專(zhuān)利名稱：測(cè)量具有顯微成象光路的光學(xué)儀器曝光時(shí)間的方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測(cè)量具有顯微成象光路、觀察光路、測(cè)量光路和入射光路的光學(xué)儀器的曝光時(shí)間的方法及裝置。
在測(cè)量顯微攝影裝置、顯微鏡室或光學(xué)測(cè)量裝置的曝光時(shí)間的大多數(shù)情況是，中間象光線被分配給觀察光路和測(cè)量光路。此外只取視場(chǎng)的一定的截面用于測(cè)量。已知的曝光測(cè)量方法或裝置分為3個(gè)系統(tǒng)組；它們分別在

圖1-3中示出。
在圖1中示出了一成象光路A和在其延伸線上的測(cè)量光路M，在測(cè)量光路上有一預(yù)定中心的固定的測(cè)量光闌40。由偏轉(zhuǎn)棱鏡41分出一觀察光路B，觀察光路在所畫(huà)的位置上有一目鏡-中間象面19。測(cè)量光闌40在一個(gè)與面19共軛的面上。在19處有一經(jīng)精確校準(zhǔn)的標(biāo)線板，該標(biāo)線板在中間象上標(biāo)定了測(cè)量光闌圖象的位置。在簡(jiǎn)單的與顯微鏡配套的照相機(jī)上采用了這種已知的工作原理。其缺點(diǎn)在于，只能采用固定的測(cè)量光闌。另外在標(biāo)本的陰影處看不到標(biāo)線板42的標(biāo)線圖象。盡管根據(jù)該已知的入射原理也可以采用多個(gè)測(cè)量光闌，但選用的測(cè)量光闌在目鏡觀測(cè)中不能顯示出來(lái)。
圖2示出了另外一種已知的方案，根據(jù)此方案，一個(gè)位置可變和尺寸可變的測(cè)量光闌43通過(guò)光源L、翻轉(zhuǎn)鏡44、具有部分透明面39的棱鏡系統(tǒng)P和三棱鏡T的反射，射到目鏡-中同象面19上。這種已知的配置顯示出了一種細(xì)節(jié)一測(cè)量光闌瞬間狀態(tài)的形式和位置。例如在后反射鏡一雙筒式中已實(shí)現(xiàn)了這種工作原理。附加攝影機(jī)的位置可變的測(cè)量光闌或光學(xué)測(cè)量計(jì)的尺寸可變的測(cè)量光闌可以被后反射。這種配置的缺點(diǎn)特別在于，光學(xué)和機(jī)械部分耗費(fèi)過(guò)大，并且存在雜光以導(dǎo)致不需要的照明和反射，這是因?yàn)樽疃鄡H有25％的后反射光被利用。它的另一個(gè)缺點(diǎn)是，在光闌處的標(biāo)本被后反射類(lèi)照亮并因此僅能進(jìn)行有選擇的顯示或測(cè)量。
在第3個(gè)已知的入射系統(tǒng)中，同樣也有一個(gè)位于測(cè)量光路M上的測(cè)量光闌40和一個(gè)具有部分透明面39的棱鏡系統(tǒng)P，測(cè)量光闌40的輪廓通過(guò)入射光路E被入射到目鏡-中間象19上。具有測(cè)量光闌輪廓的影子位于與19共軛的面45上。在市場(chǎng)上銷(xiāo)售的用于格式化顯示的光學(xué)顯微裝置已采用了這種在圖3所示的配置。盡管根據(jù)此原理也可以考慮采用同步連續(xù)調(diào)整的測(cè)量光闌和入射光闌，但在入射光路E上的入射光闌必須對(duì)測(cè)量光闌的移動(dòng)及其形變和量變進(jìn)行精確的再調(diào)節(jié)，這就意味著需要機(jī)械部分的高耗費(fèi)。出于對(duì)現(xiàn)實(shí)的費(fèi)用和制作工藝的考慮，這是不可能實(shí)現(xiàn)的。這種已知的第3個(gè)入射原理的另外一個(gè)缺點(diǎn)是，很難實(shí)現(xiàn)可調(diào)的測(cè)量光闌及其互補(bǔ)的輪廓。
所以本發(fā)明的任務(wù)是，消除已知的方法或裝置的缺點(diǎn)，并提出一種入射方法和入射系統(tǒng)，在該方法和系統(tǒng)中在測(cè)量光路上選用的測(cè)量光闌的位置在觀察光路上同時(shí)被明顯地顯示出。
