專利名稱：一種彩色濾光片基板的制作方法
一種彩色濾光片基板
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種彩色濾光片基板，特別涉及一種在滿足高解析度高色彩飽和度情況下能夠有效減小斜向色偏現(xiàn)象的薄型彩色濾光片基板。
背景技木彩色濾光片基板廣泛應(yīng)用于顯示裝置中，在一般的彩色濾光片基板的制程中，首先是在基板上設(shè)置黑色矩陣，再在黒色矩陣和基板上設(shè)置復(fù)數(shù)彩色光阻，然后在彩色光阻上層設(shè)置一平坦層。其中，彩色光阻有三種，可以分別透過三種不同顔色的光線，如紅、緑、藍(lán)光等。其中，黒色矩陣位于相鄰的彩色光阻之間，主要起阻擋雜光，防止混色等作用。如圖I所示，為先前技術(shù)中ー種彩色濾光片基板100的剖視圖。先前技術(shù)中，黑色 矩陣120位于基板110之上；彩色光阻130,包括第一彩色光阻131、第二彩色光阻132以及第三彩色光阻133，位于黑色矩陣120之間，且位于基板110和黒色矩陣120之上；平坦層140位于彩色光阻130的上方。在依次形成第一彩色光阻131、第二彩色光阻132以及第三彩色光阻133吋，如果彩色光阻130在黒色矩陣120上方有爬坡現(xiàn)象，即相鄰的彩色光阻131在黑色矩陣120上方會形成一部分的重疊凸出部134，該重疊凸出部134是ー個凸起，會造成后續(xù)形成的平坦層140的平坦度不足，使為達(dá)到一定的平坦度而需増大平坦層140的厚度。同時，如圖I所示的彩色濾光片基板，容易產(chǎn)生斜向色偏的問題。圖2所示為先前技術(shù)中彩色濾光片基板產(chǎn)生斜向色偏現(xiàn)象的原理圖。由于在先前技術(shù)中，黒色矩陣120位于基板110之上，彩色光阻130位于黑色矩陣120之間，且位于基板110和黒色矩陣120之上。彩色光阻130上表面除掉重疊凸出部134之后的中間部分135是平坦的，即該中間部分135是平行于該彩色光阻130與基板110的界面的。當(dāng)觀察者透過該彩色濾光片基板100觀察從彩色光阻130透過來的光，正視(視線垂直于基板110)和斜視(視線與基板110成一定的角度，如大于0°且小于90° )顯示器時，從顯示器中透出來的光線經(jīng)過彩色光阻130時的光程是不一樣的,斜視時光線的光程一般要大于正視時光線的光程,即觀察者正視和斜視顯示器時，會產(chǎn)生光程差，從而產(chǎn)生斜向色偏現(xiàn)象。目前可以通過増加彩色光阻膜厚的方法來提高顯示面板的色彩飽和度，但是彩色光阻的膜厚越大，也越易出現(xiàn)斜向色偏現(xiàn)象。如此ー來，縱使彩色光阻的高膜厚能夠提高色彩飽和度，仍然不能對彩色光阻進行高膜厚的設(shè)計。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供ー種彩色濾光片基板，該彩色濾光片基板能夠在滿足高解析度和高色彩飽和度的情況下減小斜向色偏的問題。本發(fā)明中提供ー種彩色濾光片基板，所述彩色濾光片基板包含復(fù)數(shù)彩色光阻位于基板上，該復(fù)數(shù)彩色光阻均具有一弧面造型；一黒色矩陣位于相鄰的彩色光阻之間且位于彩色光阻邊緣部之上；一平坦層位于所述彩色光阻和所述黑色矩陣之上。
