專利名稱：圖像顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使用了電子發(fā)射元件的圖像顯示裝置。
背景技術(shù)：
在平面基板上排列多個(gè)電子發(fā)射元件作為電子源并對作為對置基板上的圖像形成構(gòu)件的熒光體照射從電子源發(fā)射的電子束使熒光體發(fā)光來顯示圖像的平面顯示器中，必須使包含電子源和圖像形成構(gòu)件的真空容器的內(nèi)部保持為高真空。這是因?yàn)椋绻谡婵杖萜鲀?nèi)部產(chǎn)生氣體而壓力上升，則雖然其影響的程度隨氣體的種類而不同，但對電子源產(chǎn)生不良影響，使電子發(fā)射量下降，不能進(jìn)行明亮的圖像顯示。
特別是在平面顯示器中，圖像顯示構(gòu)件所產(chǎn)生的氣體在到達(dá)在圖像顯示區(qū)域外設(shè)置的吸氣劑之前聚集在電子源附近，局部壓力上升和伴隨于此的電子源性能惡化成為特征性的問題。在特開平9-82245號(hào)公報(bào)中，記載了在圖像顯示區(qū)域內(nèi)配置吸氣劑、立即吸附所產(chǎn)生的氣體以抑制元件的性能惡化或破壞。此外，在特開2000-133136號(hào)公報(bào)中示出了在圖像顯示區(qū)域內(nèi)設(shè)置非蒸發(fā)型吸氣劑并在圖像顯示區(qū)域外配置蒸發(fā)型吸氣劑的結(jié)構(gòu)。再者，如特開2000-315458中所示，考慮了在真空室內(nèi)用一系列的作業(yè)進(jìn)行脫氣、吸氣劑形成、封接(真空容器化)。
在吸氣劑中有蒸發(fā)型吸氣劑和非蒸發(fā)型吸氣劑，而蒸發(fā)型吸氣劑對水或氧的排氣速度非常大，但蒸發(fā)型吸氣劑和非蒸發(fā)型吸氣劑都幾乎沒有對氬(Ar)那樣的惰性氣體的排氣速度。氬氣體因電子束而被電離，成為正離子，該正離子在加速電子用的電場中被加速，通過與電子源碰撞，對電子源造成損傷。再者，氬離子根據(jù)情況有時(shí)在內(nèi)部產(chǎn)生放電，有時(shí)也破壞裝置。
另一方面，在特開平5-121012號(hào)公報(bào)中記載了將濺射離子泵連接到平面顯示器的真空容器上以長時(shí)間維持高真空的方法。但是，由于必須有強(qiáng)力的磁鐵，故顯示器的電子軌道因磁場而彎曲，有時(shí)對圖像產(chǎn)生影響。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這樣的課題而進(jìn)行的，其目的在于提供在使用了離子泵的情況下減少磁場的影響、因圖像形成區(qū)域內(nèi)的磁場的影響引起的亮度不勻減少了的、亮度的隨時(shí)間變化減少了的圖像顯示裝置及其制造方法。
本發(fā)明是一種具有真空容器的圖像顯示裝置，上述真空容器至少具有排列了多個(gè)電子發(fā)射元件的電子源基板和與該電子源基板對置地配置的、具有熒光膜和陽極電極膜的圖像形成基板而被形成，具備(a)具有離子泵框體和磁場形成單元的離子泵，上述離子泵框體通過在上述電子源基板和上述圖像形成基板的至少一方上設(shè)置了的連通口與上述真空容器連接并將內(nèi)部維持為減壓；以及(b)在該離子泵與上述電子發(fā)射元件連通了的空間內(nèi)設(shè)置了的第1磁屏蔽構(gòu)件。


圖1是示出本發(fā)明的圖像顯示裝置的1個(gè)形態(tài)的結(jié)構(gòu)剖面圖。
圖2A、2B-1和2B-2是示出第1磁屏蔽構(gòu)件的例子的圖。
圖3是應(yīng)用本發(fā)明的圖像顯示裝置的結(jié)構(gòu)概略圖。
圖4A和4B是說明電子源的圖。
圖5是說明成形(forming)、激活工序的圖。
圖6是進(jìn)行圖像顯示裝置的制造的真空處理裝置的結(jié)構(gòu)概略圖。
圖7是說明真空處理室中的烘焙、吸氣劑速吸、封接工序的圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明涉及一種具有真空容器的圖像顯示裝置，上述真空容器至少具有排列了多個(gè)電子發(fā)射元件的電子源基板和與該電子源基板對置地配置的、具有熒光膜和陽極電極膜的圖像形成基板而被形成，具備(a)具有離子泵框體和磁場形成單元的離子泵，上述離子泵框體通過在上述電子源基板和上述圖像形成基板的至少一方上設(shè)置了的連通口與上述真空容器連接并將內(nèi)部維持為減壓；以及(b)在該離子泵與上述電子發(fā)射元件連通了的空間內(nèi)設(shè)置了的第1磁屏蔽構(gòu)件。
在本發(fā)明中，最好將上述第1磁屏蔽構(gòu)件構(gòu)成為在上述真空容器與上述離子泵框體之間能實(shí)現(xiàn)氣體的流通。
按照本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，由于在電子發(fā)射元件與離子泵之間的真空中設(shè)置了磁屏蔽構(gòu)件，故能盡可能減少從安裝了離子泵框體的連通口及其附近漏泄的磁場對電子產(chǎn)生的影響。因而，可提供從電子發(fā)射元件朝向熒光體的電子軌道不彎曲的、幾乎沒有亮度的下降、離散性小的圖像顯示裝置。
此外，通過構(gòu)成為在真空容器與離子泵框體之間能實(shí)現(xiàn)氣體的流通，可得到由于離子泵產(chǎn)生的必要的排氣速度，可抑制元件特性的隨時(shí)間變化。
以下以附圖為參考，詳細(xì)地說明優(yōu)選的實(shí)施形態(tài)例。使用圖1至圖7說明本發(fā)明的圖像顯示裝置。在以下的說明中，將電子源基板作為背板、將圖像形成基板作為面板來說明。
<離子泵的磁屏蔽的說明>
圖1至圖3是示出本發(fā)明的圖像顯示裝置的結(jié)構(gòu)的概略圖的一例。如圖1中所示，背板101具有作為形成了在透明的玻璃基板的內(nèi)側(cè)形成的上布線102、下布線103和電子發(fā)射部的電子發(fā)射構(gòu)件的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件(電子源)120，面板201具有在透明的玻璃基板的內(nèi)側(cè)涂敷了的熒光體膜202、作為陽極電極膜的金屬背膜203和吸氣劑膜204，用熔接玻璃106將支撐框105連接到背板101上。用熔接玻璃106將離子泵209連接到背板101的排氣口107上，使用銦205等的金屬在真空中對支撐框105與面板201進(jìn)行加熱封接，構(gòu)成作為真空容器的外圍器。
