一種光刻機用陶瓷吸盤的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種光刻機，具體涉及一種光刻機用陶瓷吸盤。
【背景技術(shù)】
[0002]高端光刻機在工件臺等系統(tǒng)采用陶瓷材料，是為解決運動及測量的高精度要求。應用于光刻機的吸盤為一種采用陶瓷制作的中空結(jié)構(gòu)，吸盤通過接管與真空設(shè)備連接，然后與大尺寸硅片接觸，啟動真空抽吸，使吸盤內(nèi)產(chǎn)生負壓，從而將硅片吸牢。現(xiàn)有的陶瓷吸盤結(jié)構(gòu)在制作過程中，由于陶瓷燒結(jié)過程中產(chǎn)生內(nèi)應力，使吸盤變形，很難滿足產(chǎn)品的使用要求。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供了一種能夠避免陶瓷燒結(jié)過程中產(chǎn)生內(nèi)應力的光刻機用陶瓷吸盤。
[0004]本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:
[0005]一種光刻機用陶瓷吸盤，包括:
[0006]本體，其下方固定連接蓋體；所述本體的上表面設(shè)有多個凸起，多個凸起的上表面位于同一平面；所述本體的下表面設(shè)有吸附槽，所述吸附槽上設(shè)有穿透本體的吸附孔，與吸附槽相連通；
[0007]還包括:
[0008]第一筋板，設(shè)置在本體的下表面，所述第一筋板上設(shè)有至少一個第一凹槽，用于避免陶瓷燒結(jié)過程中陶瓷吸盤產(chǎn)生的內(nèi)應力。
[0009]進一步地，還包括:
[0010]第二筋板，設(shè)置在本體的下表面，與所述第一筋板相互交錯設(shè)置，所述第二筋板上設(shè)有至少一個第二凹槽，用于避免陶瓷燒結(jié)過程中陶瓷吸盤產(chǎn)生的內(nèi)應力。
[0011]進一步地，兩條以上的第一筋板相互平行設(shè)置，兩條以上的第二筋板相互平行設(shè)置，且所述第一筋板垂直于所述第二筋板設(shè)置；
[0012]每兩條第二筋板之間的所述第一筋板上均設(shè)有第一凹槽，所述第一凹槽在沿著第二筋板長度的方向相貫通；
[0013]每兩條第一筋板之間的所述第二筋板上設(shè)有一第二凹槽，所述第二凹槽在沿著第二筋板長度的方向相貫通。
[0014]進一步地，兩條以上的第一筋板上的第一凹槽相互連通，相互連通的第一凹槽的軸線平行于所述第二筋板；
[0015]兩條以上的第二筋板上的第二凹槽相互連通，相互連通的第二凹槽的軸線平行于所述第一筋板。
[0016]所述第一凹槽和/或第二凹槽的橫截面為半弧形、矩形、梯形或V字形。
[0017]所述本體上設(shè)有至少一個連接孔。
[0018]所述連接孔為3個，均勻貫通設(shè)置在所述本體及蓋體上。
[0019]所述本體與蓋體通過固化劑粘接連接或所述本體與蓋體通過燒結(jié)連接。
[0020]所述吸附槽為三個，每個吸附槽的一端部交匯于所述本體的中心，另一端部分別設(shè)有一吸附孔，三個吸附槽對稱設(shè)置在所述本體上。
[0021]所述凸起的上表面為正方形，多個凸起相隔間距均勻設(shè)置在所述本體的上表面。
[0022]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型在本體的內(nèi)部筋板上設(shè)有凹槽，凹槽可以釋放陶瓷材料內(nèi)部的應力，既滿足產(chǎn)品的使用要求，又避免在吸盤的制作過程中，因陶瓷燒結(jié)過程中產(chǎn)生的內(nèi)應力使吸盤變形。
【附圖說明】
[0023]圖1為本實用新型提供的光刻機用陶瓷吸盤的剖視圖；
[0024]圖2為本體的上表面的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3為圖1的局部截面圖。
[0026]圖中:I本體，2凸起，3吸附槽，4吸附孔，5第一筋板，6第二筋板，7第一凹槽，8
第二凹槽，9連接孔。
【具體實施方式】
[0027]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明，但不作為對本實用新型的限定。
[0028]參見圖1和圖2，一種光刻機用陶瓷吸盤，包括:
