專利名稱：掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及修補(bǔ)烘烤裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置。
背景技術(shù)：
掩模版photomask,也稱光罩、光學(xué)掩模版,常見的掩模版有鉻版(chrome mask)、干版(emulsion mask)、菲林(film mask)等,是指在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并精確定位，以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結(jié)構(gòu)。但是，掩模版在生產(chǎn)制造過程中會存在各種缺陷，其中白缺陷的修補(bǔ)通常使用修補(bǔ)劑進(jìn)行修補(bǔ)，需要將修補(bǔ)劑加熱到一定的溫度時才能使之固化在進(jìn)行修補(bǔ)過程中通常采用整版烘烤方式進(jìn)行加熱，而整版烘烤會使得掩模版中未進(jìn)行修補(bǔ)部分中存在的顆粒物質(zhì)黏附在掩模版上，導(dǎo)致掩模版整版清洗困難，此外，該種烘烤方式的溫度也較難控制且烘烤時間和散熱時間也較長。

實(shí)用新型內(nèi)容為此，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置，以克服掩模版因整版加熱后的清洗困難的弊端，同時還便于烘烤溫度的控制以及縮短單個缺陷修補(bǔ)烘烤時間。于是，本實(shí)用新型提供了一種掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置，包括槍式烘烤加熱器、用于固定槍式烘烤加熱器并可調(diào)整其升降的調(diào)節(jié)固定裝置和用于控制槍式烘烤加熱器溫度的溫控電路。其中，所述調(diào)節(jié)固定裝置包括電磁閥和由電磁閥控制的可調(diào)節(jié)槍式烘烤加熱器升降的汽缸。所述槍式烘烤加熱器包括加熱絲和用于感應(yīng)槍式烘烤加熱器加熱溫度的溫度傳感器，加熱絲和溫度傳感器都與溫控電路連接。當(dāng)溫控電路為至少兩個時，通過模式切換開關(guān)進(jìn)行切換。所述溫控電路包括與槍式烘烤加熱器中的溫度傳感器連接的用于進(jìn)行數(shù)據(jù)處理的溫度控制器、受溫度控制器控制的固態(tài)繼電器，該固態(tài)繼電器的一端還與槍式烘烤加熱器中的加熱絲連接，當(dāng)溫度傳感器給到溫度控制器的溫度超過預(yù)置溫度值時，溫度控制器通知固態(tài)繼電器使其切斷加熱絲的連接通路，當(dāng)溫度傳感器給到溫度控制器的溫度低于預(yù)置溫度值時，溫度控制器通知固態(tài)繼電器使其接通加熱絲的連接通路。上述溫控電路還包括一連接在所述溫度控制器和電源之間的聲音報警器，當(dāng)加熱
絲加熱時間超過預(yù)置時間值或者加熱溫度超出預(yù)置溫度時，溫度控制器通知聲音報警器報
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目O本實(shí)用新型所述掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置，通過使用槍式烘烤加熱器、以及對烘烤加熱溫度進(jìn)行控制的溫控電路，使得對掩模版白缺陷的修補(bǔ)烘烤實(shí)現(xiàn)了點(diǎn)對點(diǎn)的烘烤，避免了現(xiàn)有技術(shù)中所述因部分修補(bǔ)而使用的整版烘烤，克服了因整版烘烤而帶來的烘烤時間長以及掩模版整版清洗困難的弊端，同時，由于溫控電路的使用，使得槍式烘烤加熱器的烘烤烘烤溫度、烘烤時間、以及烘烤報警時間等烘烤參數(shù)都可控，實(shí)現(xiàn)了掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置的可控性。

圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例所述動力設(shè)備綜合報警系統(tǒng)框圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例所述動力設(shè)備綜合報警系統(tǒng)具體實(shí)現(xiàn)電路圖；圖3為電磁閥控制電路圖。
具體實(shí)施方式
下面，結(jié)合附圖對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)描述。如圖I所示，本實(shí)施例提供了一種掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置，包括槍式烘烤加熱器11、用于固定槍式烘烤加熱器并可調(diào)整其升降的調(diào)節(jié)固定裝置12和用于控制槍式烘烤加熱器溫度的溫控電路(圖中未標(biāo)示)。如圖2所示，其中，槍式烘烤加熱器11包括加熱絲112和用于感應(yīng)槍式烘烤加熱器加熱溫度的溫度傳感器114，加熱絲和溫度傳感器都與溫控電路連接。其中，調(diào)節(jié)固定裝置12包括電磁閥(圖中未標(biāo)示)和由電磁閥控制的可調(diào)節(jié)槍式烘烤加熱器升降的汽缸121，圖3為電磁閥控制電路圖，其主要原理是電磁閥的工作電源由SB1、SB2、SB3三個開關(guān)的通斷來控制，開關(guān)選用不帶自鎖功能的按鍵，自鎖功能由繼電器來實(shí)現(xiàn)。其中SBl是汽缸上升按鍵開關(guān)，屬于常閉狀態(tài)；SB2、SB3分別是溫度控制器烘烤啟動按鍵、汽缸下降按鍵，均屬于常開狀態(tài)且兩者并聯(lián)。當(dāng)不烘烤時，汽缸是出于上升狀態(tài)，當(dāng)按下SB2或是SB3，電磁閥通電，汽缸下降，繼電器KAl吸合，SB2與SB3的不同之處是SB2不僅是控制電磁閥的通斷按鍵而且還是控制溫度控制器烘烤啟動按鍵的開關(guān)；當(dāng)烘烤結(jié)束時，SB2溫度控制器烘烤啟動按鍵自動斷開，電磁閥斷電，汽缸上升。