專利名稱：陣列基板的制造方法、顯示面板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及陣列基板及顯示面板技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及陣列基板的制造方法、顯示面板及其制造方法。
背景技術(shù)：
在顯示設(shè)備的發(fā)展上，隨著光電技術(shù)以及半導(dǎo)體制造技術(shù)的進(jìn)步，具有高畫質(zhì)、空間利用效率佳、低消耗功率、無福射等優(yōu)越特性的平面顯示器(flat display panels)已逐漸成為消費(fèi)市場的主流。在現(xiàn)今顯示技術(shù)當(dāng)中，由于可撓性顯示面板(flexible displaypanel)具有輕巧性、耐沖擊性、可撓曲性、可穿戴性與攜帶方便等優(yōu)勢，目前已儼然成為新一代前瞻顯示技術(shù)。然而，在目前的可撓性顯示面板工藝中，主要技術(shù)瓶頸在各層結(jié)構(gòu)如何精準(zhǔn)地制作于可撓性基底上。在可撓性顯示面板的工藝中，常常會經(jīng)過多種干、濕工藝或加熱加壓工藝，可撓性顯示面板的可撓性基底于這些工藝中容易隨之熱脹冷縮，而使已形成于可撓性基底上的圖案化結(jié)構(gòu)產(chǎn)生形變。如此一來，當(dāng)制造者欲在此形變的圖案化結(jié)構(gòu)上形成另一個圖案化結(jié)構(gòu)時，此兩個圖案化結(jié)構(gòu)便容易發(fā)生對位偏移的問題，進(jìn)而使得可撓性顯示面板的制造良率下降。承上述，如何改善因可撓性基底于工藝中熱脹冷縮而造成的問題實(shí)為研發(fā)者所極欲解決的問題之一。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實(shí)施例提出一種陣列基板的制造方法，其包括下列步驟。提供第一透光基板。于第一透光基板上形成第一導(dǎo)電層。于第一透光基板上形成遮光層。利用能量束圖案化第一導(dǎo)電層和遮光層，以形成第一導(dǎo)電圖案和遮光圖案。于第一透光基板上形成光反應(yīng)材料層，以至少覆蓋第一導(dǎo)電圖案及第一透光基板。以遮光圖案為掩模使部分光反應(yīng)材料層曝光，并圖案化光反應(yīng)材料層而形成多個阻擋結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的實(shí)施例提出一種顯示面板的制造方法，其包括下列步驟。提供第一透光基板。于第一透光基板上形成第一導(dǎo)電層。于第一透光基板上形成遮光層。利用能量束圖案化第一導(dǎo)電層和遮光層，以形成第一導(dǎo)電圖案和遮光圖案。于第一透光基板上形成光反應(yīng)材料層，以至少覆蓋第一導(dǎo)電圖案及第一透光基板。以遮光圖案為掩模使部分光反應(yīng)材料層曝光，并圖案化光反應(yīng)材料層而形成多個阻擋結(jié)構(gòu)。提供第二透光基板。令第二透光基板組立于阻擋結(jié)構(gòu)上。令顯示介質(zhì)填入由第一透光基板與阻擋結(jié)構(gòu)所定義出的容置空間中。本發(fā)明的實(shí)施例提出一種顯不面板，其包括第一透光基板、第二透光基底、第一導(dǎo)電圖案、遮光圖案、第二導(dǎo)電圖案以及顯不介質(zhì)。第二透光基底相對于第一透光基板。第一導(dǎo)電圖案位于第一透光基板與第二透光基底之間，且曝露出部分的第一透光基板。遮光圖案與第一透光基板連接。遮光圖案實(shí)質(zhì)上與第一導(dǎo)電圖案重合。阻擋結(jié)構(gòu)連接第一透光基板與第二透光基底，且位于第一透光基板被第一導(dǎo)電圖案所曝露之處。第二導(dǎo)電圖案位于第一導(dǎo)電圖案與第二透光基底之間。第一導(dǎo)電圖案與第二導(dǎo)電圖案交錯。顯示介質(zhì)位于由第一透光基板、第二透光基底以及阻擋結(jié)構(gòu)所形成的容置空間中。


