專利名稱：準(zhǔn)分子燈的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種準(zhǔn)分子燈，經(jīng)由與二氧化硅玻璃所構(gòu)成的放電容 器相對的一對電極、在該一對電極間形成該放電容器的二氧化硅玻璃， 激發(fā)放電用氣體，在上述放電容器的內(nèi)部產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電。
背景技術(shù)：
近年來，開發(fā)并實(shí)用了如下技術(shù)將波長200nm以下的真空紫外 光照射在金屬、玻璃及其他材料所構(gòu)成的被處理體上，從而通過該真 空紫外光及由此所生成的臭氧的作用來處理被處理體，例如除去附著 于被處理體表面的有機(jī)污染物質(zhì)的清潔處理技術(shù)，或在被處理體的表 面形成氧化膜的氧化膜形成處理技術(shù)。
在這些裝置中，公知有利用如下光作為照射真空紫外光的光源的 準(zhǔn)分子燈通過準(zhǔn)分子放電形成受激準(zhǔn)分子，隨著該受激準(zhǔn)分子的衰 變而產(chǎn)生的光，例如波長172nm附近的光。為了更有效地放射更高強(qiáng) 度的紫外線，對上述準(zhǔn)分子燈進(jìn)行了很多嘗試。
圖5是表示日本特開2004-127710號公報(bào)所述的現(xiàn)有的準(zhǔn)分于燈 的構(gòu)成的說明用透視圖。現(xiàn)有的準(zhǔn)分子燈60具備透射紫外線的二氧化 硅玻璃所構(gòu)成剖面矩形狀且中空長尺狀的放電容器61，在該放電容器 61的外表面形成有一對電極65、 66。在該放電容器61的內(nèi)部封入氮 氣作為放電用氣體。此外，在向一方電極65供應(yīng)點(diǎn)燈電力時，該準(zhǔn)分 子燈60中形成受激準(zhǔn)分子，隨著該受激準(zhǔn)分子的衰變而生成放射真空 紫外光的所謂準(zhǔn)分子放電。
真空紫外光是能量非常高的光，因此若將該強(qiáng)真空紫外光長時間持續(xù)照射在二氧化硅玻璃上，則由紫外線引起的缺陷會生成于該二氧 化硅玻璃中，形成紫外線應(yīng)變，根據(jù)情況會發(fā)生微細(xì)的裂痕或裂縫。 尤其是，在與放電空間相對的最表面上，在放電空間產(chǎn)生的真空紫外 光中短波長側(cè)的高能量的波長帶域的光的大部分會直接照射在該表面 上，在該表面收縮的方向上形成強(qiáng)紫外線應(yīng)變。另一方面，照射到放 電容器61的外表面的真空紫外光與形成該放電容器61的玻璃的厚度 對應(yīng)地衰減，因紫外線應(yīng)變而收縮的方向上形成的紫外線應(yīng)變的量與 內(nèi)表面相比非常少。由于該紫外線應(yīng)變的生成量不同，拉應(yīng)力施加于 與放電空間相對的最表面，該外表面朝伸長方向變形。
圖6是用于說明現(xiàn)有的準(zhǔn)分子燈的放電容器61的變形的說明用剖視圖。
放電容器61中，長尺狀的板玻璃所構(gòu)成的長邊面62a、 62b配置 成彼此相對，通過連接長邊面62a與長邊面62b的短邊面63a、 63b形 成剖面為矩形的管。箭頭表示作用于放電容器內(nèi)部的應(yīng)力的方向。
在長邊面62a、 62b及短邊面63a、 63b的面向放電空間的最表面， 真空紫外光中高能量的短波長帶域的光被吸收得較多，因此形成紫外 線應(yīng)變，在如箭頭所示收縮的方向上產(chǎn)生力的作用。另一方面，放電 容器61的外表面上，在如箭頭所示伸長的方向上產(chǎn)生力的作用。在剖 面矩形狀的放電容器61中，由于形狀上的特征，在長邊面62a、 62b 方向上伸縮的應(yīng)力及在短邊面63a、 63b方向上伸縮的應(yīng)力作用于連接 長邊面62a、 62b與短邊面63a、 63b的邊緣部64a、 64b、 64c、 64d， 應(yīng)力集中在邊緣部64a、 64b、 64c、 64d上。因此，應(yīng)力集中所引起的 蓄積的應(yīng)變，使得邊緣部64a、 64b、 64c、 64d成為破損的起點(diǎn)，產(chǎn)生 放電容器61破壞的問題。