[0029]本體1，其下方固定連接蓋體；本體I的上表面設(shè)有多個凸起2，多個凸起2的上表面位于同一平面；本體I的下表面設(shè)有吸附槽3，吸附槽3上設(shè)有穿透本體I的吸附孔4，與吸附槽3相連通；
[0030]還包括:
[0031]第一筋板5，設(shè)置在本體I的下表面，第一筋板5上設(shè)有至少一個第一凹槽7，用于避免陶瓷燒結(jié)過程中陶瓷吸盤產(chǎn)生的內(nèi)應力。
[0032]本實用新型通過在第一橫筋板上設(shè)置第一凹槽，可以釋放吸盤在制作過程中陶瓷材料內(nèi)部的應力，防止吸盤的變形，影響對硅片的吸附要求。
[0033]本實施例在上述實施例的基礎(chǔ)上，還包括:
[0034]第二筋板6，設(shè)置在本體I的下表面，與第一筋板5相互交錯設(shè)置，第二筋板6上設(shè)有至少一個第二凹槽8，用于避免陶瓷燒結(jié)過程中陶瓷吸盤產(chǎn)生的內(nèi)應力。
[0035]本實用新型設(shè)置在筋板上設(shè)置的第一凹槽和第二凹槽可以釋放吸盤在制作過程中陶瓷材料內(nèi)部的應力，更好的防止吸盤變形，影響對硅片的吸附要求。
[0036]優(yōu)選地，兩條以上的第一筋板5相互平行設(shè)置，兩條以上的第二筋板6相互平行設(shè)置；
[0037]第一筋板6垂直于第二筋板6設(shè)置；
[0038]每兩條第二筋板6之間的第一筋板5上設(shè)有一第一凹槽7，第一凹槽7在沿著第一筋板6長度的方向相貫通；
[0039]每兩條第一筋板5之間的所述第二筋板6上設(shè)有一第二凹槽8，第二凹槽8在沿著第二筋板6長度的方向相貫通。
[0040]本實用新型的第一筋板和第二筋板交錯設(shè)置的結(jié)構(gòu)，形成吸盤內(nèi)部的減重結(jié)構(gòu)，為達到更好的釋放應力的需求，第一凹槽和第二凹槽的兩端開口。
[0041]優(yōu)選地，兩條以上的第一筋板5上的第一凹槽7相互連通，相互連通的第一凹槽7的軸線平行于所述第二筋板6;
[0042]兩條以上的第二筋板6上的第二凹槽8相互連通，相互連通的第二凹槽8的軸線平行于第一筋板5。
[0043]本實用新型在第一筋板上設(shè)有多條相互連通的第一凹槽，第二筋板上設(shè)有多條相互連通的第二凹槽，通過設(shè)置的多條互相連通的第一凹槽和第二凹槽，釋放了吸盤制作過程中陶瓷燒結(jié)所產(chǎn)生的內(nèi)應力，防止吸盤的變形。
[0044]參見圖3，優(yōu)選地，第一凹槽7和/或第二凹槽8的的橫截面為半弧形、矩形、梯形或U字形。
[0045]參見圖1，本體I上設(shè)有至少一個連接孔9。連接孔用于吸附硅片時固定吸盤。優(yōu)選地，連接孔9為3個，均勻貫通設(shè)置在本體I及蓋體上。
[0046]優(yōu)選地，本體I與蓋體通過固化劑粘接連接或本體I與蓋體通過燒結(jié)連接。
[0047]參見圖1，為了達到更好的吸附效果，吸附槽3為三個，每個吸附槽3的一端部交匯于本體I的中心，另一端部分別設(shè)有一吸附孔4，三個吸附槽3對稱設(shè)置在本體I上。
[0048]參見圖2，凸起2的上表面為正方形，多個凸起2相隔間距均勻設(shè)置在本體I的上表面。凸起的上表面用于和硅片接觸。
[0049]本實用新型吸盤的工作原理:首先將吸盤通過接管與真空設(shè)備連接，然后與大尺寸硅片接觸，啟動真空抽吸，使吸盤內(nèi)產(chǎn)生負壓，從而將硅片吸牢，本發(fā)明的吸盤為中空結(jié)構(gòu)，且其材料為具有一定的強度、剛度的陶瓷，陶瓷表面具有超高的平整度(0.4um)，采用凸起表面與硅片接觸，具有超低的接觸面積，另外為了降低其高加速度對驅(qū)動電機的載荷，該吸盤需控制在400克以下，因此內(nèi)部設(shè)計有減重結(jié)構(gòu)，且筋板的壁厚僅為2_厚，表面的蓋板僅為Imm厚，為了既滿足產(chǎn)品的使用要求，又避免陶瓷燒結(jié)過程中產(chǎn)生的內(nèi)應力，使制品變形，在內(nèi)部筋板開設(shè)凹槽可以釋放陶瓷材料內(nèi)部的應力。
