專利名稱：噴嘴保養(yǎng)裝置及使用該噴嘴保養(yǎng)裝置的涂布處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種噴嘴保養(yǎng)裝置及使用該噴嘴保養(yǎng)裝置的涂布處理裝置，本發(fā)明尤其涉及ー種對在長條狀的噴嘴上形成著噴出口，且從所述噴出口噴出的處理液附著的噴嘴前端，實(shí)施所述處理液的擦拭處理的噴嘴保養(yǎng)裝置及使用該噴嘴保養(yǎng)裝置的涂布處理裝置。
背景技術(shù)：
例如,在FPD (Flat panel display,平板顯示器)的制造中，一直進(jìn)行ー種利用所謂的光微影(photolithography)步驟而形成電路圖案(circuit pattern)的操作。在該光微影步驟中，于在玻璃基板等被處理基板上成膜特定的膜之后，涂布作為處理液的光致抗蝕劑(photoresist)(以下,稱為光阻劑)而形成光阻膜(resist film)(感光膜)。然后，與電路圖案對應(yīng)地曝光所述光阻膜，使其得到顯像處理，而形成圖案。在此種光微影步驟中，作為在被處理基板上涂布光阻液而形成光阻膜的方法，有從狹縫狀的噴嘴噴出口呈帶狀地噴出光阻液，并將光阻液涂布在基板上的方法。在使用該方法的以往的光阻劑涂布裝置中，例如，如圖12所示利用噴嘴移動機(jī)構(gòu)51使噴嘴52相對于載置在工作臺50上的基板G相對地移動。此時，從狹縫狀的噴出口 52a噴出光阻液R，由此在基板G上形成光阻膜。可是，對于所述噴嘴52而言，狹縫狀的噴出口 52a是由微小的間隙所形成的，因此如果在等待中不實(shí)施噴嘴前端的保養(yǎng)處理，則會因光阻液R的干燥等而產(chǎn)生堵塞。

因此，以往是如圖所示，設(shè)置ー種加注(priming)處理裝置54，具有用來將附著在噴嘴前端的光阻液R均一化(稱為加注處理，)的旋轉(zhuǎn)自由的加注棍(priming roller)53。在該加注處理裝置54的加注處理中，噴嘴52利用噴嘴移動機(jī)構(gòu)51移動到加注輥53的上方，并朝向利用輥旋轉(zhuǎn)控制機(jī)構(gòu)55而旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的加注輥53的表面，從噴出ロ 52a噴出光阻液R。由此，附著在噴嘴前端的光阻液R的狀態(tài)沿著噴嘴長度方向而均一化。另外，對于所述加注處理裝置54而言，為了除去附著在加注輥53的輥面上的光阻液R，而具備可利用如圖所示的進(jìn)退驅(qū)動部56而自由進(jìn)退的刮刷器57、及用來將加注輥53的下部(為了溶解光阻劑)浸潰在清洗液58 (例如稀釋液)中的清洗液58的儲留槽59等。也就是說，如果一次加注處理結(jié)束，那么會發(fā)生如下操作:使加注輥53連續(xù)旋轉(zhuǎn)，使刮刷器57抵接在輥面上而將光阻液R刮落，使加注輥53的下部浸潰在稀釋液58中，而清洗輥面整體。此外，關(guān)于此種加注處理裝置在專利文獻(xiàn)I中有所公開。
背景技術(shù)：
文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2005-252045號公報發(fā)明內(nèi)容