根據(jù)本發(fā)明，復(fù)數(shù)彩色光阻首先形成在基板上，該彩色光阻具有一弧面造型，該彩色光阻的下表面與所述基板貼合，該彩色光阻的上表面為ー弧形，即該彩色光阻的上表面之弧形為上凸的弧形，該彩色光阻具有ー邊緣部，且相鄰的彩色光阻相互接觸，在相鄰的彩色光阻之間有ー凹陷部分，而黑色矩陣位于相鄰彩色光阻之間的凹陷部分并覆蓋部分彩色光阻即黑色矩陣位于彩色光阻所述邊緣部之上，如此，相鄰彩色光阻因邊緣部重疊而產(chǎn)生的凸起會在形成黒色矩陣之后被黒色矩陣所覆蓋，而不會直接影響到后續(xù)平坦層的平坦度，也就是說，可以在保證平坦層具有較好平坦度的情況下減小平坦層的厚度，從而形成較薄的彩色濾光片基板。根據(jù)本發(fā)明，彩色光阻具有一弧面造型，該彩色光阻的上表面為ー弧形，即該彩色光阻的上表面之弧形為上凸的弧形，該彩色光阻上表面的曲率半徑較小，該彩色光阻上表面的曲率半徑小于該彩色光阻下表面的長度，即使該彩色光阻上表面的曲率中心位于該彩色光阻的下表面附近，最佳的，該彩色光阻上表面的曲率中心正好位于彩色光阻下表面處，如此，觀察者在正視和斜視顯示器時，從彩色濾光片基板透過來的光經(jīng)過彩色光阻時的路程相近或相同即光經(jīng)過彩色光阻時的光程相近或相同，可以減小斜向色偏或消除斜向色偏。
根據(jù)本發(fā)明，由于該彩色光阻具有一弧面造型，該彩色光阻的上表面為ー弧形，可以適當(dāng)增加該彩色光阻的厚度來提高該彩色光阻的色彩飽和度。同吋，由于該彩色光阻具有一弧面造型，黒色矩陣位于相鄰彩色光阻之間的凹陷部分且位于彩色光阻邊緣部之上，即黑色矩陣是依著彩色光阻的邊緣部而設(shè)置的，如此便可以在保證可視范圍的情況下，有效的節(jié)省空間并制作尺寸較小數(shù)量更多的彩色光阻，從而制作達(dá)到滿足高解析度要求的彩色濾光片基板。本發(fā)明提供一種制造彩色濾光片基板的方法，首先提供一基板，在該基板上形成第一色阻材料；在第一色阻材料的上方設(shè)置一光罩；透過光罩對第一色阻材料進行曝光，采用的曝光方式為弱曝光；對第一色阻材料進行蝕刻；蝕刻完成后，從而形成第一彩色光阻，該第一彩色光阻具有一弧面造型；隨后，依次在基板上形成第二彩色光阻和第三彩色光阻，如此，在整個基板上形成復(fù)數(shù)彩色光阻，該復(fù)數(shù)彩色光阻均具有一弧面造型，該彩色光阻的上表面為ー弧形，該上表面的曲率半徑較小，該彩色光阻上表面之弧形的曲率半徑小于該彩色光阻下表面的長度，即該彩色光阻上表面的曲率中心位于該彩色光阻下表面附近，最佳的，該彩色光阻上表面的曲率中心正好位于彩色光阻下表面處，且相鄰的彩色光阻相互接觸，相鄰的彩色光阻之間會形成ー凹陷部分；然后在彩色光阻上形成黒色矩陣，黒色矩陣位于相鄰彩色光阻之間的凹陷部分并覆蓋部分的彩色光阻，且位于彩色光阻邊緣部之上；最后在彩色光阻和黒色矩陣上方形成一平坦層。一種制造如上所述彩色濾光片基板的方法為采用色阻材料制作彩色光阻，當(dāng)為滿足高色彩飽和度的要求而增加彩色光阻的膜厚時，彩色光阻的光透過率便會下降，為了解決高色彩飽和度下彩色光阻光透過率下降問題，采用色彩分子(paste分子)較小的色阻材料。一種制造如上所述彩色濾光片基板的方法為采用色阻材料制作彩色光阻，該色阻材料為感光度較低的色阻材料。一種制造如上所述彩色濾光片基板的方法為在色阻材料的上方設(shè)置一具有開ロ部分和遮光部分的光罩，降低曝光光強度，對色阻材料進行弱曝光。該色阻材料的感光度較低，該色阻材料的充分感光部分在后續(xù)的蝕刻過程中被保留下來，未感光部分在蝕刻過程中被蝕刻掉，弱感光部分在蝕刻過程中被部分蝕刻掉同時部分保留下來。

