本發(fā)明屬于液晶顯示器制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種液晶顯示器制造光刻工藝過(guò)程中的光刻膠成膜裝置及方法。

背景技術(shù)：

近些年液晶顯示器件快速發(fā)展，在液晶顯示器件制造工藝過(guò)程中，需要在多個(gè)工序中多次使用光刻工藝制造器件圖形，光刻工藝主要包含光刻膠成膜、前烘烤、曝光、顯影、堅(jiān)膜、蝕刻、去膜、圖檢和清洗干燥等一系列過(guò)程。

目前液晶顯示面板光刻膠成膜，主要采用轉(zhuǎn)印輪進(jìn)行輥涂的方法，該方法適合較大面積玻璃基板，連續(xù)性較好，生產(chǎn)效率較高，但是對(duì)于單次成膜操作，輥涂法存在操作復(fù)雜、玻璃基板尺寸固定、光刻膠用量較大、成本高以及光刻膠成膜不具備選擇性等問(wèn)題。除了企業(yè)需要連續(xù)性重復(fù)性生產(chǎn)過(guò)程，在各類液晶顯示器件工藝性能研究、實(shí)驗(yàn)或者教學(xué)演示過(guò)程中，要求是光刻膠成膜過(guò)程具備間歇性、操作彈性大、參數(shù)變化較大等特點(diǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本專利提供一種液晶顯示器件間歇式光刻膠成膜的新裝置及方法，具備設(shè)備操作簡(jiǎn)單、膜層圖形具備選擇性、光刻膠用量少和基板尺寸可調(diào)等優(yōu)點(diǎn)。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

一種液晶顯示器光刻膠成膜的裝置，包括載物平臺(tái)，所述載物平臺(tái)的一側(cè)設(shè)有導(dǎo)軌支架，所述導(dǎo)軌支架上安裝有上下兩根平行于載物平臺(tái)的導(dǎo)軌，所述兩根導(dǎo)軌均連接有移動(dòng)板，安裝在上導(dǎo)軌上的移動(dòng)板為第一移動(dòng)板，安裝在下導(dǎo)軌上的移動(dòng)板為第二移動(dòng)板，所述第一移動(dòng)板的前端連接有移膠裝置，所述第二移動(dòng)板的前端連接有滾膠裝置；所述載物平臺(tái)上設(shè)有光刻膠槽和玻璃基板固定裝置，所述光刻膠槽內(nèi)裝有成膜母版，所述玻璃基板固定裝置上固定有玻璃基板。

進(jìn)一步的，所述移膠裝置由銷釘、彈簧和凸面移膠頭組成，所述銷釘穿過(guò)第一移動(dòng)板，銷釘位于移動(dòng)板上方的部分穿過(guò)彈簧，銷釘?shù)南路竭B接凸面移膠頭。按壓銷釘?shù)捻敳?，凸面移膠頭下降，松開(kāi)銷釘，凸面移膠頭返回原來(lái)的位置。

進(jìn)一步的，所述滾膠裝置由滾輪和刮板組成并安裝在同一底板上，滾輪和刮板從一側(cè)移到另一側(cè)，滾輪將光刻膠液從滾輪轉(zhuǎn)移至成膜母版，刮板隨后從成膜母版表面刮過(guò)，去除多余的光刻膠液。

進(jìn)一步的，所述滾輪和刮板的材質(zhì)均為橡膠，所述滾輪的表面為密集螺紋狀，橡膠材質(zhì)且?guī)в新菁y的滾輪，可較好吸附光刻膠液。

進(jìn)一步的，所述滾輪與底板的之間采用彈簧活頁(yè)連接。彈簧活頁(yè)具體由活頁(yè)、彈簧和連接銷構(gòu)成，使?jié)L輪具有彈性作用，這樣滾輪可與成膜母版緊密接觸。

進(jìn)一步的，所述成膜母版由成矩陣排列的圓柱體和圓柱體之間的空隙組成，所述圓柱體的半徑為0.5mm，高0.2mm，圓柱體之間的間距為1.2mm。相鄰圓柱體之間的空隙供光刻膠液儲(chǔ)存，膠液在凹槽內(nèi)流動(dòng)相較好，圓柱體的排列結(jié)構(gòu)可保證橡膠刮板刮過(guò)光刻膠液分布的均勻性，同時(shí)也易于通過(guò)凸面移膠頭轉(zhuǎn)移形成均勻的膜層。

本發(fā)明還提供一種液晶顯示器光刻膠成膜的方法，包括如下幾個(gè)步驟：

1）將設(shè)計(jì)好的成膜母版放置于光刻膠槽中并固定成膜母版的位置；

2）將第二移動(dòng)板移動(dòng)至成膜母版的一側(cè)，在光刻膠槽內(nèi)倒入光刻膠膠液；

3）第二移動(dòng)板前端的滾膠裝置與光刻膠膠液充分接觸后從成膜母版的一側(cè)滾到另一側(cè)；

4）將需要成膜的玻璃基板固定在基板固定位置上，調(diào)節(jié)移膠裝置定位于成膜母版的上方，啟動(dòng)移膠裝置將成膜母版上的光刻膠液吸附到移膠裝置上；