離子泵209具有陽極電極108、陰極電極109、陽極連接端子110和陰極連接端子111，將這些部分固定并內(nèi)置于離子泵框體112的內(nèi)部，在框體112的外側(cè)具備磁鐵208。對陽極連接端子110和陰極連接端子111進(jìn)行布線連接，使其連接到離子泵驅(qū)動(dòng)用的離子泵電源207上。磁鐵208是磁場形成單元，在本例中使用了永久磁鐵，但也可使用電磁鐵那樣的磁場形成單元。
如圖1中所示，通常在離子泵框體的外部設(shè)置了磁場形成單元，進(jìn)而作為第2磁屏蔽構(gòu)件的屏蔽罩210包圍了其外側(cè)。屏蔽罩的底板211相當(dāng)于本發(fā)明的第1磁屏蔽構(gòu)件，與在真空容器(在本圖中是背板)中設(shè)置了的排氣用的連通口107連通，能實(shí)現(xiàn)氣體的流通，使其能發(fā)揮離子泵的功能。與連通口107連通的部位具有大于等于1個(gè)的流通口，以便能實(shí)現(xiàn)氣體的流通。在不妨礙磁屏蔽功能的范圍內(nèi)，而且只要能實(shí)現(xiàn)氣體的流通，該流通口可以是任何的形狀。作為流通口的形態(tài)，例如可舉出圖2A中示出的網(wǎng)格狀構(gòu)件221或圖2B-1中示出的條狀構(gòu)件222。為了確保充分的屏蔽能力和排氣能力，網(wǎng)格的開口間隔例如為0.1mm～5mm是較為理想的，0.5mm～3mm則更為理想。條的間隔例如為0.3mm～30mm是較為理想的，1mm～10mm則更為理想。此外，在厚度方向(圖2A、圖2B-1)上加厚網(wǎng)格狀構(gòu)件221或條狀構(gòu)件也是有效的，例如，0.3mm～30mm是較為理想的，1mm～10mm則更為理想。通過加厚厚度，可進(jìn)一步防止磁漏泄，也可增加開口率。特別是如(圖2B-2)那樣使條的間隔與厚度方向的厚度同等或比其短是較為理想的。例如，如果磁屏蔽能力約為-20dbV，則就可充分地使用。
作為第1磁屏蔽構(gòu)件的設(shè)置方法，可舉出如圖1和圖2A那樣密接地配置第1磁屏蔽構(gòu)件使其覆蓋流通口107、為了保持氣密而將沒有流通口的部分與流通口的周圍的真空容器粘接的方法。或者，如圖2B-1和圖2B-2所示那樣可將第1磁屏蔽構(gòu)件插入流通口107的孔內(nèi)，進(jìn)而也可超過背板或面板的厚度而到達(dá)真空容器的內(nèi)部。
這樣，對于第1磁屏蔽構(gòu)件來說，在平板的開口上設(shè)置網(wǎng)格狀構(gòu)件和條狀構(gòu)件那樣的具有流通口的構(gòu)件，在流通口的周邊將不是平板的開口的部分直接以氣密方式粘接到真空容器上，這樣做是較為理想的。
將作為第2磁屏蔽構(gòu)件的屏蔽罩構(gòu)成為減少來自磁場形成單元的磁場對于電子發(fā)射元件影響即可，除了板狀的材料外，即使是網(wǎng)格等具有流通性的材料，只要呈現(xiàn)必要的屏蔽效果，就可使用。在本發(fā)明的1個(gè)形態(tài)中，除了必要的部位外，利用第2磁屏蔽構(gòu)件與離子泵框體一起從外側(cè)覆蓋磁場形成單元的整體是較為理想的。
第2磁屏蔽構(gòu)件最好與第1磁屏蔽構(gòu)件粘接，特別是最好這2個(gè)磁屏蔽構(gòu)件合起來包圍磁場形成單元。
在較為理想的形態(tài)中，如圖1中所示，第1磁屏蔽構(gòu)件是屏蔽罩的底板，第2磁屏蔽構(gòu)件是屏蔽罩，將離子泵框體粘接到底板上，用屏蔽罩覆蓋離子泵框體和磁場形成單元，進(jìn)而連接屏蔽罩與底板。從磁的觀點(diǎn)來看，使屏蔽罩與底板接近或接觸以減少(較為理想的是沒有)磁漏泄即可。從機(jī)械的觀點(diǎn)來看，將其粘接起來進(jìn)行固定是較為理想的。在這樣的形態(tài)中，第1磁屏蔽構(gòu)件與第2磁屏蔽構(gòu)件合起來在空間上包圍磁場形成單元。在此所謂在空間上包圍，不一定意味著密閉地覆蓋，如上所述，對于第1磁屏蔽構(gòu)件來說，使用網(wǎng)格狀、條狀構(gòu)件，此外，作為第2磁屏蔽構(gòu)件，也有時(shí)使用網(wǎng)格狀材料等，總之，意味著用構(gòu)件包圍以減少磁漏泄。磁屏蔽的底板211可與離子泵209獨(dú)立地先接合到背板101等上，也可在底板上安裝了離子泵之后接合到背板等上，此外也可在同一工序中接合。
可從具有磁屏蔽作用的材料中適當(dāng)?shù)剡x擇構(gòu)成第1磁屏蔽構(gòu)件和第2磁屏蔽構(gòu)件的材料。第1磁屏蔽構(gòu)件如圖1那樣是底板的形態(tài)，在接合到真空容器上的形態(tài)時(shí)，在例如用熔接玻璃等的必須有高溫的作業(yè)的材料進(jìn)行接合時(shí)，耐熱性高的材料是較為理想的，例如可舉出坡莫合金。除此以外，也可使用電磁軟鐵板、電解鐵箔、硅鋼板、非晶態(tài)合金、納米結(jié)晶軟磁性材料等。在使用這些材料的情況下，最好使用在比較低的低溫下粘接的方法。
<圖像顯示裝置的整體說明>
其次，說明圖像顯示裝置。在圖3中，從容器外端子(未圖示)通過下布線103施加調(diào)制信號(hào)的輸入電壓，通過上布線102施加掃描信號(hào)的輸入電壓，用高壓端子Hv(未圖示)施加高壓來顯示圖像。用排氣口107將離子泵209與真空容器連接，通過用離子泵用驅(qū)動(dòng)用電源(未圖示)來驅(qū)動(dòng)，進(jìn)行放出氣體的排氣。在該圖中，120是作為電子源的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件，102、103是與表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件的一對元件電極連接了的上布線(Y方向布線)和下布線(X方向布線)。
圖4A是示出了在背板101上設(shè)置了的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件120和驅(qū)動(dòng)該電子源用的布線等的一部分的概略圖。在該圖中，103表示下布線，102表示上布線，401表示對上布線102與下布線103進(jìn)行電絕緣的層間絕緣膜。
