一種智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法，包括如下步驟：接收原始版圖數(shù)據(jù)；對(duì)原始版圖數(shù)據(jù)進(jìn)行邏輯運(yùn)算，形成合成圖形；對(duì)原始版圖數(shù)據(jù)形成的合成圖形進(jìn)行選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整；判斷經(jīng)選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整后的中間版圖是否符合設(shè)計(jì)規(guī)則；若符合設(shè)計(jì)規(guī)則，則保持選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整的結(jié)果，若不符合設(shè)計(jì)規(guī)則，則判斷不符合規(guī)則的地方是屬于第一類圖形還是第二類圖形；根據(jù)判斷結(jié)果對(duì)不符合規(guī)則的地方進(jìn)行相應(yīng)處理；將以上各類結(jié)果進(jìn)行整合，并進(jìn)行基于模型的光學(xué)鄰近效應(yīng)修正，輸出最終的OPC數(shù)據(jù)，本發(fā)明于違反設(shè)計(jì)規(guī)則的圖形出現(xiàn)時(shí)，能保證結(jié)果在不違反設(shè)計(jì)規(guī)則的同時(shí)，根據(jù)實(shí)際需求對(duì)該類圖形進(jìn)行不同的智能化處理。
【專利說(shuō)明】一種智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法，特別是涉及一種對(duì)原始設(shè)計(jì)版圖圖形進(jìn)行選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整(Selective Sizing Application,簡(jiǎn)稱SSA)的智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著集成電路工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn)的不斷發(fā)展，光刻工藝中曝光圖形尺寸不斷縮小，為了彌補(bǔ)由光學(xué)系統(tǒng)的有限分辨率造成的光學(xué)鄰近效應(yīng)，需要對(duì)光掩模圖形進(jìn)行光學(xué)鄰近效應(yīng)修正(Optical Proximity Correction,簡(jiǎn)稱0PC)。對(duì)于后段金屬層而言,為了有效增加光刻工藝窗口，需要在OPC預(yù)處理中進(jìn)行選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整。
[0003]選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整即根據(jù)在特定工藝條件下的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，對(duì)滿足line (線寬)、space (線間距)條件限制的圖形邊進(jìn)行不同的尺寸調(diào)整。由于高端工藝中原始版圖圖形較為復(fù)雜，進(jìn)而與之對(duì)應(yīng)的SSA (Selective Sizing Application,選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整)規(guī)則也較為復(fù)雜，通過(guò)相對(duì)復(fù)雜規(guī)則得到的結(jié)果，雖然能按規(guī)則對(duì)原始圖形進(jìn)行相應(yīng)的尺寸調(diào)整，但當(dāng)版圖圖形較為特殊時(shí)，可能會(huì)導(dǎo)致SSA后的圖形違反設(shè)計(jì)規(guī)則，該類圖形即使經(jīng)過(guò)OPC修正，也會(huì)由于光刻工藝的極限造成嚴(yán)重的工藝弱點(diǎn)，最終導(dǎo)致線路短路，斷路。
[0004]目前，選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整(SSA)規(guī)定，當(dāng)版圖圖形的任意一邊a滿足限定條件B〈line (a) <A, D<space (a) <C,邊a增加或減小規(guī)定尺寸b,由于版圖的復(fù)雜性,通常介于獨(dú)立(ISO)與密集(Dense)之間的圖形在經(jīng)過(guò)SSA后，所在邊會(huì)變得凹凸不平。完全獨(dú)立類圖形的邊則整體增加規(guī)定尺寸b，嚴(yán)格處于最小設(shè)計(jì)規(guī)則的密集圖形保持原有尺寸。
[0005]對(duì)于傳統(tǒng)SSA來(lái)說(shuō)，在中低端工藝制程中，由于版圖設(shè)計(jì)規(guī)則相對(duì)較大，圖形相對(duì)簡(jiǎn)單，光刻工藝窗口也較大，SSA規(guī)則十分簡(jiǎn)單，通常只是對(duì)個(gè)別特殊圖形的放大、縮小處理，結(jié)果很容易控制；但在先進(jìn)工藝中，版圖設(shè)計(jì)規(guī)則越來(lái)越緊，圖形的復(fù)雜程度和光刻工藝窗口的要求也越來(lái)越高。為了增加工藝窗口，SSA規(guī)則通常十分復(fù)雜，在對(duì)同樣復(fù)雜的版圖進(jìn)行處理時(shí)，就會(huì)導(dǎo)致違反設(shè)計(jì)規(guī)則的圖形出現(xiàn)，該類圖形在曝光和顯影后就會(huì)造成嚴(yán)重的工藝弱點(diǎn)。
