一種雙工件臺系統(tǒng)換臺過程控制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導體制造裝備的技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)代科技的迅猛發(fā)展對超大規(guī)模集成電路的制造能力提出了越來越高的要求，芯片越來精細，集成度越來越高是集成電路發(fā)展的必然趨勢。光刻機作為極大規(guī)模電路制造裝備，其技術(shù)目前主要被歐美等發(fā)達國家所壟斷，我國尖端芯片依然依賴進口，嚴重制約了我國在航空、航天、船舶、電力等領(lǐng)域的發(fā)展。為了打破壟斷，提高我國集成電路制造能力，我國已將掃描光刻設(shè)備的研制列為國家重大科技專項。
[0003]工件臺技術(shù)是光刻機的核心技術(shù)之一，其主要作用是承載硅片，實現(xiàn)高速、高加速度條件下，硅片的納米級精度的定位，并配合光刻過程中的上片、預對準、對準、曝光和下片等加工制造工序。工件臺技術(shù)對光刻機分辨率、套刻精度、產(chǎn)率三大性能指標起著至關(guān)重要的影響。相比傳統(tǒng)的通過增加硅片直徑減少換片次數(shù)，來提高生產(chǎn)效率的方法，雙工件臺技術(shù)已成為已成為目前提高光刻機生產(chǎn)效率的主流技術(shù)手段。
[0004]雙工件臺技術(shù)涉及到兩個工件臺在兩個不同工位之間進行切換的問題，換臺效率將直接影響到光刻機的產(chǎn)率。傳統(tǒng)的雙工件臺技術(shù)采用直線換臺方案，工件臺定位精度較低，換臺過程對臺體沖擊較大。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明的目的是提供一種雙工件臺系統(tǒng)換臺過程控制方法，是為了解決現(xiàn)有的雙工件臺技術(shù)采用直線換臺方案，工件臺定位精度較低，換臺過程對臺體沖擊較大的問題。
[0006]所述的目的是通過以下方案實現(xiàn)的:所述的一種雙工件臺系統(tǒng)換臺過程控制方法，它的方法步驟為:
[0007]步驟一:第一水平移動臺架總成2中的第一 X向移動平臺2-1上的第一抓卡機構(gòu)2-2抓卡住第一工件臺1，第一水平移動臺架總成2通過其自身的Y向移動和第一 X向移動平臺2-1的X向移動，將第一工件臺I移動到左側(cè)預處理工作位置A處；第二水平移動臺架總成4中的第二 X向移動平臺4-1上的第二抓卡機構(gòu)4-2抓卡住第二工件臺3，第二水平移動臺架總成4通過其自身的Y向移動和第二 X向移動平臺4-1的X向移動，將第二工件臺3移動到右側(cè)曝光工作位置B處；
[0008]步驟二:當預處理工作和曝光工作完成后，第一水平移動臺架總成2帶動其上的第一工件臺I移動，并使第一 X向移動平臺2-1移動到左側(cè)換卡位置C處，第二水平移動臺架總成4帶動其上的第二工件臺3移動，并使第二 X向移動平臺4-1移動到右側(cè)換卡位置D處；
[0009]步驟三:公轉(zhuǎn)電機5左側(cè)上的第三抓卡機構(gòu)5-1抓卡住第一工件臺I ;公轉(zhuǎn)電機5右側(cè)上的第四抓卡機構(gòu)5-2抓卡住第二工件臺3 ;然后第一 X向移動平臺2-1上的第一抓卡機構(gòu)2-2解卡，使第一工件臺I與第一 X向移動平臺2-1分開；第二 X向移動平臺4-1上的第二抓卡機構(gòu)4-2解卡，使第二工件臺3與第二 X向移動平臺4-1分開；
[0010]步驟四:第一水平移動臺架總成2向左側(cè)移動一段距離，第二水平移動臺架總成4向右側(cè)移動一段距離；然后公轉(zhuǎn)電機5帶動第一工件臺I和第二工件臺3逆時針旋轉(zhuǎn)180度；