[0050]以上所述的實施例，只是本實用新型較優(yōu)選的【具體實施方式】的一種，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)進行的通常變化和替換都應包含在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種光刻機用陶瓷吸盤，包括: 本體，其下方固定連接蓋體；所述本體的上表面設(shè)有多個凸起，多個凸起的上表面位于同一平面；所述本體的下表面設(shè)有吸附槽，所述吸附槽上設(shè)有穿透本體的吸附孔，與吸附槽相連通； 其特征在于，還包括: 第一筋板，設(shè)置在本體的下表面，所述第一筋板上設(shè)有至少一個第一凹槽，用于避免陶瓷燒結(jié)過程中陶瓷吸盤產(chǎn)生的內(nèi)應力。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機用陶瓷吸盤，其特征在于，還包括: 第二筋板，設(shè)置在本體的下表面，與所述第一筋板相互交錯設(shè)置，所述第二筋板上設(shè)有至少一個第二凹槽，用于避免陶瓷燒結(jié)過程中陶瓷吸盤產(chǎn)生的內(nèi)應力。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光刻機用陶瓷吸盤，其特征在于: 兩條以上的第一筋板相互平行設(shè)置，兩條以上的第二筋板相互平行設(shè)置，且所述第一筋板垂直于所述第二筋板設(shè)置； 每兩條第二筋板之間的所述第一筋板上均設(shè)有第一凹槽，所述第一凹槽在沿著第二筋板長度的方向相貫通； 每兩條第一筋板之間的所述第二筋板上設(shè)有一第二凹槽，所述第二凹槽在沿著第二筋板長度的方向相貫通。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光刻機用陶瓷吸盤，其特征在于: 兩條以上的第一筋板上的第一凹槽相互連通，相互連通的第一凹槽的軸線平行于所述第二筋板； 兩條以上的第二筋板上的第二凹槽相互連通，相互連通的第二凹槽的軸線平行于所述第一筋板。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機用陶瓷吸盤，其特征在于:所述第一凹槽和/或第二凹槽的橫截面為半弧形、矩形、梯形、V字形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的光刻機用陶瓷吸盤，其特征在于，所述本體上設(shè)有至少一個連接孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光刻機用陶瓷吸盤，其特征在于，所述連接孔為3個，均勻貫通設(shè)置在所述本體及蓋體上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的光刻機用陶瓷吸盤，其特征在于，所述本體與蓋體通過固化劑粘接連接或所述本體與蓋體通過燒結(jié)連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的光刻機用陶瓷吸盤，其特征在于，所述吸附槽為三個，每個吸附槽的一端部交匯于所述本體的中心，另一端部分別設(shè)有一吸附孔，三個吸附槽對稱設(shè)置在所述本體上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的光刻機用陶瓷吸盤，其特征在于，所述凸起的上表面為正方形，多個凸起相隔間距均勻設(shè)置在所述本體的上表面。
【專利摘要】本實用新型公開了一種光刻機用陶瓷吸盤，包括：本體，其下方固定連接蓋體；所述本體的上表面設(shè)有多個凸起，多個凸起的上表面位于同一平面；所述本體的下表面設(shè)有吸附槽，所述吸附槽上設(shè)有穿透本體的吸附孔，與吸附槽相連通；還包括：第一筋板，設(shè)置在本體的下表面，所述第一筋板上設(shè)有至少一個第一凹槽，用于避免陶瓷燒結(jié)過程中陶瓷吸盤產(chǎn)生的內(nèi)應力。本實用新型在本體的內(nèi)部筋板上設(shè)有凹槽，凹槽可以釋放陶瓷材料內(nèi)部的應力，既滿足產(chǎn)品的使用要求，又避免在吸盤的制作過程中，因陶瓷燒結(jié)過程中產(chǎn)生的內(nèi)應力使吸盤變形。
【IPC分類】G03F7-20
【公開號】CN204287728
【申請?zhí)枴緾N201420681477
【發(fā)明人】劉海林, 霍艷麗, 賈志輝, 梁海龍, 胡傳奇, 黃小婷, 唐婕, 陳曙光
【申請人】中國建筑材料科學研究總院
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2014年11月10日