圖1A至圖1F為本發(fā)明第一實(shí)施例的顯示面板的制造流程示意圖。圖2A至圖2E為本發(fā)明第二實(shí)施例的顯示面板的制造流程示意圖。圖3A至圖3B為本發(fā)明第三實(shí)施例的顯示面板的部分制造流程示意圖。主要元件符號說明100、100A、100B:顯示面板102:第一透光基板102a:第一表面102b:第二表面104:第一導(dǎo)電層104a:第一導(dǎo)電圖案106:遮光層106a:遮光圖案

108:光反應(yīng)材料層108a:阻擋結(jié)構(gòu)110:顯示介質(zhì)112:第二透光基板112a:第二透光基底112b:第二導(dǎo)電圖案D1、D2:方向K:第一透光基板被第一導(dǎo)電圖案所曝露之處L:能量束1:曝光光束R:容置空間
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說明。第一實(shí)施例顯示面板的制造方法圖1A至圖1F為本發(fā)明第一實(shí)施例的顯示面板的制造流程示意圖。請參照圖1A，首先，提供第一透光基板102。接著,在第一透光基板102上形成第一導(dǎo)電層104。詳言之,本實(shí)施例的第一透光基板102具有第一表面102a，而第一導(dǎo)電層104可形成在第一表面102a上。本實(shí)施例的第一透光基板102可為硬質(zhì)基板或可撓性(flexible)基板。硬質(zhì)基板的材質(zhì)可為玻璃或石英?？蓳闲曰宓牟馁|(zhì)可為聚對苯二甲酸乙二酯(polyethyleneterephthalate,PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(polyethylene naphthalate,PEN)、聚醚諷、聚苯醚諷(polyethersulfone, PES)、聚碳酸酯(polycarbonate, PC)、聚亞酸胺(polyimide,PI)、環(huán)狀烯腈聚合物(cyclic olefin polymer, ART0N)或聚芳酯樹脂(polyarylateresin, PAR)。但,本發(fā)明不以上述為限。本實(shí)施例的第一導(dǎo)電層104的材料可視實(shí)際的需求而選用。舉例而言，若制造者欲將本實(shí)施例的顯示面板制作為穿透式顯示面板，則第一導(dǎo)電層104的材料可選用透光導(dǎo)電材料。若制造者欲將本實(shí)施例的顯示面板制作為反射式顯示面板，則第一導(dǎo)電層104的材料可選用反光導(dǎo)電材料。所述的透光導(dǎo)電材料包括銦錫氧化物(ITO)、銦鋅氧化物(IZO)、氧化錫摻雜銻(ATO)、鋁錫氧化物、鋁鋅氧化物、銦鍺鋅氧化物、導(dǎo)電高分子材料或納米金屬膜。所述的反光導(dǎo)電材料包括金屬、金屬氧化物或金屬氮氧化物。更進(jìn)一步地說，金屬材料可為鉻(Cr)或鋁(Al)。金屬氧化物材料可為氧化鉻或氧化鋁。但，本發(fā)明不以上述為限。請參照圖1B，接著，于第一透光基板102上形成遮光層106。詳言之，可在相對于第一表面102a的第二表面102b上形成遮光層106。在本實(shí)施例中，遮光層106可利用反射、散射或吸收的方式來遮光。換言之，遮光層106可為吸光層或反光層。吸光層材料可為黑色光刻膠、有色光刻膠、黑色樹脂、有色樹脂、墨水、碳粉或聚亞酰胺(polyimide，PI)。反光層的材料可為金屬、金屬氧化物或金屬氮氧化物，其中金屬材料包括鉻或鋁，而金屬氧化物材料包括氧化鉻或氧化鋁。請參照圖1C，接著，利用能量束L圖案化第一導(dǎo)電層104和遮光層106，上述第一導(dǎo)電層104和遮光層106的圖案化可以是同時進(jìn)行的，以形成第一導(dǎo)電圖案104a和遮光圖案106a。