光學(xué)裝置、光學(xué)測(cè)試臺(tái)及光學(xué)測(cè)試方法
【專(zhuān)利摘要】一種光學(xué)系統(tǒng)，包括：稱(chēng)為準(zhǔn)直光波(OLcol)的平面光波的生成裝置(106)，和準(zhǔn)直光波偏置裝置(114)，用于提供稱(chēng)為測(cè)試光波(OLtest)的光波，所述偏置裝置(114)呈現(xiàn)可調(diào)的焦距。
【專(zhuān)利說(shuō)明】光學(xué)裝置、光學(xué)測(cè)試臺(tái)及光學(xué)測(cè)試方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種光學(xué)裝置、光學(xué)測(cè)試臺(tái)及光學(xué)測(cè)試方法。

【背景技術(shù)】
[0002]為了測(cè)試光學(xué)或光電監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，以下稱(chēng)為待測(cè)試的單元，已知使用包括光學(xué)裝置的光學(xué)測(cè)試臺(tái)，光學(xué)裝置用于提供可變聚散度的測(cè)試光波，即可提供被會(huì)聚、發(fā)散或準(zhǔn)直的光波。
[0003]已知的光學(xué)裝置包括提供被稱(chēng)為源光波的光波的光源、接收源光波并遮蔽一部分以提供稱(chēng)為測(cè)試圖光波的光波的屏幕、以及聚光光學(xué)透鏡(或等同的)，用于接收測(cè)試圖光波和在光源和屏幕側(cè)呈現(xiàn)焦點(diǎn)。
[0004]更具體地，可用凹面鏡代替透鏡。
[0005]在已知的光學(xué)裝置中，光源和屏幕相對(duì)于透鏡一起移動(dòng)，以將屏幕放置在透鏡或凹面鏡的焦點(diǎn)之后、之上或在之前，以使光學(xué)裝置分別提供發(fā)散、準(zhǔn)直或會(huì)聚的測(cè)試光波。
[0006]測(cè)試光波用于由待測(cè)試的單元接收，待測(cè)試的單元因此觀察由屏幕形成的測(cè)試圖，比如該測(cè)試圖沿測(cè)試光波的會(huì)聚而所處的距離包括在小于五公里的值和無(wú)限遠(yuǎn)(大于五公里的距離)之間。
[0007]待測(cè)試的單元用于聚焦在測(cè)試圖上和將該測(cè)試圖的圖像供應(yīng)給信息處理裝置。信息處理裝置然后可對(duì)圖像實(shí)施不同的測(cè)試，更具體地，估計(jì)由待測(cè)試的單元實(shí)施的聚焦品質(zhì)。
[0008]前面已知的光學(xué)裝置呈現(xiàn)的問(wèn)題為，較難將測(cè)試圖準(zhǔn)確地重新放置在透鏡或凹面鏡的焦點(diǎn)上。該重新放置需要對(duì)測(cè)試圖的位置進(jìn)行多種操作和檢驗(yàn)。另外，能夠?qū)y(cè)試圖相對(duì)透鏡或凹面鏡放置的機(jī)械系統(tǒng)是復(fù)雜和昂貴的。
[0009]然而，這種重新放置是必要的。例如，為了確定待測(cè)試的單元的機(jī)械參考軸，已知要實(shí)施通過(guò)使用反射準(zhǔn)直測(cè)試波的鏡的自動(dòng)準(zhǔn)直。然而，如果屏幕相對(duì)透鏡或凹面鏡的焦點(diǎn)不準(zhǔn)確，視頻或光學(xué)可視系統(tǒng)不再能夠監(jiān)測(cè)到反射波。
[0010]而且，希望安置有一種光學(xué)系統(tǒng)，用于容易地提供可變聚散度的測(cè)試圖的光波。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]為達(dá)此目的，提供一種光學(xué)系統(tǒng)包括:
[0012]-稱(chēng)為準(zhǔn)直光波的平面光波的生成裝置，和
[0013]-準(zhǔn)直光波偏置裝置，用于提供稱(chēng)為測(cè)試光波的光波，所述偏置裝置呈現(xiàn)有可調(diào)節(jié)的焦距。
[0014]以可選的方式，偏置裝置的焦距是可調(diào)節(jié)的，更具體地可調(diào)至無(wú)窮大。
