首先關(guān)閉所述蝶形閥201，使得粗泵101停止對反應(yīng)腔抽氣；然后渦輪通氣泵102開始工作，向反應(yīng)腔通氣以提升反應(yīng)腔內(nèi)的氣壓；為了保證渦輪通氣泵102正常工作，需要使用冷卻氣體冷卻渦輪通氣泵102的電機(jī)，開啟所述冷卻閥202，使得所述冷卻氣體通過冷卻閥202經(jīng)由粗泵101排出。當(dāng)反應(yīng)腔內(nèi)的氣壓與外界氣壓相平衡后，開啟反應(yīng)腔的艙門，移除晶圓。現(xiàn)有技術(shù)存在著如下問題粗泵101在半導(dǎo)體工藝階段需要對反應(yīng)腔100抽氣，而在晶圓傳輸階段需要排出渦輪通氣泵102的冷卻氣體，其功能的轉(zhuǎn)換通過蝶形閥201以及冷卻閥202的開啟或關(guān)閉實現(xiàn)。上述轉(zhuǎn)換過程中，由于蝶形閥201的徹底關(guān)閉需要時間，故蝶形閥201開始關(guān)閉而冷卻閥202剛剛打開時容易出現(xiàn)以下情況反應(yīng)腔100內(nèi)還近似于真空狀態(tài)，氣壓極小，而渦輪通氣泵102的氣冷單元內(nèi)的氣壓則較大，冷卻氣體極易經(jīng)由剛剛開啟的冷卻閥202以及尚未徹底關(guān)閉的蝶形閥201反充進(jìn)反應(yīng)腔100中。上述冷卻氣體并不純凈，而且粗泵的管道中也存在較多雜質(zhì)，上述雜質(zhì)被冷卻氣體帶入反應(yīng)腔100后，容易污染晶圓。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的問題是提供一種輸氣管道系統(tǒng)及其控制方法，避免渦輪通氣泵的冷卻氣體反充進(jìn)反應(yīng)腔中污染晶圓。
本發(fā)明提供的輸氣管道系統(tǒng)，包括粗泵，經(jīng)由蝶形閥與反應(yīng)腔連接，用于對反應(yīng)腔抽氣；還包括渦輪通氣泵，所述渦輪通氣泵與反應(yīng)腔連接，用于對反應(yīng)腔通氣，其氣冷單元與所述粗泵連通；閥門控制單元，所述閥門控制單元將氣冷單元內(nèi)的氣壓與反應(yīng)腔的氣壓相比較，當(dāng)所述氣冷單元內(nèi)的氣壓大于反應(yīng)腔的氣壓時，使得所述蝶形閥關(guān)閉。所述輸氣管道系統(tǒng)還包括真空吸盤泵，用于向機(jī)械傳送裝置提供吸附晶圓的負(fù)壓；所述渦輪通氣泵的氣冷單元還與所述真空吸盤泵連通?？蛇x的，所述氣冷單元的出氣口設(shè)置有電子氣壓計。所述閥門控制單元與電子氣壓計電性連接，檢測氣冷單元內(nèi)的氣壓?？蛇x的，所述渦輪通氣泵經(jīng)由通氣閥與反應(yīng)腔連接。所述閥門控制單元在蝶形閥開啟時，使得所述通氣閥關(guān)閉；而在通氣閥開啟時，使得蝶形閥關(guān)閉。所述輸氣管道系統(tǒng)還包括與氣冷單元連接的供氣單元，用于提供冷卻氣體。所述供氣單元包括液氮罐以及用于汽化液氮的汽化器。一種輸氣管道系統(tǒng)的控制方法，其中包括當(dāng)晶圓送入反應(yīng)腔中進(jìn)行加工工藝時，開啟粗泵，對渦輪通氣泵的氣冷單元抽氣；所述閥門控制單元接收第一控制信號，將所述氣冷單元內(nèi)的氣壓與當(dāng)前反應(yīng)腔氣壓相比較，當(dāng)氣冷單元內(nèi)的氣壓小于反應(yīng)腔氣壓時，開啟蝶形閥，使得粗泵對反應(yīng)腔抽氣；當(dāng)晶圓完成加工工藝時從反應(yīng)腔移除時，所述閥門控制單元第二控制信號，關(guān)閉所述蝶形閥；所述粗泵保持對渦輪通氣泵的氣冷單元抽氣；開啟渦輪通氣泵，對反應(yīng)腔通氣。