本發(fā)明涉及一種噴嘴裝置，特別涉及一種顯影噴嘴裝置

背景技術(shù)：

因應(yīng)低溫多晶硅移動(LTPS Mobile)產(chǎn)品對產(chǎn)品品質(zhì)要求越來越高，對產(chǎn)品顏色的均一性要求也越來越高，顏色主要是由彩膜輸出的，需要彩膜基板上膜層的顏色均一越來越高。

彩膜制作過程為玻璃進入洗凈裝置，對玻璃進行清洗，使其表面干凈，然后再通過涂布裝置對玻璃進行涂布，在玻璃的表面涂布一光阻層，將涂布后的玻璃放在真空干燥裝置內(nèi)進行干燥，除去玻璃上的水分，再在預(yù)烘烤裝置內(nèi)進行預(yù)烘烤處理，隨后進入曝光裝置內(nèi)進行曝光處置，經(jīng)過曝光處理后，進入顯影裝置內(nèi)對玻璃進行加工，在彩膜黃光線上有一臺外掛設(shè)備，對產(chǎn)品進行宏觀色不均勻的抽樣檢查，簡稱macro，此設(shè)備內(nèi)需要人員進入設(shè)備進行操作，通過人員手動操作旋轉(zhuǎn)載臺，通過燈照射到玻璃上，人眼靠近觀察產(chǎn)品上是否有膜面顏色不均的現(xiàn)象，對玻璃的品質(zhì)進行判定，當(dāng)發(fā)現(xiàn)彩膜產(chǎn)品顏色不均時，將玻璃判為不良品，合格的產(chǎn)品進入烘烤裝置內(nèi)進行烘烤處理后，玻璃從烘烤裝置中出來后并制作出彩膜。

如圖1所示，顯影裝置的液刀1噴出顯影液將玻璃20上未曝光的光阻洗掉，在玻璃20上形成我們需要的圖形，玻璃20進入顯影裝置時需要對玻璃20的光阻層進行顯影液的浸潤，保證顯影液與光阻均勻的融合，這樣對顯影液的浸潤均一性要求比較高；顯影裝置使用具有裂縫21(slit)的噴嘴2(nozzle)裝置噴出顯影液，這有一個缺陷，因為裂縫21的寬度只有0.1mm，所以內(nèi)部容易堵塞，當(dāng)某個部位堵塞時，此處無顯影液噴出，導(dǎo)致此處的膜面無法浸潤到顯影液，形成一條短橫線的顏色不均。

正常狀況藥液從噴嘴2的裂縫21噴到產(chǎn)品膜面上，形成一層均勻的水膜。如圖2所示，當(dāng)噴嘴2的裂縫21中有異物3堵塞時，噴出來的藥液開叉，產(chǎn)品膜面堵塞對應(yīng)的區(qū)域無藥液，從而造成玻璃20上形成一條短橫線的顏色不均的缺陷。

為解決上述上述缺陷，有必要提出一種新的顯影噴嘴裝置。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的顯影噴嘴裝置結(jié)構(gòu)簡單，能夠自動清洗噴嘴中的顆粒及時去掉，有效防止噴嘴某個部位堵塞時而導(dǎo)致此處無顯影液噴出，造成此處的膜面無法浸潤到顯影液，形成一條短橫線的顏色不均的發(fā)生。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種顯影噴嘴裝置，其中，其包括：