詳言之，本實(shí)施例的能量束L可為激光，但本發(fā)明不以此為限。激光可同時燒蝕第一導(dǎo)電層104和遮光層106，以形成第一導(dǎo)電圖案104a和遮光圖案106a。需說明的是，圖1C中的能量束L是由遮光層106所在的一側(cè)依序穿過遮光層106、第一透光基板102及第一導(dǎo)電層104，而形成第一導(dǎo)電圖案104a和遮光圖案106a。然而，本發(fā)明不限于此，在其他實(shí)施例中，能量束L亦可由第一導(dǎo)電層104所在的一側(cè)依序穿過第一導(dǎo)電層104、第一透光基板102及遮光層106,而亦可形成第一導(dǎo)電圖案104a和遮光圖案106a。請參照圖1D，接著，于第一透光基板102上形成光反應(yīng)材料層108，以至少覆蓋第一導(dǎo)電圖案104a以及第一透光基板102。更詳細(xì)地說，在本實(shí)施例中，光反應(yīng)材料層108是形成于第一透光基板102的第一表面102a上，并與第一導(dǎo)電圖案104a以及部份第一透光基板102接觸。本實(shí)施例的光反應(yīng)材料層108例如為負(fù)型光刻膠層。然而，本發(fā)明不限于此，在其他實(shí)施例中，光反應(yīng)材料層108亦可為感光硬化層，例如為紫外線硬化膠。但，本發(fā)明不以上述為限。請參照圖1D及圖1E，接著，以遮光圖案106a為掩模，圖案化光反應(yīng)材料層108，而形成多個阻擋結(jié)構(gòu)108a。在本實(shí)施例中，曝光光束I可依序穿過遮光圖案106a、第一透光基板102及第一導(dǎo)電圖案104a,而使部份的光反應(yīng)材料層108被曝光。在本實(shí)施例中，于圖案化工藝后，被曝光的部分光反應(yīng)材料層108會留下而形成阻擋結(jié)構(gòu)108a，而未被曝光的另一部分的光反應(yīng)材料層108則會被移除。詳言之,本實(shí)施例的光反應(yīng)材料層108可為負(fù)型光刻膠層，被曝光的部份負(fù)型光刻膠層會發(fā)生交連(cross-links)作用，而使其于顯影過程中不易被顯影液溶解，進(jìn)而被留下形成阻擋結(jié)構(gòu)108a。另一方面，未被曝光的另一部分的光反應(yīng)材料層108則會于顯影過程中被顯影液溶解而被去除。請參照圖1F，接著，令顯示介質(zhì)110填入由第一透光基板102與阻擋結(jié)構(gòu)108a所定義出的容置空間R中。在本實(shí)施例中，顯示介質(zhì)110可為電驅(qū)動或熱驅(qū)動的顯示介質(zhì)。以電驅(qū)動的顯示介質(zhì)為例，顯示介質(zhì)110可為液晶。所述的液晶包括向列型液晶(Nematicliquid crystal)、主客型液晶(Guest-host liquid crystal)、聚合物分散液晶(PolymerDispersed Liquid Crystal ;Η)ΙΧ)、膽固醇液晶(Cholesteric Liquid Crystal) 其中，膽固醇液晶可通過調(diào)整其螺距(pitch)而使其可反射不同波長的光線，進(jìn)而使本實(shí)施例的顯示面板可顯示彩色畫面。然而，本發(fā)明不限于此，在其他實(shí)施例中，顯示介質(zhì)Iio亦可為電泳液、電激發(fā)光材料或其他適當(dāng)材料，其中電激發(fā)光材料包括有機(jī)發(fā)光二極管(OrganicLight Emitting Diode,OLED或高分子有機(jī)發(fā)光二極管(Polymer Light Emitting Diode,PLED)。請再參照圖1F，接著，提供第二透光基板112。本實(shí)施例的第二透光基板112包括第二透光基底112a以及第二導(dǎo)電圖案112b。