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一種基于諧振腔移相的多波長(zhǎng)光學(xué)相控陣列的制作方法

文檔序號(hào):40617126發(fā)布日期:2025-01-10 18:22閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種基于諧振腔移相的多波長(zhǎng)光學(xué)相控陣列,包括光學(xué)相控陣的陣元調(diào)制結(jié)構(gòu),其特征在于,所述陣元調(diào)制結(jié)構(gòu)包括一個(gè)可調(diào)mzi和4n個(gè)與mzi耦合的片上諧振結(jié)構(gòu);

2.如權(quán)利要求1所述的基于諧振腔移相的多波長(zhǎng)光學(xué)相控陣列,其特征在于,所述片上諧振結(jié)構(gòu)由準(zhǔn)一維光子晶體實(shí)現(xiàn),放置在距離波導(dǎo)間隔g的位置。

3.如權(quán)利要求2所述的基于諧振腔移相的多波長(zhǎng)光學(xué)相控陣列,其特征在于,所述準(zhǔn)一維光子晶體的可調(diào)參數(shù)包括歐拉環(huán)形孔的參數(shù)α以及孔之間的間距p和距離波導(dǎo)的間距g。

4.如權(quán)利要求2所述的基于諧振腔移相的多波長(zhǎng)光學(xué)相控陣列,其特征在于,所述準(zhǔn)一維光子晶體分為中心區(qū)、邊緣區(qū)和漸變區(qū)。

5.如權(quán)利要求2所述的基于諧振腔移相的多波長(zhǎng)光學(xué)相控陣列,其特征在于,所述準(zhǔn)一維光子晶體是在寬度為w的波導(dǎo)上刻蝕多個(gè)歐拉環(huán)形孔形成的,通常為40個(gè)以上。

6.如權(quán)利要求5所述的基于諧振腔移相的多波長(zhǎng)光學(xué)相控陣列,其特征在于,所述歐拉環(huán)形孔,下半部分的x>0時(shí)的形狀由以下參數(shù)方程確定:

7.如權(quán)利要求5所述的基于諧振腔移相的多波長(zhǎng)光學(xué)相控陣列,其特征在于,所述歐拉環(huán)形孔,下半部分的x<0時(shí)的形狀由以下參數(shù)方程確定:

8.如權(quán)利要求5所述的基于諧振腔移相的多波長(zhǎng)光學(xué)相控陣列,其特征在于,所述歐拉環(huán)形孔,上半部分的x>0時(shí)的形狀由以下參數(shù)方程確定:

9.如權(quán)利要求5所述的基于諧振腔移相的多波長(zhǎng)光學(xué)相控陣列,其特征在于,所述歐拉環(huán)形孔,上半部分的x<0時(shí)的形狀由以下參數(shù)方程確定:

10.如權(quán)利要求1所述的基于諧振腔移相的多波長(zhǎng)光學(xué)相控陣列,其特征在于,每個(gè)所述光學(xué)相控陣的陣元調(diào)制結(jié)構(gòu)與一個(gè)陣元相連,每個(gè)陣元即為一個(gè)寬帶光柵耦合器,每個(gè)調(diào)制結(jié)構(gòu)能夠獨(dú)立調(diào)制不同輸入光柵耦合器的光的相位和幅度,從而實(shí)現(xiàn)光學(xué)相控陣對(duì)不同波長(zhǎng)光的同時(shí)掃描。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種基于諧振腔移相的多波長(zhǎng)光學(xué)相控陣列,包括光學(xué)相控陣的陣元調(diào)制結(jié)構(gòu),陣元調(diào)制結(jié)構(gòu)包括一個(gè)可調(diào)MZI和4N個(gè)與MZI耦合的片上諧振結(jié)構(gòu);第1至N個(gè)諧振結(jié)構(gòu)緊鄰MZI上臂波導(dǎo),第1'至N'個(gè)片上諧振結(jié)構(gòu)緊鄰MZI下臂波導(dǎo),第1”至N”個(gè)諧振結(jié)構(gòu)和第1”'至N”'個(gè)諧振結(jié)構(gòu)緊鄰MZI其一輸出波導(dǎo),通過(guò)調(diào)節(jié)4N個(gè)諧振結(jié)構(gòu)和MZI能夠?qū)γ總€(gè)陣元輸入光的幅度和相位進(jìn)行調(diào)節(jié),本發(fā)明通過(guò)引入更高效的片上諧振結(jié)構(gòu),可顯著提高移相效率,大幅降低功耗。這使得OPA技術(shù)的性能得到提升,能夠滿足高速、低功耗的應(yīng)用需求,通過(guò)設(shè)計(jì)精巧的準(zhǔn)一維光子晶體諧振結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了在同一光波導(dǎo)中,同時(shí)對(duì)多個(gè)波長(zhǎng)的光束進(jìn)行獨(dú)立移相,不會(huì)影響其他波長(zhǎng)的光相位。

技術(shù)研發(fā)人員:周翔宇,黃一軒
受保護(hù)的技術(shù)使用者:成都微知光遠(yuǎn)科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/9
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