當(dāng)反應(yīng)腔氣壓與外界氣壓相平衡時，開啟真空吸盤泵，使得機(jī)械傳送裝置吸附晶圓，并分流渦輪通氣泵的氣冷單元中的冷卻氣體。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點所述渦輪通氣泵的氣冷單元與粗泵連通，使得粗泵在工作時總是對氣冷單元抽氣，能夠降低氣冷單元內(nèi)的氣壓，使其與反應(yīng)腔的氣壓保持平衡，所述閥門控制單元對上述氣壓進(jìn)行比較，控制蝶形閥的開啟或關(guān)閉，可以有效防止冷卻氣體反充入反應(yīng)腔中；將所述渦輪通氣泵的氣冷單元與真空吸盤泵連通，起到分流冷卻氣體的作用，進(jìn)一步降低了氣冷單元反充入反應(yīng)腔的可能性。


圖1是現(xiàn)有反應(yīng)腔的輸氣管道系統(tǒng)的示意圖；圖2是本發(fā)明所述反應(yīng)腔的輸氣管道系統(tǒng)的示意圖；圖3是本發(fā)明在晶圓送入反應(yīng)腔進(jìn)行加工時的操作示意圖；圖4時本發(fā)明在晶圓完成加工從反應(yīng)腔移除時的操作示意圖。
具體實施例方式現(xiàn)有的反應(yīng)腔輸氣管道系統(tǒng)，使用粗泵對反應(yīng)腔抽氣以及排出渦輪通氣泵的冷卻氣體，在閥門切換時，由于反應(yīng)腔與渦輪通氣泵氣冷單元之間存在氣壓差，容易出現(xiàn)所述冷卻氣體反充入反應(yīng)腔污染晶圓的問題。本發(fā)明則通過降低氣冷單元的氣壓，并監(jiān)控反應(yīng)腔與渦輪通氣泵氣冷單元之間的氣壓差，控制蝶形閥的開閉，解決上述問題。如圖2所示，本發(fā)明所述的輸氣管道系統(tǒng)，其基本結(jié)構(gòu)包括粗泵301，經(jīng)由蝶形閥 401與反應(yīng)腔300連接，用于對反應(yīng)腔300抽氣；渦輪通氣泵302，所述渦輪通氣泵302與反應(yīng)腔300連接，用于對反應(yīng)腔300通氣；真空吸盤泵303，用于向機(jī)械傳送裝置提供吸附晶圓的負(fù)壓。所述渦輪通氣泵302還包括氣冷單元30 ，用于對渦輪通氣泵302的電機(jī)散熱。 只有在氣冷單元30 工作的前提下，渦輪通氣泵302才能向反應(yīng)腔300正常通氣。所述氣冷單元30 還與粗泵301連通，其基本工作原理是溫度較低的冷卻氣體進(jìn)入所述氣冷單元30加，通過熱傳遞吸收渦輪通氣泵302電機(jī)的熱量，然后再被粗泵301抽出。所述冷卻氣體可以是氣冷單元30 直接從外界環(huán)境中抽取的，也可以是由其他供氣源提供的，以避免帶入雜質(zhì)，保證輸氣管道內(nèi)的氣體純凈。作為優(yōu)選方案，所述輸氣管道系統(tǒng)還可以包括供氣單元305，所述供氣單元305與所述氣冷單元30 連接，向氣冷單元30 提供冷卻氣體。具體的，所述供氣單元305可以包括液氮罐以及用于汽化液氮的汽化器，所述冷卻氣體為氮氣。作為可選的方案，所述氣冷單元30 還與真空吸盤泵303連通，所述真空吸盤泵 303可以起到分流冷卻氣體的作用，也能夠降低冷卻氣體反充入反應(yīng)腔300的可能性。所述輸氣管道系統(tǒng)還包括閥門控制單元304，所述閥門控制單元304將所述氣冷單元30 內(nèi)的氣壓與反應(yīng)腔300的氣壓相比較，控制所述蝶形閥401的開啟或關(guān)閉。