專利名稱：一種離子注入低能透鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是一種離子注入機光路器件，特別涉及半導(dǎo)體制造離子注入工藝中所用的離子注入機，屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
離子注入機是現(xiàn)代半導(dǎo)體集成電路制造中必不可少的工藝設(shè)備?，F(xiàn)今的半導(dǎo)體集成電路制造工藝對離子注入機的要求越來越高。不僅對整機可靠性、束流純凈度、束流均勻性、注入角度等提出了更高的要求，而且對注入機的離子能量范圍、束斑形狀、離子束傳輸效率等也提出了很高的要求，并對其工藝和設(shè)備的要求越來越高。特別是對注入機光路系統(tǒng)的要求更加嚴格。為了提高注入機粒子離子束的品質(zhì)，有效地減少離子濺射污染，得到穩(wěn)定的高精度離子離子束，本發(fā)明采用三膜片結(jié)構(gòu)，前后均為地電極，中間為聚焦電極的新型設(shè)計。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明專利是針對低能模式下離子注入機的離子束聚焦，提高離子束的傳輸效率。離子束通過分析光欄進入低能聚焦透鏡，在前地電極和中間聚焦電極之間受到電場力作用趨于分散狀態(tài)，當(dāng)分散的離子束進入中間聚焦電極和后地電極之間的電場場時，由于電場力的作用下達到聚焦的效果。本發(fā)明通過以下技術(shù)方式實現(xiàn)一種離子注入低能透鏡包括入口電極(1)、出口電極O)、中間聚焦電極(3)、安裝法蘭G)、兩個連接棒(5)、絕緣供電連接(6)。所述的入口電極(1)、出口電極(2)分別與連接棒(5)的一端連接，連接棒(5)的
另一端連接到安裝法蘭；所述的安裝法蘭⑷用于固定連接棒(5)和絕緣供電連接(6)，處在地電位；所述的中間聚焦電極(3)和絕緣供電連接(6)連接，與入口電極(1)、出口電極 ⑵之間絕緣；所述的兩個連接棒(5)用于連接入口電極(1)、出口電極(2)和安裝法蘭，將入口電極(1)和出口電極O)同地電位連通，是導(dǎo)電棒；所述的絕緣供電連接(6) —端連接中間聚焦電極(3)，另一端連接外部電源，向聚焦電極C3)供電，連接電源端具有兩個連接口，可用于檢測實際供電狀態(tài)。本發(fā)明具有以下優(yōu)點安裝結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，工作可靠，重復(fù)性高；聚焦能力強，通過調(diào)節(jié)中間聚焦電極的供電電壓，可很好的控制對離子束的聚焦效果。


本發(fā)明的具體實施方式
。在圖中，相同的附圖標記表示相同的部件。附圖1是本發(fā)明的一種實施方式的示意圖
具體實施例方式下面結(jié)合附圖的具體實施例對本發(fā)明作進一步介紹，應(yīng)該理解，這些描述都是說明性的，本發(fā)明不限于此。本發(fā)明的范圍僅由所附權(quán)利要求的范圍所限定。本發(fā)明的一種實施方式如圖1中所示。圖1中示出一種離子注入低能透鏡，包括入口電極(1)、出口電極(2)、中間聚焦電極(3)、安裝法蘭(4)、兩個連接棒(5)、絕緣供電連接㈩)。其中所述的入口電極(1)、出口電極⑵分別與連接棒(5)的一端連接，兩者之間的距離由連接棒(5)的結(jié)構(gòu)尺寸確定，連接棒(5)的另一端連接到安裝法蘭，將入口電極⑴、出口電極⑵連接到地電位，是導(dǎo)電桿，可采用鋁合金等導(dǎo)電材料制作；所述的安裝法蘭(4)用于固定連接棒( 和絕緣供電連接(6)，處在地電位，也是將整個低能透鏡安裝的注入機的接口，一般設(shè)計有真空檢測接口，定位銷等；所述的中間聚焦電極(3)和絕緣供電連接(6)連接，與入口電極(1)、出口電極( 之間絕緣，一般采用高純石墨制作， 降低濺射污染，提高使用壽命；所述的絕緣供電連接(6) —端連接中間聚焦電極(3)，另一端連接外部電源，向聚焦電極⑶供電，連接電源端具有兩個連接口，可用于檢測實際供電狀態(tài)，與安裝法蘭(4)之間采用絕緣材料，并設(shè)計防污染結(jié)構(gòu)，提高絕緣性能和使用壽命。本發(fā)明的特定實施例已對本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，或者慣用手段的直接替換，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求
1.一種離子注入低能透鏡包括入口電極(1)、出口電極O)、中間聚焦電極(3)、安裝法蘭G)、兩個連接棒(5)、絕緣供電連接(6)。所述的入口電極(1)、出口電極(2)分別與兩個連接棒( 的一端連接，兩個連接棒( 的另一端連接到安裝法蘭；所述的安裝法蘭(4)用于固定連接棒( 和絕緣供電連接(6)，處在地電位；所述的中間聚焦電極(3)和絕緣供電連接(6)連接，與入口電極(1)、出口電極(2)之間絕緣；所述的絕緣供電連接(6) 一端連接中間聚焦電極(3)，另一端連接外部電源，向聚焦電極C3)供電；
2.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入低能透鏡，其特征在于聚焦電極(3)位于入口電極(1)與出口電極⑵之間，并與入口電極(1)與出口電極⑵絕緣，組成膜片透鏡結(jié)構(gòu)；
3.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入低能透鏡，其特征在于入口電極(1)、出口電極 O)，分別連接到兩個連接棒(5)的一端，兩個連接棒的另一端連接到安裝法蘭G)，實現(xiàn)接地。
4.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入低能透鏡，其特征在于中間聚焦電極(3)通過絕緣供電連接(6)連通電源，絕緣供電連接(6)具有兩個與電源的連接端口，可實時檢測中間聚焦電極(3)的供電狀態(tài)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種離子注入低能透鏡，涉及離子注入機，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。該結(jié)構(gòu)包括入口電極(1)、出口電極(2)、中間聚焦電極(3)、安裝法蘭(4)、兩個連接棒(5)、絕緣供電連接(6)。所述的入口電極(1)、出口電極(2)分別與連接棒(5)的一端連接，連接棒(5)的另一端連接到安裝法蘭(4)；所述的安裝法蘭(4)用于固定連接棒(5)和絕緣供電連接(6)，處在地電位；所述的中間聚焦電極(3)和絕緣供電連接(6)連接，與入口電極(1)、出口電極(2)之間絕緣；所述的絕緣供電連接(6)一端連接中間聚焦電極(3)，另一端連接外部電源，向聚焦電極(3)供電，連接電源端具有兩個連接口，可用于檢測實際供電狀態(tài)。入口電極(1)、出口電極(2)和中間聚焦電極(3)共同組成膜片透鏡結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了在低能模式下對離子束實行先擴散后聚焦，總體實現(xiàn)的聚焦的作用。
文檔編號H01J37/317GK102446682SQ20101051356
公開日2012年5月9日 申請日期2010年10月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月13日
發(fā)明者伍三忠, 劉世勇, 唐景庭, 孫勇, 曹遠翔 申請人:北京中科信電子裝備有限公司