[發(fā)明所要解決的問題]然而，對于所述加注處理而言，必須對著旋轉(zhuǎn)的加注輥53的輥面，噴出大量光阻液R，從而存在光阻液R的(無謂)消耗量過多的課題。另外，如上所述，對于加注處理后的加注輥53的清洗處理而言，必需大量的儲留在儲留槽59中的清洗液58，因此存在成本高漲的課題。進(jìn)ー步來說，存在加注處理及加注輥53的清洗所用的時間較長，從而工作時間變長導(dǎo)致生產(chǎn)性下降的課題。本發(fā)明是鑒于如上所述的以往技術(shù)的問題點(diǎn)研究而成，提供ー種噴嘴保養(yǎng)裝置及使用該噴嘴保養(yǎng)裝置的涂布處理裝置，所述噴嘴保養(yǎng)裝置對在沿被處理基板的寬度方向延伸的長條狀的噴嘴上形成著噴出ロ，且從所述噴出ロ噴出的處理液附著的噴嘴前端，實(shí)施所述處理液的擦拭處理，可消除處理液等化學(xué)藥品的無謂消耗，且可縮短工作時間從而提高生產(chǎn)性。[解決問題的技術(shù)手段]為了解決所述課題，本發(fā)明的噴嘴保養(yǎng)裝置的特征在于:對從形成在沿被處理基板的寬度方向延伸的長條狀的噴嘴上的噴出口噴出的處理液所附著的噴嘴前端，實(shí)施所述處理液的擦拭處理；且包括:擦拭體，形成為圓柱狀或圓盤狀，在其周面上具有沿著所述噴嘴前端的長度方向平行地形成的多個擦拭部，利用面朝特定方向的一擦拭部夾持所述噴嘴前端，并且該擦拭體設(shè)為沿著所述噴嘴前端的長度方向可移動；擦拭體移動機(jī)構(gòu)，使所述擦拭體沿著所述噴嘴前端的長度方向移動；以及擦拭體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，使移動到所述噴嘴前端的側(cè)方的所述擦拭體繞軸旋轉(zhuǎn)，使其他擦拭部取代所述ー擦拭部成為面朝所述特定方向的狀態(tài)。此外，理想的是所述擦拭體形成為在圓柱狀體或圓盤狀體的周面上沿著所述噴嘴前端的長度方向平行地設(shè)置著齒間跡的齒輪狀，且所述擦拭部包含形成在相鄰的ー對齒之間的溝槽部。另外，理想的是所述溝槽部的底部相對于所述形成為齒輪狀的擦拭體的軸方向而傾斜?；蛘?，所述擦拭體也可以由在同一軸上相連而排列的多個齒輪所構(gòu)成，且所述多個齒輪的面朝所述特定方向的各溝槽部通過擦拭所述噴嘴前端的任一面而使所述噴嘴前端的所有面都得到擦拭?；蛘?，所述擦拭體也可以形成為具有可撓性的圓柱狀或圓盤狀，且所述擦拭部是由其周面所形成。進(jìn)ー步來說，理想的是所述噴嘴保養(yǎng)裝置具備對已擦拭所述噴嘴前端的所述擦拭部噴涂清洗液的清洗機(jī)構(gòu)。通過以此方式構(gòu)成，可無需如以往般的使用加注輥進(jìn)行的加注處理，從而大幅地降低處理液或清洗液的消耗量。另外，可通過擦拭體擦拭噴嘴前端而完成保養(yǎng)處理，且可利用擦拭體的旋轉(zhuǎn)將新的擦拭部立即用于下次的保養(yǎng)處理中，因此可縮短工作時間，從而提高生產(chǎn)性。 另外，為了解決所述課題，本發(fā)明的涂布處理裝置的特征在干:使用所述噴嘴保養(yǎng)裝置；且包括:工作臺，載置被處理基板；噴嘴保養(yǎng)裝置，設(shè)置在所述工作臺的側(cè)方；所述噴嘴，在載置于所述工作臺的被處理基板的上方，沿著基板面向特定方向移動，并且從形成在沿所述基板的寬度方向延伸的長條狀的噴嘴上的噴出口向所述基板面噴出處理液；以及噴嘴移動機(jī)構(gòu)，使所述噴嘴在所述工作臺上與所述噴嘴保養(yǎng)裝置之間移動。此外，所述噴嘴保養(yǎng)裝置也可沿著所述噴嘴的移動方向，分別配置在所述工作臺的兩側(cè)側(cè)方。通過以此方式構(gòu)成，可取得所述噴嘴保養(yǎng)處理相關(guān)的效果，且可縮短對被處理基板的涂布處理的工作時間，從而提高生產(chǎn)性。[發(fā)明的效果]根據(jù)本發(fā)明，可獲得ー種噴嘴保養(yǎng)裝置及使用該噴嘴保養(yǎng)裝置的涂布處理裝置，所述噴嘴保養(yǎng)裝置對在沿被處理基板的寬度方向延伸的長條狀的噴嘴上形成著噴出口，且從所述噴出口噴出的處理液附著的噴嘴前端，實(shí)施所述處理液的擦拭處理，可消除處理液等化學(xué)藥品的無謂消耗，且可縮短工作時間從而提高生產(chǎn)性。


