專利名稱：布線板、電子源以及圖像顯示設(shè)備的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及布線板的制造方法、電子源的制造方法、圖像顯示設(shè) 備的制造方法以及圖像再現(xiàn)設(shè)備。
背景技術(shù)：
在使用電子發(fā)射器件的平板顯示器中，電壓被選擇性地施加到在 排列成矩陣形式的多個(gè)布線(矩陣布線)的每個(gè)相交處或相交處附近 提供的電子發(fā)射器件上，以控制每個(gè)電子發(fā)射器件的電子發(fā)射并顯示 圖像。矩陣布線由被供以掃描信號(hào)的掃描布線和與掃描布線相交的并 被供以調(diào)制信號(hào)的信號(hào)布線構(gòu)成。近些年來(lái)， 一直需要能夠顯示高精 細(xì)圖像的顯示器。因而，在需要形成更細(xì)的布線的同時(shí)，需要增加布 線的膜厚，以避免由于要形成更細(xì)的布線的趨勢(shì)而使得布線的電阻增 加。此外， 一直需要能夠更容易生產(chǎn)的顯示器。
作為對(duì)應(yīng)于這些要求的一種解決方案，日本專利申請(qǐng)待審公開
No.2002 — 203475和日本專利申請(qǐng)待審公開No. 2005 — 190769披露了 一種方案，其中，利用被設(shè)置在基板表面中提供的槽內(nèi)的導(dǎo)電骨，借 助于烘焙使布線掩埋在槽內(nèi)，并和被提供在槽附近的電子發(fā)射器件相 連。
不過(guò)，在提供在基板表面的槽內(nèi)印刷導(dǎo)電骨(含有布線材料的骨) 并對(duì)其烘焙而在槽內(nèi)提供布線的方法中，有時(shí)由于在烘焙時(shí)布線材料 被烘焙而收縮，在布線和槽的內(nèi)壁之間產(chǎn)生間隙。當(dāng)間隙產(chǎn)生時(shí)，有 時(shí)在被提供在槽附近的基板表面上的電極(連接到電子發(fā)射器件的電 極或構(gòu)成電子發(fā)射器件的電極)和槽內(nèi)的布線之間的連接的可靠性降 低。當(dāng)為了減少間隙而把槽用導(dǎo)電骨完全充滿時(shí)，如果溫度發(fā)生顯著
改變，有時(shí)在槽內(nèi)帶電的布線由于在基板材料和布線材料之間的熱膨 脹系數(shù)不同而使得槽的內(nèi)壁膨脹，因此在基板內(nèi)產(chǎn)生裂縫或縫隙。需 要改善在位于槽附近的基板表面上被提供的電極和被提供在槽內(nèi)的布 線之間的連接可靠性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種布線板的制造方法，其中在槽內(nèi)提供 的布線和位于槽附近的基板表面上提供的電極之間的連接的可靠性被 改善。
(1) 為實(shí)現(xiàn)上述目的，按照本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種制
造布線板的方法，所述布線板包括(A)具有槽和與槽相鄰的相鄰 區(qū)域的基板，以及(B)具有第一部分和從第一部分延伸的第二部分 的第一布線，所述第一部分被提供在所述槽內(nèi)的第一區(qū)域內(nèi)，所述第 二部分被提供在作為相鄰區(qū)域的一部分的第二區(qū)域內(nèi)，所述方法包括 以下步驟制備具有槽的基板；使得作為相鄰區(qū)域的另一部分的第三 區(qū)域的圍繞所述第二區(qū)域以及所述槽的接觸角不同于第二區(qū)域的接觸 角；以及，至少對(duì)槽的內(nèi)部和與槽相鄰的區(qū)域的一部分施加導(dǎo)電骨。
(2) 按照本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供一種制造布線板的方法， 所述布線板包括(A)具有槽和與槽相鄰的相鄰區(qū)域的基板，以及
(B)具有第一部分和從第一部分延伸的第二部分的第一布線，所述 第一部分被提供在所述槽內(nèi)的第一區(qū)域內(nèi)，所述笫二部分被提供在作 為相鄰區(qū)域的一部分的第二區(qū)域內(nèi)，所述方法包括以下步驟制備具 有槽的基板；使得作為相鄰區(qū)域的另一部分的第三區(qū)域的夾住第二區(qū) 域的接觸角不同于第二區(qū)域的接觸角；以及，至少對(duì)槽的內(nèi)部和與槽 相鄰的區(qū)域的一部分施加導(dǎo)電骨。
(3) 按照本發(fā)明的另一方面，提供一種制造電子源的方法， 所述電子源包括具有第一布線和第二布線的布線板；以及多個(gè)電子 發(fā)射器件，它們被設(shè)置在所述布線板上，并具有和第一布線相連的第 一電極以及和第二布線相連的第二電極，其中所述布線板按照上面(l)
和(2)中所述的制造布線板的方法被制造。
(4) 按照本發(fā)明的另一方面，提供一種圖像顯示設(shè)備的制造 方法，所述圖像顯示設(shè)備包括電子源和發(fā)光部件，當(dāng)從所述電子源發(fā) 出的電子被輻射時(shí)，所述發(fā)光部件發(fā)光，其中所述電子源按照上面(3) 中所述的制造電子源的方法制造。
