本發(fā)明涉及光掩膜檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光掩膜宏觀多色檢查機及其使用方法。

背景技術(shù)：

光掩膜除了應(yīng)用于芯片制造外，還廣泛的應(yīng)用與像LCD，PCB等方面。常見的光掩膜的種類有四種，鉻版、干版，凸版、液體凸版。主要分兩個組成部分，基板和不透光材料?；逋ǔＪ歉呒兌?，低反射率，低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。鉻版的不透光層是通過濺射的方法鍍在玻璃下方厚約0.1μm的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小，雖不易受損但有可能被玻璃所傷害。應(yīng)用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠，硬度小且易吸附灰塵，不過干版還有包膜和超微顆粒干版，其中后者可以應(yīng)用于芯片制造。

新光掩膜入廠后，均需要進行宏觀檢查，檢測光掩膜是否存在損傷或這被污染的暇點，因此需要光掩膜宏觀檢查機，方便檢查光掩膜做貨前的狀態(tài)，提高工作效率。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的問題，本申請?zhí)岢隽艘环N光掩膜宏觀多色檢查機及其使用方法。

一種光掩膜宏觀多色檢查機，它包括主體機構(gòu)、多色光源和離子氣槍；

所述的主體機構(gòu)包括360°旋轉(zhuǎn)軸和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤；

所述的360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤與360°旋轉(zhuǎn)軸連接在一起，且360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤能夠隨360°旋轉(zhuǎn)軸進行360°旋轉(zhuǎn)。

所述的360°旋轉(zhuǎn)軸分別在端部處與360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤的兩條平行邊的中點連接，且與360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤另外兩條邊平行。

所述的主體機構(gòu)還包括四根支撐桿和承載框，所述的四根支撐桿連接在承載框的同側(cè)，且分別與承載框在其四個轉(zhuǎn)角處連接在一起。

所述支撐桿的材質(zhì)為鋼材或木材。

優(yōu)選是支撐桿的材質(zhì)為鋼材。

所述承載框的材質(zhì)為鋼材或朔鋼型材。

優(yōu)選是承載框的材質(zhì)為鋼材。

所述支撐桿和承載框的連接方式為焊接。

所述的360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤安裝在承載框內(nèi)部。

所述的承載框由載物邊框、導軌承載邊框、活動邊框和燈源及導軌承載邊框組成；

所述的活動邊框一端與導軌承載邊框一端通過轉(zhuǎn)軸連接，所述的活動邊框另一端與燈源及導軌承載邊框組成的一端卡接；

所述的導軌承載邊框底部內(nèi)側(cè)設(shè)置導軌；

所述的燈源及導軌承載邊框底部內(nèi)側(cè)設(shè)置導軌；

所述的360°旋轉(zhuǎn)軸一端與導軌承載邊框固定連接，360°旋轉(zhuǎn)軸的另一端與燈源及導軌承載邊框固定連接。

所述的多色光源包括多色可移動燈源和多色管狀燈源；

所述的多色可移動燈源安裝在載物邊框上，且可以沿載物邊框移動。

所述的多色管狀燈源安裝在燈源及導軌承載邊框上。

所述的多色管狀燈源安裝在燈源及導軌承載邊框內(nèi)側(cè)上部。

所述的離子氣槍安裝在載物邊框上，且可以沿載物邊框移動。

在活動邊框的外側(cè)設(shè)置光掩膜移動承載架；

在光掩膜移動承載架兩條平行的邊中每一個上分別設(shè)置兩個支撐體，在光掩膜移動承載架第三條邊上設(shè)置拉伸把手；

所述的光掩膜移動承載架通過導軌與導軌承載邊框和燈源及導軌承載邊框活動式連接，通過推動拉伸把手使光掩膜移動承載架沿導軌承載邊框和燈源及導軌承載邊框上的導軌滑動。

所述的在360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤四條邊的中心處安裝真空氣閥，在真空氣閥上設(shè)置氣動夾。

在360°旋轉(zhuǎn)軸和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤連接處設(shè)置升降軸，通過控制升降軸使360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤沿垂直與360°旋轉(zhuǎn)軸方向進行上升或下降。

當360°旋轉(zhuǎn)軸和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤連接處的升降軸沿垂直360°旋轉(zhuǎn)軸方向進行下降至最低點時，在光掩膜移動承載架的支撐體頂端高度高于360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤。

當360°旋轉(zhuǎn)軸和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤連接處的升降軸沿垂直360°旋轉(zhuǎn)軸方向進行上升至最高點時，在光掩膜移動承載架的支撐體頂端高度低于360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤。