本實(shí)施例的第二透光基底112a可為硬質(zhì)基底或可撓性(flexible)基底。硬質(zhì)基底的材質(zhì)可為玻璃或石英?？蓳闲曰椎牟馁|(zhì)可為聚對苯二甲酸乙二酯(polyethylene terephthalate, PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(polyethylene naphthalate, PEN)、聚醚諷、聚苯醚諷(polyethersulfone, PES)、聚碳酸酯(polycarbonate, PC)、聚亞酰胺(polyimide, PI)、環(huán)狀烯腈聚合物(cyclic olefinpolymer, ART0N)或聚芳酯樹脂(polyarylate resin, PAR)。但,本發(fā)明不以上述為限。本實(shí)施例的第二導(dǎo)電圖案112b可為透明導(dǎo)電圖案，其材質(zhì)可為銦錫氧化物(ITO)、銦鋅氧化物(IZO)、氧化錫摻雜銻(ΑΤ0)、鋁錫氧化物、鋁鋅氧化物、銦鍺鋅氧化物、導(dǎo)電高分子材料或納米金屬膜。但，本發(fā)明不以上述為限。請再參照圖1F，接著，令第二透光基板112組立于阻擋結(jié)構(gòu)108a上。詳言之，第二透光基板112可以第二導(dǎo)電圖案112b的延伸方向D2與第一透光基板102上的第一導(dǎo)電圖案104a的延伸方向Dl交錯的方式組立于阻擋結(jié)構(gòu)108a上。于此便初步完成了本實(shí)施例的顯示面板100。在本實(shí)施例中，制造者可視實(shí)際的需求選擇性地留下或去除第一透光基板102的第二表面102b上的遮光圖案106a。舉例而言，若顯示面板100為反射式顯示面板，則制造者可選擇性地留下遮光圖案106a。當(dāng)反射式顯示面板操作于暗態(tài)時，遮光圖案106a可吸收進(jìn)入反射式顯示面板的光線，進(jìn)而增加反射式顯示面板的對比。另一方面，若顯示面板100為穿透式顯示面板，則制造者可去除遮光圖案106a，以使背光源所發(fā)出的光線可順利通過穿透式顯示面板的顯示區(qū)。值得一提的是，在本實(shí)施例中，若遮光圖案106a與第一導(dǎo)電圖案104a是同時形成的，則遮光圖案106a與第一導(dǎo)電圖案104a間不會產(chǎn)生對位偏移的問題。此時，由于阻擋結(jié)構(gòu)108a是利用與第一導(dǎo)電圖案104a同時形成的遮光圖案106a為掩模而形成的，因此阻擋結(jié)構(gòu)108a與第一導(dǎo)電圖案104a(或遮光圖案106a)之間亦不會發(fā)生對位偏移的問題。如此一來，習(xí)知技術(shù)中各層結(jié)構(gòu)因基板熱脹冷縮而造成的對位偏移的問題便可獲得改善，而顯示面板100的良率可被明顯提高。此外 ，由于阻擋結(jié)構(gòu)108a是利用遮光圖案106a為掩模而形成的，故本實(shí)施例的顯示面板的制造方法至少可省去一道掩模的費(fèi)用，進(jìn)而降低顯示面板100的制造成本。
顯示面板的結(jié)構(gòu)圖1F為本發(fā)明第一實(shí)施例的顯示面板的剖面示意圖。請參照圖1F，本實(shí)施例的顯不面板100包括第一透光基板102、第二透光基底112a、第一導(dǎo)電圖案104a、遮光圖案106a、多個阻擋結(jié)構(gòu)108a、第二導(dǎo)電圖案112b以及顯示介質(zhì)110。本實(shí)施例的第二透光基底112a相對于第一透光基板102。第一導(dǎo)電圖案104a位于第一透光基板102與第二透光基底112a之間。第一導(dǎo)電圖案104a曝露出部分的第一透光基板102。本實(shí)施例的遮光圖案106a與第一透光基板102連接。