圖I為先前技術(shù)中彩色濾光片基板的剖視圖。圖2為先前技術(shù)中彩色濾光片基板產(chǎn)生斜向色偏現(xiàn)象的原理圖。圖3為本發(fā)明中彩色濾光片基板的剖視圖。圖4a，4b為單個彩色光阻的具體形狀剖視圖。圖5，6a，6b為本發(fā)明中彩色濾光片基板改善斜向色偏現(xiàn)象的原理圖。圖疒圖10為本發(fā)明中制造彩色濾光片基板的流程圖。 圖11為本發(fā)明中制作彩色光阻的曝光過程并實現(xiàn)彩色光阻弧面造型的原理圖。
具體實施方式
圖3為本發(fā)明中彩色濾光片基板的剖視圖。如圖3所示，本發(fā)明中彩色濾光片基板200包含一基板210，其中，所述基板210由可透光材料制作而成；一彩色光阻230，其設(shè)置于基板210上，其中，該彩色光阻230為ー弧面造型，其下表面202與基板210相接觸，其上表面201為ー弧形，該彩色光阻230具有一邊緣部204，且相鄰的彩色光阻230相互接觸，在相鄰的彩色光阻230之間形成有ー凹陷部分203 ;—黒色矩陣220，其設(shè)置于兩相鄰彩色光阻230之間，即黑色矩陣220設(shè)置于相鄰彩色光阻230之間所形成的凹陷部分203 ;—平坦層240設(shè)置于該彩色光阻230及該黑色矩陣220的上方。其中，上述彩色光阻230更包含有第一彩色光阻231、第二彩色光阻232以及第三彩色光阻233，且設(shè)置在基板210上依序交替排列，現(xiàn)以此三種彩色光阻為例，但不限于三種彩色光阻，例如亦可使用R(紅)，綠(G)，藍(lán)(B)，白(W)四種彩色光阻或其他的彩色光阻組合。而所述三種彩色光阻是由三種不同的色阻材料(如樹脂材料)所制作而成，其可將入射光分別透過不同的彩色光阻而過濾出不同波長段的光，如紅、綠、藍(lán)光等，其中該彩色光阻230設(shè)計為具有一弧面造型，其下表面202與基板210相接觸并貼合，其上表面201為ー弧形，即該彩色光阻230的上表面201之弧形為上凸的弧形，如圖4a，4b所示，為單個彩色光阻230的具體形狀剖視圖，該彩色光阻230的上表面201的曲率半徑R較小，該曲率半徑R小于該彩色光阻230下表面202的長度H，即其上表面201的曲率中心O位于該彩色光阻230的下表面202附近，該曲率中心O越靠近該下表面202越好，最佳的，該彩色光阻230的上表面201的曲率半徑R等于該下表面202長度H的一半，即該上表面201的曲率中心O正好位于該下表面202處，即使該彩色光阻230為ー個半球，圖4a中彩色光阻230上表面201的曲率半徑R小于下表面202長度H并大于1/2H(該上表面201的曲率中心O位于該下表面202附近)，圖4b中彩色光阻230上表面201的曲率半徑R等于下表面202長度H的一半(該上表面201的曲率中心O正好位于該下表面202處)，當(dāng)然，這是在該彩色光阻230的上表面201之弧形為ー標(biāo)準(zhǔn)弧形(具有ー個曲率半徑)的情況下所需要滿足的條件，而很多情況下，該彩色光阻230的上表面201之弧形也可以為ー不標(biāo)準(zhǔn)的弧形(具有多個曲率半徑，如為ー橢圓狀的弧形或其他連續(xù)曲線所構(gòu)成的弧形)，此時，亦可將該不標(biāo)準(zhǔn)弧形所具有的曲率半徑均設(shè)置成小于該彩色光阻230下表面的202的長度，或者至少將該不標(biāo)準(zhǔn)弧形正中央的一段弧的曲率中心設(shè)置在該彩色光阻230下表面202的附近，如此，則可以通過適當(dāng)増加彩色光阻230的膜厚來提高彩色光阻230的色彩飽和度，此時，由于增加了彩色光阻230的膜厚，其光透過率則會因膜厚增加受到影響而降低，然而為了解決彩色光阻230光透過率降低的問題，該彩色光阻230是采用色彩分子(paste分子)較小的色阻材料，即在增加彩色光阻230膜厚的情況下使其光透過率不受影響。