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應(yīng)用于紅外敏感元件的紅外濾光片的制作方法

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應(yīng)用于紅外敏感元件的紅外濾光片的制作方法與工藝

本實(shí)用新型涉及一種紅外熱成像儀組件,特別是應(yīng)用于紅外敏感元件的紅外濾光片。



背景技術(shù):

紅外熱成像儀(熱成像儀或紅外熱成像儀)是通過(guò)非接觸探測(cè)紅外能量(熱量),并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào),進(jìn)而在顯示器上生成熱圖像和溫度值,并可以對(duì)溫度值進(jìn)行計(jì)算的一種檢測(cè)設(shè)備。紅外熱成像儀(熱成像儀或紅外熱成像儀)能夠?qū)⑻綔y(cè)到的熱量精確量化或測(cè)量,使您不僅能夠觀察熱圖像,還能夠?qū)Πl(fā)熱的故障區(qū)域進(jìn)行準(zhǔn)確識(shí)別和嚴(yán)格分析。

紅外熱成像儀的探測(cè)器是實(shí)現(xiàn)紅外能量(熱能)轉(zhuǎn)換電信號(hào)的關(guān)鍵,由于各種生物所發(fā)出來(lái)的紅外能量(熱能)是不同的,所以在日常使用中為了觀察某種特定生物的熱圖像,人們往往會(huì)在探測(cè)器中添加紅外濾光片,通過(guò)紅外濾光片可以使探測(cè)器只接受特定波段的紅外能量(熱能),保證紅外熱成像儀的成像結(jié)果。

但是,目前的紅外濾光片,其信噪比低,精度差,不能滿足市場(chǎng)發(fā)展的需要。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的目的是為了解決上述技術(shù)的不足而提供一種測(cè)試精度高、能極大提高信噪比,且膜系結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的應(yīng)用于紅外敏感元件的紅外濾光片。

為了達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型所設(shè)計(jì)的應(yīng)用于紅外敏感元件的紅外濾光片,包括成分為Si單晶硅的基板以及分別位于基板兩側(cè)面的第一鍍膜層和第二鍍膜層,其特征是所述第一鍍膜層包含從內(nèi)向外依次排列的厚度為110納米的Ge層、厚度為319納米的ZnS層、厚度為149納米的Ge層、厚度為583納米的ZnS層、厚度為1000納米的YF3層、厚度為239納米的ZnS層、所述第二鍍膜層是厚度為1100納米的C層。

上述各材料對(duì)應(yīng)的厚度,其允許在公差范圍內(nèi)變化,其變化的范圍屬于本專利保護(hù)的范圍,為等同關(guān)系。通常厚度的公差在10nm左右。

本實(shí)用新型得到的應(yīng)用于紅外敏感元件的紅外濾光片,其Si單晶硅的基板配合表面的鍍膜層,實(shí)現(xiàn)中心波長(zhǎng)定位在8000到14000納米,峰值透過(guò)率達(dá)80%以上,同時(shí)一面 膜系結(jié)構(gòu)降到6層,另一面直接為單層膜系結(jié)構(gòu),大大的簡(jiǎn)化了整體結(jié)構(gòu),從而提高了生產(chǎn)效率,降低了生產(chǎn)成本。

附圖說(shuō)明

圖1是實(shí)施例整體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是實(shí)施例提供的紅外光譜透過(guò)率實(shí)測(cè)曲線圖。

圖中:第一鍍膜層1、基板2、第二鍍膜層3。

具體實(shí)施方式

下面通過(guò)實(shí)施例結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。

實(shí)施例1。

如圖1、圖2所示,本實(shí)施例描述的本實(shí)用新型所設(shè)計(jì)的應(yīng)用于紅外敏感元件的紅外濾光片,包括成分為Si單晶硅的基板2以及分別位于基板兩側(cè)面的第一鍍膜層1和第二鍍膜層3,所述第一鍍膜層1包含從內(nèi)向外依次排列的厚度為110納米的Ge層、厚度為319納米的ZnS層、厚度為149納米的Ge層、厚度為583納米的ZnS層、厚度為1000納米的YF3層、厚度為239納米的ZnS層、所述第二鍍膜層3是厚度為1100納米的C層。

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