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原位調(diào)控材料微結(jié)構(gòu)制備熔石英微透鏡陣列的方法與流程

文檔序號(hào):11862317閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種原位調(diào)控材料微結(jié)構(gòu)制備熔石英微透鏡陣列的方法,其特征在于,按照以下步驟進(jìn)行:

S1:設(shè)置二氧化碳激光器的參數(shù);

S2:使用聲光調(diào)制器從二氧化碳激光器獲得頻率和脈寬均穩(wěn)定的二氧化碳激光;

S3:對(duì)二氧化碳激光擴(kuò)束后,使用掃描場(chǎng)鏡對(duì)二氧化碳激光進(jìn)行聚焦;

S4:設(shè)置振鏡逐行掃描的掃描路徑,并設(shè)置掃描速度以及掃描行間距;

S5:將熔石英樣品置于二氧化碳激光的焦點(diǎn)處,利用振鏡驅(qū)動(dòng)聚焦后的二氧化碳激光輻照熔石英樣品的表面,以改變?nèi)凼悠肥芏趸技す廨椪瘴恢玫娜凼⒉牧衔⒔Y(jié)構(gòu),使熔石英樣品上形成多個(gè)微結(jié)構(gòu)調(diào)控區(qū),所有的微結(jié)構(gòu)調(diào)控區(qū)共同構(gòu)成材料微結(jié)構(gòu)調(diào)控區(qū)陣列;

S6:采用氫氟酸溶液刻蝕熔石英樣品,得到熔石英微透鏡陣列。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的原位調(diào)控材料微結(jié)構(gòu)制備熔石英微透鏡陣列的方法,其特征在于:步驟S4中,所述掃描路徑為正方形堆積排列或六角形堆積排列。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的原位調(diào)控材料微結(jié)構(gòu)制備熔石英微透鏡陣列的方法,其特征在于:步驟S4中,設(shè)置掃描相鄰行之間的出光延遲時(shí)間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的原位調(diào)控材料微結(jié)構(gòu)制備熔石英微透鏡陣列的方法,其特征在于:步驟S5中,所述熔石英材料微結(jié)構(gòu)為熔石英材料處于假想溫度狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)狀態(tài)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的原位調(diào)控材料微結(jié)構(gòu)制備熔石英微透鏡陣列的方法,其特征在于:步驟S6中,采用兆聲波配合氫氟酸溶液刻蝕熔石英樣品。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的原位調(diào)控材料微結(jié)構(gòu)制備熔石英微透鏡陣列的方法,其特征在于:步驟S5中,需對(duì)熔石英樣品進(jìn)行預(yù)拋光。

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