(5) 按照本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供一種圖像再現(xiàn)設(shè)備，其 至少包括接收單元，用于接收廣播信號(hào)和通過(guò)電通信網(wǎng)絡(luò)的信號(hào)中至 少之一，以及包括和所述接收單元相連的圖像顯示單元，其中所述圖 像顯示單元按照上面(4)中所述的制造圖像顯示設(shè)備的方法被制造。
因而，可以容易地以高可靠性實(shí)現(xiàn)在槽內(nèi)提供的布線和位于槽附 近的基板表面上提供的電極之間的連接。


圖l是使用本發(fā)明的布線板和電子發(fā)射器件的電子源的例子的示 意平面圖2是沿著圖1的線A-A取的示意截面圖3是沿著圖1的線B-B取的示意截面圖4A，4B是在導(dǎo)電骨干燥之后的示意平面圖和示意截面圖5A，5B是在導(dǎo)電骨被烘焙之后的示意平面圖和示意截面圖6是按照印刷方法形成的電極和布線的示意截面圖7是按照印刷方法形成的電極和布線的示意截面圖8是按照本發(fā)明的TV單元的方框圖；以及
圖9A-9H表示本發(fā)明的布線板和電子源的制造過(guò)程。
具體實(shí)施例方式
下面參照?qǐng)D9說(shuō)明本發(fā)明的布線板(具有布線的基板)的制造方 法。也將說(shuō)明將所述布線板應(yīng)用于電子源的例子。圖9表示布線板和 電子源的制造過(guò)程。
這里示出了使用表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射器件作為電子發(fā)射器件的例有間隙的導(dǎo)電膜以及和所述導(dǎo)電膜的 兩端相連的一對(duì)電極構(gòu)成。電子發(fā)射器件至少具有兩個(gè)電極，例如場(chǎng)
致發(fā)射電子發(fā)射器件、MIM型電子發(fā)射器件可以用作本發(fā)明的電子 源?？砂凑毡景l(fā)明的制造方法形成的布線板可以應(yīng)用于各種顯示器和 顯示板，例如液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器和等離子體顯示器。如果 任何功能器件例如上述的電子發(fā)射器件、EL器件、TFT被設(shè)置在本 發(fā)明的布線板上并和第一導(dǎo)體相連，則可以構(gòu)成各種電子裝置例如顯 示器和電路。
<布線板和電子源的制造方法> (處理l)
首先，制備基板l，并在基板1的表面的預(yù)定位置形成沿X方向 延伸的多個(gè)槽2(圖9A)。雖然所示的X方向是相對(duì)于圖9的紙面的 左右方向，但是槽2也可以沿垂直方向(Y方向)形成。即，槽的延 伸方向可以是任何預(yù)定方向。
作為基板1的材料，可以使用任何絕緣材料，特別優(yōu)選的是玻璃。 當(dāng)然，允許使用配備有槽2的基板。
雖然已知的方法例如濕式蝕刻或千式蝕刻可以用作槽2的形成方 法，優(yōu)選的是使用噴砂方法。因?yàn)槔脟娚胺椒ㄐ纬傻牟?的內(nèi)壁具 有大的不平衡性，可以有效地用導(dǎo)電骨填充槽2。此外，還因?yàn)榭梢?抑制在布線4和在隨后的烘焙處理中獲得的槽2的內(nèi)壁之間的干擾(發(fā) 生應(yīng)力等)，所以該方法是優(yōu)選的。 (處理2)
在位于槽2旁邊(鄰近于槽2)的基板l的表面(區(qū)域)上，提 供成對(duì)的電極第一電極91和第二電極92 (圖9B)。
作為電極91、 92的材料，可以使用任何導(dǎo)電材料。例如，作為 電極91、 92的材料，可以使用金屬材料。特別地，最好使用化學(xué)穩(wěn)定 的金屬材料，例如鉑。作為成對(duì)電極的制造方法，可以使用公知的膜 形成方法，例如濺射方法。
在處理2之前，優(yōu)選由氧化硅構(gòu)成的膜被提供在基板1的表面上， 至少在要設(shè)置電子發(fā)射器件的區(qū)域?？梢栽谛纬苫?的槽2的整個(gè) 表面上形成所述的膜?？梢酝ㄟ^(guò)濺射方法等形成氧化硅膜。通過(guò)形成 氧化硅膜，可以阻止堿金屬例如對(duì)形成在成對(duì)電極91、 92上的電子發(fā) 射器件有害的鈉從基板l擴(kuò)散。同時(shí)，可以省略形成氧化硅膜的處理。
(處理3)
接著，第二區(qū)域712 (其中提供從布線的主要部分(布線的第一 部分)延伸的部分(布線的第二部分)5,第二區(qū)域是和槽2相鄰的區(qū) 域(第一區(qū)域711)的一部分)的接觸角，被設(shè)置成和與槽2相鄰的 區(qū)域的另一部分(其中不提供布線(第一部分4和第二部分5)的區(qū) 域)720的夾住第二區(qū)域712的接觸角不同。更具體地說(shuō)，其中提供 笫二部分5的區(qū)域712的接觸角被設(shè)置成小于部分720的接觸角，部 分720是除去槽2之外的基板1的表面，并且其中不提供布線的第二 部分5 (第二部分5周圍的區(qū)域)(圖9C)。優(yōu)選地，在構(gòu)成基板l 的表面的第一區(qū)域711和第二區(qū)域712之間的接觸角被設(shè)置得小于其 中不提供布線的第二部分5的區(qū)域(第二部分5周圍的區(qū)域或第三區(qū) 域)720的接觸角。