本發(fā)明方法的特征是一個(gè)配置在測(cè)量光路上的含有多個(gè)分立測(cè)量光闌的測(cè)量光闌板和一個(gè)配置在入射光路上位于標(biāo)線板附近的含有多個(gè)分立遮蔽圖形的遮蔽板以如下方式同步運(yùn)行，位于測(cè)量光路上的測(cè)量光闌經(jīng)入射光路借助所屬的遮蔽圖形和具有測(cè)量光闌的輪廓或輪廓部分的標(biāo)線板，同時(shí)顯示在觀察光路上的目鏡中同象面上。
本發(fā)明的裝置的特征是(a)在測(cè)量光路上，在與物面共軛的中間象面上可移動(dòng)地配置有一個(gè)測(cè)量光闌板，該測(cè)量光闌板至少要有兩個(gè)不同尺寸的測(cè)量光闌，(b)在入射光路上配備有一個(gè)光源、一個(gè)位于目鏡中間象面共軛的面上的標(biāo)線板和一個(gè)在標(biāo)線板附近配置的可移動(dòng)的，并至少含有兩個(gè)與測(cè)量光闌互補(bǔ)的遮蔽圖形的遮蔽板，(c)入射光路的輸入耦合及觀察光路的輸出耦合是通過(guò)一個(gè)在成象光路上配置的具有部分透明面的組合棱鏡系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的。
采用上述方式的方法或裝置解決了這項(xiàng)任務(wù)。在以下實(shí)施例中對(duì)進(jìn)一步的優(yōu)選設(shè)計(jì)進(jìn)行了表述。附圖對(duì)本發(fā)明的方法或裝置做了進(jìn)一步的描述。下述附圖為圖1-3是3種已知的曝光測(cè)量方法及其相應(yīng)的裝置；圖4是本發(fā)明的第1種實(shí)施方式的裝置；圖5a和5b是視場(chǎng)中兩個(gè)不同尺寸的測(cè)量光闌；圖6是具有輪廓部分的圖象的標(biāo)線象；圖7是測(cè)量光闌板；圖8a和8b是測(cè)量光路上的測(cè)量光闌板的兩種不同的有效位置；圖9是遮蔽板；圖10a和圖10b是入射光路上遮蔽板的不同作用位置；圖11a是具有3個(gè)矩形光闌的測(cè)量光闌盤(pán)；圖11b是在測(cè)量光路上處于作用位置的兩個(gè)相互部分重疊的測(cè)量光闌盤(pán)；圖11c是所構(gòu)成的新的測(cè)量光闌形狀。
圖4為本發(fā)明裝置的示意圖，其中采納了圖3的各分光路。成象光路A從一物面O開(kāi)始沿整個(gè)系統(tǒng)的垂直的光軸方向伸展，直至在圖中未示出的光學(xué)測(cè)量裝置。圖中的M表示相應(yīng)的測(cè)量光路。棱鏡系統(tǒng)P含有一個(gè)部分透明的面39，在該面射出觀察光路B。19表示物鏡中間象面。由光源L發(fā)出入射光路E。在與19和物面O的共軛的面上，在入射光路E上有一標(biāo)線板7，并且在緊挨標(biāo)線板處有一遮檔板11，該遮蔽板用一電機(jī)15和一所屬的旋轉(zhuǎn)軸14移動(dòng)支撐。在測(cè)量光路M上，同樣在一個(gè)與19共軛的面上有一測(cè)量光闌板4，該板被一電機(jī)6和一旋轉(zhuǎn)軸5移動(dòng)支撐。入射光路E在棱鏡系統(tǒng)P范圍內(nèi)的過(guò)程如下，它穿透部分透明面39，并從此開(kāi)始與觀察光路重合。同步裝置16通過(guò)線路18或17與電機(jī)6或電機(jī)15相連接。
在結(jié)構(gòu)為不透明片形式的測(cè)量光闌板4上，如圖7所示，有兩個(gè)正方形的孔，這兩個(gè)孔起著大測(cè)量光闌3或小測(cè)量光闌2的作用。圖7中交會(huì)點(diǎn)5表示測(cè)量光闌板4的旋轉(zhuǎn)軸的軌跡。環(huán)形箭頭表示，板4可以由電機(jī)驅(qū)動(dòng)圍繞旋轉(zhuǎn)軸5旋轉(zhuǎn)。
