45為相同材質(zhì)。
[0140]當(dāng)濾光器12的溫度變化時(shí)，保護(hù)膜、基膜及反射膜對(duì)應(yīng)溫度而伸縮。為了提高反射率，反射膜使用銀合金的膜。因此，在反射膜中，當(dāng)在基膜側(cè)的面和保護(hù)膜側(cè)的面產(chǎn)生內(nèi)部應(yīng)力之差時(shí)，出現(xiàn)被稱為“小丘”或“晶須”的突起。由此，反射膜的反射率下降。在本實(shí)施方式中，夾著反射膜的保護(hù)膜及基膜為相同材質(zhì)。從而，夾著反射膜的保護(hù)膜及基膜為相同熱膨脹率。因此，在反射膜中，在基膜側(cè)的面和保護(hù)膜側(cè)的面難以產(chǎn)生內(nèi)部應(yīng)力之差，能夠抑制突起的出現(xiàn)。
[0141](7)根據(jù)本實(shí)施方式，導(dǎo)電膜32、保護(hù)膜36、導(dǎo)電膜38、保護(hù)膜45的材質(zhì)為IGO。IGO的光的透過(guò)率高，因此，能夠高效率地使光透過(guò)。
[0142](8)根據(jù)本實(shí)施方式，濾光器12收納于由框體2、第一蓋體3及第二蓋體9等構(gòu)成的收納部，被收納部保護(hù)。因此，在把持光學(xué)模塊I時(shí)，能夠防止濾光器12受到損傷。并且，可動(dòng)反射膜35和導(dǎo)電膜配線32a連接，導(dǎo)電膜配線32a和第三端子17高品質(zhì)地電連接。固定反射膜44和導(dǎo)電膜配線38a連接，導(dǎo)電膜配線38a和反射膜端子41高品質(zhì)地電連接?？蓜?dòng)反射膜35及固定反射膜44的靜電，經(jīng)由第三端子17及反射膜端子41而被除去。從而，就光學(xué)模塊I而言，反射膜間間隙49被高品質(zhì)地控制，能夠使規(guī)定的波長(zhǎng)的光通過(guò)。
[0143]根據(jù)本實(shí)施方式，導(dǎo)電膜配線38a的材質(zhì)為IG0，通常當(dāng)蝕刻金屬基層42時(shí)，有可能對(duì)導(dǎo)電膜配線38a帶來(lái)?yè)p傷。金屬基層42的材質(zhì)使用TiW、Cr、NiCr的任一種。當(dāng)金屬基層42為T(mén)iW時(shí)，可以使用高氯酸類的蝕刻液。并且，當(dāng)金屬基層42為Cr、NiCr時(shí)，可以使用硝酸鈰類的蝕刻液作為蝕刻液。并且，IGO難以被高氯酸類的蝕刻液及硝酸鈰類的蝕刻液損傷，因此，不會(huì)給導(dǎo)電膜配線38a帶來(lái)?yè)p傷而能夠圖案化金屬基層42。
[0144]同樣地，導(dǎo)電膜配線32a的材質(zhì)為IGO，金屬基層33的材質(zhì)使用TiW、Cr、NiCr的任一種。當(dāng)金屬基層33為T(mén)iW時(shí)，可以使用高氯酸類的蝕刻液。當(dāng)蝕刻金屬基層33時(shí)，有可能對(duì)導(dǎo)電膜配線32a帶來(lái)?yè)p傷。并且，當(dāng)金屬基層33為Cr、NiCr時(shí)，可以使用硝酸鐘類的蝕刻液作為蝕刻液。并且，IGO難以被高氯酸類的蝕刻液及硝酸鈰類的蝕刻液損傷，因此，不會(huì)給導(dǎo)電膜配線32a帶來(lái)?yè)p傷而能夠圖案化金屬基層33。
[0145](10)根據(jù)本實(shí)施方式，在可動(dòng)基板13上設(shè)置第一端子15?第四端子18之后，設(shè)置可動(dòng)反射膜35?？梢詾樵O(shè)置可動(dòng)反射膜35之后再設(shè)置第一端子15?第四端子18的工序順序。此時(shí)，在設(shè)置第一端子15?第四端子18的工序中，存在給可動(dòng)反射膜35帶來(lái)?yè)p傷的危險(xiǎn)性。另一方面，按照本實(shí)施方式的工序順序，在設(shè)置第一端子15?第四端子18的工序中，不存在給可動(dòng)反射膜35帶來(lái)?yè)p傷的危險(xiǎn)性。
[0146]同樣地，在固定基板14上設(shè)置反射膜端子41及固定電極端子47之后設(shè)置固定反射膜44及保護(hù)膜45。因此，在設(shè)置反射膜端子41及固定電極端子47的工序中，不存在給固定反射膜44帶來(lái)?yè)p傷的危險(xiǎn)性。因此，能夠高品質(zhì)地設(shè)置可動(dòng)反射膜35及固定反射膜44 ο
[0147](第二實(shí)施方式)