[0006]如圖1、圖2和圖3，傳統(tǒng)SSA方法在先進(jìn)工藝中導(dǎo)致的3種違反設(shè)計(jì)規(guī)則圖形的出現(xiàn)。圖1中的圖形經(jīng)過(guò)SSA處理后，“角對(duì)角”的space違反了設(shè)計(jì)規(guī)則，但由于角落圓化效應(yīng)，實(shí)際曝光顯影后圖形并不會(huì)產(chǎn)生工藝弱點(diǎn)。對(duì)于圖2中的圖形，“線端末尾”與“角落”間的space違反設(shè)計(jì)規(guī)則，導(dǎo)致曝光顯影后“線端末尾”產(chǎn)生“縮頭”效應(yīng)，從而導(dǎo)致對(duì)上下連接孔層的包圍度降低，嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致線路不通。對(duì)于圖3，特殊Z型圖形的CD(線寬)違反設(shè)計(jì)規(guī)則，造成曝光顯影后CD嚴(yán)重偏小，會(huì)導(dǎo)致最終線路斷線的風(fēng)險(xiǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]為克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明之目的在于提供一種智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法，其在SSA過(guò)程中導(dǎo)入了 MRC的概念，當(dāng)違反設(shè)計(jì)規(guī)則的圖形出現(xiàn)時(shí)，能保證結(jié)果在不違反設(shè)計(jì)規(guī)則的同時(shí)，根據(jù)實(shí)際需求對(duì)該類圖形進(jìn)行不同的智能化處理。
[0008]為達(dá)上述及其它目的，本發(fā)明提出一種智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法，包括如下步驟:
[0009]步驟一，接收原始版圖數(shù)據(jù)；
[0010]步驟二，對(duì)原始版圖數(shù)據(jù)進(jìn)行邏輯運(yùn)算，形成合成圖形；
[0011]步驟三，對(duì)原始版圖數(shù)據(jù)形成的合成圖形進(jìn)行選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整；
[0012]步驟四，判斷經(jīng)選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整后的中間版圖是否符合設(shè)計(jì)規(guī)則；
[0013]步驟五，若符合設(shè)計(jì)規(guī)則，則保持選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整的結(jié)果，若不符合設(shè)計(jì)規(guī)貝U，則判斷不符合規(guī)則的地方是屬于第一類圖形還是第二類圖形；
[0014]步驟六，根據(jù)判斷結(jié)果對(duì)不符合規(guī)則的地方進(jìn)行相應(yīng)處理；
[0015]步驟七，將以上各類結(jié)果進(jìn)行整合，并進(jìn)行基于模型的光學(xué)鄰近效應(yīng)修正，輸出最終的后OPC數(shù)據(jù)。
[0016]進(jìn)一步地，于步驟六中，若不符合規(guī)則的地方為第一類圖形，則對(duì)不符合規(guī)則的地方不進(jìn)行目標(biāo)尺寸調(diào)整；若不符合規(guī)則的地方為第二類圖形，則根據(jù)具體情況自動(dòng)調(diào)整SSA 值。
[0017]進(jìn)一步地，若不符合規(guī)則的地方為第二類圖形，自動(dòng)計(jì)算在滿足設(shè)計(jì)規(guī)則的情況下可以調(diào)整的最優(yōu)尺寸，進(jìn)行選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整。
[0018]進(jìn)一步地，選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整進(jìn)行負(fù)值運(yùn)算后的圖形為該第一類圖形。
[0019]進(jìn)一步地，選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整進(jìn)行正值運(yùn)算后的圖形為該第二類圖形。
[0020]進(jìn)一步地，于步驟四中，判斷線寬是否滿足工藝要求和設(shè)計(jì)要求。
[0021 ] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明一種智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法通過(guò)在選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整中加入了 MRC (Mask Rule Check,尺寸檢查)，進(jìn)行智能化判斷，并找出違反設(shè)計(jì)規(guī)則的圖形進(jìn)一步智能化判斷，對(duì)不同結(jié)果執(zhí)行不同處理，使目標(biāo)圖形結(jié)果在滿足需要進(jìn)行SSA的圖形得到SSA的情況下，有效避免因復(fù)雜規(guī)則和復(fù)雜圖形共同作用而產(chǎn)生的違反設(shè)計(jì)規(guī)則的圖形出現(xiàn)的狀況。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1、圖2、圖3分別為傳統(tǒng)SSA方法在先進(jìn)工藝中導(dǎo)致的3種違反設(shè)計(jì)規(guī)則的圖形示意圖；