圖1是表示本發(fā)明的涂布處理裝置及噴嘴保養(yǎng)裝置的概略構(gòu)成的立體圖。圖2是圖1的涂布處理裝置的局部放大圖，且是表示涂布處理裝置所具備的噴嘴保養(yǎng)裝置的主要部分的立體圖。圖3(a)是噴嘴保養(yǎng)裝置所具備的刮刷墊的立體圖，圖3(b)是表示利用刮刷墊擦拭噴嘴前端的狀態(tài)的刮刷墊及噴嘴前端的局部放大圖。圖4(a)是示意性地表示涂布處理裝置及噴嘴保養(yǎng)裝置的狀態(tài)變遷的側(cè)視圖，圖4(b)是對應(yīng)于圖4(a)的狀態(tài)的示意性的前視圖。

圖5(a)是示意性地表示從圖4的狀態(tài)開始的涂布處理裝置及噴嘴保養(yǎng)裝置的狀態(tài)變遷的側(cè)視圖，圖5(b)是對應(yīng)于圖5(a)的狀態(tài)的示意性的前視圖。圖6 (a)是示意性地表示從圖5的狀態(tài)開始的涂布處理裝置及噴嘴保養(yǎng)裝置的狀態(tài)變遷的側(cè)視圖，圖6(b)是對應(yīng)于圖6(a)的狀態(tài)的示意性的前視圖。圖7 (a)是示意性地表示從圖6的狀態(tài)開始的涂布處理裝置及噴嘴保養(yǎng)裝置的狀態(tài)變遷的側(cè)視圖，圖7(b)是對應(yīng)于圖7(a)的狀態(tài)的示意性的前視圖。圖8(a)是表示擦拭體的另一形態(tài)的立體圖，圖8(b)是其局部放大剖視圖。圖9(a)是表示擦拭體的另一形態(tài)的立體圖，圖9(b)是表示利用刮刷墊擦拭噴嘴前端的狀態(tài)的刮刷墊及噴嘴前端的局部放大圖。圖10是表示擦拭體的另一形態(tài)的立體圖。圖11(a) (C)是表示利用圖10的擦拭體擦拭噴嘴前端的狀態(tài)的刮刷墊及噴嘴前端的局部放大圖。圖12是用來說明以往的光阻涂布裝置中的噴嘴的加注處理的示意性的側(cè)視圖。[符號的說明]I涂布處理裝置2工作臺3噴嘴3a噴嘴前端
5噴嘴移動機(jī)構(gòu)6處理液供給源10噴嘴保養(yǎng)裝置11刮刷墊(擦拭體)Ila溝槽部(擦拭部)Ilb周面(擦拭部)12齒13掃描臂(擦拭體移動機(jī)構(gòu))14滑件(擦拭體移動機(jī)構(gòu))15軌道(擦拭體移動機(jī)構(gòu))17旋轉(zhuǎn)傳動裝置(擦拭體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu))18伺服馬達(dá)(擦拭體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu))20清洗噴嘴(清洗機(jī)構(gòu))21清洗液供給源(清洗機(jī)構(gòu))`
25清洗液槽G玻璃基板(被處理基板)R光阻液(處理液)
具體實(shí)施例方式以下，根據(jù)圖式，對本發(fā)明的噴嘴保養(yǎng)裝置及使用該噴嘴保養(yǎng)裝置的涂布處理裝置的ー實(shí)施方式進(jìn)行說明。此外，對于該實(shí)施方式，以應(yīng)用在如下裝置上的情況為例進(jìn)行說明，也就是將被處理基板設(shè)定為玻璃基板并從噴嘴向該玻璃基板噴出處理液也就是光阻液而形成光阻涂布膜的涂布處理裝置、及調(diào)整附著有光阻液的所述噴嘴的噴出口的狀態(tài)的噴嘴保養(yǎng)裝置。圖1是表示本發(fā)明的涂布處理裝置及噴嘴保養(yǎng)裝置的概略構(gòu)成的立體圖。圖2是圖1的涂布處理裝置的局部放大圖，表示有涂布處理裝置所具備的噴嘴保養(yǎng)裝置的主要部分。