[0148]下面，使用圖9對(duì)于具備上述的光學(xué)模塊I的測(cè)色裝置的一實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。此夕卜，對(duì)于與上述的實(shí)施方式相同的點(diǎn)省略說(shuō)明。
[0149](測(cè)色裝置)
[0150]圖9為表示測(cè)色裝置的構(gòu)成的框圖。如圖9所示，作為電子設(shè)備的測(cè)色裝置60具備:向測(cè)定對(duì)象物61射出光的光源裝置62、測(cè)色傳感器63、控制測(cè)色裝置60的整體動(dòng)作的控制裝置66。并且，該測(cè)色裝置60通過(guò)測(cè)定對(duì)象物61使從光源裝置62射出的光發(fā)生發(fā)射，通過(guò)測(cè)色傳感器63接收被反射的檢查對(duì)象光?；趶臏y(cè)色傳感器63輸出的檢測(cè)信號(hào)，測(cè)色裝置60對(duì)于檢查對(duì)象光的色度、即測(cè)定對(duì)象物61的顏色進(jìn)行分析、測(cè)定。
[0151]光源裝置62具備:光源67、多個(gè)透鏡68 (圖中僅記載一個(gè))，向測(cè)定對(duì)象物61射出例如白色光等的基準(zhǔn)光。并且，多個(gè)透鏡68中可以包含準(zhǔn)直透鏡，在這種情況下，準(zhǔn)直透鏡將從光源67射出的基準(zhǔn)光變?yōu)槠叫泄?，光源裝置62從未圖示的投射透鏡朝向測(cè)定對(duì)象物61射出光。另外，在本實(shí)施方式中，例示了具備光源裝置62的測(cè)色裝置60，例如測(cè)定對(duì)象物61為液晶板等的發(fā)光構(gòu)件的情況下，也可以為不設(shè)置光源裝置62的構(gòu)成。
[0152]測(cè)色傳感器63具備:濾光器69、接收透過(guò)濾光器69的光的檢測(cè)器(detector) 64、作為控制透過(guò)濾光器69的光的波長(zhǎng)的控制部的波長(zhǎng)控制部65。在濾光器69中使用上述的光學(xué)模塊I。波長(zhǎng)控制部65具備第一實(shí)施方式中的控制部27的功能。
[0153]并且，測(cè)色傳感器63在與濾光器69對(duì)向的位置具備未圖示的入射光學(xué)透鏡。入射光學(xué)透鏡將由測(cè)定對(duì)象物61反射的反射光(檢查對(duì)象光)導(dǎo)光至測(cè)色傳感器63的內(nèi)部。并且，在測(cè)色傳感器63中，濾光器69從自入射光學(xué)透鏡入射的檢查對(duì)象光中，對(duì)規(guī)定波長(zhǎng)的光進(jìn)行分光，由檢測(cè)器64接收分光的光。
[0154]控制裝置66控制測(cè)色裝置60的整體動(dòng)作。作為該控制裝置66，能夠使用例如通用個(gè)人計(jì)算機(jī)、攜帶信息終端、還能夠使用測(cè)色專用計(jì)算機(jī)等。而且，控制裝置66構(gòu)成為具備光源控制部70、測(cè)色傳感器控制部71及測(cè)色處理部72等。光源控制部70連接于光源裝置62，光源控制部70基于例如使用者的設(shè)定輸入，向光源裝置62輸出規(guī)定的控制信號(hào)，使規(guī)定的亮度的白色光射出。測(cè)色傳感器控制部71連接于測(cè)色傳感器63。測(cè)色傳感器控制部71基于例如操作者的設(shè)定輸入，設(shè)定通過(guò)測(cè)色傳感器63接收的光的波長(zhǎng)。并且，測(cè)色傳感器控制部71將以檢測(cè)該設(shè)定的波長(zhǎng)的光的受光量為內(nèi)容的控制信號(hào)輸出至測(cè)色傳感器63。由此，基于控制信號(hào)，波長(zhǎng)控制部65使濾光器69驅(qū)動(dòng)。測(cè)色處理部72從由檢測(cè)器64檢測(cè)到的受光量，分析測(cè)定對(duì)象物61的色度。
[0155]上述的光學(xué)模塊I用于濾光器69。在光學(xué)模塊I中，固定反射膜44貼緊性良好地設(shè)置在固定基板14上，可動(dòng)反射膜35貼緊性良好地設(shè)置于可動(dòng)部13b上。并且，導(dǎo)電膜配線32a及導(dǎo)電膜配線38a難以斷線，成為抑制在保護(hù)膜36及保護(hù)膜45的表面產(chǎn)生靜電的構(gòu)造。從而，能夠使測(cè)色裝置60為具備反射膜高品質(zhì)地設(shè)置、反射膜和配線高品質(zhì)地電連接的濾光器69的電子設(shè)備。