[0015]以可選的方式，焦距在從無(wú)窮大延伸到預(yù)定值的區(qū)間中是可調(diào)節(jié)的。
[0016]以可選的方式，預(yù)定值是負(fù)的。
[0017]以可選的方式，預(yù)定值是正的。
[0018]以可選的方式，所述偏置裝置包括:
[0019]-第一光學(xué)透鏡，用于接收準(zhǔn)直光波且將其偏置，以提供稱(chēng)為中間光波的光波；
[0020]-第二光學(xué)透鏡，用于接收所述中間光波且將其偏置，以提供測(cè)試光波；
[0021 ]-支撐所述兩個(gè)光學(xué)透鏡的間隔裝置，用于使得能夠調(diào)節(jié)兩個(gè)光學(xué)透鏡之間的間隔，該間隔取決于偏置裝置的焦距；和其中所述兩個(gè)光學(xué)透鏡(202，204)呈現(xiàn)有相對(duì)立的焦距。
[0022]以可選的方式，所述第一光學(xué)透鏡是發(fā)散的和所述第二光學(xué)透鏡是會(huì)聚的。
[0023]以可選的方式，所述兩個(gè)光學(xué)透鏡的焦距的絕對(duì)值之比不等于I。
[0024]以可選的方式，所述兩個(gè)光學(xué)透鏡的材料相同。
[0025]以可選的方式，所述第一透鏡焦距的絕對(duì)值與所述第二透鏡焦距的絕對(duì)值之比包含于0.992和0.995之間。
[0026]以可選的方式，準(zhǔn)直光波生成裝置包括:_發(fā)射源光波的光源；_部分透明且呈現(xiàn)一定圖案的屏幕，所述屏幕被安置穿過(guò)源光波，以遮掩一部分源光波和使得另一部分源光波通過(guò)；-準(zhǔn)直儀，被配置用于接收并準(zhǔn)直所述測(cè)試圖光波，用于提供準(zhǔn)直光波。
[0027]另外，提供光學(xué)測(cè)試臺(tái)，包括:_根據(jù)本發(fā)明的光學(xué)系統(tǒng)；-稱(chēng)為待測(cè)試的單元的光學(xué)或光電監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，用于接收測(cè)試光波和提供來(lái)自于測(cè)試光波的圖像；-信息處理裝置，用于對(duì)圖像實(shí)施一種或多種處理。
[0028]-另外，提供稱(chēng)為待測(cè)試的單元的光學(xué)或光電監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的測(cè)試方法，包括:_調(diào)節(jié)偏置裝置的焦距，-提供被稱(chēng)為準(zhǔn)直光波的平面光波給偏置裝置，-由偏置裝置對(duì)準(zhǔn)直光波進(jìn)行偏置，以提供被稱(chēng)為測(cè)試光波的光波；-提供測(cè)試光波給待測(cè)試的單元，通過(guò)每次將偏置裝置的焦距調(diào)節(jié)到不同值，這些步驟被實(shí)施多次。
[0029]以可選的方式，對(duì)準(zhǔn)直光波進(jìn)行偏置包括:_提供準(zhǔn)直光波給第一光學(xué)透鏡以將其偏置，用于提供稱(chēng)為中間光波的光波；-提供中間光波給第二光學(xué)透鏡以將其偏置，用于提供測(cè)試光波；和其中調(diào)節(jié)所述偏置裝置的焦距包括:_調(diào)節(jié)在所述兩個(gè)光學(xué)透鏡之間的間隔，該間隔取決于偏置裝置的焦距。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0030]在參考附圖的詳細(xì)描述中將呈現(xiàn)本發(fā)明的實(shí)施方式，其中:
[0031]-圖1為根據(jù)本發(fā)明的光學(xué)測(cè)試臺(tái)的簡(jiǎn)化視圖，
[0032]-圖2為圖1的光學(xué)測(cè)試臺(tái)的偏置裝置的剖面圖，
[0033]-圖3為圖2的偏置裝置的簡(jiǎn)化視圖，其中表示出由偏置裝置提供的測(cè)試光波，用于第一次調(diào)節(jié)偏置裝置，
[0034]-圖4與圖3相似，用于第二次調(diào)節(jié)偏置裝置，和
[0035]-圖5為由圖1的光學(xué)測(cè)試臺(tái)實(shí)施的根據(jù)本發(fā)明測(cè)試方法的方框圖。