特別優(yōu)選地，構(gòu)成基板1的表面的第一區(qū)域711 和第二區(qū)域712的接觸角被設(shè)置得相等。作為一個(gè)實(shí)際值的例子，在 圖4B所示的例子中，其中形成布線的區(qū)域710(第一區(qū)域711和第二 區(qū)域712)的接觸角被設(shè)置為6度，而沒(méi)有形成布線的區(qū)域(3， 720) 的接觸角被設(shè)置為50度。上述的接觸角可被定義為用于形成布線(第 一部分4和第二部分5)的導(dǎo)電骨的溶劑(主要溶劑)相對(duì)于基板1 的接觸角。因?yàn)榈诙糠?在所示的例子中需要和電極91相連，所以 第二區(qū)域712包括電極91的一部分。這就是說(shuō)，在和第二部分5相連 的部分(由第二部分5的一部分覆蓋的部分)電極91的接觸角被設(shè)置 得小于其中不提供布線的第二部分5的區(qū)域(第二部分5周圍的區(qū)域 或第三區(qū)域)720的接觸角。優(yōu)選地，和第二部分5相連的電極91(由 第二部分5的一部分覆蓋的部分)的接觸角被設(shè)置得基本上等于第一 區(qū)域711的接觸角。
區(qū)域710是基板1的表面的一部分并配備有布線(第一部分4和
第二部分5),其至少由基本上對(duì)應(yīng)于槽2的內(nèi)部的第一區(qū)域711(提 供有布線的第一部分4的區(qū)域)和第二區(qū)域(提供有布線的第二部分 5的區(qū)域)712 (對(duì)應(yīng)于本發(fā)明的通路(passage)部分)構(gòu)成。雖然第 一區(qū)域711最好被設(shè)置為等于槽2的內(nèi)部，但是它們的尺寸可以略有 不同。在下一個(gè)處理中，對(duì)笫一區(qū)域711比對(duì)第二區(qū)域712供給(灌入) 更多的導(dǎo)電骨。因而，由于其自身的重量，導(dǎo)電骨自然地在槽2內(nèi)(在 第一區(qū)域711上)擴(kuò)散。為了使在第一區(qū)域711上自然擴(kuò)散的導(dǎo)電骨 選擇性地在基板1的第二區(qū)域712上擴(kuò)散，基板1的第二區(qū)域712的 接觸角 一般被設(shè)置得小于作為排除基板1的第一區(qū)域711和第二區(qū)域 的第三區(qū)域720的接觸角。雖然圖9C表示的例子是，基板l的表面 只由第一區(qū)域711、第二區(qū)域712和第三區(qū)域720構(gòu)成，但可以存在 其它區(qū)域。笫三區(qū)域720的作用是控制導(dǎo)電骨從第一區(qū)域711擴(kuò)散。 因而，第三區(qū)域720被這樣提供，使得導(dǎo)電骨被選擇性地從第一區(qū)域 711分支到第二區(qū)域712 (要規(guī)定導(dǎo)電骨的通路)。 一般地，導(dǎo)電貪的 粘度并不是這樣低。實(shí)際上，第三區(qū)域720被這樣提供，使得沿著與 其中布線的第二部分5從第一部分4分支并延伸的方向(圖9中的Y 方向)相交的方向(一般為垂直方向(圖9中的X方向))夾住第二 區(qū)域712。在本發(fā)明中，如圖9C所示，優(yōu)選地，第二區(qū)域712被第一 區(qū)域711 (或槽2)和第三區(qū)域720圍繞，以便嚴(yán)格地規(guī)定導(dǎo)電骨沿X 方向和Y方向的擴(kuò)散。換句話說(shuō)，按照本發(fā)明，優(yōu)選地，第一區(qū)域711 被第二區(qū)域712和第三區(qū)域720圍繞。在本發(fā)明中，優(yōu)選地，第一區(qū) 域(構(gòu)成基板l的表面同時(shí)構(gòu)成槽2的區(qū)域(被稱為"槽"))和第 二區(qū)域712 (構(gòu)成基板l的表面同時(shí)從槽2延伸的區(qū)域)被第三區(qū)域 720圍繞。結(jié)果，用于導(dǎo)電骨的通路被第三區(qū)域720這樣確定，使得 以高精度控制布線(4, 5)的圖案。為了連接被提供在基板1上和槽 2分開的電極91與在本例中所述的布線(4， 5)，優(yōu)選地，提供笫三 區(qū)域720，使得和電極91的一部分重疊。優(yōu)選地，上述的接觸角的值對(duì)應(yīng)于包含要在下一個(gè)處理4中被提