由于彩色光阻230的上表面201均為ー弧形，因所述第一彩色光阻231、第二彩色光阻232以及第三彩色光阻233設(shè)置在基板210上時是依序交替排列的，且相鄰的彩色光阻230相互接觸，故在相鄰的彩色光阻230之間會形成ー凹陷部分203。再接續(xù)上述，其中所述黑色矩陣220是設(shè)置于相鄰彩色光阻230之間所形成的凹陷部分203并覆蓋部分的彩色光阻230，且位于彩色光阻230邊緣部204之上，由于黑色矩陣220位于相鄰彩色光阻230之間的凹陷部分203，可以在有效的節(jié)省空間的同時擴大彩色光阻230的可視范圍，即該黑色矩陣220是依著彩色光阻230的邊緣部204而設(shè)置的，而該 上表面201為ー弧形，使其彩色光阻230底部的可視范圍擴大，如此便可以在保證同樣大小的可視范圍的情況下縮小彩色光阻230的尺寸并制作數(shù)量更多的彩色光阻230，從而使該彩色濾光片基板200能夠滿足高解析度的要求。其中該黑色矩陣220為不透光材料，該不透光材料至少要阻擋可見光。所述平坦層240位于彩色光阻230和黑色矩陣220的上方，平坦層240為透明絕緣材料。通常，在形成彩色光阻230時，相鄰的彩色光阻230之間也會形成一部分的重疊區(qū)域，而在本發(fā)明中，縱使相鄰的彩色光阻230之間形成了一部分的重疊區(qū)域，但是該重疊區(qū)域會首先被黒色矩陣220覆蓋，而并不會直接影響到后續(xù)平坦層的形成，即在本發(fā)明中并不會在形成平坦層之前產(chǎn)生如圖I所示之重疊凸出部(如圖I中所示的重疊凸出部134，需要形成較厚的平坦層140，才能使平坦層140的平坦度較好。)如此，即可在保證平坦層240具有較好平坦度的情況下減少形成的平坦層240的厚度，從而減少形成的該彩色濾光片基板200的厚度。如圖5，6a，6b所示，為本發(fā)明中彩色濾光片基板改善斜向色偏現(xiàn)象的原理圖。如圖5所示，本發(fā)明中彩色濾光片基板200上的彩色光阻230位于基板210之上，由于每ー彩色光阻230，包括第一彩色光阻231、第二彩色光阻232以及第三彩色光阻233，其上表面201均為ー弧形，即該彩色光阻230的上表面201為上凸的弧形，該上表面201的曲率半徑R較小，該曲率半徑R小于該彩色光阻230下表面202的長度H，即使其上表面201的曲率中心O位于該彩色光阻230的下表面202附近，該曲率中心O越靠近該下表面202越好，最佳的，該彩色光阻230的上表面201的曲率半徑R等于該下表面202長度H的一半，即該上表面201的曲率中心O正好位于該下表面202處，即使該彩色光阻230為ー個半球，如此，當(dāng)觀察者正視(視線垂直于基板210)和斜視(視線與基板210成一定的角度，如大于0°小于90° )顯示器時，從彩色濾光片基板200透出來的光線經(jīng)過彩色光阻230時的路程分別為LI和L2 ( 