【具體實(shí)施方式】
[0036]參考圖1，根據(jù)本發(fā)明的光學(xué)測(cè)試臺(tái)100包括用于提供測(cè)試光波OLtest的光學(xué)系統(tǒng)102和稱(chēng)為待測(cè)試的單元104的光學(xué)或光電監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，用于接收測(cè)試光波0Ltest。
[0037]光學(xué)系統(tǒng)102首先包括稱(chēng)為準(zhǔn)直光波并標(biāo)記為OLral的平面光波生成裝置106。
[0038]生成裝置106首先包括發(fā)射稱(chēng)為源光波并標(biāo)記為OLstjuree的非零值會(huì)聚光波的光源108。光源108例如為激光器或電致發(fā)光二極管陣列。
[0039]生成裝置106還包括部分透明且呈現(xiàn)特定圖案的屏幕110。穿過(guò)源光波OLstjuree安置屏幕110，以遮掩一部分和使另一部分稱(chēng)為測(cè)試圖光波并標(biāo)記為OLmire的光波通過(guò)。屏幕110形成待測(cè)試的單元104要對(duì)準(zhǔn)即聚焦的測(cè)試圖。因此以下將屏幕稱(chēng)為“測(cè)試圖”。
[0040]生成裝置106還包括準(zhǔn)直儀112，被配置用于接收測(cè)試圖光波OLmiie和用于將其準(zhǔn)直，以提供準(zhǔn)直光波olm1。
[0041]光學(xué)系統(tǒng)102還包括準(zhǔn)直光波OLm1的偏置裝置114，用于提供測(cè)試光波0Ltest。如接下來(lái)要解釋的，偏置裝置114呈現(xiàn)標(biāo)記為F的焦距，其是可改變的。
[0042]優(yōu)先地，待測(cè)試的單元104相距偏置裝置114至少I(mǎi)米。
[0043]光學(xué)系統(tǒng)102還包括鏡116，被配置于待測(cè)試的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)104的一側(cè)，以接收一部分準(zhǔn)直光波OLetjl，但是沒(méi)有掩蔽待測(cè)試的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)104。鏡116被垂直于準(zhǔn)直光波OLetjl定向，以在準(zhǔn)直光波到達(dá)方向上將其向準(zhǔn)直儀112反射。鏡116被固定于待測(cè)試的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)104，以能夠被用于如前所解釋的通過(guò)自動(dòng)準(zhǔn)直來(lái)確定待測(cè)試的單元104的機(jī)械參考軸線。
[0044]待測(cè)試的單元104首先包括聚焦裝置118，用于接收測(cè)試光波0Ltest。
[0045]待測(cè)試的單元104還包括圖像記錄部件120，其中聚焦裝置118用于聚焦測(cè)試光波OLtest,以在其上形成測(cè)試圖的圖像110。圖像記錄部件120用于記錄該圖像。
[0046]光學(xué)系統(tǒng)102還包括連接到圖像記錄部件的信息處理裝置122，以接收?qǐng)D像記錄部件120存儲(chǔ)的圖像。信息處理裝置122用于在該圖像上實(shí)施不同的測(cè)試，更具體地，用于估計(jì)圖像的模糊度。該估計(jì)使能夠估計(jì)由待測(cè)試的單元104的聚焦裝置118實(shí)施的聚焦的準(zhǔn)確度。
[0047]參考圖2，偏置裝置114首先包括第一光學(xué)透鏡114，用于接收準(zhǔn)直光波OLm1并將其偏置成稱(chēng)為中間光波OLint的光波。
[0048]偏置裝置110還包括第二光學(xué)透鏡204，用于接收中間光波OLint和將其偏置成測(cè)試光波OLtest ο
[0049]兩個(gè)光學(xué)透鏡202，204沿它們的標(biāo)記為A的主光軸對(duì)齊(沿該軸的光線沒(méi)有被偏置)。