專利文獻(xiàn)l:日本特開2004-127710號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為解決上述問題而作出，其目的在于提供一種準(zhǔn)分子燈， 具備形成有剖面為矩形的管的放電容器，能夠防止邊緣部成為破損的 起點(diǎn)而導(dǎo)致放電容器破裂。
本發(fā)明的技術(shù)方案1的準(zhǔn)分子燈，具備剖面為矩形的放電容器， 該放電容器的兩端被端面封閉，由彼此相對的長邊面與連接該長邊面 的短邊面包圍而成，在該放電容器的彼此相對的上述長邊面或上述短 邊面上配置有一對電極，在該放電容器的內(nèi)部封入有氙氣，在放電空 間內(nèi)產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電，上述準(zhǔn)分子燈的特征在于，在上述長邊面上， 與連接上述長邊面與上述短邊面的邊緣部相比，上述長邊面的中央部 向朝向上述放電空間的內(nèi)側(cè)的方向彎曲，在上述放電容器的內(nèi)表面上 形成有紫外線反射膜，該紫外線反射膜在上述邊緣部上形成的膜厚比 在上述放電容器的其它內(nèi)表面上形成的膜厚厚。
此外，本發(fā)明的技術(shù)方案2的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，在上述構(gòu) 成的基礎(chǔ)上，在上述短邊面上，與連接上述長邊面與上述短邊面的邊 緣部相比，上述短邊面的中央部向朝向上述放電空間的內(nèi)側(cè)的方向彎 曲。
此外，本發(fā)明的技術(shù)方案3的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，在上述構(gòu) 成的基礎(chǔ)上，上述紫外線反射膜含有二氧化硅粒子和氧化鋁粒子。
根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案1的準(zhǔn)分子燈，在上述長邊面上，與連接 上述長邊面與上述短邊面的邊緣部相比，上述長邊面的中央部向朝向 上述放電空間的內(nèi)側(cè)的方向彎曲，在上述放電容器的內(nèi)表面上形成的 紫外線反射膜在上述邊緣部上形成的膜厚比在其它部分上形成的膜厚 厚。因此，容易成為破損的起點(diǎn)的邊緣部因膜厚厚的紫外線反射膜而 充分隔斷了真空紫外光，能夠減輕在該邊緣部上產(chǎn)生的紫外線應(yīng)變等
損傷，其結(jié)果具有能夠防止該放電容器破壞等不良情況的優(yōu)點(diǎn)。根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案2的準(zhǔn)分子燈，與連接上述長邊面與上述 短邊面的邊緣部相比，上述短邊面的中央部向朝向上述放電空間的內(nèi) 側(cè)的方向彎曲。所以，即使在短邊面中央部的內(nèi)表面上形成的該紫外 線反射膜的膜厚較薄，在該邊緣部附近的內(nèi)表面也可使該紫外線反射 膜的膜作較厚。即，厚度能夠增大到能夠由邊緣部選擇性地隔斷在放 電空間內(nèi)部所生成的強(qiáng)真空紫外光的程度。所以，能夠減輕在該邊緣 部上產(chǎn)生的紫外線應(yīng)變等損傷，其結(jié)果具有能夠防止該放電容器破壞 等不良情況的優(yōu)點(diǎn)。
根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案3所述的準(zhǔn)分子燈，該紫外線反射膜含有 二氧化硅粒子，從而能夠提高與由二氧化硅玻璃構(gòu)成的放電容器的粘 結(jié)力，而且該紫外線反射膜含有氧化鋁粒子，從而具有能夠長時間維 持紫外線的反射特性的優(yōu)點(diǎn)。此外，該氧化鋁粒子防止彼此鄰接的二 氧化硅粒子因放電產(chǎn)生的熱而熔融結(jié)合，能夠維持各粒子間的晶界， 具有能夠長時間維持紫外線的反射特性的優(yōu)點(diǎn)。