供在槽2內(nèi)的布線材料的導(dǎo)電骨的主要溶劑(溶劑)被合適地控制。 因?yàn)?一般使用有機(jī)溶劑作為導(dǎo)電骨的主要溶劑，所以具有低接觸角的 第二區(qū)域712可以認(rèn)為是比周圍的第三區(qū)域具有較高的親脂性(較低 的疏油性)的區(qū)域。在其中形成布線的區(qū)域710 (第一區(qū)域和第二區(qū) 域)和其中不形成布線的區(qū)域720 (第三區(qū)域)中，如果相對(duì)于導(dǎo)電 骨的主要溶劑的接觸角的差是20度到70度，則可以形成具有良好的 可再現(xiàn)性的布線。這個(gè)處理可以采用以下方法進(jìn)行。即，基板l內(nèi)具有槽2的整個(gè) 表面被涂覆具有疏油性的(非親脂性)硅烷偶聯(lián)劑(例如烷基硅烷偶 聯(lián)劑)。接著，在低壓汞燈(波長(zhǎng)254 nm )和基板1之間提供具有透 光部分和遮光部分的光掩模，并用紫外光照射基板1表面上的預(yù)定區(qū) 域(第一區(qū)域711和第二區(qū)域712)。結(jié)果，被紫外光照射的區(qū)域(第 一區(qū)域711和第二區(qū)域712)可被調(diào)整成為比未用紫外光照射的區(qū)域 具有較高親脂性的區(qū)域。此外，未被紫外光照射的區(qū)域可被調(diào)整為具 有比用紫外光照射的區(qū)域較高的疏油性的區(qū)域3 (720)。同時(shí)，用上 述方法形成的區(qū)域3可以通過(guò)在大氣中進(jìn)行加熱處理(例如后面說(shuō)明 的用于導(dǎo)電骨的烘焙處理)而被去除。形成導(dǎo)電骨被從第一區(qū)域711分支并流入其內(nèi)的第二區(qū)域712， 該區(qū)域是這樣形成的在基板l的表面內(nèi)形成要被變成用于導(dǎo)電骨的 通路的通路部分(第二區(qū)域712)的接觸角，所述接觸角和圍繞該通 路的圍繞部分720 (第三區(qū)域)的接觸角不同。此外，優(yōu)選地，第一 區(qū)域711由第三區(qū)域720圍繞。 (處理4)含有用于構(gòu)成布線的材料的導(dǎo)電骨被施加到槽(區(qū)域711)上， 并從第一區(qū)域711向第二區(qū)域712擴(kuò)散。然后使導(dǎo)電骨干燥并在空氣 中被烘焙以形成第一布線(圖9D)。第一布線含有被設(shè)置在槽2中的第一部分4和從槽2分支并從第 一部分4延伸到基板1的表面上的電極91上的第二部分5。在這個(gè)處 理中，第一電極91和第一布線相連。 作為上述的導(dǎo)電骨，優(yōu)選地使用含有構(gòu)成布線4的材料的大量顆 粒(導(dǎo)電顆粒)的導(dǎo)電骨。 一般地說(shuō)，使用有機(jī)溶劑作為上述顆粒的 溶劑，如上所述。同時(shí)，在本發(fā)明中使用的導(dǎo)電骨中的溶劑不限于有 機(jī)溶劑?？梢圆捎糜∷⒎椒ò褜?dǎo)電骨施加到槽2中。優(yōu)選地，使用銀顆粒 作為構(gòu)成布線的材料的顆粒。不過(guò)，也可以使用銀之外的其它金屬材 料。當(dāng)在槽2中施加導(dǎo)電骨時(shí)，最好這樣施加導(dǎo)電骨，使得其高出基 板l的表面(基板表面)。此后，使導(dǎo)電骨在常溫下保持一段時(shí)間， 以便其從第一區(qū)域711充分地?cái)U(kuò)散到第二區(qū)域712。導(dǎo)電骨從槽2(區(qū) 域711)向?qū)?dǎo)電骨的溶劑具有較高親和力的部分(第二區(qū)域712 )擴(kuò) 散。導(dǎo)電骨可被對(duì)所述溶劑具有較低親和力的部分(位于第二區(qū)域712 周圍的區(qū)域(包圍部分720))阻擋。同時(shí)，導(dǎo)電骨可以被第三區(qū)域 720阻擋，該第三區(qū)域720在要用導(dǎo)電骨填充的部分(第一區(qū)域711 中不與第二區(qū)域712接觸的部分)圍繞第一區(qū)域711和第二區(qū)域712。(處理5)接著，在作為布線(4, 5)的主體的部分(4)上形成絕緣層7 (圖9E )。絕緣層7被這樣提供，使得在布線(4, 5)和在下一個(gè)處理中形 成的布線8之間不會(huì)短路。雖然這里示出了絕緣層7被單獨(dú)提供在布 線4和布線8的每個(gè)相交處的例子，但絕緣層7可被提供使得沿著布 線4 (X方向)覆蓋布線4。絕緣層7可以通過(guò)印刷絕緣骨而被形成?？梢允褂酶泄獾慕^緣骨 作為印刷方法中使用的絕緣骨。借助于使用感光的絕緣骨，可以把絕 緣層7形成預(yù)定的圖案。作為絕緣層7的材料，可以使用玻璃例如氧化硅作為主體。 (處理6)接著，提供第二布線8 (圖9F)。在這個(gè)處理中，第二電極92和笫二布線8可以相連。第二布線8
可以類似于第一布線(4， 5)通過(guò)使用在預(yù)定位置印刷導(dǎo)電骨并烘焙 的方法而被提供。為了以小的寬度形成笫二布線8，允許采用以下方 法印刷具有感光性的導(dǎo)電骨作為導(dǎo)電骨，在以預(yù)定的圖案曝光之后， 進(jìn)行顯影和烘焙。雖然作為第二布線8的制造方法印刷方法是優(yōu)選的， 但是不限于這種方法，而可以采用公知的布線制造方法。在上述的處理中，確保了在第一布線U， 5)和第二布線8之間 的相交處的絕緣，可以形成具有低電阻以及在第一電極91與第一布線 (4， 5)之間的穩(wěn)定連接的矩陣布線。同時(shí)，雖然在第一電極和第二 電極2被提供之后形成第一布線(4， 5)，但是第一電極和第二電極 2也可以在第一布線(4, 5)形成之后被形成。此外，可以在進(jìn)行笫 三到第六處理之后進(jìn)行第二處理。即，雖然在第三處理之前進(jìn)行第二 處理比較容易，因而是優(yōu)選的，但是關(guān)于第一布線(4， 5)、絕緣層 7和第二布線8的處理，不限于任何特定的順序。 (處理7)當(dāng)表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射器件被形成時(shí)，隨后，提供導(dǎo)電膜10用于 在第一電極91和第二電極92之間進(jìn)行連接(圖9G)。雖然可以使用PdO膜或碳膜作為導(dǎo)電膜10，但導(dǎo)電膜10的材料 不限于此。考慮到電阻值，導(dǎo)電膜10的厚度最好在5 nm到100 nm 的范圍內(nèi)。(處理8)接著，在導(dǎo)電膜10中提供間隙11 (圖9H)。間隙11可以由當(dāng)在第一布線4和第二布線8之間重復(fù)地施加脈 沖電壓時(shí)向?qū)щ娔O饋入的電流所產(chǎn)生的焦耳熱來(lái)形成。優(yōu)選地，通過(guò)在含碳的環(huán)境中在第一布線4和第二布線8之間施 加脈沖電壓來(lái)進(jìn)行活化處理。借助于進(jìn)行活化處理，可以改善電子發(fā) 射特性。在活化處理中，提供具有比上述的間隙11小的間隙的碳膜、其中用上述方式設(shè)置矩陣形式的電子發(fā)射器件的電子源可以形 成一種優(yōu)良的電子源，其是高度精細(xì)的、特性改變小并且發(fā)射的電子 的軌道改變小。作為能夠使這種優(yōu)良的電子源得以形成的因素，可以 在槽2中提供具有大截面和低電阻的布線4，此外，其可被穩(wěn)定地連 接到電子發(fā)射器件的電極，使得可以減少提供給每個(gè)電子發(fā)射器件的 電壓的改變。此外，作為另一個(gè)因素，因?yàn)榭梢栽陬A(yù)先提供在基板1 中的槽2內(nèi)設(shè)置低電阻布線，所以可以容易地生產(chǎn)高精細(xì)的布線，此 外，因?yàn)閺牟季€的頂端到基板l的表面的距離可被抑制，所以可以抑 制布線對(duì)發(fā)射的電子的軌道的影響。同時(shí)，雖然在此具體示出了用于 形成電子源的處理，但至少執(zhí)行處理l、處理3和處理4以形成布線 板?？梢詰?yīng)用本實(shí)施例的電子發(fā)射器件包括使用碳纖維例如碳納米 管的場(chǎng)致發(fā)射電子發(fā)射器件和MIM型電子發(fā)射器件。 <圖像顯示設(shè)備>圖7表示具有其中以矩陣形式排列電子發(fā)射器件的電子源的圖像 顯示設(shè)備。X方向布線72相應(yīng)于上述的第一布線(4， 5) ， Y方向布線73 相應(yīng)于上述的第二布線8。 一對(duì)電極12， 13相應(yīng)于上述的第一電極91 和第二電極92。附圖標(biāo)記15相應(yīng)于具有間隙11的導(dǎo)電膜IO。電子發(fā) 射器件由一對(duì)電極12， 13和具有間隙的導(dǎo)電膜15構(gòu)成。后板71相應(yīng)于前述的基板1。附圖標(biāo)記86代表面板，其中在玻 璃基板83的表面上提供有發(fā)光層84 (相應(yīng)于發(fā)光部件)和陽(yáng)極電極 85，所述發(fā)光部件當(dāng)被電子束照射時(shí)發(fā)光。在后板71和面板86之間 提供支撐框架82。保持內(nèi)部為真空的容器88由后板71、面板86和支 撐框架82構(gòu)成。端子(Doxl-Doxm)被連接到每個(gè)X方向的布線， 端子(Doyl-Doyn )被連接到每個(gè)Y方向的布線73。要被連接到高壓 電源上的端子87被連接到陽(yáng)極電極85。扁平的平板顯示器101由這 種容器和驅(qū)動(dòng)電路(未示出)構(gòu)成。使用圖7所示的實(shí)施例的平板顯示器88可以構(gòu)成一種圖像再現(xiàn) 設(shè)備。更具體地說(shuō)，在接收單元(即用于選擇被接收的信號(hào)和選擇的信 號(hào)的調(diào)諧器)中包含的信號(hào)被輸出到顯示屏88，使得其在屏幕上被顯 示或再現(xiàn)。接收單元可以接收TV廣播等的廣播信號(hào)或者通過(guò)無(wú)線網(wǎng) 絡(luò)、電話網(wǎng)絡(luò)、數(shù)字網(wǎng)絡(luò)、模擬網(wǎng)絡(luò)或電通信網(wǎng)絡(luò)例如按照TCP/IP 協(xié)議連接的互聯(lián)網(wǎng)發(fā)送的信號(hào)。在上述選擇的信號(hào)中包含的信號(hào)指的 是視頻信號(hào)、字符信息和音頻信息中至少之一。信息顯示/再現(xiàn)單元例 如TV可以由這種配置構(gòu)成。當(dāng)然，如果廣播信號(hào)被編碼，則本發(fā)明 的圖像再現(xiàn)設(shè)備可包括解碼器。音頻信號(hào)被輸出到音頻再現(xiàn)裝置例如 被單獨(dú)提供的揚(yáng)聲器，并且和在顯示屏88上顯示的視頻信息或字符信 息同步地被再現(xiàn)。通過(guò)向顯示屏88輸出而在屏幕上顯示和/或再現(xiàn)視頻信息或字符 信息的方法可以按照下述方式執(zhí)行。首先，由接收的視頻信息或字符 信息產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于顯示屏88的每個(gè)像素的圖像信號(hào)。