圖4B放大了4B-4B的剖面示出圖4A的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件120的結(jié)構(gòu)，402、403是元件電極，405是導(dǎo)電性薄膜，404是電子發(fā)射部。
首先，敘述使用了表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件的圖像顯示裝置的例子。
在圖2A、2B-1、2B-2和圖3的結(jié)構(gòu)中，可使用鈉玻璃、硼硅酸玻璃、石英玻璃、在表面上形成了SiO2的玻璃基板和氧化鋁等的陶瓷基板等的絕緣性基板作為背板101，可使用透明的鈉玻璃等的玻璃基板作為面板201。
可使用一般的導(dǎo)電體作為表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件120的元件電極(相當(dāng)于圖4A和4B的402、403)的材料，例如，可從Ni、Cr、Au、Mo、W、Pt、Ti、Al、Cu、Pd等的金屬或合金和Pd、Ag、Au、RuO2、Pd-Ag等的金屬或金屬氧化物和玻璃等構(gòu)成的印刷導(dǎo)體、In2O3-SnO2等的透明導(dǎo)電體和多晶硅等的半導(dǎo)體材料等中適當(dāng)?shù)剡x擇。
關(guān)于元件電極的作成法，通過使用真空蒸鍍法、濺射法、化學(xué)氣相淀積法等，可對上述電極材料進(jìn)行成膜，利用光刻技術(shù)(也包含刻蝕、剝離等的加工技術(shù))加工為所希望的形狀，或利用其它的印刷法也可制作?？傊灰軐⑸鲜龅脑姌O材料形成為所希望的形狀，則可以是任何的制造方法。
圖4A中示出的元件電極間隔L為幾百nm至幾百μm是較為理想的。由于要求以良好的再現(xiàn)性來制作，故元件電極間隔L為幾μm至幾十μm則更為理想。元件電極長度W根據(jù)電極的電阻值、電子發(fā)射特性等為幾μm至幾百μm是較為理想的，此外，元件電極402、403的膜厚為幾十nm至幾μm是較為理想的。此外，不僅可作成圖4B中示出的結(jié)構(gòu)，而且也可作成在背板101上按導(dǎo)電性薄膜405、元件電極402、403的電極的順序形成了的結(jié)構(gòu)。
為了導(dǎo)電性薄膜405得到良好的電子發(fā)射特性，用微粒子構(gòu)成的微粒子膜特別理想，其膜厚由對元件電極402、403的臺(tái)階覆蓋性、元件電極402、403間的電阻值和后述的通電成形條件等來設(shè)定，但較為理想的是0.1nm至幾百nm，特別理想的是1nm至50nm。其電阻值Rs是102～107Ω/□的值。此外，Rs是將厚度為t、寬度為w、長度為l的薄膜的電阻R設(shè)置成R＝Rs(l/w)時(shí)呈現(xiàn)的量。
此外，構(gòu)成導(dǎo)電性薄膜405的材料可舉出Pd、Pt、Ru、Ag、Au、Ti、In、Cu、Cr、Fe、Zn、Sn、Ta、W、Pb等的金屬、PdO、SnO2、In2O3、PbO、Sb2O3等的氧化物、HfB2、ZrB2、LaB6、CeB6、YB4、GdB4等的硼化物、TiC、ZrC、HfC、TaC、SiC、WC等的碳化物、TiN、ZrN、HfN等的氮化物、Si、Ge等的半導(dǎo)體、碳等。
此外，在此敘述的所謂微粒子膜，是多個(gè)微粒子集合了的膜，作為其微細(xì)結(jié)構(gòu)，不僅指的是微粒子個(gè)別地分散配置的狀態(tài)，而且指的是微粒子互相鄰接或重疊的狀態(tài)(也包含島狀)的膜，微粒子的直徑為0.1nm至幾百nm，較為理想的是1nm至20nm。
關(guān)于導(dǎo)電性薄膜405的制作方法，在設(shè)置了元件電極402、403的背板101上涂敷有機(jī)金屬溶液，通過使其干燥，形成有機(jī)金屬薄膜。在此所說的所謂有機(jī)金屬溶液，指的是將形成上述的導(dǎo)電性薄膜405的金屬作為主元素的有機(jī)金屬化合物。
其后，對有機(jī)金屬薄膜進(jìn)行加熱燒固處理，利用剝離、刻蝕等進(jìn)行構(gòu)圖，形成導(dǎo)電性薄膜405。此外，作為導(dǎo)電性薄膜405的形成方法，利用有機(jī)金屬溶液的涂敷法進(jìn)行了說明，但不限于此，也有利用真空蒸鍍法、濺射法、化學(xué)氣相淀積法、分散涂敷法、浸漬法、旋轉(zhuǎn)涂敷法等來形成的情況。電子發(fā)射部404是在導(dǎo)電性薄膜405的一部分上形成的高電阻的龜裂，利用被稱為通電成形的處理來形成。通電成形是在元件電極402、403間從未圖示的電極進(jìn)行通電、使導(dǎo)電性薄膜405局部破壞、變形或變質(zhì)、使結(jié)構(gòu)變化來形成的方法。關(guān)于通電時(shí)的電壓波形，脈沖波形是特別理想的，有連續(xù)地施加脈沖波高值為恒定的電壓脈沖的情況和一邊使波高值增加、一邊施加電壓脈沖的情況。成形處理必須有通電處理，也可使用在導(dǎo)電性薄膜405中使其產(chǎn)生龜裂等的間隔以形成高電阻狀態(tài)的處理。
希望對通電成形結(jié)束了的元件進(jìn)行稱為激活的處理。所謂激活處理，是使元件電流(在元件電極402、403間流動(dòng)的電流)、發(fā)射電流(從電子發(fā)射部404發(fā)射的元件電流)顯著地變化的處理。例如，在含有有機(jī)物質(zhì)氣體等的碳化合物氣體的氣氛下，與通電成形同樣地通過重復(fù)進(jìn)行脈沖的施加可進(jìn)行該處理。由于此時(shí)的較為理想的有機(jī)物質(zhì)的壓力隨配置元件的真空容器的形狀或有機(jī)物質(zhì)的種類等而不同，故根據(jù)情況適當(dāng)?shù)貋碓O(shè)定。
利用激活處理，由碳或碳化合物構(gòu)成的有機(jī)薄膜從氣氛中存在的有機(jī)物質(zhì)淀積在導(dǎo)電性薄膜405上。
一邊測定元件電流和發(fā)射電流，一邊例如在發(fā)射電流飽和了的時(shí)刻結(jié)束激活處理。最好用圖像顯示時(shí)的工作驅(qū)動(dòng)電壓或比其大的電壓來進(jìn)行所施加的電壓脈沖。