具體的，如果氣冷單元30 內(nèi)的氣壓大于反應(yīng)腔300的氣壓，所述閥門控制單元304關(guān)閉蝶形閥401，以防止冷卻氣體經(jīng)由蝶形閥401反充入反應(yīng)腔300中。具體的，所述氣冷單元30 的出氣口設(shè)置有電子氣壓計302b，所述閥門控制單元304與電子氣壓計302b電性連接，檢測氣冷單元30 出氣口的氣壓，也即氣冷單元30 內(nèi)的氣壓。在某些實施例中，渦輪通氣泵302經(jīng)由通氣閥402與反應(yīng)腔300連接。所述閥門控制單元304還控制通氣閥402的開啟或關(guān)閉。具體的，所述閥門控制單元304在蝶形閥 401開啟時，使得所述通氣閥402關(guān)閉；而在通氣閥402開啟時，使得蝶形閥401關(guān)閉，從而保證通氣閥402與蝶形閥401無法同時開啟。一方面防止粗泵301在對反應(yīng)腔抽氣時，所述渦輪通氣泵302影響反應(yīng)腔的真空度；另一方面防止渦輪通氣泵302在對反應(yīng)腔通氣時， 所述粗泵301影響反應(yīng)腔的氣壓提升速度。在本發(fā)明所述的輸氣管道系統(tǒng)中，只要粗泵301處于工作狀態(tài)，便保持對渦輪通氣泵302的氣冷單元30 抽氣，氣冷單元30 內(nèi)的氣壓一直處于較低水平。所述閥門控制單元304僅有在氣冷單元30 內(nèi)的氣壓不大于反應(yīng)腔300內(nèi)的氣壓時，才允許蝶形閥401 的開啟，有效避免了冷卻氣體反充入反應(yīng)腔300內(nèi)，對晶圓造成污染。下面結(jié)合具體的半導(dǎo)體加工工藝中對所述輸氣管道系統(tǒng)的控制方法，進(jìn)一步闡述本發(fā)明輸氣管道系統(tǒng)的優(yōu)點。假設(shè)本發(fā)明的反應(yīng)腔進(jìn)行的半導(dǎo)體工藝為等離子刻蝕工藝， 反應(yīng)環(huán)境為真空。在初始狀態(tài)下，所述蝶形閥401以及通氣閥402關(guān)閉，粗泵301、渦輪通氣泵302以及真空吸盤泵303均不工作，所述渦輪通氣泵302的氣冷單元30 也不工作。當(dāng)晶圓送入反應(yīng)腔準(zhǔn)備進(jìn)行加工時，需要對反應(yīng)腔300抽氣以形成等離子刻蝕所需的真空環(huán)境。圖3為上述過程中對輸氣管道系統(tǒng)的控制方法的流程示意圖，結(jié)合圖2以及圖3所示，基本步驟包括執(zhí)行步驟S101、啟動粗泵301，對渦輪通氣泵302的氣冷單元30 抽氣；
由于此時渦輪通氣泵302尚未工作，其氣冷單元30 內(nèi)也未通入冷卻氣體，故粗泵301啟動后，實際上先對氣冷單元30 以及蝶形閥401之間的管路抽氣，排出上述管路中殘留的氣體。經(jīng)過一段時間后，氣冷單元30 內(nèi)的氣壓降至較低水平，近似于真空。執(zhí)行步驟S102、向所述閥門控制單元304輸入第一控制信號，開啟蝶形閥401。當(dāng)反應(yīng)腔中的晶圓放置到位，且輸氣管路內(nèi)殘留氣體已清除，所述晶圓已具備工藝條件?？梢酝ㄟ^人工輸入或由晶圓加工設(shè)備自動發(fā)出所述第一控制信號。所述閥門控制單元304在接收到所述第一控制信號后，并不是直接開啟蝶形閥401。而是先判斷蝶形閥401是否滿足開啟條件。所述開啟條件為反應(yīng)腔300內(nèi)的氣壓不小于蝶形閥401另一側(cè)的氣壓。具體的，所述閥門控制單元304將從電子氣壓計302b所讀取的氣壓與反應(yīng)腔300 的氣壓相比較，也即將氣冷單元30 內(nèi)的氣壓與反應(yīng)腔300的氣壓相比較，如果氣冷單元 30 的氣壓小于反應(yīng)腔300的氣壓，則開啟蝶形閥401。