然后把產(chǎn)生的圖像 信號(hào)輸入到顯示屏88 (圖8的Cll)的驅(qū)動(dòng)電路(圖8的C12)。根 據(jù)對(duì)驅(qū)動(dòng)電路輸入的圖像信號(hào)控制由驅(qū)動(dòng)電路對(duì)顯示屏88內(nèi)的每個(gè) 電子發(fā)射器件施加的電壓，從而顯示圖像。<TV單元>圖8是按照?qǐng)D像再現(xiàn)設(shè)備的一個(gè)例子的TV單元的方塊圖。接收 電路(C20)由調(diào)諧器、解碼器等構(gòu)成，用于接收衛(wèi)星廣播、地面波等以 及通過(guò)無(wú)線網(wǎng)絡(luò)、電話線路、數(shù)字網(wǎng)絡(luò)、模擬網(wǎng)絡(luò)、電信線路例如按 照TCP/IP協(xié)議連接的互聯(lián)網(wǎng)的數(shù)據(jù)廣播的TV信號(hào)，并向I/F (接口 部分)(C30)輸出解碼的視頻數(shù)據(jù)。I/F部分(C30)把視頻數(shù)據(jù)轉(zhuǎn) 換成顯示單元的顯示格式，并把圖像數(shù)據(jù)輸出到顯示屏(Cll)。圖像顯 示單元(ClO)包括顯示屏(Cll)、驅(qū)動(dòng)電路(C12)和控制電路(C13)?？刂撇褕D像數(shù)據(jù)和各種控制信號(hào)輸出到驅(qū)動(dòng)電路(C12)。驅(qū)動(dòng)電路(C12) 根據(jù)輸入的圖像數(shù)據(jù)向顯示屏(C11)的每個(gè)布線7 (見圖7的 Doxl-Doxm，Doyl-Doyn)輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)，從而顯示TV圖像。接收電 路(C20)和I/F部分(C30)可作為機(jī)頂盒(STB)被包括在與圖像顯 示單元(C10)分離的單元內(nèi)，或者與圖像顯示單元(C10)被包含在同一 個(gè)殼體內(nèi)。
接口可被這樣構(gòu)成，使得能夠和圖像記錄單元或圖像輸出單元，例如打印機(jī)、數(shù)字?jǐn)z像機(jī)、數(shù)字照相機(jī)、硬盤驅(qū)動(dòng)器(HDD)以及數(shù)字 視頻盤(DVD)相連。這樣，記錄在圖像記錄單元上的圖像可被在顯示 屏(C11)上被顯示。此外，根據(jù)需要，可以構(gòu)成能夠處理在顯示屏(Cll) 上顯示的圖像并輸出到圖像輸出單元的圖像再現(xiàn)設(shè)備(例如TV)。這里說(shuō)明的圖像再現(xiàn)設(shè)備的配置是一個(gè)例子，可以根據(jù)本發(fā)明的 技術(shù)構(gòu)思在許多方面進(jìn)行修改。利用本發(fā)明的圖像再現(xiàn)設(shè)備，借助于 和TV會(huì)議系統(tǒng)或計(jì)算機(jī)相連，可以構(gòu)成多種圖^f象再現(xiàn)設(shè)備。<例子>下面說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例。已經(jīng)參照?qǐng)D9說(shuō)明了在笫一布線4的 一側(cè)上提供電子發(fā)射器件的例子。在本實(shí)施例中，將說(shuō)明在第一布線 4的兩側(cè)上提供電子發(fā)射器件的例子。在說(shuō)明制造過(guò)程時(shí)將適當(dāng)?shù)貐?看圖9。同時(shí)，使用玻璃基板l作為基板l。<例1>生產(chǎn)了圖l-5所示的基體玻璃基板。圖l是在本例中生產(chǎn)的電 子源玻璃基板的一部分的示意平面圖，圖2是沿圖1的線A-A取的示 意截面圖，圖3是沿圖1的B-B取的示意截面圖。首先制備玻璃基板l。在玻璃基板l上覆蓋干的膜抗蝕劑，只有 其中形成槽2的一部分抗蝕劑被熔化并形成保護(hù)模。接著，使用噴砂方法形成具有300微米槽寬和50微米槽深的槽2 (圖9A )。接著，剝除干膜抗蝕劑，然后，在整個(gè)玻璃基板表面上形成Si02膜。形成一對(duì)鉑電極(91， 92)(圖9B)。所述一對(duì)電極(91， 92) 對(duì)應(yīng)于圖1的附圖標(biāo)記9。使用疏油劑(烷基硅烷偶聯(lián)劑)在玻璃基板1的整個(gè)表面內(nèi)形成 槽。借助于這個(gè)處理，玻璃基板ll的表面對(duì)于丁基醋酸卡必醇(butyl carbitol acetate) (BCA)的接觸角是50度。接著，在玻璃基板1和具有透光部分和遮光部分的光掩模之間進(jìn) 行定位，并使用低壓汞燈(波長(zhǎng)254 nin)投射紫外光。即，對(duì)應(yīng)于槽 2的第一區(qū)域711和第二區(qū)域712被紫外光照射，從而改變相對(duì)于作 為基板l的其它區(qū)域的第三區(qū)域720的親脂性(其它部分仍然具有疏 油性)(圖4,圖9C)。在未被紫外光照射的區(qū)域內(nèi)形成疏油圖案3。 同時(shí)，第二區(qū)域712包括電極9的一部分。