圖1是表示本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈的構(gòu)成的說明圖概略剖視圖。
圖2是表示本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈的概略剖視圖。
圖3是用于表示本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈的放電容器的形成方法的透視圖。
圖4是表示紫外線反射膜的膜厚與其光透射率的關(guān)系的圖表。
圖5是表示現(xiàn)有的準(zhǔn)分于燈的構(gòu)成的說明用透視圖。
圖6是用于說明現(xiàn)有的準(zhǔn)分子燈的放電容器的變形的說明用剖視圖。
具體實(shí)施例方式
圖1是表示本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈10的一例的大致構(gòu)成的說明用剖視 圖，圖l (a)是表示沿著放電容器II的長度方向的剖面的橫剖視圖，圖l (b)是表示圖l (a)的A-A線剖視圖。
該準(zhǔn)分子燈IO具備兩端被氣密地封閉而在內(nèi)部形成有放電空間S 的、剖面矩形狀的中空長尺狀的放電容器ll，在該放電容器11的內(nèi)部， 作為放電用氣體，封入有氙氣。在此，氙氣的封入量使得壓力在例如 10至60kPa的范圍內(nèi)。
放電容器11由良好地透射真空紫外光的二氧化硅玻璃例如合成 石英玻璃構(gòu)成，兼具有電介質(zhì)的功能。
放電容器ll中，由長尺狀的板玻璃構(gòu)成的長邊面12a、 12b配置 成彼此相對，通過連接長邊面12a與長邊面12b的短邊面13a、 13b形 成剖面矩形狀的管。長度方向的兩端被端面14a、 14b封閉，放電空間 S的內(nèi)部為氣密空間。放電容器11具有例如長度方向的長度為800至 1600mm、 320至640cm3的放電空間S。
在放電容器11的長邊面12a、 12b的外表面， 一對格子狀的電極 15a、 15b在長度方向上延伸相對。在長邊面12a的外表面配置有作為 高壓供電電極而發(fā)揮功能的一方電極15a，在長邊面12b的外表面配置 有作為接地電極而發(fā)揮功能的另一方電極15b。由此，在一對電極15a、 15b之間夾著發(fā)揮電介質(zhì)的功能的放電容器11。上述電極15a、 15b是 例如通過將由金屬構(gòu)成的電極材料用糊膏涂布于放電容器11上而形 成，或是通過印刷法形成。
該準(zhǔn)分子燈10中，當(dāng)點(diǎn)燈電力供應(yīng)于一方電極15a時，經(jīng)由發(fā)揮 電介質(zhì)的功能的放電容器11的壁，在兩電極15a、 15b間生成放電，由 此，形成受激準(zhǔn)分子，而且在該受激準(zhǔn)分子衰變的過程中產(chǎn)生放射真 空紫外光的準(zhǔn)分子放電。
為了有效地利用通過準(zhǔn)分子放電產(chǎn)生的真空紫外光，上述準(zhǔn)分子燈10在放電容器II的暴露于放電空間S的表面，設(shè)有由紫外線散射 粒子構(gòu)成的紫外線反射膜20。
紫外線反射膜20形成在放電容器11的長邊面12a的與發(fā)揮高壓 供電電極的功能的一方電極15a對應(yīng)的內(nèi)表面區(qū)域、與該區(qū)域連續(xù)的短 邊面13a、 13b的內(nèi)表面區(qū)域。此外，在端面14a、 14b的內(nèi)表面區(qū)域也 形成有紫外線反射膜20。另一方面，在放電容器11的長邊面12b的與 發(fā)揮接地電極的功能的另一方電極15b對應(yīng)的內(nèi)表面區(qū)域未形成有紫 外線反射膜20，從而構(gòu)成光出射部17。此外，在長邊面12b的沒有形 成電極15b的端部的內(nèi)表面區(qū)域也形成紫外線反射膜20，從而提高反 射效率。
