專利名稱：連續(xù)式燒成爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對等離子顯示面板(PDP， plasma display panel) 用玻璃基 一反等處理對象連續(xù)地進行均熱(soaking)處理、退火 (annealing)處理以及冷卻(cooling)處理的連續(xù)式燒成爐。
背景技術(shù)：
連續(xù)式燒成爐在爐內(nèi)具有加熱室和退火室，在爐外具有冷卻室。 從加熱室、經(jīng)退火室到冷卻室的區(qū)間，配置有連續(xù)拍《運處理對象的 搬運機構(gòu)?，F(xiàn)有技術(shù)中的連續(xù)式燒成爐，例如以等間隔地配置多個 輥子的輥道爐床(roller hearth)作為搬運機構(gòu)。多個輥子的兩端部均從爐和冷卻室的側(cè)壁上的貫通孔露到外部， 其露到外部的 一 側(cè)端部被供給驅(qū)動力而發(fā)生旋轉(zhuǎn)。作為處理對象的 玻璃基板，通過多個輥子的旋轉(zhuǎn)以載置于薄板狀托架上的狀態(tài)被搬運。作為一例，玻璃基板在加熱室內(nèi)被搬運期間，被升溫至500 ~ 600 。C并被保持規(guī)定的時間后(均熱處理)，在退火室內(nèi)被搬運期間，被降 溫至350 45(TC左右(退火處理)，在冷卻室內(nèi)被才般運期間，被迅速 冷卻到可取出的溫度(冷卻處理)(例如，參照日本發(fā)明專利公開公報 特開2003 - 148869)。此外，冷卻室具有水冷散熱片式冷卻器、風(fēng)機 過濾單元(以下，稱作FFU(fan filter unit))。水冷散熱片式冷卻器冷卻 處理對象。FFU確保處理對象通過區(qū)域的潔凈度。然而，現(xiàn)有技術(shù)中的連續(xù)式燒成爐的冷卻室具有的水冷散熱片式 冷卻器和FFU按各自的用途而分開設(shè)置，不能互相協(xié)助發(fā)揮作用。 此外，現(xiàn)有技術(shù)中的冷卻室不具有排氣機構(gòu)，而是使導(dǎo)入冷卻室內(nèi) 的冷卻空氣在與冷卻室內(nèi)的空氣、玻璃基板進行熱交換后，分別從在冷卻室的側(cè)壁上形成的供輥子用的多個貫通孔排出到外部。從FFU經(jīng)多個導(dǎo)入用通道局部地將外部氣體導(dǎo)入到冷卻室內(nèi)，此時，存在導(dǎo)入用通道附近玻璃基板上僅一部分被急速冷卻而導(dǎo)致局部產(chǎn) 生翹曲或變形的情況。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種連續(xù)式燒成爐，其在冷卻室內(nèi)設(shè)置有 排氣通道，可通過控制導(dǎo)入到冷卻室內(nèi)的冷卻空氣的流^^,高效地 冷卻玻璃基板等處理對象的整個表面，不會在處理對象上產(chǎn)生局部 的翹曲或變形，可在短時間內(nèi)實現(xiàn)冷卻處理。本發(fā)明的連續(xù)式燒成爐采用如下結(jié)構(gòu)，即，在將加熱后的處理對 象沿規(guī)定搬運方向搬入的冷卻室內(nèi)，在其同一個內(nèi)壁面上具有導(dǎo)入 通道和排氣通道。導(dǎo)入通道在與搬運方向垂直的方向的整個區(qū)域均 勻地噴出冷卻氣體。排氣通道在與搬運方向垂直的方向的整個區(qū)域 均勻地排出氣體。導(dǎo)入通道與排氣通道沿著搬運線路配置。在該結(jié)構(gòu)中，在冷卻室內(nèi)，在與搬運方向垂直的爐寬方向的整個 區(qū)域，均勻地形成沿著處理對象的搬運線路的冷卻氣體的流路。冷 卻氣體與冷卻室內(nèi)所朝i運的處理對象的整個表面均勻地接觸，使處 理對象的整個表面均勻地冷卻。在該結(jié)構(gòu)中，可將排氣通道配置在導(dǎo)入通道的沿搬運方向的上游 側(cè)。這樣，可使處理對象與冷卻氣體高效地接觸，可提高冷卻效率。此外，導(dǎo)入通道可朝向排氣通道的方向噴出冷卻氣體。這樣，可此外，導(dǎo)入通道和排氣通道可配置于冷卻室的上側(cè)的內(nèi)壁面上。 這樣，在輥道爐床式的連續(xù)式燒成爐中，對于載置于托架上的搬運 處理對象，使冷卻氣體與其上表面接觸來高效地對其冷卻。采用本發(fā)明，在冷卻室內(nèi)，在爐寬方向的整個區(qū)域，可均勻地形 成沿處理對象的搬運線路的冷卻氣體的流路。可使冷卻氣體與在冷 卻室內(nèi)搬運的處理對象的整個表面均勻地接觸，可均勻地冷卻處理對象的整個表面。由此，不會使處理對象產(chǎn)生局部的翹曲或變形， 可短時間內(nèi)實現(xiàn)冷卻處理。