液刀，其設(shè)有進液口；

噴嘴，其與液刀的下部相接，所述噴嘴內(nèi)開有沿其軸向方向的裂縫，所述裂縫與所述進液口相連通；

清洗組件，其伸入所述裂縫，對所述裂縫進行清洗。

如上所述的顯影噴嘴裝置，其中，所述清洗組件包括：能伸入所述裂縫的清潔片，所述清潔片能在所述裂縫內(nèi)移動，以對所述裂縫進行清洗。

如上所述的顯影噴嘴裝置，其中清洗組件還包括導(dǎo)軌，所述清潔片移動地設(shè)于所述導(dǎo)軌上。

如上所述的顯影噴嘴裝置，其中，所述清洗組件還包括夾持塊，所述清潔片通過夾持塊設(shè)置在所述導(dǎo)軌上，所述夾持塊能在所述導(dǎo)軌上滑動。

如上所述的顯影噴嘴裝置，其中，清洗組件還包括馬達，所述馬達與所述夾持塊相接，用于驅(qū)動所述夾持塊沿所述軌道滑動，進而帶動清潔片在裂縫內(nèi)移動，對裂縫進行清潔。

如上所述的顯影噴嘴裝置，其中，所述所述清潔片為硅片制成的清潔片。

如上所述的顯影噴嘴裝置，其中，所述液刀包括液刀本體，所述液刀本體上設(shè)有儲液槽，所述儲液槽分別與所述進液口和所述裂縫相連通。

如上所述的顯影噴嘴裝置，其中，所述液刀本體上還設(shè)有液體導(dǎo)向槽，所述液體導(dǎo)向槽分別與所述儲液槽和所述裂縫相連通。

本發(fā)明的顯影噴嘴裝置結(jié)構(gòu)簡單，能夠自動清洗噴嘴中的顆粒及時去掉，有效防止噴嘴某個部位堵塞時而導(dǎo)致此處無顯影液噴出，造成此處的膜面無法浸潤到顯影液，形成一條短橫線的顏色不均的發(fā)生。

附圖說明

在此描述的附圖僅用于解釋目的，而不意圖以任何方式來限制本發(fā)明公開的范圍。另外，圖中的各部件的形狀和比例尺寸等僅為示意性的，用于幫助對本發(fā)明的理解，并不是具體限定本發(fā)明各部件的形狀和比例尺寸。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明的教導(dǎo)下，可以根據(jù)具體情況選擇各種可能的形狀和比例尺寸來實施本發(fā)明。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的顯影裝置的一使用狀態(tài)示意圖；

圖2為現(xiàn)有技術(shù)的顯影裝置的另一使用狀態(tài)示意圖；

圖3為圖2中的顯影裝置的側(cè)視圖；

圖4為本發(fā)明的顯影噴嘴裝置的結(jié)構(gòu)示意圖(狀態(tài)一)；

圖5為本發(fā)明的顯影噴嘴裝置的結(jié)構(gòu)示意圖(狀態(tài)二)。

具體實施方式

結(jié)合附圖和本發(fā)明具體實施方式的描述，能夠更加清楚地了解本發(fā)明的細節(jié)。但是，在此描述的本發(fā)明的具體實施方式，僅用于解釋本發(fā)明的目的，而不能以任何方式理解成是對本發(fā)明的限制。在本發(fā)明的教導(dǎo)下，技術(shù)人員可以構(gòu)想基于本發(fā)明的任意可能的變形，這些都應(yīng)被視為屬于本發(fā)明的范圍，下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步說明。

圖4至圖5分別為本發(fā)明的顯影噴嘴裝置的結(jié)構(gòu)示意圖(狀態(tài)一)、顯影噴嘴裝置的結(jié)構(gòu)示意圖(狀態(tài)二)。

如圖4和圖5所示，本發(fā)明的顯影噴嘴裝置包括：液刀1、噴嘴2和清洗組件3，其中，液刀1上設(shè)有進液口11、噴嘴2與液刀1的下部相接，噴嘴2內(nèi)開有沿其軸向方向的裂縫21，裂縫21與進液口11相連通，清洗組件3伸入裂縫21，對裂縫21進行清洗，從而能夠用于清洗裂縫中的顆粒物4。