位于被紫外光照射的區(qū)域(第一和第二區(qū)域)中的疏油劑被溶解。 由于疏油劑的溶解而形成的親脂區(qū)域(711， 721)相對(duì)于BCA的接 觸角被變成6度，在疏油區(qū)域720和親脂區(qū)域(711， 712)之間提供 了大于40度的接觸角差(圖4A，4B )。接著，按照絲網(wǎng)印刷方法印刷導(dǎo)電貪4 (銀骨(其含有0.3 wt% 的玻璃粉成分，以丁基醋酸卡必醇為主要溶劑))，以使其被滴入槽 2內(nèi)。此時(shí)，其被這樣注入，使得其從玻璃基板l的表面膨出70微米。 此后，把該玻璃基板在常溫下保持20分鐘，以使得導(dǎo)電骨4在第一區(qū) 域711和第二區(qū)域712上充分?jǐn)U散(圖4B )。因?yàn)閷?dǎo)電骨在具有高的親脂性的區(qū)域(711， 712)上擴(kuò)散，所以 導(dǎo)電骨便這樣流動(dòng)，以致其延伸到電極9。當(dāng)導(dǎo)電骨達(dá)到具有低親脂 性的區(qū)域720的邊界時(shí)，導(dǎo)電骨便被那個(gè)部分阻擋，從而電極9的一 部分被導(dǎo)電貪覆蓋。接著，在溶劑被干燥之后，借助于在空氣中烘焙形成和電極9相 連的、相對(duì)于玻璃基板表面基本上平的第一布線(4, 5)(對(duì)應(yīng)于掃 描布線)(圖5,圖9D)。圖案3 (疏油劑)可以通過(guò)在空氣中烘焙 被去除。其中混合有感光材料的絕緣骨被施加于玻璃基板l的整個(gè)表面， 使用光刻方法在第一布線U， 5)上形成絕緣層7 (圖9E)。接著，通過(guò)按照印刷方法進(jìn)行涂覆并烘焙，使用和用于形成第一 布線(4， 5)的導(dǎo)電骨相同的導(dǎo)電骨形成第二布線8 (對(duì)應(yīng)于信號(hào)布 線)，從而制成了具有矩陣布線的布線基板(圖9F)。雖然在槽2和第一布線之間產(chǎn)生了 7微米的間隙6，但是在電極 9和布線(4， 5)之間的連接狀態(tài)是優(yōu)異的。
在按照噴墨方法施加含鈀的有機(jī)溶液以便連接一對(duì)電極9之后， 借助于熱處理形成由氧化鈀(PdO)構(gòu)成的導(dǎo)電膜IO。此后，借助于在第一布線和第二布線之間重復(fù)地施加脈沖電壓， 在導(dǎo)電膜10的一部分中產(chǎn)生間隙11。隨后，通過(guò)在含碳的環(huán)境中在 第一布線4和第二布線8之間重復(fù)地施加脈沖電壓進(jìn)行活化處理，形 成電子源(圖9H)。作為驅(qū)動(dòng)按照本實(shí)施例生產(chǎn)的電子源的結(jié)果，可以獲得長(zhǎng)期穩(wěn)定 的并且電子發(fā)射特性變化小的電子源。<例2>槽2的形成、電極9的形成以及疏油圖案的形成以和第一例相同 的方式被進(jìn)行，并且借助于絲網(wǎng)印刷方法印刷導(dǎo)電骨(Ag骨(玻璃粉 成分為1.0 wt%),按照第一例在烘焙時(shí)具有小的收縮量)，以使其 滴入槽2中。當(dāng)對(duì)槽2施加導(dǎo)電骨時(shí)，導(dǎo)電骨被這樣施加，使得考慮到由烘焙 Ag材料而產(chǎn)生的收縮，在烘焙之后相對(duì)玻璃基板1的表面導(dǎo)電貪膨出 20微米或基本上是平的。接著，在溶劑干燥之后，玻璃基板l在空氣中被烘焙，從而制成 相對(duì)于玻璃基板1的表面基本上平的第一布線(4， 5)(圖6)。結(jié) 果，可以改善在被提供在位于槽附近的玻璃基板表面上的電極和提供 在槽內(nèi)的布線之間的連接的可靠性。以和第一例相同的方式進(jìn)行隨后的處理，從而制成和矩陣布線相 連的電子源。雖然由于烘焙Ag材料產(chǎn)生收縮使得在槽2的內(nèi)壁和第一布線之 間產(chǎn)生2微米的間隙6，但在電極9和第一布線(4, 5)之間的連接 是優(yōu)異的。提供間隙6可以阻止在玻璃基板1中發(fā)生裂縫或裂隙。然后，通過(guò)對(duì)著用這種方式生產(chǎn)的電子源設(shè)置包括熒光膜84和 金屬背85的面板86，制成由圖7所示的顯示屏構(gòu)成的圖像顯示單元。 通過(guò)對(duì)每條信號(hào)布線(第二布線8 )和每條掃描布線(第一布線4 )合 適地施加預(yù)定電壓來(lái)顯示圖像，可以獲得長(zhǎng)期穩(wěn)定的圖像，此外，當(dāng) 在制造或者施加驅(qū)動(dòng)而生熱時(shí)，沒(méi)有掃描線從玻璃基板l剝離，或者 在玻璃基板1的表面內(nèi)未產(chǎn)生細(xì)的裂縫，因而在每個(gè)電子發(fā)射器件和 布線之間的連接是穩(wěn)定的。如上所述，按照本實(shí)施例，在提供在基板l的槽2內(nèi)的第一布線 4和在槽2附近設(shè)置的電極9之間的連接可被穩(wěn)定地形成，按照材料 和處理，可以用低成本制成高精細(xì)的矩陣布線結(jié)構(gòu)，并且可以容易地 制成極好的平板顯示器。雖然參照示例的實(shí)施例說(shuō)明了本發(fā)明，應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明不限于 所披露的示例的實(shí)施例。下面的權(quán)利要求的范圍應(yīng)當(dāng)給予最寬的解釋， 使得包括所有的這種改型、等同結(jié)構(gòu)和功能。本申請(qǐng)要求2006年7月10日申請(qǐng)的，申請(qǐng)?zhí)枮?006- 189282 的日本專利申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)，該專利申請(qǐng)引用在本說(shuō)明書中作為參考。