其中閥門控制單元304可以從晶圓加工設(shè)備獲得所述反應(yīng)腔300的氣壓的值。所述蝶形閥401開啟后，使得處于工作狀態(tài)的粗泵301與反應(yīng)腔300連通，所述粗泵301開始對反應(yīng)腔300抽氣，反應(yīng)腔300內(nèi)的氣壓逐漸降低。當(dāng)晶圓完成加工工藝時從反應(yīng)腔移除時，需要先對反應(yīng)腔300通氣以恢復(fù)反應(yīng)腔 300內(nèi)的氣壓，使其與外界氣壓相平衡，才能打開反應(yīng)腔300的艙門，進(jìn)行傳輸晶圓的動作。 圖4為上述過程中對輸氣管道系統(tǒng)的控制方法的流程示意圖，結(jié)合圖2以及圖4所示，基本步驟包括執(zhí)行步驟S103、向閥門控制單元304輸入第二控制信號，關(guān)閉所述蝶形閥401 ；同樣，當(dāng)晶圓完成加工工藝，可以通過人工輸入或由晶圓加工設(shè)備自動發(fā)出所述第二控制信號。實際上在本步驟中，渦輪通氣泵302并未開始工作，其氣冷單元30 內(nèi)也未通入冷卻氣體，因此所述蝶形閥401在整個開啟的過程中，并不會出現(xiàn)冷卻氣體反充入反應(yīng)腔300的情況。此外當(dāng)?shù)伍y401徹底關(guān)閉后，還包括閥門控制單元304開啟通氣閥 402的步驟。執(zhí)行步驟S104、開啟渦輪通氣泵302，對反應(yīng)腔300通氣。由于通氣閥402已開啟，所述渦輪通氣泵302與反應(yīng)腔300連通，渦輪通氣泵302 開始工作，對反應(yīng)腔300通氣，使得反應(yīng)腔300內(nèi)的氣壓與外界氣壓相平衡。同時，所述冷卻氣體通入冷氣單元30 內(nèi)，對渦輪通氣泵302的電機(jī)散熱，并被粗泵301所抽出。當(dāng)反應(yīng)腔300內(nèi)的氣壓與外界氣壓恢復(fù)平衡后，所述真空吸盤泵303開始工作，使得機(jī)械傳輸裝置能夠吸附抓取晶圓，進(jìn)行晶圓的傳輸。此時真空吸盤泵303與粗泵301共同對氣冷單元30 抽氣，起到分流冷卻氣體，進(jìn)一步降低氣冷單元320a內(nèi)氣壓的作用。在以上實施例中，由于蝶形閥401在開啟以及關(guān)閉的過程中，渦輪通氣泵302并未工作。但在更多的實際生產(chǎn)情況中，當(dāng)粗泵301以及渦輪通氣泵302工作后，并不會關(guān)停， 所述氣冷單元30 中將總是存在冷卻氣體的通入以及排出。則進(jìn)行后續(xù)的晶圓加工工藝時，輸氣管道的情況有所不同。當(dāng)下一批晶圓送入反應(yīng)腔準(zhǔn)備進(jìn)行加工時，同樣需要對反應(yīng)腔300抽氣以形成等離子刻蝕所需的真空環(huán)境。再結(jié)合圖2所示，此時與氣冷單元30 連通的粗泵301保持對氣冷單元30 抽氣。此時所述蝶形閥401處于關(guān)閉狀態(tài)，氣冷單元30 內(nèi)的氣壓處于較低的水平，而反應(yīng)腔300的氣壓則與外界氣壓相同。閥門控制單元304先關(guān)閉通氣閥402，以避免渦輪通氣泵302繼續(xù)對反應(yīng)腔300通氣，影響后續(xù)粗泵301對反應(yīng)腔300排氣。當(dāng)向閥門控制單元304輸入第一控制信號時，由于氣冷單元30 內(nèi)的氣壓低于反應(yīng)腔300的氣壓，且通氣閥402已先行關(guān)閉，所述閥門控制單元304開啟蝶形閥401。