一般情況下，彩色光阻230的尺寸都在微米量級，不管正視還是斜視顯示器，人眼接收到的經(jīng)過彩色光阻230的光線大部分都會經(jīng)過彩色光阻230的下表面202的中心點附近)，LI和L2相近或相同，最佳的，該路程LI和L2的大小相同且為該彩色光阻230上表面201的曲率半徑R的大小，如圖6a所示，該彩色光阻230上表面201的曲率半徑小于該下表面202長度H并大于1/2H(該上表面201的曲率中心O位于該下表面202附近)，正視和斜視顯示器時，光線通過彩色光阻230時的路程LI和L2大小相近，如圖6b所示，該彩色光阻230上表面的曲率半徑R等于該下表面202的長度H的一半(該上表面201的曲率中心正好位于該下表面202處)，正視和斜視顯示器時，光線通過彩色光阻230時的路程LI和L2大小相等且等于該上表面201的曲率半徑R，如此，從彩色濾光片基板200透出來的光線經(jīng)過彩色光阻230時的光程相近或相同，即觀察者正視和斜視顯示器時，所產(chǎn)生的光程差較小或不產(chǎn)生光程差。因此，該彩色濾光片基板200能夠有效改善斜向色偏現(xiàn)象。圖疒圖10為本發(fā)明中制作彩色濾光片基板的流程圖。如圖7所示，首先提供一基板210，該基板210由透明材料制作而成，其可透過可見光。然后在基板210上形成ー層第一色阻材料250,該第一色阻材料250為負(fù)光阻,其中該第一色阻材料250為ー種感光度較低的色阻材料，即該第一色阻材料250主要是對光的敏感度較低，即光強需要達(dá)到一定的值，該第一色阻材料250才能充分反應(yīng)，若所接收到的光強較小，其反應(yīng)度會較小或不能充分反應(yīng)或反應(yīng)較緩慢。
再接續(xù)下個步驟，請同時參考圖8及圖11。如圖8中所示，在第一色阻材料250的上方設(shè)置一光罩900，該光罩900具有開ロ部分901及遮光部分903，開ロ部分901可以讓光通過，遮光部分903不可以讓光通過。接著，通過光罩900對第一色阻材料250進行曝光，該曝光方式是使用弱曝光，即曝光的強度較弱，而第一色阻材料250是選擇感光度較低的色阻材料，即該第一色阻材料250對光的敏感度較低，在進行弱曝光的過程中，該第一色阻材料250上所接收到的光強沒有達(dá)到一定強度的部分，其反應(yīng)度則會較小或不能充分反應(yīng)或反應(yīng)較緩慢，而該第一色阻材料250上所接收到的光強達(dá)到一定強度的部分能夠充分反應(yīng)，此時請同時參考圖11所示，經(jīng)過弱曝光后，位于光罩900開ロ部分901中央正下方的第一色阻材料250所接收到的光強最強成為充分感光部分251，位于光罩900開ロ部分901與遮光部分903交界處下方的第一色阻材料250所接收到的光強較小成為弱感光部分252，而位于光罩900遮光部分903下方的第一色阻材料250沒有接收到光照成為未感光部分253。隨后接著，對經(jīng)過弱曝光后的該第一色阻材料250進行蝕刻，其中該充分感光部分251全部被保留下來，未感光部位253完全被蝕刻棹，弱感光部分252被部分蝕刻掉且部分保留下來。蝕刻完成后，從而形成復(fù)數(shù)個第一彩色光阻231，如圖9所示，其中該第一彩色光阻231則形成為具ー弧面造型，同時參考圖4a和圖4b，即該第一彩色光阻231的上表面201為ー弧形，該弧形為上凸的弧形，該第一彩色光阻231的上表面201的曲率半徑R較小，該曲率半徑R小于該彩色光阻231下表面202的長度H，即且該上表面201的曲率中心O位于該第一彩色光阻231的下表面202附近，該曲率中心O越靠近該下表面202越好，最佳的，該彩色光阻231的上表面201的曲率半徑等于該下表面202長度H的一半，即該上表面201的曲率中心O正好位于該下表面202處，即使該彩色光祖231為ー個半球。