圖1所示的涂布處理裝置I具備可載置玻璃基板G的工作臺2、可于載置在該工作臺2上的玻璃基板G之上進(jìn)行掃描地設(shè)置的噴嘴3、及調(diào)整噴嘴3的噴出ロ的狀態(tài)的噴嘴保養(yǎng)裝置10。所述噴嘴3的噴出ロ設(shè)置在向下方突起并沿基板寬度方向形成得較長的噴嘴前端3a，且在基板寬度方向上形成為細(xì)長的狹縫狀。噴嘴3在涂布處理時，使噴嘴前端3a(噴出ロ)與工作臺2上的玻璃基板G之間維持成特定距離，利用噴嘴移動機(jī)構(gòu)5在玻璃基板G上從其一端到另一端進(jìn)行掃描，并且將從處理液供給機(jī)構(gòu)6供給的光阻液噴到基板G上。另外，每當(dāng)對各基板G的涂布處理結(jié)束，噴嘴3都會利用噴嘴移動機(jī)構(gòu)5移動到噴嘴保養(yǎng)裝置10的上方(設(shè)定為噴嘴等待位置)，從而使噴嘴前端3a (噴出口)的保養(yǎng)處理得以實(shí)施。噴嘴保養(yǎng)裝置10具有刮刷墊11 (擦拭體)，對配置在上方(噴嘴等待位置)的噴嘴3的噴嘴前端3a，沿著基板寬度方向從其一端到另一端進(jìn)行掃描。利用該刮刷墊11可擦拭掉附著在噴嘴前端3a的光阻夜(將該處理稱為保養(yǎng)處理)。所述刮刷墊11如圖3(a)所示，為在圓柱狀體或圓盤狀體的周面上設(shè)置著多個齒12的齒輪狀的形狀，且沿著噴嘴前端3a的長度方向平行地形成著齒間跡(多個溝槽部Ila)。就該刮刷墊11而言，于在以面朝特定方向的方式而配置的一溝槽部Ila(擦拭部)中卡嵌有噴嘴前端3a，且噴嘴前端3a夾持在對向的ー對齒12的側(cè)面12a的狀態(tài)下，刮刷墊11在基板寬度方向上移動。由此，可擦拭掉附著在噴嘴前端3a的光阻液。此外，刮刷墊11的材質(zhì)并無特別限定，為了易于擦拭掉光阻液，優(yōu)選為由硬質(zhì)橡膠等合成樹脂所形成。另外，于配置在噴嘴等待位置的噴嘴3的下方，設(shè)置著清洗液槽25，沿基板寬度方向延伸設(shè)定以便收納噴嘴前端3a，并且可儲留清洗液(例如光阻液的溶劑也就是稀釋液)。利用該清洗液槽25，可使噴嘴前端3a暴露在光阻液的溶劑環(huán)境下，防止噴出ロ的干燥,并且使利用刮刷墊11而擦拭取得的光阻液落在槽內(nèi)，而溶解在清洗液中。另外，所述刮刷墊11除了用來進(jìn)行噴嘴噴出ロ 3a的保養(yǎng)處理的動作期間以外，都如圖1、圖2所示配置在噴嘴側(cè)方的等待位置。刮刷墊11旋轉(zhuǎn)自由地支撐在沿噴嘴前后方向延伸的掃描臂13的前端，掃描臂13的后端連接在滑件14上。另外，滑件14可沿著在基板寬度方向上延伸的軌道15,在基板寬度方向上往返移動地設(shè)置在工作臺2的后方。也就是說，支撐在掃描臂13上的刮刷墊11可利用滑件14沿著軌道15的移動而從等待位置沿著基板寬度方向往返移動。此外，由所述掃描臂13、滑件14、軌道15構(gòu)成擦拭體移動機(jī)構(gòu)。另外，如果刮刷墊11 終止噴嘴3的保養(yǎng)處理而返回到等待位置，那么其齒間跡面的一部分形成為卡合在同樣地形成為齒輪狀的旋轉(zhuǎn)傳動裝置17上的狀態(tài)。旋轉(zhuǎn)傳動裝置17利用伺服馬達(dá)18而得到旋轉(zhuǎn)控制，例如，通過旋轉(zhuǎn)傳動裝置17僅旋轉(zhuǎn)特定的旋轉(zhuǎn)角度，而將刮刷墊11的齒間跡面僅以所述特定的旋轉(zhuǎn)角度沿特定方向送出(旋轉(zhuǎn))。由此在刮刷墊11中，由于噴嘴前端3a的擦拭而附著有光阻液的一溝槽部Ila移動到特定的位置(例如刮刷墊11的側(cè)部)。另外，移動到面朝特定方向的位置(例如刮刷墊11的上部)，以便使未附著光阻液的其他溝槽部Ila可用于下面的保養(yǎng)處理中。