圖2是為了說明本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈10的詳細(xì)結(jié)構(gòu)而與端面14a、 14b平行(與燈管軸正交的面)地切斷的概略剖視圖。尤其是，該圖2 是強(qiáng)調(diào)各玻璃面的彎曲狀態(tài)及紫外線反射膜的厚度差的概念圖。
在長邊面12a的兩端接合有短邊面13a或短邊面13b的一端，形 成有接合長邊面12a與短邊面13a的邊緣部16a，及接合長邊面12a與 短邊面13b的邊緣部16b。同樣地，在長邊面12b的兩端接合有短邊面 13b或短邊面13a的一端，形成有接合長邊面12b與短邊面13b的邊緣 部16c，及接合長邊面12b與短邊面13a的邊緣部16d。
該長邊面12a的中央部18a相對于在該長邊面12a上存在于中央 部18a的延長線上的邊緣部16a、 16b而言，位于放電空間S的內(nèi)方， 該長邊面12a本身向朝向該放電空間S的內(nèi)側(cè)的方向彎曲。該長邊面 I2a的中央部18a與邊緣部16b之間的距離D是0.2mm左右。此外， 與該長邊面12a相對配置的長邊面12b也同樣。
此外，短邊面13a的中央部19a相對于在該短邊面13a上存在于 中央部19a的延長線上的邊緣部16a、 16b而言，位于放電空間S的內(nèi)
8方，該短邊面13a本身向朝向該放電空間S的內(nèi)側(cè)的方向彎曲。此外， 與該短邊面13a相對配置的短邊面13b也同樣。
觀察放電容器ll整體，在與端面14a、 14b平行地切斷的剖面中， 邊緣部16a、 16b、 16c、 16d在長邊面12a與長邊面12b相對的方向上 和在短邊面13a與短邊面13b相對的方向上，都朝向放電空間S的外 方鼓出。換言之，放電容器11中，長邊面12a、 12b的中央部18a、 18b 及短邊面13a、 13b的中央部19a、 19b向朝著放電空間S內(nèi)方稍突出的 方向彎曲。此外，形成于該放電容器11內(nèi)表面上的紫外線反射膜20 在該邊緣部16a、 16b、 16c、 16d上的膜厚比在中央部18a、 18b，或中 央部19a、 19b上的膜厚更厚。
形成于長邊面12a的內(nèi)表面區(qū)域的紫外線反射膜20以反射放電空 間S中發(fā)生的真空紫外光為目的，因此優(yōu)選其膜厚非常厚，例如在中 央部18a為30nm左右。通過使紫外線反射膜20的膜厚足夠厚，不但 不會使入射于紫外線反射膜20的光透射至放電容器11，而且能夠使真 空紫外光反射而再次返回到放電空間S。
另一方面，形成于短邊面13a的內(nèi)表面區(qū)域的紫外線反射膜20以 保護(hù)曝露在真空紫外光中的放電容器11為目的，因此不需要反射真空 紫外光的功能，只要幾乎不透射真空紫外光的最低限度的厚度即可。 例如，若在中央部19a的內(nèi)表面區(qū)域形成2至3pm，則紫外線反射膜 20就可隔斷真空紫外光約卯％。
此外，作為構(gòu)成該紫外線反射膜20的紫外線散射粒子，例如使用 將二氧化硅玻璃粉末化成細(xì)小粒子而得到的二氧化硅粒子等。優(yōu)選二 氧化硅粒子的粒徑為例如0.01 20pm的范圍內(nèi)，中心粒徑(數(shù)量平均 粒徑的峰值)例如為0.1 10(am，更優(yōu)選為0.3 3|Lim。此外，優(yōu)選紫 外線反射膜20中所含的二氧化硅粒子的粒徑分布的范圍不寬，優(yōu)選使 用以使粒徑為中心粒徑的值的二氧化硅粒子達(dá)到半數(shù)以上而選擇后得到的二氧化硅粒子。