顯影液通過本發(fā)明的液刀1的進液口11進入到裂縫21(slit)中，然后裂縫21再將顯影液噴到產(chǎn)品膜面上，形成一層均勻的水膜。當(dāng)裂縫21中有顆粒物4堵塞時，噴出來的顯影液開叉，產(chǎn)品膜面對應(yīng)堵塞的區(qū)域無顯影液，從而造成玻璃20上形成一條短橫線的顏色不均的缺陷發(fā)生(如圖2所示)，為避免此缺陷的產(chǎn)生，清洗組件3能在裂縫21中移動，對裂縫21進行清洗，即將裂縫21中的顆粒物4清除(如圖5所示)，從而避免玻璃20上形成一條短橫線的顏色不均的缺陷發(fā)生。

具體的，清洗組件3包括能伸入裂縫11的清潔片31，清潔片31能在裂縫11內(nèi)移動，以對裂縫21進行清洗，在本發(fā)明中，清洗組件3還包括導(dǎo)軌32，清潔片31移動地設(shè)于導(dǎo)軌32上，清潔片31通過在導(dǎo)軌32上左右移動來實現(xiàn)在裂縫11內(nèi)的移動，在一具體實施例中，清洗組件3還包括夾持塊33，清潔片31通過夾持塊33設(shè)置在導(dǎo)軌32上，夾持塊33能在導(dǎo)軌32上滑動，夾持塊33夾持清潔片31將清潔片31固定，清洗組件3還包括馬達，夾持塊33與馬達(圖中未示出馬達)相接，利用馬達驅(qū)動將此夾持著清潔片31的夾持塊33在導(dǎo)軌32上移動，從而實現(xiàn)將噴嘴2內(nèi)的顆粒物4刮掉，該馬達可以正逆旋轉(zhuǎn)，所以夾持塊33可以來回地在導(dǎo)軌32上移動，持續(xù)將噴嘴2內(nèi)的顆粒物4(即裂縫21中的顆粒物4)刮掉直到刮干凈為止。

在本實施例中，清潔片31為硅片制成的清潔片，裂縫11的寬度只有0.1mm，因此，該硅片比較薄，因此，清潔片31為薄硅片制成的清潔片。

進一步地，液刀1包括液刀本體12，液刀本體12上設(shè)有儲液槽，儲液槽分別與進液口11和裂縫21相連通，儲液槽位于進液口11和裂縫21之間，且與進進液口11和裂縫21相連通，從而實現(xiàn)從液刀本體12內(nèi)的顯影液能夠穩(wěn)定地從裂縫21流出。

液刀本體12上還設(shè)有液體導(dǎo)向槽，液體導(dǎo)向槽分別與儲液槽和裂縫12相連通，液體導(dǎo)向槽位于儲液槽和裂縫21之間，且與儲液槽和裂縫21相連通，從而使液刀本體12內(nèi)的顯影液能夠順暢地從裂縫21流出，在本發(fā)明的液刀本體12上設(shè)有多個螺絲孔121，在連接中使用。

本發(fā)明的顯影噴嘴裝置結(jié)構(gòu)簡單，能夠自動清洗噴嘴中的顆粒及時去掉，有效防止噴嘴某個部位堵塞時而導(dǎo)致此處無顯影液噴出，造成此處的膜面無法浸潤到顯影液，形成一條短橫線的顏色不均的發(fā)生。

上述技術(shù)方案只是本發(fā)明的一種實施方式，對于本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員而言，在本發(fā)明公開了應(yīng)用方法和原理的基礎(chǔ)上，很容易做出各種類型的改進或變形，而不僅限于本發(fā)明上述具體實施方式所描述的方法。雖然已經(jīng)參考優(yōu)選實施例對本發(fā)明進行了描述，但在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，可以對其進行各種改進并且可以用等效物替換其中的部件。尤其是，只要不存在結(jié)構(gòu)沖突，各個實施例中所提到的各項技術(shù)特征均可以任意方式組合起來。本發(fā)明并不局限于文中公開的特定實施例，而是包括落入權(quán)利要求的范圍內(nèi)的所有技術(shù)方案。