圖8a和圖8b示出測(cè)量光闌板4的兩個(gè)基本位置。在圖8a中，小測(cè)量光闌2位于有效位置，也就是說(shuō)，位于測(cè)量光路M范圍內(nèi)。圖8b示出，圍繞旋轉(zhuǎn)軸5旋轉(zhuǎn)180°后的處于有效位置的大測(cè)量光闌3。測(cè)量光闌2或3的輪廓或輪廓部分被反向投射到標(biāo)線板7上。該輪廓可以由引線、虛線或點(diǎn)構(gòu)成。但也可以僅把四方形的頂點(diǎn)作為輪廓部分反向投射到標(biāo)線板7上。在標(biāo)線板7上的輪廓是透明的，因而在把輪廓入射到觀察光路B的目鏡中間像上時(shí)，將得到該輪廓相應(yīng)的明象。圖6示出了這種標(biāo)線圖象8。它由標(biāo)示一個(gè)小方形的4個(gè)亮十字10和由中心對(duì)稱的標(biāo)示一個(gè)大方形的4個(gè)亮十字9構(gòu)成。因此供選擇的測(cè)量光闌2或3的連續(xù)輪廓或非連續(xù)輪廓部分作為觀察光路B上的顯微物象上的亮標(biāo)志，觀察者是可以識(shí)別出的。
為了使標(biāo)線板7上的整個(gè)標(biāo)志信息不是同時(shí)地提供給觀察者，在標(biāo)線板7的鄰近處，與標(biāo)線板平行配置一旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的遮蔽板11。
圖9示出，該遮蔽板11由不透明的材料構(gòu)成，具有第一方形遮蔽圖12和第二小方形遮蔽圖形系統(tǒng)13。14表示遮蔽板11的旋轉(zhuǎn)軸的交會(huì)點(diǎn)；環(huán)形的雙箭頭表示遮蔽板11可以旋轉(zhuǎn)180°。
圖10a為遮蔽圖形12在作用位置時(shí)的遮蔽板11的定位。這意味著，該遮蔽圖形在入射光路E的范圍內(nèi)。由光源L開(kāi)始的入射光路E，除在方形遮蔽圖12范圍內(nèi)的部分可以穿過(guò)，其它部分將被遮蔽板11遮檔。入射光路E接著到達(dá)標(biāo)線板7并恰好獲得輪廓部分10，而在標(biāo)線板上已有的輪廓部分9繼續(xù)被遮蔽板11“遮蔽”，也就是說(shuō)，觀察者是看不到的。
在遮蔽板圍繞旋轉(zhuǎn)軸14旋轉(zhuǎn)后，4個(gè)遮蔽圖形13處于作用位置，其中它們是與入射光路E的軌跡中心對(duì)稱配置的。4個(gè)遮蔽圖形給出了標(biāo)線板7的輪廓部分9并且其周?chē)晥?chǎng)是空的，因而在接通光源L時(shí)在目鏡中間象19上可以看到作為亮十字的輪廓部分9。
由于測(cè)量光闌板4和位于標(biāo)線板7附近的遮蔽板11是同步運(yùn)行的，因而也可以附加對(duì)在測(cè)量光路M上正好選用的測(cè)量光闌2或3同時(shí)在觀察光路B顯示相應(yīng)的測(cè)量光闌輪廓。這一點(diǎn)可以采取已知的方式通過(guò)與電機(jī)6或15有效連接的同步裝置16實(shí)現(xiàn)。
圖11a-11c示出了上述發(fā)明的第二種實(shí)施方式。圖11a示出一測(cè)量光闌盤(pán)20，該測(cè)量光闌盤(pán)由不透明的材料構(gòu)成并被圍繞旋轉(zhuǎn)軸25旋轉(zhuǎn)支撐。在其外緣范圍配置有光闌22-24，如圖所示，這些光闌為矩形結(jié)構(gòu)。如果在這些縫隙形成的矩形光闌的縱向側(cè)畫(huà)一條垂直中線，則這些中線通過(guò)圓盤(pán)中點(diǎn)，該中心點(diǎn)與旋轉(zhuǎn)軸25的交會(huì)點(diǎn)重合。
圖11b示出兩個(gè)與圖11a示出的圓盤(pán)相同的圓盤(pán)20、21，這兩個(gè)圓盤(pán)相互部分重疊并位于兩個(gè)相互平行間距很小的平面上。旋轉(zhuǎn)軸25和26的交會(huì)點(diǎn)，以及繪圖平面上測(cè)量光路M的光軸的交會(huì)點(diǎn)，如圖所示，構(gòu)成一直角三角形的頂點(diǎn)，其中直角在測(cè)量光路M和交會(huì)點(diǎn)上。在這種幾何狀況時(shí)，位于作用位置的矩形光闌24和29相互垂直?？梢钥从?，僅兩個(gè)光闌的很小的中心方形重疊部分構(gòu)成“組合”光闌開(kāi)孔，該光闌開(kāi)孔在圖11c中用標(biāo)號(hào)30表示。方形光闌34(圖11c)是采用如下相應(yīng)的方式實(shí)現(xiàn)的，測(cè)量光闌盤(pán)20的光闌23和測(cè)量光闌盤(pán)21的光闌28在測(cè)量光路M范圍內(nèi)重疊。其它所有在圖11c中示出的光闌的幾何圖形可根據(jù)圖11b通過(guò)所有各種調(diào)整可能性的相應(yīng)的周期變換加以實(shí)現(xiàn)。