在已被形成的龜裂內(nèi)有時(shí)也具有0.1nm至幾十nm的粒徑的導(dǎo)電性微粒子。導(dǎo)電性微粒子包含了構(gòu)成導(dǎo)電性薄膜405的物質(zhì)的至少一部分的元素。此外，電子發(fā)射部404和其附近的導(dǎo)電性薄膜405有時(shí)也具有碳和碳化合物。
此外，作為表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件120，除了在背板101的面上以平面狀形成了表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件120的平面型的元件外，也可以是在與背板101垂直的面上形成了的垂直型的元件，進(jìn)而是使用了熱陰極的熱電子源、電場發(fā)射型電子發(fā)射元件等，總之，如果以使用了電子發(fā)射元件的圖像顯示裝置為例，則只要是發(fā)射電子的元件，就不作特別限制。
其次，使用圖3和圖4A和4B，說明表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件120的排列和對元件供給圖像顯示用的電信號(hào)的布線。
作為布線的例子，可使用分別正交了的二條布線(Y上布線102和X下布線103，將其稱為單純矩陣布線)，從上布線102通過元件電極402連接到表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件120的元件電極402、403上，從下布線103與元件電極403連接?？捎捎谜婵照翦兎ā⒕W(wǎng)板印刷法、偏移印刷法等的印刷法、濺射法等形成的導(dǎo)電性金屬等構(gòu)成上布線102和下布線103，適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)其材料、膜厚、寬度。其中，使用制造成本便宜、處理容易的印刷法是合適的。
所使用的導(dǎo)電性膏包含Ag、Au、Pd、Pt等的貴金屬、Cu、Ni等的卑金屬的單獨(dú)乃至任意地組合了這些金屬的金屬，用印刷機(jī)印刷了布線圖形后，在大于等于500℃的溫度下進(jìn)行燒固。被形成了的上下印刷布線等的厚度約為幾μm～幾百μm。再者，至少在上布線102與下布線103重疊的部位上夾住對玻璃膏進(jìn)行了印刷、燒固(大于等于500℃)的厚度約為幾μm～幾百μm的層間絕緣膜401，取得電絕緣。
為了對Y方向的上布線102的端部施加作為根據(jù)輸入信號(hào)掃描表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件120的Y側(cè)的行用的圖像顯示信號(hào)的掃描信號(hào)，與作為掃描側(cè)電極驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)電路部電連接。另一方面，為了對X方向的下布線103的端部施加作為根據(jù)輸入信號(hào)調(diào)制表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件120的列的各列用的圖像顯示信號(hào)的調(diào)制信號(hào)，與作為調(diào)制信號(hào)驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)電路部電連接。
在面板201的內(nèi)側(cè)被涂敷了的熒光體膜202為單色的情況下由單一的熒光體構(gòu)成，但在顯示彩色圖像的情況下，作成用黑色導(dǎo)電材料分離了發(fā)出紅、綠、藍(lán)的三原色的熒光體的結(jié)構(gòu)。黑色導(dǎo)電材料因其形狀而被稱為黑色條或黑色矩陣等。作為制作方法，有使用了熒光體漿液的光刻法或印刷法，構(gòu)圖為所希望的大小的像素，形成各自的顏色的熒光體。
在熒光體膜202上形成了作為陽極電極膜的金屬背膜203，利用Al等的導(dǎo)電性薄膜構(gòu)成了金屬背膜203。金屬背膜203反射在熒光體膜202中產(chǎn)生的光中成為電子源的在背板101的方向上行進(jìn)的光以提高亮度。再者，金屬背膜203對面板201的圖像顯示區(qū)域賦予導(dǎo)電性以防止電荷被蓄積，對背板101的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件120起到陽極電極的作用。
金屬背膜203也具有防止熒光體膜202因面板201、圖像顯示裝置內(nèi)殘留的氣體被電子束電離生成的離子而損傷等的功能。
為了對金屬背膜203施加高電壓，與高壓施加裝置電連接。
支撐框105對面板201與背板101之間的空間進(jìn)行氣密密封。通過使用In(銦)205將支撐框105連接到面板201上、利用熔接玻璃106將支撐框105連接到背板101上，構(gòu)成作為外圍器的密封容器。此外，也可用In連接背板101與支撐框105。支撐框105可使用與面板201和背板101相同的材質(zhì)或具有與其大致相同的程度的熱膨脹率的玻璃、陶瓷或金屬等。
關(guān)于支撐框105與離子泵框體112的連接，最好在形成電子發(fā)射部404之前、即進(jìn)行成形、激活之前預(yù)先用熔接玻璃106連接到背板101上。此外，在用In將支撐框105連接到背板101上的情況下，最好在用面板201、背板101和支撐框105作成密封容器時(shí)連接。例如，用熔接玻璃106將支撐框105連接到背板101上。
在本發(fā)明中使用的熔接玻璃中，根據(jù)其成分系列，有SiO2系列、Te系列、PbO系列、V2O5系列、Zn系列，可從通過在其中混入充填劑調(diào)節(jié)了熱膨脹系數(shù)α的熔接玻璃中適當(dāng)?shù)厥褂?。可適當(dāng)?shù)厥褂没旌狭薖bTiO3、ZrSiO4、Li2O-Al2O3-2SiO2、2MgO-2Al2O3-5SiO2、Li2O-Al2O3-4SiO3、Al2O3-TiO2、2ZnO-SiO2、SiO2、SnO2等的一種或幾種混合作為上述耐火物充填劑的熔接玻璃。
