本技術(shù)涉及干蝕刻機(jī)，尤其涉及一種用于液晶面板干蝕刻機(jī)的支撐銷及基板支撐結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、現(xiàn)有的液晶面板干蝕刻機(jī)真空準(zhǔn)備室的基板支撐結(jié)構(gòu)如圖1所示，包括底座10，在底座10的頂部設(shè)置有六列的支撐銷組件，每列支撐銷組件均包含8個(gè)支撐銷20。因此，液晶面板干蝕刻機(jī)的真空準(zhǔn)備室共有48顆支撐銷。支撐銷20由防靜電的鐵氟龍材質(zhì)制成，現(xiàn)有的支撐銷的結(jié)構(gòu)如圖2所示，支撐銷的下部為具有螺紋的螺紋段21，用于旋入到底座10內(nèi)，支撐銷20的頂部為圓弧面。

2、在底座的每個(gè)角部均布置有一個(gè)定位氣缸30?；逑葟拇髿馐直蹅魉瓦M(jìn)來(lái)后放置在支撐銷上，然后四周定位氣缸30做動(dòng)對(duì)基板進(jìn)行歸正(底座右側(cè)的定位氣缸30先做動(dòng)，左側(cè)的定位氣缸30后做動(dòng))，再由真空搬運(yùn)室的手臂取出放進(jìn)基板處理室進(jìn)行蝕刻。

3、支撐銷在使用過(guò)程中與基板背面發(fā)生摩擦，圓弧面逐漸磨損成平面，且隨著支撐銷磨損程度，氣缸歸正基板時(shí)候的作用力也會(huì)慢慢變大，容易發(fā)生基板破片，導(dǎo)致機(jī)臺(tái)停機(jī)處理，嚴(yán)重影響產(chǎn)線推移，造成重大損失。

4、為減少破片，現(xiàn)有采取的手段是縮短支撐銷更換周期，但卻大大增加成本，且在更換支撐銷時(shí)，產(chǎn)線也必須停下，影響機(jī)臺(tái)稼動(dòng)率和產(chǎn)線推移。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題，在于提供一種用于液晶面板干蝕刻機(jī)的支撐銷及基板支撐結(jié)構(gòu)，能夠延長(zhǎng)支撐銷的更換周期，且減少基板的破片率，以提高機(jī)臺(tái)的稼動(dòng)率。

2、本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的：

3、第一方面，本實(shí)用新型提供了一種用于液晶面板干蝕刻機(jī)的支撐銷，包括有基座、滾珠以及襯套，所述基座由第一螺紋段和設(shè)置在第一螺紋段頂部的座體組成，所述座體的頂部開設(shè)有容納槽，所述滾珠容納在容納槽內(nèi)，所述襯套可拆卸連接在基座的頂部，所述襯套的中部開設(shè)有圓孔，所述圓孔的直徑小于滾珠的直徑，所述滾珠的上部穿過(guò)圓孔位于容納槽的外部，在所述容納槽內(nèi)還設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)鋼珠，復(fù)數(shù)個(gè)所述鋼珠填充在滾珠與容納槽側(cè)壁的間隙之中。

4、進(jìn)一步地，所述滾珠由聚酰亞胺材質(zhì)制成，所述襯套由塑料材質(zhì)制成，所述基座由金屬材質(zhì)制成。

5、進(jìn)一步地，所述座體的外側(cè)壁設(shè)置有卡槽，所述襯套的內(nèi)側(cè)設(shè)置有卡接凸起，所述座體通過(guò)卡槽和卡接凸起與所述襯套可拆卸連接。

6、進(jìn)一步地，所述座體的外側(cè)壁設(shè)置有兩個(gè)第一平面，兩個(gè)所述第一平面設(shè)置在卡槽的下方。

7、進(jìn)一步地，所述容納槽的底壁為弧形面。

8、第二方面，本實(shí)用新型提供了一種用于液晶面板干蝕刻機(jī)的基板支撐結(jié)構(gòu)，包括有底座以及第一方面中所述的支撐銷，所述支撐銷的數(shù)量設(shè)置有四十個(gè)，所述底座設(shè)置有六列孔位，每列所述孔位均包括八個(gè)安裝孔；

9、所述基板支撐結(jié)構(gòu)還包括有八個(gè)支撐柱，八個(gè)所述支撐柱均分為兩組，兩組所述支撐柱分別安裝在位于邊緣的兩列孔位中；且兩組所述支撐柱分別在對(duì)應(yīng)列的孔位的中部位置；

