專利名稱：用于等離子顯示器的電極制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及等離子顯示器領(lǐng)域，具體地，涉及用于等離子顯示 器的電才及制作方法。
背景技術(shù)：
等離子顯示器是通過使用放電效應(yīng)來顯示圖像的平板顯示器 件?，F(xiàn)今，等離子顯示器由于其非常好的性能和特性(諸如高顯示 容量、高亮度、高對比度、大碎見角以及薄而大的屏幕尺寸)而成為 市場上各種顯示器件中的主流產(chǎn)品。
圖1示出了常M^三電才及交流表面^:電型等離子顯示器的結(jié)構(gòu)示 意圖，該顯示器主要包括上基板1和下基板2。上基板1包括在其 下表面上交替形成的透明電4及3和匯流電纟及4，以及在匯流電極4 的非放電 一側(cè)的間隙內(nèi)制作的用于提高對比度的黑條電極(未示 出)，在匯流電極4的表面上還制作有透明介質(zhì)層5，在透明介質(zhì)層 5的表面上制作有保護層6。下基板2包括在其上表面上制作的與 匯流電4及4的方向垂直的尋址電纟及8，，沒置在尋址電才及8表面上的 介質(zhì)層7,以及在介質(zhì)層7表面形成的用于形成放電空間并防止》文 電串4尤的障壁10，其中，在障壁10的間隙內(nèi)及介質(zhì)層7的表面上 設(shè)有三種顏色(紅、綠、藍)的熒光粉9。在上基板1和下基板2 之間的放電空間內(nèi)充有預(yù)定的工作氣體， 一般采用惰性氣體。在現(xiàn)有技術(shù)中，前基板上形成的匯流電極4和黑條電極(B/S )、 以及下基板上表面形成的尋址電極8 —般采用絲網(wǎng)印刷電極線條、 絲網(wǎng)印刷感光材料后光刻、涂覆法制作感光材料后光刻等方法制
條形貌不理想已逐漸被淘汰。絲網(wǎng)印刷感光材料后光刻一^:分為成 膜和光刻兩個步驟進行。首先用絲網(wǎng)印刷方法在基板的表面上形成 完全覆蓋基板表面的電極材料層，經(jīng)干燥后采用光刻方法去除多余 部分最終形成電極線條。在這種方法的電極制作過程中，成膜步驟 形成的是完全覆蓋基板表面的電極材料膜，制成線條后保留的只是 極小部分材料，大部分電極材料經(jīng)光刻顯影后去除掉，這樣就存在 著很嚴重的材料浪費現(xiàn)象，電極材料的利用率很低。涂覆法制作感 光材料后光刻的方法也存在類似問題。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問題而提出本發(fā)明，且本發(fā)明的目的是提供一種用 于等離子顯示器的電極制作方法，該方法制作的電極線條精度高、 制作過程中電極材料浪費少，從而提高電極材料利用率且提高產(chǎn)品質(zhì)量。
根據(jù)本發(fā)明，提供了 一種用于等離子顯示器的電極制作方法， 所述等離子顯示器包括基板及設(shè)置在所述基板上的電極，其中，所 述電極制作方法包括以下步驟在所述基板上設(shè)置電極材料層，所 述電極材料層具有對應(yīng)于所述電極的預(yù)定圖案；對形成有所述電極 材料層的基板進行曝光；對曝光后的基板進行顯影；以及將顯影后 的多余電極材料去除，形成所述電才及。
優(yōu)選地，通過絲網(wǎng)印刷方法在所述基板上設(shè)置電極材料層。
優(yōu)選地，電極材料層的預(yù)定圖案的尺寸大于所述電極的尺寸。優(yōu)選地，所述電才及材料層為感光性材料。
優(yōu)選地，所述電極制作方法用于制作匯流電才及、尋址電4及和黑 條電極。
根據(jù)本發(fā)明的用于等離子顯示器的電極制作方法節(jié)省電極材 料，提高電極材料利用率，并且制成的電極精度高，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量。


圖1示意性地示出了常規(guī)三電極交流表面放電型等離子顯示屏
的結(jié)構(gòu)；
圖2示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實施例的匯流電極的制作方 法，其中，通過絲網(wǎng)印刷方法在基板上設(shè)置電極材料層；以及
圖3a至圖3c示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實施例的匯流電極的 制作方法，其中，對形成有電4及材:纖層的基才反進4于光刻，以形成電極。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖，以上基板10上的匯流電極40的制作過程為例， 對根據(jù)本發(fā)明實施例的用于等離子顯示器的電極制作方法做進一
步的說明，然而，本領(lǐng)域:汰術(shù)人員可以理解，該方法也可以用于制
作其他電極，諸如黑條電極和尋址電極等。
法。如圖所示，上基板10已經(jīng)設(shè)置有透明電極30,這時，優(yōu)選利 用絲網(wǎng)印刷法在透明電極30上涂敷具有預(yù)定圖案的電極材料層40，。具體地，用作電極材料的漿料400通過漏印板410涂敷在透明 電極30上，以形成電極材料層。該電極材并+層40，的圖案對應(yīng)于待 形成的匯流電極40，優(yōu)選地，該圖案的尺寸略大于匯流電極40的 尺寸。