由于在真空氣氛中的燒固中伴隨發(fā)泡，不能確保粘接強(qiáng)度、密接性，故最好在大氣氣氛中進(jìn)行暫時(shí)燒固、在真空氣氛中加熱使熔接玻璃脫泡后進(jìn)行接合。
由于熔接玻璃是粉末，故使用有機(jī)粘合劑將其變成膏狀，涂敷在連接部上來使用。作為變成了膏狀的熔接玻璃的涂敷方法，一般使用采用了空氣壓力的分配器法，但也可適當(dāng)?shù)厥褂媒n法、印刷法等。也可使用預(yù)先形成為環(huán)狀和長方形的片并進(jìn)行了暫時(shí)燒固和脫氣的預(yù)制品。
在熔接玻璃的燒固時(shí)，由于熔接玻璃在燒固溫度下成為硬的糖漿狀，故必須有將其壓碎的按壓力，可適當(dāng)?shù)厥褂么笥诘扔?.5g/mm2的按壓力。
離子泵框體112和磁屏蔽罩的底板211也與支撐框105同樣地用熔接玻璃106連接到背板101上。
在此，由于示出了使用熔接玻璃106在高溫下粘接的例子，故使用了坡莫合金作為磁屏蔽罩的底板211的材料，但如果使用其它的在低溫下的粘接方法，則可使用電磁軟鐵板、電解鐵箔、硅鋼板、非晶態(tài)合金、納米結(jié)晶軟磁性材料等各種各樣的磁屏蔽材料。
如果離子泵框體112的真空密封性也是良好的，則可應(yīng)用各種各樣的材料和粘接方法。
在準(zhǔn)備了連接支撐框105與離子泵框體112的背板101、面板201后，在維持為真空氣氛的狀態(tài)下實(shí)施基板的電子束清洗、吸氣劑膜204的蒸鍍形成和作為外圍器的密封容器的形成(與連接了支撐框105與離子泵框體112的背板101和面板201的連接)。
圖6示出本發(fā)明中使用的真空處理裝置的整體概念圖。裝載室602用于運(yùn)入、運(yùn)出基板，在真空處理室603中進(jìn)行烘焙、吸氣劑成膜、封接等的處理。門閥605用來隔開裝載室602與真空處理室603，利用運(yùn)送工具604運(yùn)送基板。利用排氣單元1(606)對裝載室602進(jìn)行真空排氣，利用排氣單元2(607)對真空處理室603進(jìn)行真空排氣。利用運(yùn)入運(yùn)出口601運(yùn)入、運(yùn)出基板。
圖7示出在真空處理室603中實(shí)施的工序概念圖，706表示上熱板，707表示下熱板，關(guān)于其它的結(jié)構(gòu)構(gòu)件，與上述的編號(hào)為同一的部分表示同一構(gòu)件。
如圖6中所示，打開被開放了大氣的裝載室602的運(yùn)入運(yùn)出口601，將形成了熒光體膜202、金屬背膜203的面板201和連接了熔接玻璃106與離子泵框體112的背板101這些基板一起放置在運(yùn)送工具604上，進(jìn)行排氣使壓力約小于等于10-4Pa。其次，打開通向預(yù)先用排氣單元2(607)排氣到約10-5Pa的真空處理室603的門閥605將運(yùn)送工具604運(yùn)送到真空處理室603中后，關(guān)閉門閥605。
作為吸氣劑膜的材料，可使用Ba、Mg、Ca、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、W等的金屬和這些金屬的合金，但較為理想的是適當(dāng)?shù)厥褂谜羝麎喝菀滋幚淼淖鳛閴A土類金屬的Ba、Mg、Ca和這些金屬的合金。其中，最好是廉價(jià)且從保持了吸氣劑材料的金屬制的膠囊能容易地蒸發(fā)的在工業(yè)上容易制造的Ba或包含Ba的合金。
其次，在圖7中示出在真空處理室603中實(shí)施的工序的概要。如圖中所示，用上熱板706和下熱板707分別保持運(yùn)入到真空處理室603中的面板201和背板101，通過烘焙加熱，進(jìn)行脫氣處理。此時(shí)，背板101存在于上熱板706一側(cè)，在上熱板706上形成了退避部708，以免連接到背板101的背面上的離子泵框體112損壞?？蓮?0℃至400℃適當(dāng)?shù)剡x擇烘焙溫度，只要構(gòu)件的耐熱性容許，在高溫下處理是比較好的。其次，一邊使熱板在上下退避，同時(shí)一邊使背板101上升，在面板201的上面設(shè)置空間。在該空間中，在面板201上移動(dòng)單側(cè)的蓋狀工具703。從外部的電源通過吸氣劑刷狀接觸電極705、吸氣劑布線端子704、吸氣劑布線702供給電流，通過加熱吸氣劑使其速吸，在面板201上在面板201的半面上對吸氣劑膜204進(jìn)行成膜。
同樣在剩下的半面上對吸氣劑膜204進(jìn)行成膜。其次，使作為蓋狀工具的703退避，再次在上熱板706與下熱板707之間的既定的位置上夾住充填了In合金等的面板201和預(yù)先連接了支撐框105與離子泵框體112的背板101，通過一邊加熱一邊施加重量，熔融In合金，作成被面板201、背板101和支撐框105包圍了的真空容器(真空外圍器)。
此外，在彩色顯示的圖像顯示裝置的情況下，為了以一對一的方式使表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件120與熒光體膜202的像素(未圖示)相對應(yīng)，進(jìn)行面板201與背板101的位置重合進(jìn)行真空封接。其后，冷卻到約室溫。其次，再次分別使上熱板706和下熱板707在上下退避，將密封容器運(yùn)送到裝載室602中，從運(yùn)入運(yùn)出口601取出到外部。
利用以上的工序，將被背板101、支撐框105和面板201包圍的空間作為能維持為小于等于大氣壓的壓力的真空容器來形成。
在到上述為止的工序中，由于將磁屏蔽罩的底板和離子泵框體安裝在背板上，故其次從離子泵框體112的外側(cè)覆蓋安裝了磁鐵208的磁屏蔽罩210，與底板211連接。其次，對離子泵電源207與陽極連接端子110和陰極連接端子111進(jìn)行布線連接。
利用上述的一系列的處理，真空容器成為圖像顯示裝置。在上述那樣制作了的圖像顯示裝置中，接通離子泵電源207的電源，使離子泵209工作。其次，利用連接到上布線102上的掃描驅(qū)動(dòng)單元、連接到下布線103上的調(diào)制驅(qū)動(dòng)單元對各表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件120提供作為圖像信號(hào)的掃描信號(hào)和調(diào)制信號(hào)。
