技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種數(shù)字微鏡器件傾斜掃描時(shí)的工作方法，現(xiàn)有技術(shù)中待掃描區(qū)域被微鏡單元細(xì)分為一定間距的掃描條帶，間距的大小等于等于相鄰微鏡單元的中心間距。本發(fā)明提供一種數(shù)字微鏡器件的傾斜掃描方法，一種數(shù)字微鏡器件的傾斜掃描方法，所述的數(shù)字微鏡器件在對(duì)感光材料件進(jìn)行掃描曝光時(shí)，其掃描方向與數(shù)字微鏡器件上微鏡陣列的行方向或列方向成一定夾角；這個(gè)夾角會(huì)使數(shù)字微鏡器件的微鏡單元在感光材料件上的掃描軌跡更加密集，在掃描曝光時(shí)，可以在不降低掃描速度的情況下，加工出線條的精細(xì)結(jié)構(gòu)。

技術(shù)研發(fā)人員：俞慶平;高明;陳修濤;董輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：俞慶平
文檔號(hào)碼：201611267980
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.31
技術(shù)公布日：2017.05.31