1.一種光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,包括步驟:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,在將所述第一晶圓第二面鍵合于一臨時承載晶圓之前,還包括步驟:
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,將所述第一晶圓分割為多顆光學元件單元,具體包括:
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,所述將所述第二晶圓鍵合于所述第一晶圓第一面,具體包括:
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,所述鍵合材料為sio2、sin、al2o3、si、或薄膜黏合劑,或環(huán)氧樹脂。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,在將所述第一晶圓第二面鍵合于一臨時承載晶圓之前,還包括步驟:
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,所述將所述第一晶圓置于一臨時承載晶圓上,具體包括:
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,所述將所述第一晶圓分割為多顆光學元件單元,具體包括:
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,在所述解鍵合臨時承載晶圓之前,還包括步驟:
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,在所述光學元件單元表面覆蓋遮光保護材料,具體包括:
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,去除所述光學元件單元部分表面區(qū)域的遮光保護材料,形成透出至少部分所述光學功能結(jié)構(gòu)的通光區(qū)域,并使相鄰所述光學元件單元之間分離,具體包括:
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,所述在所述光學元件單元表面覆蓋遮光保護材料,具體包括:
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,去除所述光學元件單元部分表面區(qū)域的所述遮光保護材料,形成透出至少部分所述光學功能結(jié)構(gòu)的通光區(qū)域,并使相鄰所述光學元件單元之間分離,具體包括:
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,所述第一晶圓第一面形成有多個規(guī)律排布的光學功能結(jié)構(gòu),具體包括:
15.一種光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,包括步驟:
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,在所述去除所述重組晶圓表面鍵合層之前,還包括步驟:
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,在所述切割重組晶圓之前,還包括步驟:
18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,所述第一晶圓第一面形成有多個規(guī)律排布的光學功能結(jié)構(gòu),具體包括:
19.一種采用權(quán)利要求15~18任一項所述的光學元件的晶圓級封裝方法制作的光學元件,其特征在于,
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的光學元件,其特征在于,所述第一光學結(jié)構(gòu)件上還設(shè)置有第二光學結(jié)構(gòu)件,所述第一光學結(jié)構(gòu)件和所述第二光學結(jié)構(gòu)件外表面覆蓋有遮光保護材料,且所述遮光保護材料至少暴露出部分所述光學功能結(jié)構(gòu)。