[0050]在接下來(lái)的詳細(xì)描述中，如前面、后面、內(nèi)部、外部等的位置形容詞均參考在測(cè)試圖光波OLniiM到達(dá)的方向上取向的主光軸A。
[0051]兩個(gè)光學(xué)透鏡202，204呈現(xiàn)相反的分別標(biāo)記為Fl和F2的焦距。在所描述的實(shí)施例中，第一光學(xué)透鏡114是發(fā)散的(負(fù)焦距Fl)，而第二光學(xué)透鏡118是會(huì)聚的(正焦距F2)。更確切地，在所描述的實(shí)施例中，第一透鏡204為平凸透鏡(在光通過(guò)的方向上)，而第二透鏡206為平凹透鏡(在光通過(guò)的方向上)。
[0052]另外，在所描述的實(shí)施例中，兩個(gè)透鏡的材料相同，例如為玻璃。優(yōu)選地，透鏡設(shè)置有防反射處理。事實(shí)上，偏置裝置114包括四個(gè)空氣/玻璃界面。然而，沒(méi)有防反射處理，由待測(cè)試的單元104可感知的潛在干擾圖像將形成于各個(gè)界面。待測(cè)試的單元104因此將受到干擾。
[0053]偏置裝置114還包括支撐兩個(gè)光學(xué)透鏡202，204的間隔裝置206，用于使得能夠調(diào)節(jié)在兩個(gè)光學(xué)透鏡202，204之間的間隔e。偏置裝置110的焦距F取決于該間隔e，以便通過(guò)改變?cè)撻g隔e而可能調(diào)節(jié)焦距F。
[0054]在所描述的實(shí)施例中，間隔裝置206首先包括內(nèi)套筒208，第一光學(xué)透鏡202被固定于內(nèi)套筒208上。
[0055]間隔裝置206還包括裝配于內(nèi)套筒208上的外套筒210，第二光學(xué)透鏡204固定于外套筒210上。外套筒210被設(shè)置有外螺紋210A。內(nèi)套筒208用于在外套筒210中沿主光軸A的方向滑動(dòng)，以便沿主光軸A使第一光學(xué)透鏡202和第二光學(xué)透鏡204相互離開(kāi)或接近。
[0056]間隔裝置206還包括彈簧212，沿主光軸A在兩個(gè)套筒208、210之間被壓縮和用于補(bǔ)償零件之間的間隙。
[0057]間隔裝置206還包括安裝在內(nèi)套筒208上的調(diào)節(jié)環(huán)214，以能夠在內(nèi)套筒208上圍繞主光軸A轉(zhuǎn)動(dòng)。調(diào)節(jié)環(huán)214止擋抵靠在內(nèi)套筒208的前面。調(diào)節(jié)環(huán)214包括與外套筒210的外螺紋210A相嚙合的內(nèi)螺紋214A。在調(diào)節(jié)環(huán)214的外表面上還設(shè)置有標(biāo)記(圖中不可見(jiàn))。
[0058]間隔裝置206還包括被安置在內(nèi)套筒208上的保持環(huán)216，保持環(huán)216止擋抵靠在調(diào)節(jié)環(huán)214的后面，以使調(diào)節(jié)環(huán)214被緊固在保持環(huán)216和內(nèi)套筒208之間，以阻止其沿主光軸A相對(duì)內(nèi)套筒208的平移。
[0059]而且，借助于螺紋210A和214A的嚙合和由于阻止了平移，轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)環(huán)214使得內(nèi)套筒208沿主光軸A的移動(dòng)以及在第一和第二光學(xué)透鏡202，204之間間隔的調(diào)節(jié)。
[0060]間隔裝置206還包括安置外套筒210上的定位環(huán)218，以能夠在外套筒210上圍繞主光軸A轉(zhuǎn)動(dòng)。設(shè)置螺釘218A以將定位環(huán)218相對(duì)外套筒210固定在期望位置上。定位環(huán)218在其外表面上被設(shè)置有刻度，以與調(diào)節(jié)環(huán)214的標(biāo)記建立關(guān)系，進(jìn)而能夠相對(duì)定位環(huán)218定位調(diào)節(jié)環(huán)214。
