技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種投射曝光設(shè)備，包含投射鏡頭(12)；波前測量裝置，其測量在該投射鏡頭(12)中的波前，該波前測量裝置包含莫爾光柵布置(14)，其具有設(shè)計為分別布置于該投射鏡頭(12)的物平面(20)中的物光柵(16)與像平面(22)中的像光柵(18)，其中該物光柵(16)與該像光柵(18)以從該物光柵(16)到該像平面(22)上的成像(24)與該像光柵(18)產(chǎn)生莫爾疊加圖案的方式以真實(shí)比例的方式彼此協(xié)調(diào)，其中該莫爾光柵布置(14)以針對該物平面(20)中物場(26)和/或該像平面(22)中像場(28)的多個場點(diǎn)同時產(chǎn)生莫爾疊加圖案的方式設(shè)計。

技術(shù)研發(fā)人員：M.阿恩茨;S.布雷迪斯特爾;T.格魯納;J.哈杰斯;M.施瓦布
受保護(hù)的技術(shù)使用者：卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.16
技術(shù)公布日：2017.08.29