圖1是表示本發(fā)明實施方式的連續(xù)式燒成爐的一例的側(cè)剖視圖。 圖2是上述連續(xù)式燒成爐的冷卻室的側(cè)剖視圖。圖3中，(A)是圖2中A-A位置的剖視圖，(B)是圖2中B-B 位置的剖視圖。
具體實施方式
以下，參照附圖詳細地說明本發(fā)明的具體實施方式
。圖1是表示 本發(fā)明實施方式的連續(xù)式燒成爐的 一 個例子的側(cè)剖視圖。連續(xù)式燒 成爐10,在爐11內(nèi)沿著搬運方向X具有第1加熱室12、第2加熱 室13和退火室14,并在位于退火室14的沿搬運方向X的下游側(cè)的 爐11的外面具有冷卻室15。第1加熱室12、第2加熱室13、退火 室14、冷卻室15內(nèi)，沿著沖般運方向X等間隔地配置有多個可轉(zhuǎn)動 的輥子16。第1加熱室12進行第1升溫處理和第1均熱處理，例如將處理 對象加熱至350°C ~ 400°C,維持該狀態(tài)20分鐘。第2加熱室13進 行第2升溫處理和第2均熱處理，例如將處理對象加熱至600°C，維 持該狀態(tài)30分鐘。退火室14進行退火處理，例如用40分鐘將處理 對象冷卻至400。C。冷卻室15進行冷卻處理，例如用大約50分鐘將 處理對象冷卻至常溫。穿過爐11和冷卻室15側(cè)壁的多個壽昆子16的兩端部一皮/人外部回 轉(zhuǎn)支承。多個輥子16在一端被供給驅(qū)動力而旋轉(zhuǎn)，沿著搬運方向X 搬運由托架200的上表面承載的玻璃基板等處理對象100。圖2是上述連續(xù)式燒成爐的冷卻室的側(cè)剖視圖。圖3中，(A)是 圖2中A-A處的剖;f見圖，(B)是圖2中B-B處的剖-現(xiàn)圖。冷卻室 15具有導(dǎo)入通道1和排氣通道2。導(dǎo)入通道1和排氣通道2,例如在冷卻室15的上側(cè)的內(nèi)壁面15A上開口。在冷卻室15的上壁配置有未圖示的水冷套，在上側(cè)的內(nèi)壁面 15A突出設(shè)置多個水冷散熱片15B。作為水冷套的一例，采用流通 冷卻水的銅管在繞成線圈狀的狀態(tài)下由導(dǎo)熱水泥(cement)埋設(shè)于 不銹鋼制(SUS)的隔焰爐內(nèi)。水冷散熱片15B以長度方向平行于 搬運方向X的方式配置，促進冷卻室15內(nèi)的空氣與水冷套內(nèi)的冷卻 水進4于熱交才灸。圖2所示的例子中，具有多對導(dǎo)入通道1和排氣通道2。在各對 導(dǎo)入通道1和排氣通道2中，例如排氣通道2配置于導(dǎo)入通道1的 沿拍i運方向X的上游側(cè)。導(dǎo)入通道1具有過濾器17和風(fēng)向板18。導(dǎo)入通道1供給來自未 圖示的高壓潔凈空氣、潔凈干燥空氣(CDA, clean dry air)或者鼓風(fēng)機 的空氣。過濾器17除去通向下方的空氣中的塵埃。風(fēng)向板18使來 自導(dǎo)入通道1的空氣的噴出方向朝向搬運方向X的上游側(cè)。供給至導(dǎo)入通道l的空氣，經(jīng)過濾器17除去塵埃后，在冷卻室 15內(nèi)向搬運方向X的上游側(cè)噴出。導(dǎo)入通道1在冷卻室15內(nèi)與搬 運方向X垂直的爐寬方向Y的大致整個區(qū)域上開口 ，并在爐寬方向 Y的大致整個區(qū)域均勻地噴出空氣。排氣通道2具有風(fēng)扇21。風(fēng)扇21將冷卻室15內(nèi)的空氣經(jīng)排氣 通道2排出至外部。排氣通道2在冷卻室15內(nèi)爐寬方向Y的大致整 個區(qū)域上開口 ，將冷卻室15內(nèi)的空氣沿爐寬方向Y的大致整個區(qū)域 均勻地排出。從導(dǎo)入通道1所噴出的空氣，沿著處理對象100的上表面向拍殳運 方向X的上游側(cè)流動。排氣通道2主要將處理對象100的上方的空 氣排出至外部。由此，從導(dǎo)入通道1噴出的空氣，沿著處理對象100的上表面向 才般運方向X的上游側(cè)流動，其大部分在與處理對象100熱交換后， ^皮排氣通道2排出至外部。在處理對象100的上方，從^般運方向X 的下游側(cè)向上游側(cè)，在爐寬方向Y的大致整個區(qū)域均勻地形成冷卻氣體的流路。在導(dǎo)入通道1和排氣通道2開口的內(nèi)壁面15A上突出設(shè)置有水 冷散熱片15B,從導(dǎo)入通道1導(dǎo)入的空氣的流路與水冷散熱片15B 的長度方向平行。