此外，由旋轉(zhuǎn)傳動裝置17、伺服馬達(dá)18構(gòu)成擦拭體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。另外，在等待位置的刮刷墊11及旋轉(zhuǎn)傳動裝置17的側(cè)方，設(shè)置著清洗噴嘴20，利用保養(yǎng)處理從所述清洗噴嘴20對附著有光阻液的刮刷墊11的溝槽部Ila噴涂清洗液。稀釋液等光阻液的溶劑從清洗液供給源21供給到清洗噴嘴20中。由此，附著有光阻液的刮刷墊11的溝槽部Ila得到清洗。此外，由清洗噴嘴20、清洗液供給源21構(gòu)成清洗機(jī)構(gòu)。接著，使用圖4到圖7，對以此方式構(gòu)成的涂布處理裝置I及噴嘴保養(yǎng)裝置10的一系列動作進(jìn)行說明。此外，圖4 (a)、圖5 (a)、圖6 (a)、圖7 (a)是示意性地表示涂布處理裝置I及噴嘴保養(yǎng)裝置10的狀態(tài)變遷的側(cè)視圖。另外，圖4 (b)、圖5 (b)、圖6 (b)、圖7 (b)是分別對應(yīng)于圖4 (a)、圖5 (a)、圖6 (a)、圖7 (a)的狀態(tài)的示意性的前視圖。首先，如果如圖4(a)、圖4(b)所示在工作臺2上載置基板G，那么噴嘴3利用噴嘴移動機(jī)構(gòu)5移動到工作臺2的一端側(cè)，如圖5 (a)、圖5 (b)所示一面噴出光阻液R —面在基板G上進(jìn)行掃描。由此，在基板G上形成光阻液R的涂布膜。如果涂布處理結(jié)束，那么噴嘴3如圖6(a)、圖6(b)所示移動到噴嘴等待位置，通過在刮刷墊11的一溝槽部IIa夾持噴嘴前端3a的狀態(tài)下沿基板寬度方向進(jìn)行掃描而擦拭掉噴嘴前端3a的光阻液R (進(jìn)行噴嘴3的保養(yǎng)處理)。如果噴嘴3的保養(yǎng)處理結(jié)束，那么如圖7(a)、圖7(b)所示刮刷墊11以卡合在旋轉(zhuǎn)傳動裝置17的下部的方式返回到等待位置，且利用旋轉(zhuǎn)傳動裝置17的旋轉(zhuǎn)僅旋轉(zhuǎn)特定角度。由此，附著有光阻液17的溝槽部Ila移動到例如刮刷墊11的側(cè)部，從清洗噴嘴20對該溝槽部Ila噴涂清洗液，而進(jìn)行刮刷墊11的清洗。另外，未附著光阻液R的其他溝槽部Ila移動到刮刷墊11的上部以便用于下面的保養(yǎng)處理中。另外，在從工作臺2搬出形成著光阻膜的基板G并搬入新的基板G從而結(jié)束對該基板G的涂布處理后，刮刷墊11利用未附著光阻液的溝槽部Ila進(jìn)行噴嘴前端3a的擦拭處理。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，通過以齒輪狀的刮刷墊11夾持具有沿基板寬度方向延伸的狹縫狀的噴出ロ的噴嘴前端3a并且沿著噴出ロ的長度方向?qū)υ摴嗡|11進(jìn)行掃描，而除去附著在噴嘴前端3a的光阻液。利用該構(gòu)成，可無需如以往般的使用加注輥進(jìn)行的加注處理，從而大幅地降低光阻液或清洗液等化學(xué)藥品消耗量。另外，可通過刮刷墊11擦拭噴嘴前端3a而完成保養(yǎng)處理，且可利用刮刷墊11的旋轉(zhuǎn)將新的擦拭部(溝槽部Ila)立即用于下次的保養(yǎng)處理中，因此可縮短工作時間，從而提高生產(chǎn)性。此外，在所述實(shí)施方式中，如圖3所示刮刷墊11的溝槽部Ila設(shè)定為其寬度方向的深度尺寸一定，但并不限定于此。例如，如圖8(a)的立體圖、圖8(b)的剖視圖所示，也可以使溝槽部Ila的底部相對于軸方向具有傾斜，且溝槽部Ila的深度在刮刷墊11的軸方向上變化的方式形成。通過以此方式形成，可在針對噴嘴前端3a的擦拭處理之后，易于沖掉積留在溝槽部Ila的光阻液。 