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一種基于表面等離激元的光譜成像微濾光片的制作方法

文檔序號:12019396閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種基于表面等離激元的光譜成像微濾光片,其特征在于:包括表面等離激元和襯底,表面等離激元制備在襯底上。

2.根據(jù)權利要求1所述的光譜成像微濾光片,其特征在于:所述表面等離激元與CCD探測器成像單元相匹配,或者表面等離激元直接加工在CCD成像單元像素上。

3.根據(jù)權利要求1所述的光譜成像微濾光片,其特征在于:所述表面等離激元包括多個表面等離激元功能單元,表面等離激元功能單元與表面等離激元功能單元之間由金屬遮光柵格隔離,金屬遮光柵格制備在襯底上。

4.根據(jù)權利要求1所述的光譜成像微濾光片,其特征在于:所述的襯底采用石英襯底或硅片襯底、柔性材料襯底。

5.根據(jù)權利要求1所述的光譜成像微濾光片,其特征在于:所述表面等離激元制備襯底上采用電子束曝光、電子束蒸發(fā)鍍膜和剝離工藝加工裝備。

6.根據(jù)權利要求3所述的光譜成像微濾光片,其特征在于:所述的金屬遮光柵格制備在襯底上采用紫外光刻、電子束蒸發(fā)鍍膜和剝離工藝加工制備。

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