施加驅(qū)動(dòng)電壓即電信號(hào)作為這些電壓的差電壓，使電流流過導(dǎo)電性薄膜405，電子從其一部分為龜裂的電子發(fā)射部404起成為跟隨上述電信號(hào)的電子束而被發(fā)射，由對金屬背膜203、熒光體膜202施加了的高電壓(1～10KV)加速，與熒光體膜202碰撞而使熒光體發(fā)光來顯示圖像。
此外，這里的金屬背膜203的目的是利用使熒光體中朝向內(nèi)表面一側(cè)的光朝向面板201一側(cè)進(jìn)行鏡面反射來提高亮度、作為施加電子束加速電壓用的電極起作用和保護(hù)熒光體膜202使其不受因在上述密封容器中發(fā)生了的負(fù)離子的碰撞引起的損傷。
離子泵209從施加電壓為1KV左右起開始工作，施加電壓越高，排氣能力越大。如果施加電壓高，則功耗增加或必須可靠地進(jìn)行絕緣對策這樣的弊病增加。因此，作為高效地驅(qū)動(dòng)離子泵209的電壓，可適當(dāng)?shù)厥褂?～5KV。
如果圖像被顯示，則電子被發(fā)射，從圖像顯示裝置內(nèi)的構(gòu)件放出氣體。這些氣體內(nèi)容易對電子發(fā)射元件造成損傷的H2、O2、CO、CO2等的氣體被吸氣劑膜204吸附。另一方面，作為惰性氣體的Ar不被吸氣劑膜204吸附，但由安裝在背板101上的離子泵209進(jìn)行排氣，Ar分壓可抑制在小于等于對元件有影響的壓力的10-6Pa，可抑制因Ar引起的對元件的損傷(主要是因電離了的Ar離子濺射引起的元件破壞)。因而，即使進(jìn)行長時(shí)間的圖像顯示，也可得到?jīng)]有亮度惡化的長壽命的圖像顯示裝置。
再者，在本發(fā)明中，由于以這種方式用磁屏蔽罩210對離子泵209的磁鐵進(jìn)行了磁屏蔽，此外，也對與圖像顯示部的連通口進(jìn)行了磁屏蔽，故盡可能減少了電子束的軌道因磁場而彎曲的情況，可維持良好的圖像顯示特性。此外，由于所使用的離子泵是小型、輕量的，而且直接用熔接玻璃等連接到面板等的真空容器上，故圖像顯示裝置成為薄而輕量的裝置。
在上述的說明中，說明了在完成了真空容器之后安裝磁屏蔽罩的例子，但如果離子泵209的耐熱性是充分的，則也可在真空中封接安裝了磁鐵的磁屏蔽罩，安裝在離子泵框體上。此外，關(guān)于屏蔽罩的安裝，也可根據(jù)需要用真空密封特性良好的粘接劑和其它的方法來粘接。
此外，在圖1中，用熔接玻璃106接合了磁屏蔽的底板211和離子泵框體112，但可一體地作成兩者，也可使用熔接玻璃以外的其它的粘接手段來粘接。離子泵框體112是金屬也好、是玻璃那樣的非金屬也好，只要能耐受真空就可使用。
作為上述的電子源，除了表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件外，即使在使用了電場發(fā)射型電子發(fā)射元件的圖像顯示裝置或除了單純矩陣型外在使用控制電極(柵電極布線)控制從電子源出來的電子束以顯示圖像的圖像顯示裝置等中，本發(fā)明的圖像顯示裝置的結(jié)構(gòu)也是有效的。
實(shí)施例以下，一邊參照附圖，一邊說明本發(fā)明的實(shí)施例，但本發(fā)明不限定于此，只要不違反本發(fā)明的要旨，就可適當(dāng)?shù)刈兏?br> <實(shí)施例1>
使用圖1、圖2A、2B-1、2B-2說明在圖像顯示裝置中在電子發(fā)射元件與離子泵之間設(shè)置了磁屏蔽構(gòu)件的帶有離子泵的圖像顯示裝置的結(jié)構(gòu)，使用圖3至圖7，說明作為該圖像顯示裝置的真空容器的作成方法。
首先，敘述作為圖像顯示裝置的真空容器的作成方法。使用厚度2.8mm、大小240mm×320mm的鈉玻璃(SL日本板硝子制)作為背板101，使用厚度2.8mm、大小190mm×270mm的鈉玻璃作為面板201，使用在背板101上在圖像區(qū)域外成為玻璃框105的內(nèi)側(cè)的場所開出了8mmφ的排氣口107的基板。
在背板101上利用蒸鍍法對鉑進(jìn)行成膜，利用光刻技術(shù)(包含刻蝕、剝離法等的加工技術(shù))進(jìn)行加工，加工成膜厚100nm、電極間隔L＝2μm、元件電極長度W＝300μm的形狀。
其次，在背板101上分別印刷、燒固Ag膏墨，形成了上布線102和下布線103，其中，上布線102(100條)的寬度為500μm、厚度12μm，下布線103(600條)的寬度為300μm、厚度8μm。也同樣地作成了對外部的驅(qū)動(dòng)電路的引出端子。對玻璃膏進(jìn)行了印刷、燒固(燒固溫度550℃)，作成了層間絕緣層401，其厚度定為20μm。
其次，清洗上述背板101，用DDS(二甲基二乙氧基硅烷信越化學(xué)社制)的乙醇稀釋溶液并利用噴射法散布，在120℃下進(jìn)行了加熱干燥。作為導(dǎo)電性薄膜405，在由85％的水、15％的異丙醇構(gòu)成的水溶液中溶解0.15Wt％的鈀-脯氨酸絡(luò)合物，用噴墨涂敷裝置涂敷了含有有機(jī)鈀的溶液后，在350℃下進(jìn)行10分鐘的加熱處理，形成由PdO(氧化鈀)構(gòu)成的微粒子膜，作成了φ60μm的導(dǎo)電性薄膜104。
支撐框105的形狀為厚度2mm、外形150mm×230mm、寬度10mm，材質(zhì)使用了鈉玻璃(SL日本板硝子制)。在連接到背板101的面上使用分配器涂敷了作為熔接玻璃的LS7305(日本電氣硝子社制)。其后，進(jìn)行了430℃、30分鐘的加熱、燒固。
本實(shí)施例中使用的離子泵是2極型離子泵，用SUS形成了圓筒形狀的陽極電極108和與圓筒的平板部對置的平板狀的陰極電極109，在陰極電極的中心部，將棒狀的Ti電極113連接到陰極電極109上。在由鈉玻璃構(gòu)成的離子泵框體112中配置這些電極，是將分別對陽極電極108和陰極電極109進(jìn)行了布線連接的陰極連接端子110和陽極連接端子111引出到離子泵框體112的外側(cè)的結(jié)構(gòu)。
離子泵框體112使用了以能容納上述陽極電極108和上述陰極電極109的大小(W15mm×D25mm×H25mm)進(jìn)行了成型加工的鈉玻璃。陰極連接端子110和陽極連接端子111用熔接玻璃進(jìn)行固定，使之能從外側(cè)導(dǎo)入電流。