[0156](第三實(shí)施方式)
[0157]下面，使用圖10及圖11，對(duì)具備上述的光學(xué)模塊I的氣體檢測(cè)裝置的一實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。該氣體檢測(cè)裝置例如用于高靈敏度地檢測(cè)指定氣體的車(chē)載用氣體泄漏檢測(cè)器、呼氣檢查用的光音響稀有氣體檢測(cè)器等。此外，對(duì)與上述的實(shí)施方式相同的點(diǎn)省略說(shuō)明。
[0158]圖10為示出氣體檢測(cè)裝置的構(gòu)成的示意正視圖，圖11為示出氣體檢測(cè)裝置的控制系統(tǒng)的構(gòu)成的框圖。如圖10所示，作為電子設(shè)備的氣體檢測(cè)裝置75構(gòu)成為具備:傳感器芯片76、流路77和主體部78，該流路77具備吸引口 77a、吸引流路77b、排出流路77c以及排出口 77do
[0159]主體部78具備:傳感器部蓋79、排出單元80及框體81。通過(guò)開(kāi)閉傳感器部蓋79，可拆裝流路77。此外，主體部78具備檢測(cè)裝置，該檢測(cè)裝置包括光學(xué)部82、濾波器83、濾光器84及受光元件85 (檢測(cè)部)等。在濾光器84中使用上述的光學(xué)模塊I。
[0160]此外，主體部78具備:處理檢測(cè)的信號(hào)并控制檢測(cè)部的控制部86 (處理部)；以及供電的供電部87等。光學(xué)部82由射出光的光源88、分光器89、透鏡90、透鏡91以及透鏡92構(gòu)成。分光器89將從光源88入射的光反射至傳感器芯片76側(cè)，使從傳感器芯片側(cè)入射的光透過(guò)至受光元件85偵1|。
[0161]如圖11所示，操作面板93、顯示部94、用于與外部的接口的連接部95以及供電部87設(shè)置于氣體檢測(cè)裝置75。供電部87為二次電池的情況下，也可以具備用于充電的連接部96。此外，氣體檢測(cè)裝置75的控制部86具備:由CPU等構(gòu)成的信號(hào)處理部99以及用于控制光源88的光源驅(qū)動(dòng)器電路100。此外，控制部86具備:用于控制濾光器84的作為控制部的波長(zhǎng)控制部101、用于接收來(lái)自受光元件85的信號(hào)的受光電路102。波長(zhǎng)控制部101具備第一實(shí)施方式中的控制部27的功能。此外，控制部86具備傳感器芯片檢測(cè)電路104，該傳感器芯片檢測(cè)電路104接收來(lái)自傳感器芯片檢測(cè)器103的信號(hào)，傳感器芯片檢測(cè)器103讀取傳感器芯片76的編碼并檢測(cè)傳感器芯片76的有無(wú)。此外，控制部86具備控制排出單元80的排出驅(qū)動(dòng)電路105等。
[0162]下面，對(duì)氣體檢測(cè)裝置75的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。在主體部78的上部的傳感器部蓋79的內(nèi)部，設(shè)置有傳感器芯片檢測(cè)器103。通過(guò)傳感器芯片檢測(cè)器103檢測(cè)傳感器芯片76的有無(wú)。信號(hào)處理部99當(dāng)檢測(cè)到來(lái)自傳感器芯片檢測(cè)器103的檢測(cè)信號(hào)時(shí)，判斷為已安裝傳感器芯片76的狀態(tài)。并且，信號(hào)處理部99向顯示部94發(fā)出顯示信號(hào)，使其顯示能夠?qū)嵤z測(cè)動(dòng)作的內(nèi)容。
[0163]然后，當(dāng)通過(guò)例如操作者操作操作面板93，從操作面板93向信號(hào)處理部99輸出開(kāi)始檢測(cè)處理的指示信號(hào)。首先，信號(hào)處理部99向光源驅(qū)動(dòng)器電路100輸出光源驅(qū)動(dòng)的指示信號(hào)，使光源88動(dòng)作。當(dāng)光源88被驅(qū)動(dòng)時(shí)，從光源88射出單一波長(zhǎng)的、直線偏振光穩(wěn)定的激光。光源88中內(nèi)置有溫度傳感器、光量傳感器，傳感器的信息被輸出給信號(hào)處理部99。信號(hào)處理部99基于從光源88輸入的溫度、光量而判斷光源88穩(wěn)定動(dòng)作時(shí)，信號(hào)處理部99控制排出驅(qū)動(dòng)電路105，使排出單元80動(dòng)作。由此，包含應(yīng)檢測(cè)的標(biāo)的物質(zhì)(氣體分子)的氣體試料被從吸引口 77a向吸引流路77b、傳感器芯片76內(nèi)、排出流路77c、排出口 77d引導(dǎo)。另外，在吸引口 77a設(shè)置有除塵過(guò)濾器77e，比較大的粉塵和一部分水蒸氣等被除去。