通過使該二氧化硅粒子的一部分熔融的方式等將紫外線反射膜20 附著于放電容器11。 一般情況下，線膨脹系數(shù)的值相等或接近時具有 容易粘結(jié)的性質(zhì)。二氧化硅粒子的線膨脹系數(shù)的值與由二氧化硅玻璃 構(gòu)成的放電容器11相等，因此具有提高與放電容器11的粘結(jié)力的功
然而，二氧化硅粒子由于在準(zhǔn)分子燈10中產(chǎn)生的等離子體的熱而 熔融，晶界消失，無法擴(kuò)散反射真空紫外光，有反射率下降的情形。 作為紫外線散射粒子，通過含有二氧化硅粒子外還含有氧化鋁粒子， 即使曝露在等離子體的熱中，由于具有比二氧化硅粒子高的融點(diǎn)的氧 化鋁粒子不會熔融，因此能夠防止彼此相鄰的二氧化硅粒子與氧化鋁 粒子彼此結(jié)合，從而維持晶界。
優(yōu)選氧化鋁粒子的粒徑為例如0.1 10pm的范圍，中心粒徑(數(shù) 量平均粒徑的峰值)例如為0.1 3pm，更優(yōu)選為0.3 l|iim。此外，優(yōu) 選紫外線反射膜20中所含的氧化鋁粒子的粒徑分布的范圍不寬，優(yōu)選 使用以使粒徑為中心粒徑的值的氧化鋁粒子達(dá)到半數(shù)以上而選擇后得 到的氧化鋁粒子。
圖3是表示上述放電容器11的形成方法的、制造途中的放電容器 11的透視圖。
邊緣部16a、 16b、 16c、 16d朝放電空間S的外方鼓出的放電容器 11是如下形成在加熱而使由圓筒狀二氧化硅玻璃所構(gòu)成的圓形管25 軟化的狀態(tài)下，用安裝有取出棒24的矩形狀的拉拔模23對上述圓形 管進(jìn)行拉拔。為了使邊緣部16a、 16b、 16c、 16d朝外方鼓出，在拉拔 模23的角部形成凸起。作為其加工工序，首先，用燃燒器加熱由圓筒狀的二氧化硅玻璃
所構(gòu)成的圓形管25直到容易變形。之后，在用燃燒器加熱圓形管25 的外表面的狀態(tài)下，將拉拔模23插進(jìn)并壓入內(nèi)管。拉拔模23比圓形 管25的剖面大，因此圓形管25被擴(kuò)張成方形管。例如對于直徑(()30mm 的圓形管25，使用長邊面長度成為40mm的拉拔模23。此外，拉拔模 23會曝露于高溫，因此優(yōu)選由碳形成。這是因?yàn)?，若使用由金屬?gòu)成 的拉拔模23，則金屬會作為雜質(zhì)而附著混入于放電容器11的內(nèi)表面， 放電容器11的二氧化硅玻璃的純度下降。
使用具有比圓形管25的剖面大的面積的拉拔模23，將圓形管25 淬火擴(kuò)展成方形管，因此所成型的放電容器11的剖面是拉拔模23的 投影形狀。然而，考慮該拉拔模本身的熱脹及拉拔后的玻璃管的收縮 等，實(shí)際上在拉拔模23的角部預(yù)先形成凸起，從而使放電容器11的 邊緣部16a、 16b、 16c、 16d向外方鼓出。
圖4是表示紫外線反射膜20的膜厚與其光透射率的關(guān)系的圖表。 將縱軸作為透射率[%]，將橫軸作為紫外線反射膜的膜厚[pm]，從而表 示上述關(guān)系。此外，表示于縱軸的透射率表示波長172nm的真空紫外 光的透射率。此外，可知在波長150nm至波長200nm范圍的真空紫外 線區(qū)域具有大致同樣的趨勢。由該圖表可知，若加厚紫外線反射膜20 的膜厚，則會降低真空紫外光的透射率?？芍贤饩€反射膜20的膜厚 在10pm以上的范圍，完全不透射真空紫外光。
將圖4的結(jié)果適用于圖2的放電容器11時，若在放電容器11的 內(nèi)表面區(qū)域形成具有足夠的膜厚的紫外線反射膜20，則在放電空間S 內(nèi)產(chǎn)生的、波長172nm處具有峰值的真空紫外光不能透射紫外線反射 膜20，因此可減低照射到與放電空間S夾著紫外線反射膜20而形成的 放電容器11具體而言照射到長邊面12a、短邊面13a、 13b的真空紫外 光的強(qiáng)度。因此，能夠防止高強(qiáng)度的真空紫外光照射在構(gòu)成放電容器 ll的二氧化硅玻璃上，抑制放電容器劣化。為了將在放電空間S內(nèi)部產(chǎn)生的準(zhǔn)分子光照射在對象物上，必須