一種光掩膜宏觀多色檢查機的使用方法，具體過程如下：

將光掩膜放到光掩膜移動承載架的支撐體上；

調(diào)整360°旋轉(zhuǎn)軸和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤連接處的升降軸，使360°旋轉(zhuǎn)軸和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤連接處的升降軸沿垂直360°旋轉(zhuǎn)軸方向進行下降至最低點；

推動拉伸把手，使光掩膜移動承載架沿導軌承載邊框和燈源及導軌承載邊框上的導軌滑動至360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤上方；

調(diào)整360°旋轉(zhuǎn)軸和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤連接處的升降軸，使360°旋轉(zhuǎn)軸和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤連接處的升降軸沿垂直360°旋轉(zhuǎn)軸方向進行上升至最高點，并利用真空氣閥和氣動夾順利將光掩膜固定在360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤上；

拉動拉伸把手，使光掩膜移動承載架沿導軌承載邊框和燈源及導軌承載邊框上的導軌滑出承載框外；

打開多色管狀燈源，在不同顏色燈光下觀察光掩膜上下表面的損傷或污染；

通過轉(zhuǎn)動360°旋轉(zhuǎn)軸調(diào)整360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤，將光掩膜旋轉(zhuǎn)至便于觀察位置處，采用多色可移動燈源觀察；

啟動離子氣槍，利用離子氣槍對光掩膜表面的污染進行清洗，最終確定光掩膜的狀態(tài)，是否損壞或污染。

上述技術(shù)特征可以各種適合的方式組合或由等效的技術(shù)特征來替代，只要能夠達到本發(fā)明的目的。

本發(fā)明的有益效果：

本發(fā)明光掩膜宏觀多色檢查機的360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤能能夠隨360°旋轉(zhuǎn)軸可以進行360°旋轉(zhuǎn)，達到調(diào)整視角的目的，更容易觀察光掩膜表面的損傷和污染暇點。

本發(fā)明光掩膜宏觀多色檢查機配設(shè)離子氣槍，在觀察光掩膜表面存在污染暇點的同時，能夠及時清理。

本發(fā)明采用多色光源觀察，通過調(diào)整多色光源的顏色，實現(xiàn)在不同顏色燈光下觀察光掩膜表面。

本發(fā)明提供一種光掩膜宏觀多色檢查機，用于檢測光掩膜是否存在損傷或這被污染的暇點，方便檢查光掩膜做貨前的狀態(tài)，提高工作效率。

附圖說明

在下文中將基于實施例并參考附圖來對本發(fā)明進行更詳細的描述。其中：

圖1顯示了本發(fā)明光掩膜宏觀多色檢查機結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2顯示了本發(fā)明光掩膜宏觀多色檢查機的光掩膜移動承載架承載光掩膜的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3顯示了本發(fā)明光掩膜宏觀多色檢查機的360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤上裝卡光掩膜的結(jié)構(gòu)示意圖；

在附圖中，相同的部件使用相同的附圖標記。附圖并未按照實際的比例。

具體實施方式

下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步說明。

一種光掩膜宏觀多色檢查機，它包括主體機構(gòu)1、多色光源和離子氣槍2；

所述的主體機構(gòu)1包括360°旋轉(zhuǎn)軸1-1和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2；

所述的360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2與360°旋轉(zhuǎn)軸1-1連接在一起，且360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2能夠隨360°旋轉(zhuǎn)軸1-1進行360°旋轉(zhuǎn)。

光掩膜宏觀多色檢查機設(shè)置360°旋轉(zhuǎn)軸1-1和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2的目的是，使360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2能能夠隨360°旋轉(zhuǎn)軸1-1可以進行360°旋轉(zhuǎn)，達到調(diào)整視角的目的，更容易觀察光掩膜表面的損傷和污染暇點。

所述的360°旋轉(zhuǎn)軸1-1分別在端部處與360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2的兩條平行邊的中點連接，且與360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2另外兩條邊平行。

這種對稱設(shè)置保證360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2能順利隨360°旋轉(zhuǎn)軸1-1進行360°旋轉(zhuǎn)。