或者，如圖9(a)的立體圖所示，也可形成為在刮刷墊11的周面上未設(shè)置著齒12的圓柱形狀或圓盤形狀。在該情況下，只要如圖9(b)所示通過相對于刮刷墊11的周面Ilb (擦拭部)按壓噴嘴前端3a而利用面Ilb夾持噴嘴前端3a即可。另外，在所述實(shí)施方式中，設(shè)定成利用I個刮刷墊11擦拭噴嘴前端3a的構(gòu)成，但也可由多個刮刷墊11構(gòu)成I個擦拭體。例如，在圖10的立體圖中，表示有由3個刮刷墊11A、11B、11C構(gòu)成I個擦拭體的例子。在該情況下，當(dāng)擦拭噴嘴前端3a時，例如，如圖11 (a)所示利用刮刷墊IlA擦拭噴嘴前端3a的ー側(cè)面，如圖11(b)所示利用刮刷墊IlB擦拭噴嘴前端3a的另ー側(cè)面。接著，最后如圖11(c)所示利用刮刷墊IlC擦拭噴嘴前端3a的前端面。通過以此方式構(gòu)成，可更有效地擦拭掉附著在噴嘴前端3a的光阻液。另外，在所述實(shí)施方式中，設(shè)定成使I個噴嘴3在工作臺2的一側(cè)方等待且配備有I個噴嘴保養(yǎng)裝置10的構(gòu)成，但也可在另ー側(cè)方也同樣地配備噴嘴保養(yǎng)裝置10。在該情況下，可在從工作臺2的一端朝向另一端噴出光阻液之后，利用所述另ー端側(cè)的側(cè)方的噴嘴保養(yǎng)裝置10進(jìn)行噴嘴前端3a的保養(yǎng)處理，接著，當(dāng)從工作臺2的所述另一端側(cè)返回到一端側(cè)時，進(jìn)行對下個基板G的涂布處理。也就是說，可縮短對多個基板G連續(xù)地進(jìn)行涂布處理時的工作時間，從而提高生產(chǎn)性。
另外，在所述實(shí)施方式中，以在玻璃基板G上涂布光阻液作為處理液的情況為例進(jìn)行了說明，但對于本發(fā)明而言，并不限定于該形態(tài)。也就是說，被處理基板也可是玻璃基板G以外的基板，另外，處理液也可是光阻液以外的處理液。另外，在所述實(shí)施方式中，使用具有狹縫狀的噴出口的噴嘴3進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于具有狹縫狀的噴出口的噴嘴3。例如，對于如下所述的噴嘴也可應(yīng)用本發(fā)明，該噴嘴為沿玻璃板G的寬度方向延伸的長條狀的噴嘴，噴出口并非狹縫狀，作為噴出口多個微細(xì)孔以特定的間隔排列 設(shè)置成一行、或多行。
權(quán)利要求
1.一種噴嘴保養(yǎng)裝置，其特征在于:對從形成在沿被處理基板的寬度方向延伸的長條狀的噴嘴上的噴出口噴出的處理液所附著的噴嘴前端，實(shí)施所述處理液的擦拭處理；且包括: 擦拭體，形成為圓柱狀或圓盤狀，在其周面上具有沿著所述噴嘴前端的長度方向平行地形成的多個擦拭部，利用面朝特定方向的一擦拭部夾持所述噴嘴前端，并且所述擦拭體設(shè)為沿著所述噴嘴前端的長度方向可移動； 擦拭體移動機(jī)構(gòu)，使所述擦拭體沿著所述噴嘴前端的長度方向移動；以及 擦拭體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，使移動到所述噴嘴前端的側(cè)方的所述擦拭體繞軸旋轉(zhuǎn)，使其他擦拭部取代所述ー擦拭部成為面朝所述特定方向的狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴嘴保養(yǎng)裝置，其特征在于: 所述擦拭體形成為在圓柱狀體或圓盤狀體的周面上沿著所述噴嘴前端的長度方向平行地設(shè)置著齒間跡的齒輪狀； 所述擦拭部包含形成在 相鄰的一對齒之間的溝槽部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴嘴保養(yǎng)裝置，其特征在于: 所述溝槽部的底部相對于所述形成為齒輪狀的擦拭體的軸方向而傾斜。