專利名稱：一種視覺系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種視覺系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種視覺系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
用于大規(guī)模集成電路和FPD/TFT/0LED/TP大屏顯示行業(yè)的激光光刻設(shè)備。由激光光源、空間光調(diào)制器即SLM、光學(xué)系統(tǒng)、視覺系統(tǒng)、移動平臺、控制電路、數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換軟件及服務(wù)器數(shù)據(jù)處理和傳輸系統(tǒng)組成。其中，視覺系統(tǒng)在基板的對準、觀察調(diào)試及檢查測試等工作中發(fā)揮著重大作用。但是現(xiàn)有的視覺系統(tǒng)使用效果不好，對照明光的角度、光譜和色溫，對觀察物體的 光譜特性、形狀和背景的選取均達不到要求。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明目的是克服了現(xiàn)有技術(shù)中的不足而提供一種對照明光的角度、光譜和色溫，對觀察物體的光譜特性、形狀和背景的選取了達到了最佳的對比和檢測效果，能更好的觀察和識別物體，提聞的基板的對準精度的新型視覺系統(tǒng)。為了解決上述存在的技術(shù)問題，本發(fā)明采用下列技術(shù)方案一種視覺系統(tǒng)，其特征在于包括有R、G、B三色LED光源和光傳感器，此外還設(shè)有將R、G、B三色LED光源折射到光傳感器上的分光鏡。如上所述的一種視覺系統(tǒng)，其特征在于所述的分光鏡為一個或多個分光棱鏡或分光反射鏡，所述R、G、B三色LED光源為單組或多組R、G、B三色LED光源，所述R、G、B三色LED光源發(fā)出的三色光經(jīng)物體反射后再經(jīng)過分光鏡折射后來到光傳感器上并形成可視圖像。如上所述的一種視覺系統(tǒng),其特征在于所述的分光鏡有兩個，其分別為第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I和第二分光棱鏡或第二分光反射鏡2 ;所述的R、G、B三色LED光源有兩組，其分別為將第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I圍住的第一 R、G、B三色LED光源3和將發(fā)射出的光垂直射向第二分光棱鏡或第二分光反射2的第二 R、G、B三色LED光源4 ;所述第二分光棱鏡或第二分光反射2折射出來的光由光傳感器5接收并形成可視圖像。如上所述的一種視覺系統(tǒng)，其特征在于所述第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I與第一 R、G、B三色LED光源3同軸；第二分光棱鏡或第二分光反射鏡2與第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I同軸。如上所述的一種視覺系統(tǒng)，其特征在于所述光傳感器5為CXD光傳感器。如上所述的一種視覺系統(tǒng)，其特征在于所述第一 R、G、B三色LED光源3由多個R、G、B三色LED光源組成，多個R、G、B三色LED光源圍成封閉圖形狀。如上所述的一種視覺系統(tǒng)，其特征在于所述多個R、G、B三色LED光源圍成環(huán)形的封閉圖形狀。如上所述的一種視覺系統(tǒng)，其特征在于所述第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I的光引擎6發(fā)身的激光通過率為97-98%，反射的激光為2-3%。如上所述的一種視覺系統(tǒng)，其特征在于所述第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I的由第一 R、G、B三色LED光源3發(fā)射的光的通過率為50%。如上所述的一種視覺系統(tǒng)，其特征在于所述第二 R、G、B三色LED光源4為單個R、G、B三色LED光源組成。 本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比有如下優(yōu)點本發(fā)明能夠通過采用R、G、B三色LED光源，能夠改變照明光的角度、光譜和色溫，對觀察物體的光譜特性、形狀和背景的選取達到了最佳的對比和檢測效果，能更好的觀察和識別物體，提聞的基板的對準精度。