隨后，用相同的方法在基板210上依次形成復(fù)數(shù)個第二彩色光阻232和復(fù)數(shù)個第三彩色光阻233，第二彩色光阻232及第三彩色光阻233也均為ー弧面造型，即該第二彩色光阻232及第三彩色光阻233的上表面201為ー弧形，該弧形為上凸的弧形，該上表面201的曲率半徑R較小，該曲率半徑R小于該彩色光阻230下表面202的長度H，即該上表面201的曲率中心O位于該第二彩色光阻232及第三彩色光阻233的下表面202附近，最佳的，該曲率中心O正好位于下表面202處，且所述第一彩色光阻231與第二彩色光阻232以及第三彩色光阻233的形狀和大小都相同。本發(fā)明以彩色光阻230所采用的色阻材料都是負(fù)光阻為例來解釋本發(fā)明，但不限于使用負(fù)光阻，如若采用正光阻，本領(lǐng)域內(nèi)的一般技術(shù)人員也可采用類似的原理實施。其中第一彩色光阻231、第二彩色光阻232以及第三彩色光阻233所采用的色阻材料各不相同，該三種彩色光阻可分別將入射光過濾出不同波長段的光。第一彩色光阻231、第二彩色光阻232以及第三彩色光阻233在基板210上是依序交替排列的，相鄰的彩色光阻230彼此接觸，如此，在整個基板210上都布滿了彩色光阻230，且相鄰的彩色光阻230之間會形成ー凹陷部分203。如圖10所示，隨后，在彩色濾光片基板200上形成黒色矩陣220，黒色矩陣220位于相鄰彩色光阻230之間的凹陷部分203并覆蓋部分的彩色光阻230，且位于彩色光阻230邊緣部204之上，該黑色矩陣220可以防止不同彩色光阻230之間的混色現(xiàn)象，同時阻擋雜光。黒色矩陣220采用不透光的材料制作而成，可以是金屬材料也可以是其他不透光材料。接著，在彩色光阻230和黒色矩陣220上方形成一平坦層240，該平坦層240采用透明絕緣材料，如氮化硅等。
如圖11所示，為本發(fā)明中制作彩色光阻的曝光過程并以此實現(xiàn)彩色光阻弧面造型的原理圖。本發(fā)明以彩色光阻(彩色濾光片)所采用的色阻材料為負(fù)光阻為例來解釋本發(fā)明實現(xiàn)彩色光阻弧面造型的原理，當(dāng)然，當(dāng)彩色光阻采用的色阻材料為正光阻時，也可以用同樣的基本原理和思想來解釋。本發(fā)明中，對色阻材料進行曝光吋，該曝光方式是使用弱曝光，即曝光的強度較弱。以曝光蝕刻第一色阻材料250形成第一彩色光阻231為例，形成第二彩色光阻232以及第三彩色光阻233時，原理相同。弱光照透過光罩900的開ロ部分901照射到第一色阻材料250上，光線通過開ロ部分901時發(fā)生衍射，光照的范圍如圖11中的長虛線所示，此時，第一色阻材料250接收到的光強并不是均勻的，第一色阻材料250所接收到的光強強度分布如圖11中的點直線所示，其中，縱軸Y方向示意光強強度大小。由圖11可知，該光強強度在開ロ部分901的中央是最大的，越到旁邊光強越小。同時，由于第一色阻材料250的感光度較低，光強強度要達(dá)到一定的值，第一色阻材料250才能充分反應(yīng)，充分感光而充分反應(yīng)的色阻材料會在后續(xù)的蝕刻過程中被保留下來。