10、所述底座上的其余安裝孔分別安裝有支撐銷。

11、進(jìn)一步地，所述支撐柱由第二螺紋段和設(shè)置在第二螺紋段頂部的主體組成，所述主體的頂部為圓弧面，所述主體的側(cè)壁設(shè)置有兩個(gè)第二平面。

12、本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：本實(shí)用新型中的支撐銷為萬(wàn)向滾動(dòng)型，在定位氣缸對(duì)基板歸正時(shí)，能夠大大減小基板與支撐銷之間的阻力，減少了支撐銷的磨損，延長(zhǎng)了支撐銷的使用壽命，從而提高機(jī)臺(tái)的稼動(dòng)率。

技術(shù)特征：

1.一種用于液晶面板干蝕刻機(jī)的支撐銷，其特征在于：包括有基座、滾珠以及襯套，所述基座由第一螺紋段和設(shè)置在第一螺紋段頂部的座體組成，所述座體的頂部開設(shè)有容納槽，所述滾珠容納在容納槽內(nèi)，所述襯套可拆卸連接在基座的頂部，所述襯套的中部開設(shè)有圓孔，所述圓孔的直徑小于滾珠的直徑，所述滾珠的上部穿過(guò)圓孔位于容納槽的外部，在所述容納槽內(nèi)還設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)鋼珠，復(fù)數(shù)個(gè)所述鋼珠填充在滾珠與容納槽側(cè)壁的間隙之中。

2.如權(quán)利要求1所述的一種用于液晶面板干蝕刻機(jī)的支撐銷，其特征在于：所述滾珠由聚酰亞胺材質(zhì)制成，所述襯套由塑料材質(zhì)制成，所述基座由金屬材質(zhì)制成。

3.如權(quán)利要求1所述的一種用于液晶面板干蝕刻機(jī)的支撐銷，其特征在于：所述座體的外側(cè)壁設(shè)置有卡槽，所述襯套的內(nèi)側(cè)設(shè)置有卡接凸起，所述座體通過(guò)卡槽和卡接凸起與所述襯套可拆卸連接。

4.如權(quán)利要求1所述的一種用于液晶面板干蝕刻機(jī)的支撐銷，其特征在于：所述座體的外側(cè)壁設(shè)置有兩個(gè)第一平面，兩個(gè)所述第一平面設(shè)置在卡槽的下方。

5.如權(quán)利要求1所述的一種用于液晶面板干蝕刻機(jī)的支撐銷，其特征在于：所述容納槽的底壁為弧形面。

6.一種用于液晶面板干蝕刻機(jī)的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括有底座以及權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的支撐銷，所述支撐銷的數(shù)量設(shè)置有四十個(gè)，所述底座設(shè)置有六列孔位，每列所述孔位均包括八個(gè)安裝孔；

7.如權(quán)利要求6所述的一種用于液晶面板干蝕刻機(jī)的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述支撐柱由第二螺紋段和設(shè)置在第二螺紋段頂部的主體組成，所述主體的頂部為圓弧面，所述主體的側(cè)壁設(shè)置有兩個(gè)第二平面。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種用于液晶面板干蝕刻機(jī)的支撐銷及基板支撐結(jié)構(gòu)，所述支撐銷包括基座、滾珠以及襯套，基座由第一螺紋段和設(shè)置在第一螺紋段頂部的座體組成，座體的頂部開設(shè)有容納槽，滾珠容納在容納槽內(nèi)，襯套可拆卸連接在基座的頂部，襯套的中部開設(shè)有圓孔，圓孔的直徑小于滾珠的直徑，滾珠的上部穿過(guò)圓孔位于容納槽的外部，在容納槽內(nèi)還設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)鋼珠，復(fù)數(shù)個(gè)鋼珠填充在滾珠與容納槽側(cè)壁的間隙之中。本技術(shù)中的支撐銷為萬(wàn)向滾動(dòng)型，在定位氣缸對(duì)基板歸正時(shí)，能夠大大減小基板與支撐銷之間的阻力，減少了支撐銷的磨損，延長(zhǎng)了支撐銷的使用壽命，從而提高機(jī)臺(tái)的稼動(dòng)率。

技術(shù)研發(fā)人員：李世雄,楊朝勝,董浩,程輝,胡斌
受保護(hù)的技術(shù)使用者：福建華佳彩有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240514
技術(shù)公布日：2024/12/23