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴嘴保養(yǎng)裝置，其特征在于: 所述擦拭體是由在同一軸上相連而排列的多個齒輪所構(gòu)成； 所述多個齒輪的面朝所述特定方向的各溝槽部通過擦拭所述噴嘴前端的任一面，使所述噴嘴前端的所有面都得到擦拭。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴嘴保養(yǎng)裝置，其特征在于: 所述擦拭體是由在同一軸上相連而排列的多個齒輪所構(gòu)成； 所述多個齒輪的面朝所述特定方向的各溝槽部通過擦拭所述噴嘴前端的任一面，使所述噴嘴前端的所有面都得到擦拭。
啊
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴嘴保養(yǎng)裝置，其特征在于: 所述擦拭體形成為具有可撓性的圓柱狀； 所述擦拭部是由其周面所形成。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任ー權(quán)利要求所述的噴嘴保養(yǎng)裝置，其特征在于: 具備清洗機(jī)構(gòu)，該清洗機(jī)構(gòu)對已擦拭所述噴嘴前端的所述擦拭部噴涂清洗液。
8.一種涂布處理裝置，其特征在于:使用根據(jù)權(quán)利要求1至7中任ー權(quán)利要求所述的噴嘴保養(yǎng)裝置；且包括: 工作臺，載置被處理基板； 噴嘴保養(yǎng)裝置，設(shè)置在所述工作臺的側(cè)方； 所述噴嘴，在載置于所述工作臺的被處理基板的上方，沿著基板面向特定方向移動，并且從形成在沿所述基板的寬度方向延伸的長條狀的噴嘴上的噴出口向所述基板面噴出處理液；以及 噴嘴移動機(jī)構(gòu)，使所述噴嘴在所述工作臺上與所述噴嘴保養(yǎng)裝置之間移動。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的涂布處理裝置，其特征在干: 所述噴嘴保養(yǎng)裝置沿著所述噴嘴的移動方向，分別配置在所述工作臺的兩側(cè)側(cè)方。
全文摘要
本申請發(fā)明是一種噴嘴保養(yǎng)裝置及使用該噴嘴保養(yǎng)裝置的涂布處理裝置。本發(fā)明的課題在于消除處理液等化學(xué)藥品的無謂消耗，且縮短工作時間，提高生產(chǎn)性。該噴嘴保養(yǎng)裝置包括擦拭體(11)，形成為圓柱狀或圓盤狀，在其周面上具有沿著所述噴嘴前端的長度方向平行地形成的多個擦拭部(11a)，利用面朝特定方向的一擦拭部夾持噴嘴前端(3a)，并且所述擦拭體(11)設(shè)為沿著所述噴嘴前端的長度方向可移動；擦拭體移動機(jī)構(gòu)(13、14、15)，使所述擦拭體沿著所述噴嘴前端的長度方向移動；以及擦拭體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(17、18)，使移動到所述噴嘴前端的側(cè)方的所述擦拭體繞軸旋轉(zhuǎn)，使其他擦拭部取代所述一擦拭部成為面朝所述特定方向的狀態(tài)。
文檔編號G03F7/16GK103086612SQ20121040285
公開日2013年5月8日 申請日期2012年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月28日
發(fā)明者福田喜輝 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社