換言之，本實(shí)施例的遮光圖案106a可與第一透光基板102直接連接或間接連接。舉例而言，在本實(shí)施例中，第一透光基板102具有第一表面102a以及第二表面102b,而遮光圖案106a可配置于第二表面102b上且與第二表面102b接觸。其中，第一表面102a可位于第二表面102b與第二透光基底112a之間，而第二表面102b可位于遮光圖案106a與第一表面102a之間。值得注意的是，在本實(shí)施例中，由于遮光圖案106a是與第一導(dǎo)電圖案104a可同時形成，因此遮光圖案106a實(shí)質(zhì)上與第一導(dǎo)電圖案104a重合。本實(shí)施例的阻擋結(jié)構(gòu)108a連接第一透光基板102與第二透光基底102。阻擋結(jié)構(gòu)108a位于第一透光基板102被第一導(dǎo)電圖案104a所曝露之處K。值得注意的是，由于阻擋結(jié)構(gòu)108a是以遮光圖案106a為掩模所形成的，因此阻擋結(jié)構(gòu)108a與遮光圖案106a(或第一導(dǎo)電圖案104a)實(shí)質(zhì)上切齊。本實(shí)施例的第二導(dǎo)電圖案112b位于第一導(dǎo)電圖案104a與第二透光基底112a之間。第一導(dǎo)電圖案104a與第二導(dǎo)電圖案112b交錯。詳言之,第一導(dǎo)電圖案104a可具有延伸方向D1，第二導(dǎo)電圖案112b可具有延伸方向D2，其中延伸方向Dl與延伸方向D2交錯。在本實(shí)施例中，延伸方向Dl與延伸方向D2實(shí)質(zhì)上垂直。本實(shí)施例的顯示介質(zhì)110位于第一透光基板102與第二透光基底112a之間。更進(jìn)一步地說，顯示介質(zhì)110可位于由第一透光基板102、第二透光基底112a以及阻擋結(jié)構(gòu)108a所形成的多個容置空間R中。第二實(shí)施例顯示面板的制造方法圖2A至圖2E為本發(fā)明第二實(shí)施例的顯示面板的制造流程示意圖。請參照圖2A至圖2E，本實(shí)施例的顯示面板的制造方法與第一實(shí)施例的顯示面板的制造方法類似，因此相同的元件以相同的標(biāo)號表示。本實(shí)施例的顯示面板的制造方法與第一實(shí)施例的顯示面板的制造方法不同之處在于:遮光層106形成的位置與在第一實(shí)施例中不同。以下就此相異處做說明，兩者相同之處便不再重述。請先參照圖2A，首先，先提供第一透光基板102。第一透光基板102具有相對的第一表面102a與第二表面102b。接著,于第一表面102a上形成第一導(dǎo)電層104。然后，于第一導(dǎo)電層104上形成遮光層106。然而，本發(fā)明不限于此，在其他實(shí)施例中，亦可先于第一表面102a上形成遮光層106,再于遮光層106上形成第一導(dǎo)電層104。請參照圖2A及圖2B，接著，利用能量束L圖案化第一導(dǎo)電層104和遮光層106，上述第一導(dǎo)電層104和遮光層106的圖案化可以是同時進(jìn)行的，以形成第一導(dǎo)電圖案104a和遮光圖案106a。在圖2B中，能量束L是自靠近第一表面102a的一側(cè)對第一導(dǎo)電層104和遮光層106進(jìn)行圖案化。然而，本發(fā)明不限于此，在其他實(shí)施例中，能量束L亦可自靠近第二表面102b的一側(cè)對第一導(dǎo)電層104和遮光層106進(jìn)行圖案化。