在圖11b中示出的測(cè)量光闌20和21安裝在圖4中所畫(huà)的測(cè)量光闌板4的位置?？梢砸韵嗤姆绞皆谌肷涔饴稥上安裝一對(duì)遮蔽盤(pán)以替代遮蔽板，該對(duì)遮蔽盤(pán)就其配備的各矩形及在兩個(gè)遮蔽盤(pán)上的配置應(yīng)符合圖11b所示的配置。該圓盤(pán)對(duì)配置的優(yōu)點(diǎn)是，根據(jù)此原理可以構(gòu)成不同位置、不同形狀和不同尺寸的光闌或遮蔽圖形，并可同步置于作用位置。根據(jù)上述建議的配置，測(cè)量光闌或遮蔽圖形的幾何圖形對(duì)于圓盤(pán)的調(diào)節(jié)角度是不敏感的，因而結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單并不過(guò)于嚴(yán)格。
本發(fā)明的另外一種設(shè)計(jì)是，對(duì)測(cè)量光闌或遮檔板可以附有用于改變?nèi)肷浠虼郎y(cè)量光的顏色或強(qiáng)度的濾色鏡或灰色濾光鏡。其中也可以例如把標(biāo)線板7上的特定部分用顏色標(biāo)出。
可以把本發(fā)明的裝置或本發(fā)明的方法用于光學(xué)測(cè)量和曝光測(cè)量，測(cè)量時(shí)加入多個(gè)或全部的可顯示的測(cè)量光闌組合形態(tài)的測(cè)量數(shù)據(jù)。
而且也可以例如采用對(duì)廣泛的多功能標(biāo)線圖的遮蔽，實(shí)現(xiàn)標(biāo)線圖象和指示箭頭的入射并且可以配備例如用于物鏡轉(zhuǎn)換時(shí)顯示標(biāo)尺標(biāo)志(M標(biāo)志)的入射的電機(jī)自動(dòng)驅(qū)動(dòng)。
光闌或遮蔽的幾何圖形的其它變化都在本發(fā)明的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.用于測(cè)量光學(xué)儀器的曝光時(shí)間的方法，該光學(xué)儀器具有一顯微鏡成象光路、一觀察光路、一測(cè)量光路和一入射光路，其特征在于一個(gè)配置在測(cè)量光路(M)上的含有多個(gè)分立測(cè)量光闌(2，3)的測(cè)量光闌板(4)和一個(gè)配置在入射光路(E)上位于標(biāo)線板(7)附近的含有多個(gè)分立遮蔽圖形(12，13)的遮蔽板(11)以如下方式同步運(yùn)行，位于測(cè)量光路(M)上的測(cè)量光闌(2)或(3)經(jīng)入射光路(E)借助所屬的遮蔽圖形(12或13)和具有測(cè)量光闌(2，3)的輪廓或輪廓部分的標(biāo)線板(7)，同時(shí)顯示在觀察光路(B)上的目鏡中間象面(19)上。
2.按權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于采用一同步裝置(16)對(duì)測(cè)量光闌板(4)和遮蔽板(11)的同步運(yùn)行進(jìn)行控制，該同步裝置與電機(jī)(6或15)有效連接，電機(jī)通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸(5或14)實(shí)現(xiàn)板(4或11)的運(yùn)行。