權(quán)利要求
1.一種制造布線板的方法，所述布線板包括(A)具有槽和與槽相鄰的相鄰區(qū)域的基板，以及(B)具有第一部分和從第一部分延伸的第二部分的第一布線，所述第一部分被提供在所述槽中的第一區(qū)域內(nèi)，所述第二部分被提供在作為相鄰區(qū)域的一部分的第二區(qū)域內(nèi)，所述方法包括以下步驟制備具有槽的基板；使得作為相鄰區(qū)域的另一部分的第三區(qū)域的圍繞所述第二區(qū)域以及所述槽的接觸角不同于第二區(qū)域的接觸角；以及至少對(duì)槽的內(nèi)部和相鄰區(qū)域的一部分施加導(dǎo)電膏。
2. —種制造布線板的方法，所述布線板包括(A)具有槽和與 槽相鄰的相鄰區(qū)域的基板，以及(B)具有第一部分和從第一部分延 伸的第二部分的第一布線，所述第一部分被提供在所述槽中的第一區(qū) 域內(nèi)，所述第二部分被提供在作為相鄰區(qū)域的一部分的第二區(qū)域內(nèi)，所述方法包括以下步驟 制備具有槽的基板；使得作為相鄰區(qū)域的另一部分的第三區(qū)域的夾住第二區(qū)域的接 觸角不同于第二區(qū)域的接觸角；以及至少對(duì)槽的內(nèi)部和相鄰區(qū)域的一部分施加導(dǎo)電骨。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的制造布線板的方法，其中所述相鄰區(qū)域相對(duì)于槽是平坦的。
4. 如權(quán)利要求1或2所述的制造布線板的方法，還包括在對(duì)槽的 內(nèi)部和相鄰區(qū)域的一部分施加導(dǎo)電骨之前在相鄰區(qū)域中提供電極的步 驟，其中導(dǎo)電骨覆蓋所述電極的至少一部分。
5. 如權(quán)利要求1或2所述的制造布線板的方法，其中所述接觸角 相對(duì)于導(dǎo)電骨的主要溶劑被限定，并且第二區(qū)域的接觸角小于第三區(qū) 域的接觸角。
6. 如權(quán)利要求1或2所述的制造布線板的方法，其中相對(duì)于導(dǎo)電 骨的主要溶劑，第二區(qū)域的接觸角和第三區(qū)域的接觸角之間的差為20 度到70度。
7. 如權(quán)利要求1或2所述的制造布線板的方法，還包括以下步驟 提供位于第一布線上的并和第一布線相交的第二布線；以及 在第一布線和第二布線之間提供絕緣層。
8. —種制造電子源的方法，所述電子源包括具有第一布線和第二 布線的布線板，以及多個(gè)電子發(fā)射器件，它們被設(shè)置在所述布線板上，并具有和第一 布線相連的第一電極以及和第二布線相連的笫二電極，其中所述布線板按照權(quán)利要求7所述的制造布線板的方法被制造。
9. 一種圖像顯示設(shè)備的制造方法，所述圖像顯示設(shè)備包括電子源 和發(fā)光部件，當(dāng)從所述電子源發(fā)出的電子被輻射時(shí)，所述發(fā)光部件發(fā) 光，其中所述電子源按照權(quán)利要求8所述的制造電子源的方法被制造。
10. —種圖像再現(xiàn)裝置，至少包括接收設(shè)備，用于接收廣播信號(hào) 和通過(guò)電通信網(wǎng)絡(luò)的信號(hào)中至少之一，以及包括與所述接收設(shè)備相連 的圖像顯示設(shè)備，其中所述圖像顯示設(shè)備按照權(quán)利要求9所述的圖像 顯示設(shè)備的制造方法被制造。
全文摘要
本發(fā)明披露了一種制造布線板的方法，所述布線板包括 (A)具有槽和與槽相鄰的相鄰區(qū)域的基板，以及(B)具有第一部分和從第一部分延伸的第二部分的第一布線，所述第一部分被提供在所述槽內(nèi)的第一區(qū)域內(nèi)，所述第二部分被提供在作為相鄰區(qū)域的一部分的第二區(qū)域內(nèi)，所述方法包括以下步驟制備具有槽的基板；使得作為相鄰區(qū)域的另一部分的第三區(qū)域的圍繞所述第二區(qū)域以及所述槽的接觸角不同于第二區(qū)域的接觸角；以及至少對(duì)槽的內(nèi)部和相鄰區(qū)域的一部分施加導(dǎo)電膏。
文檔編號(hào)H01J1/316GK101106051SQ200710112278
公開日2008年1月16日 申請(qǐng)日期2007年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月10日
發(fā)明者守屋雅文, 石渡和也, 鈴木義勇 申請(qǐng)人:佳能株式會(huì)社