關(guān)于磁屏蔽罩的底板211，如圖2A中所示，將由0.3mmφ、1mm間隔的坡莫合金構(gòu)成的網(wǎng)格材料(網(wǎng)格狀構(gòu)件221)點(diǎn)焊到在1.5mm厚的坡莫合金板上開了孔的板上。
其次，用既定的工具固定涂敷了熔接玻璃106的支撐框105、磁屏蔽的底板211和離子泵框體112，對按壓各自的部分的支撐框用支撐臺(tái)和支撐臺(tái)施加重量，在爐子中加熱到430℃，保持30分鐘，將支撐框105、磁屏蔽的帶有網(wǎng)格狀構(gòu)件的底板211和離子泵框體112粘接到背板101上。
使用圖5中示出的真空排氣裝置對如上述那樣作成了的背板101進(jìn)行了以下的成形和激活。首先，如圖5中所示，利用O形環(huán)502密封除了在基板臺(tái)503上設(shè)置了背板101的取出電極(未圖示)外的區(qū)域，利用真空容器進(jìn)行了覆蓋。在基板臺(tái)503上形成了退避部(未圖示)，以免與離子泵框體112接觸，具有將背板101固定在臺(tái)上用的靜電夾具504，在背板101的背面上形成了的ITO膜510與靜電夾具內(nèi)部的電極間施加1kV，夾住了背板101。
其次，用磁浮型渦輪分子泵505對真空容器內(nèi)部進(jìn)行排氣，如下所述那樣進(jìn)行了成形以后的工序。
首先，將真空容器內(nèi)部排氣到10-4Pa，以滾動(dòng)(scroll)頻率10Hz依次對上布線102施加脈沖寬度1msec的矩形波形，電壓定為12V。此外，將下布線103設(shè)置為地。在真空容器內(nèi)部導(dǎo)入氫與氮的混合氣體(2％H2、98％N2)壓力保持為1000Pa。利用質(zhì)量流量控制器508控制氣體導(dǎo)入，另一方面，利用排氣裝置和流量控制用的傳導(dǎo)閥507控制來自真空容器的排氣流量。在流過導(dǎo)電性薄膜405的電流值大致為0的時(shí)刻中止電壓施加。對真空容器內(nèi)部的H2和N2的混合氣體進(jìn)行了排氣，完成了成形，通過在背板101的全部的導(dǎo)電性薄膜405中形成龜裂，作成了電子發(fā)射部404。
其次，進(jìn)行了激活。在將真空容器501內(nèi)排氣到10-5Pa后，將甲苯甲腈(分子量117)分壓后導(dǎo)入在真空容器內(nèi)使真空度為1×10-3Pa。對上布線102在10行中按時(shí)間分割方式(滾動(dòng))施加了電壓。關(guān)于電壓施加條件，波高值±14V，使用脈沖寬度1msec的兩極的矩形波，激活了全部的元件。
在激活結(jié)束后，在對真空容器501中殘存的甲苯甲腈進(jìn)行了排氣后，返回到大氣，取出了背板101。
其次，在支撐框105上涂敷In，在上布線102上每20行設(shè)置了隔板206。關(guān)于隔板206，在圖像顯示區(qū)域外設(shè)置絕緣性的臺(tái)，用AronCeramic W進(jìn)行了粘接固定。
另一方面，在面板201上交替地形成了構(gòu)成熒光體膜202的條狀的熒光體(R、G、B)和黑色導(dǎo)電材料(黑色矩陣)，在所得到的結(jié)構(gòu)上制作了厚度200nm的由鋁薄膜構(gòu)成的金屬背膜203。其次，在面板201的周圍邊緣部上預(yù)先設(shè)置了的銀膏圖形上涂敷了In。
將用熔接玻璃連接了上述支撐框105與離子泵框體112的背板101和涂敷了In的面板201放置在運(yùn)送工具604上，打開圖6中示出的真空處理裝置的運(yùn)入運(yùn)出口601，放入大氣壓的裝載室602中。在關(guān)閉了運(yùn)入運(yùn)出口601后，使裝載室602的壓力降低到約3×10-5Pa，打開門閥605，將運(yùn)送工具604運(yùn)入到預(yù)先用作為排氣單元2的607將壓力降低到約1×10-5Pa的真空處理室603中，關(guān)閉了門閥605。在將運(yùn)送工具604放置在既定的位置上后，如圖7中所示，使上熱板706與背板101密接，使下熱板707與面板201密接，在300℃下加熱了1小時(shí)。
其次，使背板101和支撐該背板101的運(yùn)送工具604的一部分與上熱板706一起在向上的方向上升了約30cm。其次，在背板101與面板201的空間中在面板201上移動(dòng)了一個(gè)蓋狀工具703。對在蓋狀工具703內(nèi)側(cè)頂部設(shè)置了的Ba吸氣劑的容器依次在各10秒間施加12A的電流，在面板201的金屬背膜203上附著了50nm的Ba膜。使作為蓋狀工具的703返回到原處，對于另一個(gè)蓋狀工具703也進(jìn)行同樣的操作。
其次，使蓋狀工具703返回到原處，使背板101、作為運(yùn)送工具604的一部分的支撐工具和上熱板706下降，將上熱板706和下熱板707加熱到180℃。在180℃下保持了3小時(shí)后，使背板101、作為運(yùn)送工具604的一部分的支撐工具和上熱板706進(jìn)一步下降，對背板101、面板201和支撐框105施加了60Kg/cm2的重量。在該狀態(tài)下停止加熱，自然冷卻到室溫，降低溫度，結(jié)束了封接。
打開門閥605，將真空容器從真空處理室603運(yùn)出到裝載室602中，在關(guān)閉了門閥605后，使裝載室602的壓力返回到大氣壓，之后從運(yùn)入運(yùn)出口601運(yùn)出了密封容器。在如上述那樣制作了的密封容器中完全不發(fā)生裂紋、破裂等。
其次，在離子泵的外側(cè)蓋上粘接了磁鐵208的磁屏蔽罩210。磁屏蔽罩210用1.5mm厚的坡莫合金板形成，用點(diǎn)焊與坡莫合金的底板211進(jìn)行了接合。
此外，用電纜將該密封容器與電壓施加裝置和高壓施加裝置連接，以便能進(jìn)行圖像顯示，再者，用布線將離子泵框體112的陽極連接端子110和陰極連接端子111與離子泵電源207連接，組裝了圖像顯示裝置。
其次，對離子泵電源207加上3kV的電壓，驅(qū)動(dòng)了離子泵209。此外，從連接到圖像顯示裝置上的電壓施加裝置對電子發(fā)射元件供給圖像信號(hào)，同時(shí)利用高壓施加裝置施加10kV的高壓，使表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件120發(fā)光，使圖像顯示裝置進(jìn)行圖像顯示。