[0061]優(yōu)選地，兩個(gè)光學(xué)透鏡202，204的焦距Fl，F(xiàn)2的絕對(duì)值比不等于I。在所描述的實(shí)施例中，焦距Fl與焦距F2的絕對(duì)值比為0.994。以通常的方式，焦距Fl與焦距F2的絕對(duì)值比為在0.992和0.995之間。因此，對(duì)于稱(chēng)為中立間隔θ(ι的非零間隔值，可能得到偏置裝置114的焦距F為零值(即偏置裝置114不偏置準(zhǔn)直光波0Lm1，以使測(cè)試光波OLtest與準(zhǔn)直光波OLral相同，且因此是平面的)。因此，在間隔e小于中立間隔％時(shí)，偏置裝置114的焦距F是負(fù)值且偏置裝置114是發(fā)散的(圖3)，同時(shí)在間隔e大于中立間隔％時(shí)，焦距F是正值且偏置裝置114是會(huì)聚的(圖4)。
[0062]另外，用這樣的焦距Fl和F2比值，幾何誤差和色彩誤差相對(duì)可忽略。
[0063]優(yōu)選地，可調(diào)節(jié)間隔e，以將焦距F從-50米改變成+50米，并通過(guò)無(wú)窮大，即在兩個(gè)區(qū)間上:[_ 00 ；_50米]和[+50米；+ 00 ]。
[0064]優(yōu)選地，螺紋210A、214A僅比標(biāo)記環(huán)210多一圈以便能夠覆蓋期望區(qū)間。
[0065]參考圖5，將描述光學(xué)或光電監(jiān)測(cè)系統(tǒng)104呈現(xiàn)的根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試方法500。
[0066]在步驟502中，光源108生成源光波OLstjurce。
[0067]在步驟504中，源光波OLstjuree穿過(guò)測(cè)試圖110，以提供測(cè)試圖光波OLniiret5
[0068]在步驟506中，準(zhǔn)直儀112接收測(cè)試圖光波OLmire并對(duì)其進(jìn)行準(zhǔn)直，以提供準(zhǔn)直光波 OLcol ο
[0069]在步驟508中，偏置裝置114接收準(zhǔn)直光波OLetjl并依據(jù)焦距F對(duì)其進(jìn)行偏置，以提供測(cè)試光波OLtest。
[0070]在步驟510中，轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)環(huán)214以借助于鏡116將偏置裝置114的焦距F調(diào)節(jié)到無(wú)窮大。
[0071]在步驟512中，轉(zhuǎn)動(dòng)定位環(huán)218以將刻度之一置于調(diào)節(jié)環(huán)214的標(biāo)記的對(duì)面和借助于螺釘218A固定定位環(huán)218。該刻度被稱(chēng)為中立刻度，因此指示調(diào)節(jié)環(huán)的中立位置，其中測(cè)試光波被準(zhǔn)直。優(yōu)選地，以屈光度標(biāo)刻其它刻度，以指示對(duì)應(yīng)于調(diào)節(jié)環(huán)214相對(duì)其中立位置的的角度的偏置裝置114屈光度。
[0072]在步驟514中，轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)環(huán)214以借助于標(biāo)記和刻度將偏置裝置114的焦距F調(diào)節(jié)到期望值。
[0073]在步驟516中，光源108生成源光波OLstjurce。
[0074]在步驟518中，源光波OLstjuree穿過(guò)測(cè)試圖110以提供測(cè)試圖光波OLntot5
[0075]在步驟520中，準(zhǔn)直儀112接收測(cè)試圖光波OLmire并將其準(zhǔn)直，以提供準(zhǔn)直光波OLcol。
[0076]在步驟522中，偏置裝置114接收準(zhǔn)直光波OLm1并依據(jù)焦距F對(duì)其進(jìn)行偏置，以提供測(cè)試光波OLtest。
[0077]在步驟524中，待測(cè)試的單元104的聚焦裝置118接收測(cè)試光波OLtest并在記錄部件120上對(duì)測(cè)試光波OLtest進(jìn)行聚焦。