3.按權(quán)利要求1和2中之一所述的方法，其特征在于為了改變測(cè)量光路(M)上的測(cè)量光闌的位置和/或改變測(cè)量光闌的大小及位于入射光路(E)上的相類(lèi)似的位置和/或尺寸可變的遮蔽圖形，可移動(dòng)地配置有一個(gè)含有多個(gè)光闌(22-24；27-29)的測(cè)量光闌盤(pán)的相互部分重疊對(duì)及一個(gè)含有多個(gè)類(lèi)似的遮蔽圖形的遮蔽盤(pán)的相似的對(duì)，通過(guò)在第一個(gè)測(cè)量光闌盤(pán)(20)上配置的光闌(22或23或24)與在第二個(gè)測(cè)量光闌盤(pán)(21)上配置的光闌(27或28或29)在測(cè)量光路(M)范圍內(nèi)的幾何重疊，可以對(duì)所產(chǎn)生的測(cè)量光闌(30-38)進(jìn)行調(diào)整，此測(cè)量光闌與以相同的方式通過(guò)一個(gè)在第一遮蔽盤(pán)上配置的遮蔽圖形與在第二個(gè)遮蔽盤(pán)上配置的遮蔽圖形在入射光路(E)范圍內(nèi)的幾何重疊而產(chǎn)生的遮蔽圖形相符。
4.按上述權(quán)利要求中最少一項(xiàng)所述的方法，其特征在于附著在標(biāo)線板上的測(cè)量光闌(2，3)的輪廓或輪廓部分在入射到觀察光路(B)時(shí)，作為可見(jiàn)輪廓顯示在目鏡中間象(19)上。
5.用于測(cè)量光學(xué)儀器曝光時(shí)間的裝置，該光學(xué)儀器具有一個(gè)顯微成象光路、一個(gè)觀察光路、一個(gè)測(cè)量光路及一個(gè)入射光路，其特征在于(a)在測(cè)量光路(M)上，在與物面(O)共軛的中間象面上可移動(dòng)地配置有一個(gè)測(cè)量光闌板(4)，該測(cè)量光闌板至少要有兩個(gè)不同尺寸的測(cè)量光闌，(b)在入射光路(E)上配備有一個(gè)光源(L)、一個(gè)位于與目鏡中間象面(19)共軛的面上的標(biāo)線板(7)和一個(gè)在標(biāo)線板附近配置的可移動(dòng)的，并至少含有兩個(gè)與測(cè)量光闌(2，3)互補(bǔ)的遮蔽圖形(12，13)的遮蔽板(11)，(c)入射光路(E)的輸入耦合及觀察光路(B)的輸出耦合是通過(guò)一個(gè)在成象光路(A)上配置的具有部分透明面(39)的組合棱鏡系統(tǒng)(P)實(shí)現(xiàn)的。
6.按權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于標(biāo)線板(7)含有位于測(cè)量光闌板(4)上的測(cè)量光闌(2，3)的反向輪廓或反向輪廓部分，優(yōu)選形式為引線、虛線、點(diǎn)或頂點(diǎn)十字，實(shí)現(xiàn)方式為，輪廓或輪廓部分作為透明部分附著在不透明的標(biāo)線板(7)上。
7.按權(quán)利要求5和6中之一所述的裝置，其特征在于電機(jī)(6)通過(guò)一旋轉(zhuǎn)軸(5)與測(cè)量光闌板(4)連接，以及電機(jī)(15)通過(guò)一旋轉(zhuǎn)軸(14)與遮蔽板(11)連接，并且電機(jī)(6，15)由一同步裝置(16)通過(guò)電氣連接(18，17)加以控制。
8.按權(quán)利要求5至7中的任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于(a)在測(cè)量光路(M)上有兩個(gè)相互部分重疊的不透明的旋轉(zhuǎn)支撐的測(cè)量光闌盤(pán)(20，21)，測(cè)量光闌盤(pán)在各自的邊緣范圍內(nèi)有不同尺寸的平面空隙形的光闌(22-24；27-29)，其中其旋轉(zhuǎn)軸(25，26)的設(shè)置應(yīng)與測(cè)量光路(M)軸線平行，(b)在入射光路(E)上有兩個(gè)相同的相互部分重疊的不透明的旋轉(zhuǎn)支撐的遮蔽盤(pán)，遮蔽盤(pán)在其邊緣范圍有相應(yīng)尺寸的平面空隙形的遮蔽圖形，其中旋轉(zhuǎn)軸的設(shè)置應(yīng)與入射光路(E)軸線平行。
9.接權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于光闌盤(pán)(20或21)以及在其上的光闌(22-24或27-29)的幾何圖形、尺寸和位置完全相同。