[0164]傳感器芯片76為組裝有多個(gè)金屬納米構(gòu)造體的元件，其為利用局部表面等離子體共振的傳感器。在這種傳感器芯片76中，通過(guò)激光在金屬納米構(gòu)造體間形成增強(qiáng)電場(chǎng)。當(dāng)氣體分子進(jìn)入該增強(qiáng)電場(chǎng)內(nèi)時(shí)，產(chǎn)生包含分子振動(dòng)的信息的拉曼散射光及瑞利散射光。這些拉曼散射光和瑞利散射光，通過(guò)光學(xué)部82而入射至濾光器83。瑞利散射光通過(guò)濾光器83而被分離，拉曼散射光入射至濾光器84。
[0165]然后，信號(hào)處理部99向波長(zhǎng)控制部101輸出控制信號(hào)。由此，波長(zhǎng)控制部101驅(qū)動(dòng)濾光器84的致動(dòng)器，通過(guò)濾光器84使對(duì)應(yīng)于作為檢測(cè)對(duì)象的氣體分子的拉曼散射光分光。由受光元件85接收分光后的光，對(duì)應(yīng)于受光量的受光信號(hào)經(jīng)由受光電路102輸出至信號(hào)處理部99。
[0166]信號(hào)處理部99比較如上得到的對(duì)應(yīng)于作為檢查對(duì)象的氣體分子的拉曼散射光的光譜數(shù)據(jù)和存儲(chǔ)于ROM的數(shù)據(jù)。然后，判定作為檢查對(duì)象的氣體分子是否為目的氣體分子，進(jìn)行物質(zhì)的指定。并且，信號(hào)處理部99使顯示部94顯示該結(jié)果信息，從連接部95向外部輸出。
[0167]以上例不了通過(guò)濾光器84將拉曼散射光分光、從被分光的拉曼散射光進(jìn)行氣體檢測(cè)的氣體檢測(cè)裝置75。氣體檢測(cè)裝置75也可以用作通過(guò)檢測(cè)氣體固有的吸光度而指定氣體種類的氣體檢測(cè)裝置。這種情況下，使氣體流入傳感器內(nèi)部，將濾光器84用作檢測(cè)入射光中被氣體吸收的光的氣體傳感器。并且，氣體檢測(cè)裝置為通過(guò)氣體傳感器分析、判別流入傳感器內(nèi)的氣體的電子設(shè)備。氣體檢測(cè)裝置75通過(guò)如此的構(gòu)成，也能夠使用濾光器84檢測(cè)氣體的成分。
[0168]上述的光學(xué)模塊I用于濾光器84。在光學(xué)模塊I中，固定反射膜44貼緊性良好地設(shè)置在固定基板14上，可動(dòng)反射膜35貼緊性良好地設(shè)置于可動(dòng)部13b上。并且，導(dǎo)電膜配線32a及導(dǎo)電膜配線38a難以斷線，成為抑制在保護(hù)膜36及保護(hù)膜45的表面產(chǎn)生靜電的構(gòu)造。從而，能夠使氣體檢測(cè)裝置75為具備反射膜高品質(zhì)地設(shè)置、反射膜和配線高品質(zhì)地電連接的濾光器84的電子設(shè)備。
[0169](第四實(shí)施方式)
[0170]下面，使用圖12對(duì)具備上述的光學(xué)模塊I的食物分析裝置的一實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。上述的光學(xué)模塊I能夠用于通過(guò)近紅外線分光的糖類的非侵襲性檢測(cè)裝置或食物、生物體、礦物等的信息的非侵襲性檢測(cè)裝置等的物質(zhì)成分分析裝置。食物分析裝置為物質(zhì)成分分析裝置的一種。此外，對(duì)于與上述的實(shí)施方式相同的點(diǎn)，省略說(shuō)明。
[0171]圖12為表示食物分析裝置的構(gòu)成的框圖。如圖12所示，作為電子設(shè)備的食物分析裝置108具備:檢測(cè)器109、控制部110以及顯示部111。檢測(cè)器109具備:射出光的光源112、導(dǎo)入來(lái)自檢測(cè)對(duì)象物113的光的拍攝透鏡114、將從拍攝透鏡114導(dǎo)入的光分光的濾光器115。在濾光器115中使用上述的光學(xué)模塊I。
[0172]此外，檢測(cè)器109具備