[0011]步驟五:使第一 X向移動平臺2-1移動到左側(cè)換卡位置C處，使第二 X向移動平臺4-1移動到右側(cè)換卡位置D處；
[0012]步驟六:第二 X向移動平臺4-1上的第二抓卡機構(gòu)4-2抓卡住第一工件臺I ;第一X向移動平臺2-1上的第一抓卡機構(gòu)2-2抓卡住第二工件臺3 ;然后公轉(zhuǎn)電機5上的第三抓卡機構(gòu)5-1解卡，使第一工件臺I與公轉(zhuǎn)電機5分開；公轉(zhuǎn)電機5上的第四抓卡機構(gòu)5-2解卡，使第二工件臺3與公轉(zhuǎn)電機5分開；
[0013]步驟七:第一水平移動臺架總成2通過其自身的Y向移動和第一 X向移動平臺2-1的X向移動，將第二工件臺3移動到左側(cè)預處理工作位置A處；第二水平移動臺架總成4通過其自身的Y向移動和第二 X向移動平臺4-1的X向移動，將第一工件臺I移動到右側(cè)曝光工作位置B處；
[0014]步驟八:當預處理工作和曝光工作完成后，第一水平移動臺架總成2帶動其上的第二工件臺3移動，并使第一 X向移動平臺2-1移動到左側(cè)換卡位置C處，第二水平移動臺架總成4帶動其上的第一工件臺I移動，并使第二 X向移動平臺4-1移動到右側(cè)換卡位置D處；
[0015]步驟九:公轉(zhuǎn)電機5上的第四抓卡機構(gòu)5-2抓卡住第二工件臺3 ；公轉(zhuǎn)電機5上的第三抓卡機構(gòu)5-1抓卡住第一工件臺I ;然后第一 X向移動平臺2-1上的第一抓卡機構(gòu)2-2解卡，使第二工件臺3與第一 X向移動平臺2-1分開；第二 X向移動平臺4-1上的第二抓卡機構(gòu)4-2解卡，使第一工件臺I與第二 X向移動平臺4-1分開；
[0016]步驟十:第一水平移動臺架總成2向左側(cè)移動一段距離，第二水平移動臺架總成4向右側(cè)移動一段距離；然后公轉(zhuǎn)電機5帶動第一工件臺I和第二工件臺3順時針旋轉(zhuǎn)180度；
[0017]步驟^^一:使第一 X向移動平臺2-1移動到左側(cè)換卡位置C處，使第二 X向移動平臺4-1移動到右側(cè)換卡位置D處；
[0018]步驟十二:第一 X向移動平臺2-1上的第一抓卡機構(gòu)2-2抓卡住第一工件臺I ;然后公轉(zhuǎn)電機5上的第三抓卡機構(gòu)5-1解卡，使第一工件臺I與公轉(zhuǎn)電機5分開；第二 X向移動平臺4-1上的第二抓卡機構(gòu)4-2抓卡住第二工件臺3 ;然后公轉(zhuǎn)電機5上的第四抓卡機構(gòu)5-2解卡，使第二工件臺3與公轉(zhuǎn)電機5分開；
[0019]步驟十三:第一水平移動臺架總成2通過其自身的Y向移動和第一 X向移動平臺2-1的X向移動，將第一工件臺I移動到左側(cè)預處理工作位置A處；第二水平移動臺架總成4通過其自身的Y向移動和第二 X向移動平臺4-1的X向移動，將第二工件臺3移動到右側(cè)曝光工作位置B處；完成一個循環(huán)工作。
[0020]本發(fā)明方法采用回轉(zhuǎn)換臺方案，與直線換臺方案相比，減少了換臺過程中對臺體的沖擊，減少了換臺時間，提高了工件臺定位精度，對增加光刻機產(chǎn)率起到了至關(guān)重要的作用。
【附圖說明】