10.按權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于相類(lèi)似的遮蔽盤(pán)及在其上的遮蔽圖形的幾何圖形、尺寸和位置是完全相同的。
11.按權(quán)利要求8至10中的至少一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于光闌(22-24；27-29)或遮蔽物是開(kāi)槽式矩形一光闌或開(kāi)槽式矩形遮蔽板。
12.按權(quán)利要求8至11中至少一個(gè)所述的裝置，其特征在于旋轉(zhuǎn)軸(25和26)的軌跡與測(cè)量光路(M)的軸線的軌跡構(gòu)成一直角三角形，其中直角在測(cè)量光路(M)軸線的軌跡上。
13.按權(quán)利要求8至11中的至少一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于兩個(gè)遮蔽盤(pán)的旋轉(zhuǎn)軸的軌跡與入射光路(E)的軸線的軌跡共同構(gòu)成一直角三角形，其中直角在入射光路(E)軸線的軌跡上。
14.按權(quán)利要求11所述的裝置，其特征在于每個(gè)矩形光闌(22-24；27-29)以如下方式配置在測(cè)量光闌盤(pán)(20，21)上，在其縱向側(cè)畫(huà)一條中間垂線，每個(gè)中間垂線過(guò)相應(yīng)盤(pán)(20或21)的中點(diǎn)(25，26)。
15.按權(quán)利要求11所述的裝置，其特征在于每個(gè)矩形遮蔽圖形以如下方式配置在遮蔽盤(pán)上，在其縱向側(cè)畫(huà)一條中間垂線，每個(gè)中間垂線過(guò)相應(yīng)遮檔盤(pán)的中點(diǎn)。
16.按權(quán)利要求8至15中的至少一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于具有用于同步調(diào)整測(cè)量光闌盤(pán)對(duì)和遮檔盤(pán)對(duì)，以及附加同步調(diào)整兩個(gè)盤(pán)對(duì)的部件。
17.按權(quán)利要求5至16中的至少一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于測(cè)量光闌(2，3；22-24；27-29)或遮蔽圖形(12，13)裝有附著在其上的濾色鏡或灰色濾光鏡。
18.按權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的方法或裝置用于光學(xué)測(cè)量和曝光時(shí)間測(cè)量，其中對(duì)多個(gè)或所有的可顯示的測(cè)量光闌輪廓的測(cè)量數(shù)據(jù)加以存貯并分析評(píng)價(jià)。
19.按權(quán)利要求1至17中任何一項(xiàng)所述的方法或裝置的應(yīng)用，其特征在于采用對(duì)用于尺寸和刻度的圖象顯示的多功能標(biāo)線板一圖形的有效部分規(guī)定選通的方法，實(shí)現(xiàn)標(biāo)線圖象和指示光點(diǎn)的入射。
全文摘要
根據(jù)本發(fā)明方法，一配置在測(cè)量光路(M)上的具有多個(gè)分立測(cè)量光闌(2，3)的測(cè)量光闌板(4)以及一配置在入射光路(E)上位于標(biāo)線板(7)附近的具有多個(gè)分立遮蔽圖形(12，13)的遮蔽板(11)同步運(yùn)行，因而在測(cè)量光路(M)上的測(cè)量光闌(2或3)經(jīng)入射光路(E)借助配屬的遮蔽圖形(12或13)和具有測(cè)量光闌(2，3)輪廓的標(biāo)線板(7)，同時(shí)在觀察光路(B)上的目鏡中間象面(19)上顯示出。
文檔編號(hào)G02B21/00GK1084654SQ93117848
公開(kāi)日1994年3月30日 申請(qǐng)日期1993年9月18日 優(yōu)先權(quán)日1992年9月21日
發(fā)明者L·雷馬, M·吉爾伯特, F·赫爾曼 申請(qǐng)人:萊卡顯微及系統(tǒng)有限公司