構(gòu)成未形成有紫外線反射膜20的光射出部17。在光射出部17上沒有 紫外線反射膜20，因此真空紫外光直接照射在構(gòu)成放電容器11的二氧
化硅玻璃上。此外，放電容器11是剖面為矩形狀的形狀，因此邊緣部
16a、 16b、 16c、 16d具有應(yīng)力容易集中的特征。所以光射出部17形成 在不包含邊緣部16a、 16b、 16c、 16d的長邊面12b上，而容易成為破 損的起點(diǎn)的邊緣部16a、 16b、 16c、 16d是由紫外線反射膜20進(jìn)行保護(hù) 而防止照射到真空紫外光。通過采用上述構(gòu)成，即使是使用剖面矩形 狀的放電容器11的準(zhǔn)分子燈，也可防止放電容器11破裂。
此外，放電容器ll中，長邊面12a、 12b的中央部18a、 18b及短 邊面13a、 13b的中央部19a、 19b相對邊緣部16a、 16b、 16c、 16d而 言位于放電空間S的內(nèi)方，因此在邊緣部16a、 16b、 16c、 16d的內(nèi)表 面區(qū)域與放電容器11的其他內(nèi)表面區(qū)域相比，紫外線反射膜20的膜 厚可形成為較厚。具體而言，形成于邊緣部16a、 16b、 16c、 16d的內(nèi) 表面區(qū)域的紫外線反射膜20與形成于其它區(qū)域的紫外線反射膜20相 比，其膜厚為至少iOpm以上。從而，由于形成于邊緣部16a、 16b、 16c、 16d的內(nèi)表面區(qū)域的紫外線反射膜20的膜厚確保在至少10pm以 上，因此可基本上完全地隔斷真空紫外光，放電容器11的邊緣部16a、 16b、 16c、 16d不會被照射到在放電空間S中產(chǎn)生的真空紫外光。
艮P，形成于邊緣部16a、 16b、 16c、 16d的內(nèi)表面區(qū)域的紫外線反 射膜20的膜厚與形成于放電容器11的其它表面區(qū)域的膜厚相比更厚。 所以，容易成為破損起點(diǎn)的邊緣部16a、 16b、 16c、 16d通過紫外線反 射膜20隔斷真空紫外光，真空紫外光不會照射到放電容器11的邊緣 部16a、 16b、 16c、 16d，可防止真空紫外光所引起的損傷造成放電容 器11破裂。
以下，說明在放電容器11的內(nèi)表面區(qū)域形成紫外線反射膜20的方法的一例。
紫外線反射膜20是通過例如稱為"澆注法"的方法制造。首先， 調(diào)合流入放電容器U內(nèi)側(cè)的涂敷液。涂敷液由紫外線散射粒子，粘合 齊IJ，分散劑及溶劑構(gòu)成。紫外線散射粒子是例如二氧化硅粒子與氧化 鋁粒子，粘合劑含有原硅酸四乙酯，分散劑是硅烷偶合劑，溶劑是乙 醇。
通過在涂敷液中含有分散劑，容易使涂敷液凝膠化而附著于放電 容器11上，而且可使在涂敷液中均勻分散的紫外線散射粒子。
由于在涂敷液中含有溶劑，因此可調(diào)整涂敷液的紫外線散射粒子 的含有濃度。
將涂敷液流入放電容器11的內(nèi)部，并附著于放電容器11的內(nèi)表 面的所定區(qū)域。
首先，將涂敷液流入短邊面13a的內(nèi)表面區(qū)域，將涂敷液附著成 短邊面13a的中央部19a的膜厚為2至5pm。然后，將涂敷液流入短 邊面13b的內(nèi)表面區(qū)域，將涂敷液附著成短邊面13b的中央部19b的 膜厚為2至5]Lim。在短邊面13a及短邊面13b的內(nèi)表面區(qū)域附著有涂 敷液的狀態(tài)下，經(jīng)自然干燥而使溶劑蒸發(fā)。之后，在氧氣氣氛中加熱 至50(TC經(jīng)1小時后進(jìn)行臨時淬火。進(jìn)行臨時淬火而將涂敷液定著于短 邊面13a、 13b的內(nèi)表面區(qū)域，從而在邊緣部16a、 16b的周邊不會與接 下來流入長邊面12a的內(nèi)表面區(qū)域的涂敷液產(chǎn)生緩沖。