圖3a至圖3c示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明實施例的匯流電極的 制作方法，其中，對具有通過絲網(wǎng)印刷方法形成的電才及材沖牛層40， 的上基板10進行光刻，以形成匯流電才及40。具體地，如圖3a所示， 先對包括如上所述形成的電極材料層40，的上基板10進行曝光。接 著，如圖3b所示，對曝光后的基^反10進^f亍顯影處理。然后，如圖 3c所示，去除掉相對于匯流電極40而言多余的電極材料，從而形 成匯流電極40。由于電極材料層40，的預(yù)定圖案，在欲制作有匯流 電極的位置均覆蓋有電極材料層，因此可以制作出完整的匯流電 才及。圖3c示出了最鄉(xiāng)冬形成的匯;危電才及40。
根據(jù)本發(fā)明的電極制作方法，在絲網(wǎng)印刷電極材料層的過程 中，優(yōu)選地，電才及材并牛層相對于目標電才及線條預(yù)留出一部分，即印 刷圖案的邊緣并不是目標電極線條的邊緣，這樣就4艮好地克服了絲 網(wǎng)印刷的線條邊緣不整齊的缺點，絲網(wǎng)印刷的電極材料層線條比較 寬，因此對絲網(wǎng)印刷精度要求并不高。而最終制成的電才及線條邊緣 是經(jīng)過顯影獲得，因此很好地保持了光刻工藝精度高、線條表面形 貌好的優(yōu)點。同時，由于絲網(wǎng)印刷的電極材料層區(qū)別與傳統(tǒng)工藝， 沒有覆蓋整個基板表面，因此可以顯著節(jié)省材料，同時提高材料利 用效率。
以分辨率為1280x768的50寸等離子顯示屏為例，i殳上基才反尺 寸為1168x662mm,匯流電極的目標線條寬度為80|um。經(jīng)絲網(wǎng)印 刷的電極材料層的預(yù)定圖案選定為寬度為120|um,即在匯流電極線 條的兩側(cè)邊緣各多出20|um。對于此參數(shù)的電極線條，采用傳統(tǒng)的 絲網(wǎng)印刷感光性材料光刻的方法，電極材料的利用率約為18.6%，
6有大約81.4%的電極材料經(jīng)顯影后被去除。釆用本發(fā)明的電極制作 方法制作該匯流電纟及的話，材料的利用率可以:提高至約為70%。相 對與現(xiàn)有的電極制作方法，本發(fā)明的方法約可節(jié)省72.2%的電極材料。
盡管參照附圖描述了本發(fā)明的實施例，但是應(yīng)該理解，在不脫 離本發(fā)明的范圍和精神的情況下，相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)人員可作各種變 化和^多改，所有變化和l奮改均旨在^皮所附纟又利要求所包含。
權(quán)利要求
1.一種用于等離子顯示器的電極制作方法，所述等離子顯示器包括基板(10)及設(shè)置在所述基板(10)上的電極(40)，其特征在于，所述電極制作方法包括以下步驟在所述基板(10)上設(shè)置電極材料層(40’)，所述電極材料層(40’)具有對應(yīng)于所述電極的預(yù)定圖案；對形成有所述電極材料層(40’)的基板(10)進行曝光；對曝光后的基板(10)進行顯影；以及將顯影后的多余電極材料去除，形成所述電極(40)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極制作方法，其特征在于，通過絲網(wǎng) 印刷方法在所述基板(10)上設(shè)置電極材料層(40，)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極制作方法，其特征在于，所述電極 材料層(40，)的預(yù)定圖案的尺寸大于所述電極(40)的尺寸。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極制作方法，其特征在于，所述電極 材料層(40，)為感光性材料。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極制作方法，其特征在于，所述電極 制作方法用于制作匯流電極、尋址電才及和黑條電極。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種用于等離子顯示器的電極制作方法，所述等離子顯示器包括基板及設(shè)置在所述基板上的電極，其中，所述電極制作方法包括以下步驟在所述基板上設(shè)置電極材料層，所述電極材料層具有對應(yīng)于所述電極的預(yù)定圖案；對形成有所述電極材料層的基板進行曝光；對曝光后的基板進行顯影；以及將顯影后的多余電極材料去除，形成所述電極。根據(jù)本發(fā)明的用于等離子顯示器的電極制作方法節(jié)省電極材料，提高電極材料利用率，并且制成的電極精度高，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量。
文檔編號H01J9/02GK101685737SQ200810223459
公開日2010年3月31日 申請日期2008年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月28日
發(fā)明者超 陳 申請人:四川虹歐顯示器件有限公司