[0078]在步驟526中，記錄部件120根據(jù)由聚焦裝置118聚焦的光波形成圖像并將該圖像傳送給信息處理裝置122。
[0079]在步驟528中，裝置122接收由記錄部件120形成的圖像并實(shí)施對(duì)該圖像的一種或多種處理，以導(dǎo)出表征由聚焦裝置實(shí)施的聚焦的品質(zhì)的指數(shù)。
[0080]通過(guò)每次將間隔e調(diào)節(jié)成不同值(及因此通過(guò)每次將偏置裝置114的焦距F調(diào)節(jié)成不同值)，多次連續(xù)實(shí)施步驟514到528。相繼調(diào)節(jié)到的間隔e值優(yōu)選地至少包括:小于e0的值(負(fù)焦距F)、值eQ (無(wú)限焦距F)、和大于eQ的值(正焦距F)。
[0081]本發(fā)明不限于前面描述的實(shí)施例，但是由接下來(lái)的權(quán)利要求限定。
[0082]對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員顯而易見(jiàn)的是，鑒于所揭示的本發(fā)明，可對(duì)該實(shí)施例進(jìn)行各種變化形式的修改。
[0083]更具體地，本發(fā)明可被應(yīng)用于如前描述的實(shí)施例情況下的可見(jiàn)光領(lǐng)域，或紅外領(lǐng)域。
[0084]而且，在接下來(lái)的權(quán)利要求中，所使用的術(shù)語(yǔ)不被解釋為將權(quán)利要求限制于前面描述的實(shí)施例的元件，而是被解釋為包括在本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)用其常識(shí)可預(yù)期的所有等同。
【權(quán)利要求】
1.一種光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述光學(xué)系統(tǒng)包括: -稱(chēng)為準(zhǔn)直光波(OLm1)的平面光波的生成裝置(106)，和 -準(zhǔn)直光波偏置裝置(114)，用于提供稱(chēng)為測(cè)試光波(OLtest)的光波，所述偏置裝置(114)呈現(xiàn)出可調(diào)節(jié)的焦距。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述偏置裝置(114)的焦距是可調(diào)節(jié)的，更具體地，可調(diào)節(jié)到無(wú)窮大。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述焦距在從無(wú)窮大延伸到預(yù)定值的區(qū)間中是可調(diào)節(jié)的。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述預(yù)定值是負(fù)的。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述預(yù)定值是正的。
6.根據(jù)權(quán)利要求1到5中任一項(xiàng)所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述偏置裝置包括: -第一光學(xué)透鏡(202)，用于接收準(zhǔn)直光波(OLcJ且將其偏置，以提供被稱(chēng)為中間光波(OLint)的光波； -第二光學(xué)透鏡(204)，用于接收所述中間光波(OLint)且將其偏置，以提供測(cè)試光波(OLtest)； -支撐所述兩個(gè)光學(xué)透鏡(202，204)的間隔裝置(206)，用于使得能夠調(diào)節(jié)所述兩個(gè)光學(xué)透鏡(202,204)之間的間隔(e)，該間隔(e)取決于偏置裝置(114)的焦距； 以及其中所述兩個(gè)光學(xué)透鏡(202，204)呈現(xiàn)有相反的焦距。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述第一光學(xué)透鏡(202)是發(fā)散的和所述第二光學(xué)透鏡(204)是會(huì)聚的。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述兩個(gè)光學(xué)透鏡(202，204)的焦距的絕對(duì)值之比不等于I。
