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光學元件和光學元件的晶圓級封裝方法與流程

文檔序號:40633748發(fā)布日期:2025-01-10 18:39閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,包括步驟:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,在將所述第一晶圓第二面鍵合于一臨時承載晶圓之前,還包括步驟:

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,將所述第一晶圓分割為多顆光學元件單元,具體包括:

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,所述將所述第二晶圓鍵合于所述第一晶圓第一面,具體包括:

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,所述鍵合材料為sio2、sin、al2o3、si、或薄膜黏合劑,或環(huán)氧樹脂。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,在將所述第一晶圓第二面鍵合于一臨時承載晶圓之前,還包括步驟:

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,所述將所述第一晶圓置于一臨時承載晶圓上,具體包括:

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,所述將所述第一晶圓分割為多顆光學元件單元,具體包括:

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,在所述解鍵合臨時承載晶圓之前,還包括步驟:

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,在所述光學元件單元表面覆蓋遮光保護材料,具體包括:

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,去除所述光學元件單元部分表面區(qū)域的遮光保護材料,形成透出至少部分所述光學功能結(jié)構(gòu)的通光區(qū)域,并使相鄰所述光學元件單元之間分離,具體包括:

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,所述在所述光學元件單元表面覆蓋遮光保護材料,具體包括:

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,去除所述光學元件單元部分表面區(qū)域的所述遮光保護材料,形成透出至少部分所述光學功能結(jié)構(gòu)的通光區(qū)域,并使相鄰所述光學元件單元之間分離,具體包括:

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,所述第一晶圓第一面形成有多個規(guī)律排布的光學功能結(jié)構(gòu),具體包括:

15.一種光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,包括步驟:

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,在所述去除所述重組晶圓表面鍵合層之前,還包括步驟:

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,在所述切割重組晶圓之前,還包括步驟:

18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的光學元件的晶圓級封裝方法,其特征在于,所述第一晶圓第一面形成有多個規(guī)律排布的光學功能結(jié)構(gòu),具體包括:

19.一種采用權(quán)利要求15~18任一項所述的光學元件的晶圓級封裝方法制作的光學元件,其特征在于,

20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的光學元件,其特征在于,所述第一光學結(jié)構(gòu)件上還設(shè)置有第二光學結(jié)構(gòu)件,所述第一光學結(jié)構(gòu)件和所述第二光學結(jié)構(gòu)件外表面覆蓋有遮光保護材料,且所述遮光保護材料至少暴露出部分所述光學功能結(jié)構(gòu)。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種光學元件和光學元件的晶圓級封裝方法,封裝方法通過使用承載晶圓或重組晶圓起到承載的作用,在封裝過程中,從晶圓切割到去除遮光保護材料的步驟都通過晶圓級的操作方式進行,能夠顯著提升封裝效率,降低封裝成本,并且整體采用晶圓級封裝,能夠提高產(chǎn)品的一致性。

技術(shù)研發(fā)人員:邱山峰,吳賢豐,延宇豪,孫磊
受保護的技術(shù)使用者:蘇州山河光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/9
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