[0023]圖4為本發(fā)明一種智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法的步驟流程圖；
[0024]圖5-1、圖5-2、圖5-3分別為圖1、圖2、圖3經(jīng)本發(fā)明處理后的結(jié)果示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]以下通過(guò)特定的具體實(shí)例并結(jié)合【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】本發(fā)明的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說(shuō)明書(shū)所揭示的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其它優(yōu)點(diǎn)與功效。本發(fā)明亦可通過(guò)其它不同的具體實(shí)例加以施行或應(yīng)用，本說(shuō)明書(shū)中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)亦可基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在不背離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾與變更。
[0026]圖4為本發(fā)明一種智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法的步驟流程圖。如圖4所示，本發(fā)明一種智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法，包括如下步驟:[0027]步驟401，接收原始版圖數(shù)據(jù)。該原始版圖數(shù)據(jù)是根據(jù)半導(dǎo)體制造工藝要求設(shè)計(jì)處的版圖數(shù)據(jù)，進(jìn)行生產(chǎn)半導(dǎo)體時(shí)則是根據(jù)原始版圖數(shù)據(jù)相應(yīng)生產(chǎn)出半導(dǎo)體晶圓。
[0028]步驟402，對(duì)原始版圖數(shù)據(jù)進(jìn)行邏輯運(yùn)算，形成合成圖形。
[0029]步驟403，對(duì)原始版圖數(shù)據(jù)形成的合成圖形進(jìn)行SSA。進(jìn)行SSA后，得到兩類圖形:通常規(guī)定SSA進(jìn)行負(fù)值運(yùn)算后的圖形為第一類圖形，SSA進(jìn)行正值運(yùn)算后的圖形為第二類圖形。由于這里采用的SSA與傳統(tǒng)的SSA算法相同，在此不予贅述。
[0030]步驟404，判斷經(jīng)SSA后的中間版圖是否符合設(shè)計(jì)規(guī)則？例如線寬(line)是否滿足工藝要求和設(shè)計(jì)要求，線間距是否滿足工藝要求和設(shè)計(jì)要求？設(shè)計(jì)規(guī)則是根據(jù)工藝能力和設(shè)計(jì)要求確定的最大或最小值，比如90nm工藝最小線寬和最小線間距不能少于90nm,在經(jīng)過(guò)SSA調(diào)整后線寬和線間距有可能改變，那么就可能不符合設(shè)計(jì)規(guī)則。
[0031]步驟405，若符合設(shè)計(jì)規(guī)則，則保持選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整(SSA)的結(jié)果；若不符合設(shè)計(jì)規(guī)則，則判斷不符合規(guī)則的地方是屬于第一類圖形還是第二類圖形，通常規(guī)定SSA進(jìn)行負(fù)值運(yùn)算后的圖形為第一類圖形，SSA進(jìn)行正值運(yùn)算后的圖形為第二類圖形。
[0032]步驟406，若不符合規(guī)則的地方為第一類圖形，則對(duì)不符合規(guī)則的地方不做SSA處理，即不進(jìn)行目標(biāo)尺寸調(diào)整；若不符合規(guī)則的地方為第二類圖形，則據(jù)具體情況自動(dòng)調(diào)整SSA值，自動(dòng)計(jì)算在滿足設(shè)計(jì)規(guī)則的情況下可以調(diào)整的最優(yōu)尺寸。具體地說(shuō)，按照設(shè)計(jì)版圖最小格點(diǎn)值，通常為0.5nm，采用循環(huán)算法逐一進(jìn)行正值計(jì)算，當(dāng)正值計(jì)算后的尺寸剛好滿足設(shè)計(jì)規(guī)則時(shí)，即為可以調(diào)整的最優(yōu)值。
[0033]步驟407，將以上各類結(jié)果進(jìn)行整合，并進(jìn)行基于模型的光學(xué)鄰近效應(yīng)修正，輸出最終的OPC數(shù)據(jù)。
[0034]圖5-1、圖5-2、圖5-3分別為圖1、圖2、圖3經(jīng)本發(fā)明處理后的結(jié)果示意圖。如圖5-1，對(duì)于圖1中的特殊圖形，通過(guò)本發(fā)明之智能化SSA方法，判斷該類圖形為第二類圖形，在“角對(duì)角”之間進(jìn)行尺寸優(yōu)化，有效避免違反設(shè)計(jì)規(guī)則的情況發(fā)生。如圖5-2，對(duì)于圖2中的特殊圖形，通過(guò)本發(fā)明之智能化SSA方法，對(duì)該第二類圖形進(jìn)行尺寸優(yōu)化，有效避免了“縮頭”效應(yīng)的發(fā)生，從而保證了金屬層之間的高度連接。如圖5-3，對(duì)于圖3中的特殊圖形，通過(guò)本發(fā)明之智能化SSA方法，判斷該類圖形為第一類圖形，從而保持其原有尺寸，使仿真結(jié)果與目標(biāo)圖形一致，有效避免了⑶過(guò)小造成的短路風(fēng)險(xiǎn)。