當(dāng)?shù)伍y401開啟后，粗泵301在保持從氣冷單元30 中抽出冷卻氣體的同時，對反應(yīng)腔300 進(jìn)行抽氣。需要指出的是，初始時反應(yīng)腔300內(nèi)的氣體可能順著氣壓差而充入氣冷單元30 中，但并不會影響氣冷單元30 的工作。而氣冷單元30 與反應(yīng)腔300中的氣壓達(dá)到平衡狀態(tài)后，由于粗泵301的持續(xù)工作，氣冷單元30 內(nèi)的冷卻氣體并不會對反應(yīng)腔300的真空狀態(tài)造成較大影響，僅僅可能因為從氣冷單元30 中抽出冷卻氣體占用了粗泵301部分的抽氣能力，而延長反應(yīng)腔300達(dá)到所需真空狀態(tài)的時間。當(dāng)晶圓完成加工工藝時從反應(yīng)腔移除時，需要對反應(yīng)腔300通氣以恢復(fù)反應(yīng)腔 300內(nèi)的氣壓。向閥門控制單元304輸入第二控制信號，所述閥門控制單元304首先關(guān)閉蝶形閥401，使得所述粗泵301停止對反應(yīng)腔300抽氣。待蝶形閥401徹底關(guān)閉后，所述閥門控制單元304再開啟通氣閥402。隨著通氣閥402的開啟，渦輪通氣泵302向反應(yīng)腔300 中通入氣體，提升反應(yīng)腔300的氣壓。在上述過程中，由于閥門的開關(guān)有先后，并不會出現(xiàn)渦輪通氣泵302通入的氣體經(jīng)由反應(yīng)腔300、蝶形閥401進(jìn)入氣冷單元30 的情況。當(dāng)反應(yīng)腔300內(nèi)氣壓恢復(fù)與外界氣壓相平衡后，真空吸盤泵303開始工作，一方面用于提供機(jī)械傳輸裝置吸取晶圓的負(fù)壓，另一方面幫助粗泵301分流氣冷單元30 所排出的冷卻氣體。使得氣冷單元30 內(nèi)的氣壓始終保持在較低水平，以便于后續(xù)批次晶圓進(jìn)入反應(yīng)腔進(jìn)行加工工藝時，閥門控制單元304能夠較快的開啟蝶形閥401。此外在發(fā)生意外情況時，例如，渦輪通氣泵302的電機(jī)發(fā)熱量過大，供氣單元305 向氣冷單元30 通入的冷卻氣體的流速產(chǎn)生較大波動，粗泵301來不及抽出所述冷卻氣體，導(dǎo)致氣冷單元30 內(nèi)的氣壓驟然上升。所述閥門控制單元304始終監(jiān)控蝶形閥304兩側(cè)氣壓差情況，當(dāng)所述氣冷單元30 內(nèi)的氣壓大于反應(yīng)腔300的氣壓時，自動關(guān)閉所述蝶形閥304，以避免冷卻氣體反充入反應(yīng)腔300，污染晶圓的情況發(fā)生。雖然本發(fā)明已以較佳實施例披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動與修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種反應(yīng)腔的輸氣管道系統(tǒng)，包括粗泵，經(jīng)由蝶形閥與反應(yīng)腔連接，用于對反應(yīng)腔抽氣；其特征在于，還包括渦輪通氣泵，所述渦輪通氣泵與反應(yīng)腔連接，用于對反應(yīng)腔通氣， 其氣冷單元與所述粗泵連通；閥門控制單元，所述閥門控制單元將氣冷單元內(nèi)的氣壓與反應(yīng)腔的氣壓相比較，當(dāng)所述氣冷單元內(nèi)的氣壓大于反應(yīng)腔的氣壓時，使得所述蝶形閥關(guān)閉。