所述的主體機構(gòu)1還包括四根支撐桿1-3和承載框，所述的四根支撐桿連接在承載框的同側(cè)，且分別與承載框在其四個轉(zhuǎn)角處連接在一起。

所述支撐桿1-3的材質(zhì)為鋼材或木材。

優(yōu)選是支撐桿1-3的材質(zhì)為鋼材。

由于鋼材的承載能力和抗壓能力好，利用鋼材制備支撐桿1-3，可以提高支撐桿1-3的可靠性，又能達到提高支撐桿1-3使用壽命的目的。

所述承載框的材質(zhì)為鋼材或朔鋼型材。

優(yōu)選是承載框的材質(zhì)為鋼材。

由于鋼材的承載能力和抗壓能力好，利用鋼材制備承載框，可以提高支撐桿1-3的可靠性，又能達到提高承載框使用壽命的目的。

所述支撐桿1-3和承載框的連接方式為焊接。

焊接的連接方式雖然導致不易拆卸的問題，但是這種連接方式更為牢靠，延長光掩膜宏觀多色檢查機使用壽命，且能避免連接處變形，導致光掩膜宏觀多色檢查機無法水平放置。

所述的360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2安裝在承載框內(nèi)部。

所述的承載框由載物邊框1-4-1、導軌承載邊框1-4-2、活動邊框1-4-3和燈源及導軌承載邊框1-4-4組成；

所述的活動邊框1-4-3一端與導軌承載邊框1-4-2一端通過轉(zhuǎn)軸連接，所述的活動邊框1-4-3另一端與燈源及導軌承載邊框1-4-4組成的一端卡接；

這種設(shè)置便于光掩膜移動承載架3的移動，當光掩膜移動承載架3進行移動是，將活動邊框1-4-3與燈源及導軌承載邊框1-4-4卡接的一端打開，活動邊框1-4-3沿另一端的轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，使活動邊框1-4-3一側(cè)處于無邊框狀態(tài)，這樣就保證光掩膜移動承載架3順利的沿導軌移動，避免與活動邊框1-4-3發(fā)生剮蹭，導致待檢測光掩膜損傷。

所述的導軌承載邊框1-4-2底部內(nèi)側(cè)設(shè)置導軌；

所述的燈源及導軌承載邊框1-4-4底部內(nèi)側(cè)設(shè)置導軌；

設(shè)置導軌有利于光掩膜移動承載架3的移動。

所述的360°旋轉(zhuǎn)軸1-1一端與導軌承載邊框1-4-2固定連接，360°旋轉(zhuǎn)軸1-1的另一端與燈源及導軌承載邊框1-4-4固定連接。

所述的多色光源包括多色可移動燈源4和多色管狀燈源5；

所述的多色可移動燈源4安裝在載物邊框1-4-1上，且可以沿載物邊框1-4-1移動。

可移動的連接方式便于多色可移動燈源4對光掩膜的更全面觀察，且對于局部位置的觀察更有利。

所述的多色管狀燈源5安裝在燈源及導軌承載邊框1-4-4上。

所述的多色管狀燈源5安裝在燈源及導軌承載邊框1-4-4內(nèi)側(cè)上部。

在此處設(shè)置多色管狀燈源5有利于初步對光掩膜進行觀察，為后續(xù)的局部觀察提供觀察依據(jù)。

所述的離子氣槍2安裝在載物邊框1-4-1上，且可以沿載物邊框1-4-1移動。

移動的連接方式便于實現(xiàn)對光掩膜局部進行清洗，避免大面積清洗造成資源的浪費。

在活動邊框1-4-3的外側(cè)設(shè)置光掩膜移動承載架3；

在光掩膜移動承載架3兩條平行的邊中每一個上分別設(shè)置兩個支撐體3-1，在光掩膜移動承載架3第三條邊上設(shè)置拉伸把手3-2；

所述的光掩膜移動承載架3通過導軌與導軌承載邊框1-4-2和燈源及導軌承載邊框1-4-4活動式連接，通過推動拉伸把手3-2使光掩膜移動承載架3沿導軌承載邊框1-4-2和燈源及導軌承載邊框1-4-4上的導軌滑動。

設(shè)置光掩膜移動承載架3便于光掩膜的外置承載，且由于存在光掩膜移動承載架3使光掩膜順利裝卡在360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2上。

所述的在360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2四條邊的中心處安裝真空氣閥1-2-1，在真空氣閥1-2-1上設(shè)置氣動夾1-2-2。

設(shè)置真空氣閥1-2-1和氣動夾1-2-2是為了將光掩膜固定在360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2上，避免在旋轉(zhuǎn)觀察過程中出現(xiàn)滑落，導致光掩膜破損。