[0035]綜上所述，本發(fā)明一種智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法通過(guò)在選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整中加入了 MRC(Mask Rule Check,尺寸檢查),進(jìn)行智能化判斷,并找出違反設(shè)計(jì)規(guī)則的圖形進(jìn)一步智能化判斷，對(duì)不同結(jié)果執(zhí)行不同處理，使目標(biāo)圖形結(jié)果在滿足需要進(jìn)行SSA的圖形得到SSA的情況下，有效避免因復(fù)雜規(guī)則和復(fù)雜圖形共同作用而產(chǎn)生的違反設(shè)計(jì)規(guī)則的圖形出現(xiàn)的狀況。
[0036]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本發(fā)明的原理及其功效，而非用于限制本發(fā)明。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員均可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾與改變。因此，本發(fā)明的權(quán)利保護(hù)范圍，應(yīng)如權(quán)利要求書(shū)所列。
【權(quán)利要求】
1.一種智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法，包括如下步驟: 步驟一，接收原始版圖數(shù)據(jù)； 步驟二，對(duì)原始版圖數(shù)據(jù)進(jìn)行邏輯運(yùn)算，形成合成圖形； 步驟三，對(duì)原始版圖數(shù)據(jù)形成的合成圖形進(jìn)行選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整； 步驟四，判斷經(jīng)選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整后的中間版圖是否符合設(shè)計(jì)規(guī)則； 步驟五，若符合設(shè)計(jì)規(guī)則，則保持選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整的結(jié)果，若不符合設(shè)計(jì)規(guī)則，則判斷不符合規(guī)則的地方是屬于第一類圖形還是第二類圖形； 步驟六，根據(jù)判斷結(jié)果對(duì)不符合規(guī)則的地方進(jìn)行相應(yīng)處理； 步驟七，將以上各類結(jié)果進(jìn)行整合，并進(jìn)行基于模型的光學(xué)鄰近效應(yīng)修正，輸出最終的OPC數(shù)據(jù)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法，其特征在于:于步驟六中，若不符合規(guī)則的地方為第一類圖形，則對(duì)不符合規(guī)則的地方不進(jìn)行目標(biāo)尺寸調(diào)整；若不符合規(guī)則的地方為第二類圖形，則根據(jù)具體情況自動(dòng)調(diào)整SSA值。
3.如權(quán)利要求2所述的一種智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法，其特征在于:若不符合規(guī)則的地方為第二類圖形，自動(dòng)計(jì)算在滿足設(shè)計(jì)規(guī)則的情況下可以調(diào)整的最優(yōu)尺寸，進(jìn)行選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整。
4.如權(quán)利要求1所述的一種智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法，其特征在于:選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整進(jìn)行負(fù)值運(yùn)算后的圖形為該第一類圖形。
5.如權(quán)利要求1所述的一種智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法，其特征在于:選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整進(jìn)行正值運(yùn)算后的圖形為該第二類圖形。
6.如權(quán)利要求1所述的一種智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法，其特征在于:于步驟四中，判斷線寬是否滿足工藝要求和設(shè)計(jì)要求。
7.如權(quán)利要求1所述的一種智能化選擇性目標(biāo)尺寸調(diào)整方法，其特征在于:判斷線間距是否滿足工藝要求和設(shè)計(jì)要求。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK103941550SQ201410111322
【公開(kāi)日】2014年7月23日 申請(qǐng)日期:2014年3月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月24日
【發(fā)明者】陳翰, 魏芳, 張旭升, 夏國(guó)帥 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司