SB3汽缸下降按鍵主要是用于調(diào)試烘烤裝置過程中控制汽缸的下降。如圖2所示，本實(shí)施例給出了溫控電路的具體實(shí)現(xiàn)方式，該電路可以包括至少兩個溫控電路，本實(shí)施例包括兩個溫控電路。溫控電路由模式切換開關(guān)Kl進(jìn)行選擇切換，每個溫控電路控制不同的烘烤溫度，其中溫度控制器I用于掩模版白缺陷中針孔類缺陷修補(bǔ)的烘烤，溫度控制器2用于掩模版白缺陷中的斷線、凹陷類缺陷修補(bǔ)的烘烤。下面以溫度控制器I所在回路加熱說明。當(dāng)模式切換開關(guān)Kl選擇溫控控制器I所在回路時，用于進(jìn)行數(shù)據(jù)處理的溫度控制器I與槍式烘烤加熱器中的溫度傳感器114連接，固態(tài)繼電器I的不但與溫度控制器I連接，還與槍式烘烤加熱器中的加熱絲112連接，當(dāng)溫度傳感器114給到溫度控制器I的溫度超過預(yù)置溫度值時，溫度控制器I通知固態(tài)繼電器I使其切斷加熱絲112的連接通路，令加熱絲112斷電，不再繼續(xù)加熱；當(dāng)溫度傳感器I給到溫度控制器I的溫度低于預(yù)置溫度值時，溫度控制器I通知固態(tài)繼電器I使其接通加熱絲112的連接通路，令加熱絲112接通電源，繼續(xù)加熱。[0023]為了實(shí)現(xiàn)聲音報警，所述溫控電路還包括一連接在所述溫度控制器I和電源之間的聲音報警器H1，，當(dāng)加熱絲112加熱時間超過預(yù)置時間值，或者加熱溫度超出預(yù)置溫度時，即溫度超出設(shè)計值偏差范圍時，溫度控制器I通知聲音報警器報警。溫度控制器2的連接方式及其實(shí)現(xiàn)原理與溫度控制器I相同，如圖2所述，在此不再重復(fù)文字和原理描述。綜上所述，本實(shí)用新型所述掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置，通過使用槍式烘烤加熱器、以及對烘烤加熱溫度進(jìn)行控制的溫控電路，使得對掩模版白缺陷的烘烤實(shí)現(xiàn)了點(diǎn)對點(diǎn)的穩(wěn)定加熱，避免了現(xiàn)有技術(shù)中所述因部分修補(bǔ)而使用的整版烘烤，克服了因整版烘烤而帶來的掩模版整版清洗困難的弊端以及時間長的問題，同時，由于溫控電路的使用，使得槍式烘烤加熱器的烘烤溫度、烘烤時間、以及烘烤報警時間等參數(shù)都可控，實(shí)現(xiàn)了掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置的可控性。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置，其特征在于，包括槍式烘烤加熱器、用于固定槍式烘烤加熱器并可調(diào)整其高度的調(diào)節(jié)固定裝置和用于控制槍式烘烤加熱器溫度的溫控電路。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)固定裝置包括電磁閥和由電磁閥控制的可調(diào)節(jié)槍式烘烤加熱器高度的汽缸。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置，其特征在于，所述槍式烘烤加熱器包括加熱絲和用于感應(yīng)槍式烘烤加熱器加熱溫度的溫度傳感器，加熱絲和溫度傳感器都與溫控電路連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置，其特征在于，當(dāng)溫控電路為至少兩個時，通過模式切換開關(guān)進(jìn)行切換。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4任意一項所述的掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置，其特征在于，所述溫控電路包括 與槍式烘烤加熱器中的溫度傳感器連接的用于進(jìn)行數(shù)據(jù)處理的溫度控制器、受溫度控制器控制的固態(tài)繼電器，該固態(tài)繼電器的一端還與槍式烘烤加熱器中的加熱絲連接，當(dāng)溫度傳感器給到溫度控制器的溫度超過預(yù)置溫度值時，溫度控制器通知固態(tài)繼電器使其切斷加熱絲的連接通路，當(dāng)溫度傳感器給到溫度控制器的溫度低于預(yù)置溫度值時，溫度控制器通知固態(tài)繼電器使其接通加熱絲的連接通路。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置，其特征在于，所述溫控電路還包括一連接在所述溫度控制器和電源之間的聲音報警器，當(dāng)加熱絲加熱時間超過預(yù)置時間值或者加熱溫度超出預(yù)置溫度時，溫度控制器通知聲音報警器報警。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置，包括槍式烘烤加熱器、用于固定槍式烘烤加熱器并可調(diào)整其高度的固定裝置和用于控制槍式烘烤加熱器溫度的溫控電路。本實(shí)用新型所述掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置，通過使用槍式烘烤加熱、以及對烘烤加熱溫度進(jìn)行控制的溫控電路，使得對掩模版白缺陷修補(bǔ)的烘烤實(shí)現(xiàn)了點(diǎn)對點(diǎn)、局部的加熱方式，避免了現(xiàn)有技術(shù)中所述因部分修補(bǔ)而使用的整版烘烤的缺點(diǎn)，克服了因整版烘烤而帶來的烘烤時間、散熱時間過長以及影響掩模版整版清洗困難的弊端，同時，由于溫控電路的使用，使得槍式烘烤加熱器的烘烤溫度、烘烤時間、以及烘烤報警時間等烘烤參數(shù)都可控，實(shí)現(xiàn)了掩模版白缺陷修補(bǔ)烘烤裝置的可控性。
文檔編號G03F1/72GK202494860SQ20122010645
公開日2012年10月17日 申請日期2012年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月20日
發(fā)明者侯廣杰, 游定平 申請人:深圳市龍圖光電有限公司