由于在開ロ部分901的中央光強強度最大，第一色阻材料250上位于開ロ部分901中央正下方的部分能夠充分感光從而充分反應(yīng)，該部分成為充分感光部分251。而第一色阻材料250位于光罩900開ロ部分901與遮光部分903交界處下方的部分弱感光，其接收到的光強較小而不能充分反應(yīng)，該部分成為弱感光部分252。位于光罩900遮光部分903下方的第一色阻材料250沒有感光，不能反應(yīng)，該部分成為未感光部分253。因此在后續(xù)的蝕刻過程中，充分感光部分251由于曝光時所接收到的光強最強并充分反應(yīng)，在蝕刻過程中被完全保留下來，同時由于色阻材料250的感光度較低，在曝光時弱感光部分252所接收到的光強強度較弱，弱感光部分252反應(yīng)不充分而在蝕刻過程中被部分保留下來同時部分被蝕刻掉，而未感光部分253由于在曝光時沒有接收到光照，沒有反應(yīng)，在蝕刻過程中被完全蝕刻掉，便形成具有一弧面造型的第一彩色光阻231，如圖11中的點虛線所示。形成彩色光阻231之后，采用同樣的原理，依序在基板210上形成彩色光阻232、彩色光阻233，相鄰的彩色光阻230彼此接觸。雖然本發(fā)明已掲示具體實施方式
，但其并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的構(gòu)思和范圍的前提下所作出的等同結(jié)構(gòu)或步驟的置換，或依本發(fā)明專利保護范圍所作的等同 變化與修飾，皆應(yīng)仍屬本專利涵蓋之范疇。
權(quán)利要求
1.ー種彩色濾光片基板包含一基板；復(fù)數(shù)彩色光阻，其位于該基板上且包括一上表面及一下表面，該下表面與該基板相接觸，該上表面為ー弧形，即該復(fù)數(shù)彩色光阻具有一弧面造型，該彩色光阻具有ー邊緣部，且相鄰的彩色光阻相互接觸；一黒色矩陣，位于相鄰該彩色光阻之間且位于彩色光阻的邊緣部之上；以及一平坦層，位于該彩色光阻和該黑色矩陣之上。
2.如權(quán)利要求I中所述的彩色濾光片基板，該復(fù)數(shù)彩色光阻上表面之弧形為上凸的弧形。
3.如權(quán)利要求2中所述的復(fù)數(shù)彩色光阻，該彩色光阻上表面之弧形為ー標(biāo)準(zhǔn)的弧形，即該弧形具有ー個曲率半徑，該曲率半徑小于該彩色光阻下表面的長度，即該彩色光阻上表面的曲率中心位于該彩色光阻的下表面附近。
4.如權(quán)利要求2中所述的復(fù)數(shù)彩色光阻，該彩色光阻上表面之弧形為ー標(biāo)準(zhǔn)的弧形，即該弧形具有ー個曲率半徑，該曲率半徑為該彩色光阻下表面長度的一半，即該彩色光阻上表面的曲率中心正好位于該彩色光阻的下表面處。
5.如權(quán)利要求2中所述的復(fù)數(shù)彩色光阻，該彩色光阻上表面之弧形為ー不標(biāo)準(zhǔn)的弧形，即該弧形具有多個的曲率半徑，該多個曲率半徑均小于該彩色光阻下表面的長度。
6.如權(quán)利要求2中所述的復(fù)數(shù)彩色光阻，該彩色光阻上表面之弧形為ー不標(biāo)準(zhǔn)的弧形，即該弧形具有多個曲率半徑，其中，至少ー個曲率半徑對應(yīng)的曲率中心位于該彩色光阻下表面處。
7.如權(quán)利要求I中所述的彩色濾光片基板，其中相鄰的彩色光阻相互接觸，且相鄰的彩色光阻之間形成ー凹陷部分。