[0021]圖1是本發(fā)明方法涉及的裝置中第一工件臺I處在左側(cè)預處理工作位置A處和第二工件臺3處在右側(cè)曝光工作位置B處的簡要結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2是圖1中第一 X向移動平臺2-1與第一工件臺I處在左側(cè)換卡位置C處和第二 X向移動平臺4-1和第二工件臺3處在右側(cè)換卡位置D處的簡要結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖3是圖1中第一水平移動臺架總成2向左側(cè)移動一段距離和第二水平移動臺架總成4向右側(cè)移動一段距離時的簡要結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖4是圖1中公轉(zhuǎn)電機5帶動第一工件臺I和第二工件臺3逆時針旋轉(zhuǎn)180度后的簡要結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖5是圖1中第一 X向移動平臺2-1與第二工件臺3處在左側(cè)換卡位置C處和第二 X向移動平臺4-1與第一工件臺I處在右側(cè)換卡位置D處的簡要結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖6是圖1中第二工件臺3處在左側(cè)預處理工作位置A處和第一工件臺I處在右側(cè)曝光工作位置B處的簡要結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0027]【具體實施方式】一:結(jié)合圖1、圖2、圖3、圖4、圖5、圖6所示，它的方法步驟為:
[0028]步驟一:第一水平移動臺架總成2中的第一 X向移動平臺2-1上的第一抓卡機構(gòu)
2-2抓卡住第一工件臺1，第一水平移動臺架總成2通過其自身的Y向移動和第一 X向移動平臺2-1的X向移動，將第一工件臺I移動到左側(cè)預處理工作位置A處；第二水平移動臺架總成4中的第二 X向移動平臺4-1上的第二抓卡機構(gòu)4-2抓卡住第二工件臺3，第二水平移動臺架總成4通過其自身的Y向移動和第二 X向移動平臺4-1的X向移動，將第二工件臺3移動到右側(cè)曝光工作位置B處；
[0029]步驟二:當預處理工作和曝光工作完成后，第一水平移動臺架總成2帶動其上的第一工件臺I移動，并使第一 X向移動平臺2-1移動到左側(cè)換卡位置C處，第二水平移動臺架總成4帶動其上的第二工件臺3移動，并使第二 X向移動平臺4-1移動到右側(cè)換卡位置D處；
[0030]步驟三:公轉(zhuǎn)電機5左側(cè)上的第三抓卡機構(gòu)5-1抓卡住第一工件臺I ;公轉(zhuǎn)電機5右側(cè)上的第四抓卡機構(gòu)5-2抓卡住第二工件臺3 ;然后第一 X向移動平臺2-1上的第一抓卡機構(gòu)2-2解卡，使第一工件臺I與第一 X向移動平臺2-1分開；第二 X向移動平臺4-1上的第二抓卡機構(gòu)4-2解卡，使第二工件臺3與第二 X向移動平臺4-1分開；
[0031]步驟四:第一水平移動臺架總成2向左側(cè)移動一段距離，第二水平移動臺架總成4向右側(cè)移動一段距離；然后公轉(zhuǎn)電機5帶動第一工件臺I和第二工件臺3逆時針旋轉(zhuǎn)180度；
[0032]步驟五:使第一 X向移動平臺2-1移動到左側(cè)換卡位置C處，使第二 X向移動平臺4-1移動到右側(cè)換卡位置D處；
[0033]步驟六:第二 X向移動平臺4-1上的第二抓卡機構(gòu)4-2抓卡住第一工件臺I ;第一X向移動平臺2-1上的第一抓卡機構(gòu)2-2抓卡住第二工件臺3 ;然后公轉(zhuǎn)電機5上的第三抓卡機構(gòu)5-1解卡，使第一工件臺I與公轉(zhuǎn)電機5分開；公轉(zhuǎn)電機5上的第四抓卡機構(gòu)5-2解卡，使第二工件臺3與公轉(zhuǎn)