9.根據(jù)權(quán)利要求5到8中任一項(xiàng)所述的光學(xué)系統(tǒng)，所述兩個(gè)光學(xué)透鏡的材料相同。
10.根據(jù)權(quán)利要求8和9所述的光學(xué)系統(tǒng)，所述第一透鏡(202)的焦距的絕對(duì)值與所述第二透鏡(204)的焦距的絕對(duì)值之比包含在0.992和0.995之間，例如為0.994。
11.根據(jù)權(quán)利要求1到10中任一項(xiàng)所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述準(zhǔn)直光波(OLral)的生成裝置(106)包括: -發(fā)射源光波(OLsource)的光源(108)； -部分透明且呈現(xiàn)一定圖案的屏幕(110)，所述屏幕(110)被安置穿過(guò)源光波(0Ls_J以遮掩一部分源光波和使稱(chēng)為測(cè)試圖光波(OLmire)的另一部分源光波通過(guò)； -準(zhǔn)直儀(112)，被配置用于接收所述測(cè)試圖光波(OLmire),并對(duì)所述測(cè)試圖光波(OLfflire)進(jìn)行準(zhǔn)直以用于提供準(zhǔn)直光波(OLcJ。
12.—種光學(xué)測(cè)試臺(tái),包括: -根據(jù)權(quán)利要求1到11中任一項(xiàng)所述的光學(xué)系統(tǒng)(102)， -稱(chēng)為待測(cè)試的單元(104)的光學(xué)或光電監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，用于接收測(cè)試光波(OLtest)和提供來(lái)自于測(cè)試光波(OLtest)的圖像，和 -信息處理裝置，用于對(duì)圖像實(shí)施一種或多種處理。
13.一種稱(chēng)為待測(cè)試的單元(104)的光學(xué)或光電監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的測(cè)試方法，其特征在于，所述方法包括: -調(diào)節(jié)(514)偏置裝置(114)的焦距； -提供(520)稱(chēng)為準(zhǔn)直光波(OLcJ的平面光波給偏置裝置(114)； -由偏置裝置(114)對(duì)準(zhǔn)直光波(OLcJ進(jìn)行偏置(522)，以提供稱(chēng)為測(cè)試光波(OLcJ的光波；以及 -提供(522)測(cè)試光波給待測(cè)試的單元(104)， 通過(guò)每次將偏置裝置(114)的焦距調(diào)節(jié)到不同值，這些步驟被實(shí)施多次。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的測(cè)試方法，其中對(duì)準(zhǔn)直光波(OLcJ進(jìn)行偏置(522)包括:-提供準(zhǔn)直光波給第一光學(xué)透鏡(202)以將其偏置，以用于提供稱(chēng)為中間光波(OLint)的光波， -提供中間光波(OLint)給第二光學(xué)透鏡(204)以將其偏置，以用于提供測(cè)試光波(OLtest)， 和其中調(diào)節(jié)所述偏置裝置(114)的焦距包括: -調(diào)節(jié)在所述兩個(gè)光學(xué)透鏡(202，204)之間的間隔(e)，該間隔(e)取決于偏置裝置(114)的焦距。
【文檔編號(hào)】G02B15/16GK104136902SQ201380005404
【公開(kāi)日】2014年11月5日 申請(qǐng)日期:2013年1月7日 優(yōu)先權(quán)日:2012年1月13日
【發(fā)明者】E·皮特, V·派逖特, P·勒科克 申請(qǐng)人:卡斯蒂安測(cè)試與服務(wù)公司