5）將移膠裝置移動(dòng)到玻璃基板的上方，移膠裝置將光刻膠液轉(zhuǎn)移到玻璃基板表面；

6）從基板固定裝置上取下帶有光刻膠液膜層的玻璃基板，送至烘箱中60-80℃烘干流平30min，即形成固態(tài)光刻膠膜層。

有益效果：與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供了一種液晶顯示器件光刻膠成膜的裝置及方法，首先通過(guò)滾膠裝置在成膜母版中形成光刻膠膜層；然后利用移膠裝置將成膜母版中光刻膠轉(zhuǎn)移至玻璃基板表面；最后通過(guò)烘干形成固態(tài)光刻膠膜層。本發(fā)明設(shè)備簡(jiǎn)單，可完成間歇式光刻膠成膜過(guò)程，過(guò)程操作容易、單次光刻膠用量較少，通過(guò)光刻膠成膜母版的置換，可適應(yīng)多種尺寸的玻璃基板和成膜圖形，光刻膠成膜具備選擇性。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明的滾輪結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本發(fā)明成膜母版結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為了加深對(duì)本發(fā)明的理解，下面將結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳述，該實(shí)施例僅用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明保護(hù)范圍的限定。

實(shí)施例1

一種液晶顯示器光刻膠成膜的裝置，包括載物平臺(tái)1，載物平臺(tái)1的一側(cè)設(shè)有導(dǎo)軌支架2，導(dǎo)軌支架2上安裝有上下兩根平行于載物平臺(tái)的導(dǎo)軌3，兩根導(dǎo)軌3均連接有移動(dòng)板，安裝在上導(dǎo)軌上的移動(dòng)板為第一移動(dòng)板4，安裝在下導(dǎo)軌上的移動(dòng)板為第二移動(dòng)板5，第一移動(dòng)板4的前端連接有移膠裝置6，第二移動(dòng)板5的前端連接有滾膠裝置7；載物平臺(tái)1上設(shè)有光刻膠槽8和玻璃基板固定裝置9，光刻膠槽8內(nèi)裝有成膜母版10，玻璃基板固定裝置9上固定有玻璃基板11。

移膠裝置6由銷釘601、彈簧602和凸面移膠頭603組成，銷釘601穿過(guò)第一移動(dòng)板4，銷釘601位于移動(dòng)板4上方的部分穿過(guò)彈簧602，銷釘601的下方連接凸面移膠頭603。按壓銷釘601的頂部，凸面移膠頭603下降，松開(kāi)銷釘601，凸面移膠頭603返回原來(lái)的位置。

滾膠裝置7由滾輪701和刮板702組成并安裝在同一底板703上，滾輪701和刮板702從一側(cè)移到另一側(cè)，滾輪701將光刻膠液從滾輪701轉(zhuǎn)移至成膜母版10，刮板702隨后從成膜母版10表面刮過(guò)，去除多余的光刻膠液。滾輪701和刮板702的材質(zhì)均為橡膠，滾輪701的表面為密集螺紋狀，橡膠材質(zhì)且?guī)в新菁y的滾輪701，可較好吸附光刻膠液。

滾輪701與底板703的之間采用彈簧活頁(yè)連接。彈簧活頁(yè)具體由活頁(yè)704、彈簧705和連接銷706構(gòu)成，使?jié)L輪701具有彈性作用，這樣滾輪701可與成膜母版10緊密接觸。

成膜母版10由成矩陣排列的圓柱體201和圓柱體之間的空隙202組成，圓柱體201的半徑為0.5mm，高0.2mm，圓柱體201之間的間距為1.2mm。相鄰圓柱體201之間的空隙202供光刻膠液儲(chǔ)存，膠液在空隙202內(nèi)流動(dòng)相較好，圓柱體201的排列結(jié)構(gòu)可保證橡膠刮板702刮過(guò)光刻膠液分布的均勻性，同時(shí)也易于通過(guò)凸面移膠頭603轉(zhuǎn)移形成均勻的膜層。

一種液晶顯示器光刻膠成膜的方法，包括如下幾個(gè)步驟：

1）將設(shè)計(jì)好的成膜母版10放置于光刻膠槽8中并固定成膜母版10的位置；

2）將第二移動(dòng)板5移動(dòng)至成膜母版10的一側(cè)，在光刻膠槽8內(nèi)倒入光刻膠膠液；

3）第二移動(dòng)板5前端滾膠裝置上的滾輪701與光刻膠液充分接觸后，從從成膜母版10的一側(cè)滾到另一側(cè)，刮板702隨后從成膜母版10表面刮過(guò)，去除多余的光刻膠液；

4）將需要成膜的玻璃基板11固定在基板固定位置9上，調(diào)節(jié)移膠裝置定位于成膜母版10的上方，按壓移膠裝置上的銷釘601，將凸面移膠頭603接觸到成膜母版10，凸面移膠頭603與成膜母版10接觸后形變，將成膜母版10上的光刻膠液轉(zhuǎn)移至凸面移膠頭603表面，按壓壓力和距離影響成膜效果，將成膜母版10上的光刻膠液吸附到凸面移膠頭603上，松開(kāi)銷釘，使移膠裝置回復(fù)恢復(fù)到原位置，

5）將移膠裝置移動(dòng)到玻璃基板11的上方，按壓銷釘，使凸面移膠頭603接觸到玻璃基板11，將光刻膠液轉(zhuǎn)移到玻璃基板11表面；

6）從基板固定裝置9上取下帶有光刻膠液膜層的玻璃基板11，送至烘箱中60-80℃烘干流平30min，即形成固態(tài)光刻膠膜層。

所述橡膠刮板702由彈性橡膠制成，通過(guò)調(diào)節(jié)橡膠刮板與成膜母版之間的距離和壓力，可影響光刻膠膜的厚度。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。