然后，將涂敷液流入長邊面12a的內(nèi)表面區(qū)域而形成紫外線反射 膜20。將涂敷液附著成長邊面12a的中央部18a的膜厚為20至30)am， 在該狀態(tài)下經(jīng)自然干燥而使溶劑蒸發(fā)。此時，由于涂敷液的表面張力， 在邊緣部16a、 16b周邊產(chǎn)生涂敷液被吸至短邊面13a、 13b的現(xiàn)象，因此在邊緣部16a、 16b的短邊面13a、 13b側(cè)也附著較厚的涂敷液。
使在長邊面12a的內(nèi)表面區(qū)域也附著有涂敷液的放電容器11在該 狀態(tài)下經(jīng)自然干燥而使溶劑蒸發(fā)，此外在氧氣氣氛中加熱至IOOO'C經(jīng) l小時后進(jìn)行正式淬火。當(dāng)加熱涂敷液時，分散劑被加熱而消失，僅殘 留紫外線散射粒子與粘合劑，粘合劑成為二氧化硅而熔融附著于紫外 線散射粒子，提升與粒子彼此間及與放電容器11的粘合力。
根據(jù)上述工序，長邊面12a的內(nèi)表面區(qū)域與短邊面13a、 13b的內(nèi) 表面區(qū)域相比，可形成膜厚較厚的紫外線反射膜20。此外，放電容器 l的長邊面12a、 12b及短邊面13a、 13b被加工成彎曲狀，并且制造 工序中涂敷液的具有表面張力，因此邊緣部16a、 16b、 16c、 16d的內(nèi) 表面區(qū)域與其它區(qū)域相比，可使紫外線反射膜20的膜厚較厚。
— 此外，在本發(fā)明的說明中所使用的附圖中，將紫外線反射膜20的 薄膜厚度及放電容器11的形狀的尺寸等進(jìn)行放大而表示。
權(quán)利要求
1.一種準(zhǔn)分子燈，具備剖面為矩形的放電容器，該放電容器的兩端被端面封閉，由彼此相對的長邊面與連接該長邊面的短邊面包圍而成，在該放電容器的彼此相對的上述長邊面或上述短邊面上配置有一對電極，在該放電容器的內(nèi)部封入有氙氣，在放電空間內(nèi)產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電，上述準(zhǔn)分子燈的特征在于，在上述長邊面上，與連接上述長邊面與上述短邊面的邊緣部相比，上述長邊面的中央部向朝向上述放電空間的內(nèi)側(cè)的方向彎曲，在上述放電容器的內(nèi)表面上形成有紫外線反射膜，該紫外線反射膜在上述邊緣部上形成的膜厚比在上述放電容器的其它內(nèi)表面上形成的膜厚厚。
2. 如權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，在上述短邊面上，與連接上述長邊面與上述短邊面的邊緣部相比，上述短邊面的中央部向朝向上述放電空間的內(nèi)側(cè)的方向彎曲。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，上述紫外線反射膜含有二氧化硅粒子和氧化鋁粒子。
全文摘要
一種準(zhǔn)分子燈，具備形成有剖面為矩形的管的放電容器，能夠防止邊緣部成為破損的起點(diǎn)而導(dǎo)致放電容器破裂。上述準(zhǔn)分子燈(10)在放電容器(11)的放電空間(S)內(nèi)產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電，在與端面(14a、14b)平行地切斷的剖面中，與連接長邊面(12a、12b)與短邊面(13a、13b)的邊緣部(16a、16b、16c、16d)相比，放電容器(11)的長邊面(12a、12b)的中央部(18a、18b)朝向放電空間(S)內(nèi)側(cè)彎曲，在放電容器(11)的暴露于放電空間(S)的表面形成有紫外線反射膜(20)，該紫外線反射膜(20)在該邊緣部側(cè)的膜厚比該中央部側(cè)厚。
文檔編號H01J65/00GK101661866SQ200910166640
公開日2010年3月3日 申請日期2009年8月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月29日
發(fā)明者平石隆之, 藤澤繁樹 申請人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會社