圖I是本發(fā)明其中一種實施方式的示意圖。圖2是本發(fā)明另外一種實施方式的示意圖。圖3是分光曲線圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本發(fā)明進行詳細描述如圖所示，一種視覺系統(tǒng)，包括有R、G、B三色LED光源和光傳感器，此外還設(shè)有將R、G、B三色LED光源折射到光傳感器上的分光鏡。具體來說，所述的分光鏡為一個或多個分光棱鏡或分光反射鏡。所述R、G、B三色LED光源為單組或多組R、G、B三色LED光源。所述R、G、B三色LED光源發(fā)出的三色光經(jīng)物體反射后再經(jīng)過分光鏡折射后來到光傳感器上并形成可視圖像。當(dāng)分光鏡為一個時，所述R、G、B三色LED光源為單組的三色LED光源。當(dāng)分光鏡為多個時，所述R、G、B三色LED光源的組數(shù)與分光鏡的個數(shù)相同。單組R、G、B三色LED光源可以是單個三色LED光源組成，也可以是由多個三色LED光源組成。作為本實施例的優(yōu)選方式，所述分光鏡為兩個，其分別為第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I和第二分光棱鏡或第二分光反射鏡2。所述的R、G、B三色LED光源為兩組，其分別為將第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I圍住的第一 R、G、B三色LED光源3和將發(fā)射出的光垂直射向第二分光棱鏡或第二分光反射2的第二 R、G、B三色LED光源4。所述第二分光棱鏡或第二分光反射2折射出來的光由光傳感器5接收并形成可視圖像。在本實施例中，所述光傳感器5為CCD光傳感器。米用二個分光鏡時,效果較佳。這樣，發(fā)射激光的光引擎6可放置在第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I的正上方，光引擎6發(fā)射的激光大部分穿過第一分光棱鏡或第一分光反射鏡1，還有小部分反射經(jīng)過第二分光棱鏡或第二分光反射2,從而到達光傳感器5。而需要對準和光刻的物體7則放置在第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I正下方。作為本實施例的優(yōu)選方式，所述第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I與第一 R、G、B三色LED光源3同軸。第二分光棱鏡或第二分光反射鏡2與第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I同軸。作為本實施例的優(yōu)選方式，所述第一 R、G、B三色LED光源3由多個R、G、B三色LED光源組成，多個R、G、B三色LED光源圍成封閉圖形狀。更優(yōu)的，多個R、G、B三色LED光源圍成環(huán)形的或其它任意形狀的封閉圖形狀。第二 R、G、B三色LED光源4為單組R、G、B三色LED光源。作為本實施例的優(yōu)選方式，如圖3中所不，T為光的通過率，λ為光波長,激光光刻的波長在35(Γ450納米間，光引擎發(fā)射的激光經(jīng)過第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I照射到物體上后反射2°/Γ3%的激光，物體吸收了 97°/Γ98%的激光。其中被反射的激光經(jīng)過第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I后折射到另一同軸分光反射鏡或分光棱鏡再到CCD鏡頭形成圖像。一組環(huán)形或任意封閉圖形R、G、B三色組合的LED光源發(fā)射的光為可見光，波長在450^650納米間，LED光源發(fā)出的光照射到物體上其圖形反射到分光反射鏡，經(jīng)分光反射鏡或分光棱鏡折射到另一同軸分光反射鏡或分光棱鏡，再照射到CCD鏡頭上被接收成像，該可見光的在第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I的通過率為50%。綜上，第一 R、G、B三色LED光源3，由一排紅、綠、藍LED燈依次循環(huán)排列組成，作 為該視覺系統(tǒng)的主要燈源，圓環(huán)中心與第一分光棱鏡或第一分光反射鏡同軸，其可調(diào)照明顏色及可調(diào)色溫環(huán)形燈360度照明，從側(cè)面的不同角度照射物體，根據(jù)不同物體的光譜特性改善其對比度，以達到最佳照明效果。其工作原理為I、基板對準第一 R、G、B三色LED光源3照射到物體7基板上，物體7反射的光經(jīng)過第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I和第二分光棱鏡或第二分光反射鏡2后照射到CCD光傳感器并接收成像。第二 R、G、B三色LED光源4分別經(jīng)過第二分光棱鏡或第二分光反射鏡2和第一分光棱鏡或第一分光反射鏡后照射到物體7上，物體7反射的光再經(jīng)過第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I和第二分光棱鏡或第二分光反射鏡2后照射到CCD光傳感器并接收成像，這樣側(cè)光束與同軸光束根據(jù)不同物體的光譜特性，改善對比度以達到最佳照射效果，C⑶光傳感器進行圖像識別。CXD光傳感器包括一個鏡頭及傳感器。LED三色光源照射的圖形通過鏡頭能被傳感器識別，繼而在電腦上形成圖像，可清楚地找到物體7上的基點。2、光刻光引擎6發(fā)射的藍紫激光光源通過同軸的第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I進行光刻，其中被反射的觀察光通過第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I按一定的比例折射曝光波長，被折射的曝光波長再通過同軸的第二分光棱鏡或第二分光反射鏡2后被CCD光傳感器接受成像。光刻的同時，激光光源在鏡頭蝕刻的圖像也被傳感器識別并在電腦上顯示出來，觀察光刻圖形。