在360°旋轉(zhuǎn)軸1-1和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2連接處設(shè)置升降軸，通過控制升降軸使360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2沿垂直與360°旋轉(zhuǎn)軸1-1方向進行上升或下降。

設(shè)置升降軸的目的是便于光掩膜在轉(zhuǎn)移過程的自動對接裝卡，避免人工裝卡造成的接觸污染。

當360°旋轉(zhuǎn)軸1-1和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2連接處的升降軸沿垂直360°旋轉(zhuǎn)軸1-1方向進行下降至最低點時，在光掩膜移動承載架3的支撐體3-1頂端高度高于360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2。

此處的限定保證光掩膜移動承載架3承載光掩膜順利移動至360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2上方，避免摩擦接觸，導致光掩膜損壞。

當360°旋轉(zhuǎn)軸1-1和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2連接處的升降軸沿垂直360°旋轉(zhuǎn)軸1-1方向進行上升至最高點時，在光掩膜移動承載架3的支撐體3-1頂端高度低于360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2。

此處的限定保證光掩膜移動承載架3承載上的光掩膜順利交接至360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2上。

結(jié)合圖1至3，本發(fā)明一種光掩膜宏觀多色檢查機包括360°旋轉(zhuǎn)軸1-1、360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2、離子氣槍2和多色光源，利用多色光源在不同顏色燈光下觀察，利用360°旋轉(zhuǎn)軸1-1和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2實現(xiàn)光掩膜的360°旋轉(zhuǎn)觀察，利用離子氣槍2實現(xiàn)具體污染暇點的清洗，光掩膜宏觀多色檢查機的使用方法具體過程如下：

將光掩膜放到光掩膜移動承載架3的支撐體3-1上；

調(diào)整360°旋轉(zhuǎn)軸1-1和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2連接處的升降軸，使360°旋轉(zhuǎn)軸1-1和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2連接處的升降軸沿垂直360°旋轉(zhuǎn)軸1-1方向進行下降至最低點；

推動拉伸把手3-2，使光掩膜移動承載架3沿導軌承載邊框1-4-2和燈源及導軌承載邊框1-4-4上的導軌滑動至360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2上方；

調(diào)整360°旋轉(zhuǎn)軸1-1和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2連接處的升降軸，使360°旋轉(zhuǎn)軸1-1和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2連接處的升降軸沿垂直360°旋轉(zhuǎn)軸1-1方向進行上升至最高點，并利用真空氣閥1-2-1和氣動夾1-2-2順利將光掩膜固定在360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2上；

拉動拉伸把手3-2，使光掩膜移動承載架3沿導軌承載邊框1-4-2和燈源及導軌承載邊框1-4-4上的導軌滑出承載框外；

打開多色管狀燈源5，在不同顏色燈光下觀察光掩膜上下表面的損傷或污染；

通過轉(zhuǎn)動360°旋轉(zhuǎn)軸1-1調(diào)整360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2，將光掩膜旋轉(zhuǎn)至便于觀察位置處，采用多色可移動燈源4觀察；

啟動離子氣槍2，利用離子氣槍2對光掩膜表面的污染進行清洗，最終確定光掩膜的狀態(tài)，是否損壞或污染。

通過本實施例可知，本發(fā)明是采用多色光源觀察，且達到360°旋轉(zhuǎn)觀察，達到無死角的檢測光掩膜是否損壞或污染，且設(shè)置離子氣槍2，對于普通的污染暇點能做到定位清洗處理。

本發(fā)明設(shè)置光掩膜移動承載架3，360°旋轉(zhuǎn)軸1-1和360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2連接處的設(shè)置升降軸，做到光掩膜轉(zhuǎn)載過程中無需手動接觸轉(zhuǎn)移，通過裝置的自身調(diào)整，達到對接的目的，在真空氣閥1-2-1和氣動夾1-2-2作用下，將光掩膜固定在360°旋轉(zhuǎn)光掩膜托盤1-2上。

雖然在本文中參照了特定的實施方式來描述本發(fā)明，但是應(yīng)該理解的是，這些實施例僅僅是本發(fā)明的原理和應(yīng)用的示例。因此應(yīng)該理解的是，可以對示例性的實施例進行許多修改，并且可以設(shè)計出其他的布置，只要不偏離所附權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的精神和范圍。應(yīng)該理解的是，可以通過不同于原始權(quán)利要求所描述的方式來結(jié)合不同的從屬權(quán)利要求和本文中所述的特征。還可以理解的是，結(jié)合單獨實施例所描述的特征可以使用在其他所述實施例中。