1.一種高均勻性LED平行光紫外曝光機光源系統(tǒng)，其特征在于：包括由陣列排布的紫外LED燈珠和對應(yīng)的準直透鏡紫外LED組成的平行光源模組、支撐光源模組或樣品移動的機械與控制系統(tǒng)，該機械與控制系統(tǒng)使曝光時光源模組與樣品在x-y二維平面內(nèi)相對運動，其運動軌跡均勻分布且最外圍覆蓋光源模組的最小重復(fù)單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高均勻性LED平行光紫外曝光機光源系統(tǒng)，其特征在于，LED燈珠發(fā)出的光經(jīng)準直透鏡準直后平行半角小于或等于3°。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高均勻性LED平行光紫外曝光機光源系統(tǒng)，其特征在于，紫外LED燈珠為多行多列排列，紫外LED設(shè)置在行列的交點上，除光源邊界外，每個行列交點上都設(shè)置有相同的紫外LED;優(yōu)選地，紫外LED燈珠陣列構(gòu)成正方形網(wǎng)格陣列或者六角密堆陣列。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高均勻性LED平行光紫外曝光機光源系統(tǒng)，其特征在于：紫外LED燈珠為六角密堆點陣排布，整個陣列成長方形，第一行燈珠排布次序為ABC重復(fù)，第二行燈珠排布次序為CAB重復(fù)或BCA重復(fù)，且C位于上一行AB中間正下方，奇數(shù)行行重復(fù)第一行排布，偶數(shù)行重復(fù)第二行排布；上述ABC各代表一種不同波長范圍的燈珠，ABC中至少兩種與另一種波長不同。
5.如權(quán)利要求4所述的高均勻性LED平行光紫外曝光機光源系統(tǒng)，其特征在于：所述A為365nm波段（±5nm）燈珠，B為385nm波段（±5nm）燈珠，C為405nm波段（±5nm）。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高均勻性LED平行光紫外曝光機光源系統(tǒng)，其特征在于，所述紫外LED 光源面板外圍設(shè)有與LED平行光方向平行的反射鏡。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高均勻性LED平行光紫外曝光機光源系統(tǒng)，其特征在于，曝光時所述光源模組與樣品在x-y二維平面內(nèi)相對運動的軌跡近似為多組阿基米德螺線，可具體描述為：
當 2NT≤t<(2N+1)T, N=0，1，2…時，
x=vtcos(ωt)
y=vtsin(ωt)
當(2N+1)T≤t<(2N+2)T, N=0，1，2…時，
x=(vT-vt)cos(ωt)
y=(vT-vt)sin(ωt)，
其中vT為螺線中心到最遠處距離，ωT為單一阿基米德螺線旋轉(zhuǎn)的角度，曝光總時間texp大于2T；優(yōu)選地，vT不小于光源的最小重復(fù)單元的最長對角長度的一半，ωT為720°以上，并且曝光總時間texp≥4T。
8.根據(jù)權(quán)利要求 5 所述的高均勻性LED平行光紫外曝光機光源系統(tǒng)，其特征在于，所述陣列LED上的準直透鏡的直徑小于4cm。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高均勻性LED平行光紫外曝光機光源系統(tǒng)，其特征在于，所述待曝光件距離平行光透鏡頂面高度為40-100cm。