2.如權(quán)利要求1所述的輸氣管道系統(tǒng)，其特征在于，還包括真空吸盤泵，用于向機(jī)械傳送裝置提供吸附晶圓的負(fù)壓；所述渦輪通氣泵的氣冷單元還與所述真空吸盤泵連通。
3.如權(quán)利要求1所述的輸氣管道系統(tǒng)，其特征在于，所述氣冷單元的出氣口設(shè)置有電子氣壓計。
4.如權(quán)利要求3所述的輸氣管道系統(tǒng)，其特征在于，所述閥門控制單元與電子氣壓計電性連接，檢測氣冷單元內(nèi)的氣壓。
5.如權(quán)利要求1所述的輸氣管道系統(tǒng)，其特征在于，所述渦輪通氣泵經(jīng)由通氣閥與反應(yīng)腔連接。
6.如權(quán)利要求5所述的輸氣管道系統(tǒng)，其特征在于，所述閥門控制單元在蝶形閥開啟時，使得所述通氣閥關(guān)閉；而在通氣閥開啟時，使得蝶形閥關(guān)閉。
7.如權(quán)利要求1所述的輸氣管道系統(tǒng)，其特征在于，還包括與氣冷單元連接的供氣單元，用于提供冷卻氣體。
8.如權(quán)利要求7所述的輸氣管道系統(tǒng)，其特征在于，所述供氣單元包括液氮罐以及用于汽化液氮的汽化器。
9.如權(quán)利要求2所述的輸氣管道系統(tǒng)的控制方法，其中包括當(dāng)晶圓送入反應(yīng)腔中進(jìn)行加工工藝時，開啟粗泵，對渦輪通氣泵的氣冷單元抽氣；所述閥門控制單元接收第一控制信號，將所述氣冷單元內(nèi)的氣壓與當(dāng)前反應(yīng)腔氣壓相比較，當(dāng)氣冷單元內(nèi)的氣壓小于反應(yīng)腔氣壓時，開啟蝶形閥，使得粗泵對反應(yīng)腔抽氣；當(dāng)晶圓完成加工工藝時從反應(yīng)腔移除時，所述閥門控制單元第二控制信號，關(guān)閉所述蝶形閥；所述粗泵保持對渦輪通氣泵的氣冷單元抽氣；開啟渦輪通氣泵，對反應(yīng)腔通氣。
10.如權(quán)利要求9所述的控制方法，其中，所述渦輪通氣泵對反應(yīng)腔通氣，當(dāng)反應(yīng)腔氣壓與外界氣壓相平衡時，開啟真空吸盤泵，使得機(jī)械傳送裝置吸附晶圓，并分流渦輪通氣泵的氣冷單元中的冷卻氣體。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種反應(yīng)腔的輸氣管道系統(tǒng)及其控制方法，所述輸氣管道系統(tǒng)包括粗泵，經(jīng)由蝶形閥與反應(yīng)腔連接，用于對反應(yīng)腔抽氣；渦輪通氣泵，所述渦輪通氣泵與反應(yīng)腔連接，用于對反應(yīng)腔通氣，其氣冷單元與所述粗泵連通；閥門控制單元，所述閥門控制單元將氣冷單元內(nèi)的氣壓與反應(yīng)腔的氣壓相比較，當(dāng)所述氣冷單元內(nèi)的氣壓大于反應(yīng)腔的氣壓時，使得所述蝶形閥關(guān)閉。本發(fā)明中粗泵在工作時總是對氣冷單元抽氣，能夠降低氣冷單元內(nèi)的氣壓，使其與反應(yīng)腔的氣壓保持平衡，所述閥門控制單元對上述氣壓進(jìn)行比較，控制蝶形閥的開啟或關(guān)閉，可以有效防止冷卻氣體反充入反應(yīng)腔中。
文檔編號H01J37/32GK102568991SQ20101059483
公開日2012年7月11日 申請日期2010年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月17日
發(fā)明者何偉業(yè), 孔祥濤, 聶佳相, 陳碧欽 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司