在測定了該圖像顯示裝置的亮度分布時(shí)，即使在離子泵的附近，與圖像顯示區(qū)域的中央部分相比，也將亮度的下降抑制在小于等于6％。在不使用磁屏蔽用的網(wǎng)格狀構(gòu)件作為比較例的情況下，在離子泵的附近，與圖像顯示區(qū)域的中央部分相比，可看到最大為25％的亮度的下降。在本發(fā)明中，減小了離子泵附近的像素的亮度下降的原因是因?yàn)橐种屏穗娮邮能壍酪蚵┬沽说拇艌龅挠绊懚粡澢某潭取?br> 此外，為了進(jìn)行壽命評價(jià)，使圖像顯示裝置連續(xù)地顯示，在測定了亮度為一半的時(shí)間時(shí)，該時(shí)間為15000小時(shí)。此外，在離子泵附近也未發(fā)生亮度不勻。
如上所述，在本實(shí)施例中作成了的圖像顯示裝置的亮度的離散性小，可進(jìn)行均勻的顯示，而且，由于離子泵的效果，可作成小型、輕量、高可靠性、低成本且壽命長的圖像顯示裝置。
<實(shí)施例2>
作為磁屏蔽罩的底板，如圖2B-1、2B-2中所示，在1.5mm厚的坡莫合金的板中設(shè)置了孔，在該孔的部分中利用點(diǎn)焊以2mm間隔安裝了4片厚度0.3mm、寬度3mm的坡莫合金的條狀板(長方形)，使寬度方向與底板的面垂直。將各條狀板的長度定為能容納在被設(shè)置在背板上的連通口107中的尺寸。然后，將條狀板的部位放入在背板上設(shè)置的連通口內(nèi)，用熔接玻璃粘接了底板。除此以外，與實(shí)施例1同樣地制成了圖像顯示裝置和離子泵。
在測定了實(shí)施例2中制作的圖像顯示裝置的亮度分布時(shí)，即使在離子泵附近，亮度的離散性也小于等于4％。
<實(shí)施例3>
在實(shí)施例1和2中，為了使用熔接玻璃106粘接到背板101上，離子泵框體112使用了熱膨脹率接近于熔接玻璃的玻璃構(gòu)件，但在使用玻璃的情況下，沒有必要取得陽極導(dǎo)入端子110的電絕緣，但必須用熔接玻璃等進(jìn)行真空密封。
在實(shí)施例3中，使用了不銹鋼的罩作為離子泵框體112。在該情況下，為了取得陽極導(dǎo)入端子110的電絕緣，使用了氧化鋁制的絕緣子。
關(guān)于坡莫合金的磁屏蔽罩的底板211與背板101的粘接和離子泵框體112與底板211的粘接，分別使用環(huán)氧樹脂類的粘接劑進(jìn)行了連接。在真空中在100℃下進(jìn)行了背板與面板的真空封接。除此以外，與實(shí)施例1同樣地制成了圖像顯示裝置和離子泵。
在測定了實(shí)施例3中制作的圖像顯示裝置的亮度分布時(shí)，因?yàn)榧词乖陔x子泵附近亮度的離散性也小于等于5％，故同樣地可看到底板的磁屏蔽的效果。此外，為了進(jìn)行壽命評價(jià)，使圖像顯示裝置連續(xù)地顯示，在測定了亮度為一半的時(shí)間時(shí)，該時(shí)間為10000小時(shí)。此外，在離子泵附近也未發(fā)生亮度不勻。
權(quán)利要求
1.一種具有真空容器的圖像顯示裝置，上述真空容器被形成為至少具有排列了多個(gè)電子發(fā)射元件的電子源基板和與該電子源基板對置配置且具有熒光膜和陽極電極膜的圖像形成基板而被形成，上述圖像顯示裝置具備(a)具有離子泵框體和磁場形成單元的離子泵，上述離子泵框體通過在上述電子源基板和上述圖像形成基板的至少一方上設(shè)置的連通口與上述真空容器連接并將內(nèi)部維持為減壓；以及(b)在該離子泵與上述電子發(fā)射元件彼此連通的空間內(nèi)設(shè)置的第1磁屏蔽構(gòu)件。
2.如權(quán)利要求1中所述的圖像顯示裝置，其特征在于上述第1磁屏蔽構(gòu)件在上述真空容器與上述離子泵框體之間可實(shí)現(xiàn)氣體的流通。
3.如權(quán)利要求2中所述的圖像顯示裝置，其特征在于上述第1磁屏蔽構(gòu)件具有1個(gè)或1個(gè)以上的流通口。
4.如權(quán)利要求3中所述的圖像顯示裝置，其特征在于上述第1磁屏蔽構(gòu)件在上述離子泵與上述電子發(fā)射元件彼此連通的空間內(nèi)具有網(wǎng)格狀構(gòu)件或條狀構(gòu)件，利用該網(wǎng)格狀構(gòu)件或條狀構(gòu)件的流通口可實(shí)現(xiàn)氣體的流通。
5.如權(quán)利要求4中所述的圖像顯示裝置，其特征在于在上述連通口的外側(cè)配置了上述網(wǎng)格狀構(gòu)件或條狀構(gòu)件。
6.如權(quán)利要求4中所述的圖像顯示裝置，其特征在于在上述連通口的孔內(nèi)部配置了上述網(wǎng)格狀構(gòu)件或條狀構(gòu)件。
7.如權(quán)利要求4中所述的圖像顯示裝置，其特征在于在平板的開口中設(shè)置了上述第1磁屏蔽構(gòu)件的上述網(wǎng)格狀構(gòu)件或條狀構(gòu)件，該平板的沒有上述開口的部分接合到真空容器上。
8.如權(quán)利要求1中所述的圖像顯示裝置，其特征在于上述磁場形成單元具有被設(shè)置在上述離子泵框體的外部且從上述離子泵框體的外部覆蓋上述磁場形成單元的第2磁屏蔽構(gòu)件。
9.如權(quán)利要求8中所述的圖像顯示裝置，其特征在于利用上述第1磁屏蔽構(gòu)件和上述第2磁屏蔽構(gòu)件在空間上包圍上述磁場形成單元。
全文摘要
在由具有由多個(gè)電子發(fā)射元件構(gòu)成的電子源和從該電子源照射電子進(jìn)行發(fā)光顯示的熒光膜的真空容器構(gòu)成的圖像顯示裝置中，設(shè)置利用磁形成部的作用經(jīng)連通口對真空容器進(jìn)行排氣的離子泵。通過在離子泵與電子發(fā)射元件連通的空間內(nèi)設(shè)置磁屏蔽構(gòu)件來消除因磁形成部的磁場產(chǎn)生的對電子發(fā)射元件的發(fā)射電子的軌道的影響和因該影響引起的顯示亮度不勻。
文檔編號(hào)H01J29/94GK1741239SQ200510096709
公開日2006年3月1日 申請日期2005年8月26日 優(yōu)先權(quán)日2004年8月27日
發(fā)明者津田尚德, 神尾優(yōu), 五福伊八郎, 佐藤安榮, 島田佳之, 三谷浩正, 清野和之, 西村孝司 申請人:佳能株式會(huì)社, 株式會(huì)社東芝