導(dǎo)入的空氣，在流過處理對象100的上方時被水 冷散熱片15B冷卻，在由排氣通道2排出之前的時間里持續(xù)與處理 對象100進行熱交換。導(dǎo)入通道1和排氣通道2與水冷散熱片15B 共同作用，高效地冷卻處理對象100。在冷卻室15內(nèi)，處理對象100的整個上表面,皮冷卻氣體均勻地 冷卻。由此，不會使處理對象100產(chǎn)生翹曲或變形，可以短時間內(nèi) 冷卻處理對象100。由于冷卻氣體向與處理對象100的^般運方向相反的方向流動，因 此，可在冷卻氣體與處理對象100之間，從整體上有效地進行熱交 換，可通過冷卻氣體對處理對象100高效地進4亍冷卻。即便是不將處理對象100承載在托架200上而直接用輥子16進 行搬運的無托架式的連續(xù)式燒成爐，也同樣適用本發(fā)明。此外，導(dǎo)入通道1與排氣通道2間的在纟般運方向X上的間隔， 可根據(jù)處理對象100的長度、冷卻室15的長度等適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。未必 一定要設(shè)置多對導(dǎo)入通道1和排氣通道2。冷卻室15內(nèi)配置導(dǎo)入通道1和排氣通道2的表面，并不限于上 側(cè)的內(nèi)壁面15A，只要導(dǎo)入通道1及排氣通道2滿足在同一個表面 上，亦可將它們配置于其它表面上。然而，若考慮到與水冷散熱片 15B的共同作用，和對于在輥子16上搬運的處理對象100的冷卻效 率，則將導(dǎo)入通道1和排氣通道2配置在上側(cè)的內(nèi)壁面15A上是最 有效的。此外，應(yīng)該i人為上述實施方式的說明中，所有方面均為例示，并 非為限定的內(nèi)容。本發(fā)明的保護范圍，并非由上述實施方式表示， 而是以權(quán)利要求書為依據(jù)。此外，本發(fā)明的保護范圍應(yīng)當(dāng)嚢括與權(quán) 利要求書等同的意思和范圍內(nèi)的所有變化。
權(quán)利要求
1.一種連續(xù)式燒成爐，其具有加熱后的處理對象被沿著規(guī)定搬運方向送入的冷卻室，其特征在于，上述冷卻室在同一個內(nèi)壁面上沿上述搬運方向所在線路具有在與上述搬運方向垂直的方向的整個區(qū)域均勻地噴出冷卻氣體的導(dǎo)入通道，以及將上述冷卻室內(nèi)的氣體在與上述搬運方向垂直的方向的整個區(qū)域均勻地排出的排氣通道。
2. 如權(quán)利要求1所述的連續(xù)式燒成爐，其中， 上述排氣通道配置于上述導(dǎo)入通道的沿上述搬運方向的上游側(cè)。
3. 如權(quán)利要求2所述的連續(xù)式燒成爐，其中， 上述導(dǎo)入通道在上述冷卻室內(nèi)朝上述排氣通道的方向噴出冷卻氣體。
4. 如權(quán)利要求1所述的連續(xù)式燒成爐，其中， 上述導(dǎo)入通道在上述冷卻室內(nèi)朝上述排氣通道的方向噴出冷卻氣體。
5. 如權(quán)利要求1至4的任意一項所述的連續(xù)式燒成爐，其中， 上述導(dǎo)入通道和上述排氣通道位于上述冷卻室的上側(cè)的內(nèi)壁面。
全文摘要
本發(fā)明提供一種連續(xù)式燒成爐。該連續(xù)式燒成爐可對玻璃基板等處理對象的整個外表面高效地進行冷卻，不在處理對象上產(chǎn)生局部翹曲或變形，減少冷卻處理時間。在連續(xù)式燒成爐(10)的冷卻室(15)設(shè)有導(dǎo)入通道(1)和排氣通道(2)。導(dǎo)入通道和排氣通道在冷卻室的上側(cè)的內(nèi)壁面(15A)上在爐寬方向(Y)的大致整個區(qū)域開口。導(dǎo)入通道以朝向搬運方向(X)的上游側(cè)的方式噴出空氣。排氣通道在導(dǎo)入通道的沿搬運方向(X)的上游側(cè)，排出冷卻室內(nèi)的空氣。在輥子(16)上搬運的處理對象(100)的上方，在爐寬方向(Y)的大致整個區(qū)域均勻地形成有冷卻的外部氣體的流路。處理對象的整個上表面與空氣均勻地接觸。
文檔編號H01J11/22GK101265021SQ20071018760
公開日2008年9月17日 申請日期2007年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月15日
發(fā)明者山本章仁 申請人:光洋熱系統(tǒng)株式會社