8.如權(quán)利要求7中所述的彩色濾光片基板，其中黒色矩陣位于相鄰彩色光阻之間的凹陷部分，且位于彩色光阻的邊緣部之上。
9.一種制造彩色濾光片基板的方法包括提供一基板；在該基板上形成一層色阻材料；在色阻材料上方設(shè)置一光罩；透過光罩對色阻材料進行曝光，該曝光方式為弱曝光；對色阻材料進行蝕刻顯影，將色阻材料圖案化以形成復(fù)數(shù)彩色光阻，相鄰的彩色光阻相互接觸；該彩色光阻，其下表面與該基板相接觸，其上表面為ー弧形，且該彩色光阻具有ー邊緣部;在相鄰的彩色光阻之間且在彩色光阻邊緣部之上形成一黒色矩陣；在彩色光阻和黒色矩陣上方形成一平坦層。
10.如權(quán)利要求9所述的制造彩色濾光片基板的方法，其中該色阻材料為采用色彩分子較小的色阻材料，使得色阻材料有較好的光透過率。
11.如權(quán)利要求9所述的制造彩色濾光片基板的方法，其中該色阻材料為采用感光度較低的色阻材料。
12.如權(quán)利要求9所述的制造彩色濾光片基板的方法，其中該光罩具有遮光部分和開ロ部分。
13.如權(quán)利要求9所述的制造彩色濾光片基板的方法，對色阻材料圖案化之后，該色阻材料即具有一弧面造型，即該色阻材料的上表面為ー弧形。
14.如權(quán)利要求13所述的制造彩色濾光片基板的方法，對該色阻材料圖案化之后，SP形成該彩色光阻，該彩色光阻具有一弧面造型，即該彩色光阻的上表面為ー弧形。
15.如權(quán)利要求14所述的形成的該彩色光阻，該彩色光阻上表面之弧形為ー標(biāo)準(zhǔn)的弧形，即該弧形具有ー個曲率半徑，該曲率半徑小于該彩色光阻下表面的長度，即該彩色光阻上表面的曲率中心位于該彩色光阻的下表面附近。
16.如權(quán)利要求14所述的形成的該彩色光阻，該彩色光阻上表面之弧形為ー標(biāo)準(zhǔn)的弧形，即該弧形具有ー個曲率半徑，該曲率半徑為該彩色光阻下表面長度的一半，即該彩色光阻上表面的曲率中心正好位于該彩色光阻的下表面處。
17.如權(quán)利要求14所述的形成的該彩色光阻，該彩色光阻上表面之弧形為ー不標(biāo)準(zhǔn)的弧形，即該弧形具有多個的曲率半徑，該多個曲率半徑均小于該彩色光阻下表面的長度。
18.如權(quán)利要求14所述的形成的該彩色光阻，該彩色光阻上表面之弧形為ー不標(biāo)準(zhǔn)的弧形，即該弧形具有多個曲率半徑，其中，至少一曲率半徑對應(yīng)的曲率中心位于該彩色光阻下表面處。
全文摘要
本發(fā)明提供一種彩色濾光片基板，該彩色濾光片基板能夠在滿足高解析度高色彩飽和度的情況下有效減小斜向色偏現(xiàn)象。該彩色濾光片基板上有復(fù)數(shù)彩色光阻，相鄰彩色光阻彼此接觸，該復(fù)數(shù)彩色光阻均設(shè)計為一弧面造型，即其上表面為一弧形，黑色矩陣位于相鄰的彩色光阻之間并覆蓋部分的彩色光阻，且位于彩色光阻邊緣部之上。制作該彩色濾光片基板時，首先在基板上形成復(fù)數(shù)彩色光阻，然后在彩色光阻之間且在彩色光阻邊緣部之上形成黑色矩陣，隨后，再在彩色光阻和黑色矩陣上形成一平坦層。
文檔編號G02B5/20GK102830457SQ201210286419
公開日2012年12月19日 申請日期2012年8月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月13日
發(fā)明者黃柏強, 平旻杰 申請人:深超光電(深圳)有限公司