權(quán)利要求1.一種視覺系統(tǒng)，其特征在于包括有R、G、B三色LED光源和光傳感器，此外還設(shè)有將R、G、B三色LED光源折射到光傳感器上的分光鏡。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種視覺系統(tǒng)，其特征在于所述的分光鏡為一個或多個分光棱鏡或分光反射鏡，所述R、G、B三色LED光源為單組或多組R、G、B三色LED光源，所述R、G、B三色LED光源發(fā)出的三色光經(jīng)物體反射后再經(jīng)過分光鏡折射后來到光傳感器上并形成可視圖像。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種視覺系統(tǒng)，其特征在于所述的分光鏡有兩個，其分別為第一分光棱鏡或第一分光反射鏡(I)和第二分光棱鏡或第二分光反射鏡(2);所述的R、G、B三色LED光源有兩組，其分別為將第一分光棱鏡或第一分光反射鏡(I)圍住的第一 R、G、B三色LED光源(3)和將發(fā)射出的光垂直射向第二分光棱鏡或第二分光反射(2)的第二 R、G、B三色LED光源(4);所述第二分光棱鏡或第二分光反射(2)折射出來的光由光傳感器(5)接收并形成可視圖像。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種視覺系統(tǒng),其特征在于所述第一分光棱鏡或第一分光反射鏡(I)與第一 R、G、B三色LED光源(3)同軸；第二分光棱鏡或第二分光反射鏡(2)與第一分光棱鏡或第一分光反射鏡(I)同軸。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或2或3或4所述的一種視覺系統(tǒng)，其特征在于所述光傳感器(5)為CCD光傳感器。
6.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的一種視覺系統(tǒng)，其特征在于所述第一R、G、B三色LED光源(3)由多個R、G、B三色LED光源組成，多個R、G、B三色LED光源圍成封閉圖形狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種視覺系統(tǒng)，其特征在于所述多個R、G、B三色LED光源圍成環(huán)形的封閉圖形狀。
8.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的一種視覺系統(tǒng),其特征在于所述第一分光棱鏡或第一分光反射鏡(I)的光引擎(6)發(fā)身的激光通過率為97-98%，反射的激光為2-3%。
9.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的一種視覺系統(tǒng),其特征在于所述第一分光棱鏡或第一分光反射鏡(I)的由第一 R、G、B三色LED光源(3)發(fā)射的光的通過率為50%。
10.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的一種視覺系統(tǒng)，其特征在于所述第二R、G、B三色LED光源(4)為單個R、G、B三色LED光源組成。
專利摘要本實用新型涉及一種視覺系統(tǒng)，包括有R、G、B三色LED光源和光傳感器，此外還設(shè)有將R、G、B三色LED光源折射到光傳感器上的分光鏡，所述的分光鏡為一個或多個分光棱鏡或分光反射鏡，所述R、G、B三色LED光源為單組或多組R、G、B三色LED光源，所述R、G、B三色LED光源發(fā)出的三色光經(jīng)物體反射后再經(jīng)過分光鏡折射后來到光傳感器上并形成可視圖像。本實用新型提供了一種對照明光的角度、光譜和色溫，對觀察物體的光譜特性、形狀和背景的選取了達到了最佳的對比和檢測效果，能更好的觀察和識別物體，提高的基板的對準精度的新型視覺系統(tǒng)。
文檔編號G02B27/10GK202693995SQ201220258750
公開日2013年1月23日 申請日期2012年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月1日
發(fā)明者梅文輝, 杜衛(wèi)沖, 曲魯杰 申請人:中山新諾科技有限公司