請參照圖2C，接著，于第一透光基板102上形成光反應(yīng)材料層108。在本實(shí)施例中，光反應(yīng)材料層108覆蓋第一導(dǎo)電圖案104a、遮光圖案106a以及第一透光基板102。請參照圖2C及圖2D，接著，以遮光圖案106a為掩模，圖案化光反應(yīng)材料層108，而形成多個阻擋結(jié)構(gòu)108a。請參照圖2E，接著，令顯示介質(zhì)110填入由第一透光基板102與阻擋結(jié)構(gòu)108a所定義出的容置空間R中。然后，提供包括第二透光基底112a以及第二導(dǎo)電圖案112b的第二透光基板112。接著，令第二透光基板112組立于阻擋結(jié)構(gòu)108a上。于此便完成了本實(shí)施例的顯示面板100A的制造流程。本實(shí)施例的顯示面板100A的制造方法具有與第一實(shí)施例的顯示面板100的制造方法類似的功能，于此便不再重述。顯示面板的結(jié)構(gòu)圖2E為本發(fā)明第二實(shí)施例的顯示面板的剖面示意圖。請參照圖2E，本實(shí)施例的顯示面板100A與第一實(shí)施例的顯示面板100類似，因此相同的元件以相同的標(biāo)號表示。本實(shí)施例的顯示面板100A與第一實(shí)施例的顯示面板100不同之處在于:遮光圖案106a所在的位置與在第一實(shí)施例中不同。以下就此相異處做說明，兩者相同之處便不再重述。本實(shí)施例的遮光圖案106a亦與第一透光基板102連接。換言之，本實(shí)施例的遮光圖案106a可與第一透光基板102直接連接或間接連接。舉例而言，本實(shí)施例的遮光圖案106a可通過第一導(dǎo)電圖案104a與第一透光基板102連接。換言之，本實(shí)施例的遮光圖案106a可位于第一透光基板102與第二透光基底112a之間。更詳細(xì)地說，遮光圖案106a可位于第一導(dǎo)電圖案104a與第二透光基底112a之間，且與第一導(dǎo)電圖案104a接觸。然而，本發(fā)明不限于此，在其他實(shí)施例中，遮光圖案106a與第一導(dǎo)電圖案104a的位置可對調(diào)。本實(shí)施例的顯示面板100A具有與第一實(shí)施例的顯示面板100類似的功能，于此便不再重述。第三實(shí)施例顯示面板的制造方法圖3A至圖3B為本發(fā)明第三實(shí)施例的顯示面板的部分制造流程示意圖。本實(shí)施例的顯示面板的制造方法與第二實(shí)施例的顯示面板的制造方法類似，因此相同的元件以相同的標(biāo)號表示。本實(shí)施例的顯示面板的制造方法與第二實(shí)施例的顯示面板的制造方法不同之處在于:本實(shí)施例的顯示面板的制造方法可進(jìn)一步包括去除遮光圖案106a的動作。以下就此相異處做說明，兩者相同之處便不再重述。在本實(shí)施例中，至完成阻擋結(jié)構(gòu)108a，本實(shí)施例的顯示面板的制造流程皆可與第二實(shí)施例相同。換言之，圖2A至圖2D亦為本實(shí)施例的顯示面板的部分制造流程。在完成阻擋結(jié)構(gòu)108a后(即完成圖2D所不的結(jié)構(gòu)后)，如圖3A所不，在本實(shí)施例中，可進(jìn)一步地將遮光圖案106a去除。請參照圖3B，接著，在填入顯示介質(zhì)110至容置空間R中。然后，再將第二透光基板112組立于阻擋結(jié)構(gòu)108a上。于此便完成了本實(shí)施例的顯示面板100B的制造流程。本實(shí)施例的顯示面板100B的制造方法具有與第一實(shí)施例的顯示面板100的制造方法類似的功能，于此便不再重述。顯示面板的結(jié)構(gòu)圖3B為本發(fā)明第三實(shí)施例的顯示面板的剖面示意圖。請參照圖3B，本實(shí)施例的顯示面板100B與第二實(shí)施例的顯示面板100A類似，因此相同的元件以相同的標(biāo)號表示。本實(shí)施例的顯示面板100B與第二實(shí)施例的顯示面板100A不同之處僅在于:本實(shí)施例的顯示面板100B不包括遮光圖案106a。本實(shí)施例的顯示面板100B具有與第二實(shí)施例的顯示面板IOOA類似的功能，于此便不再重述。綜上所述，在本發(fā)明實(shí)施例的顯示面板的制造方法中，可利用能量束將遮光層和第一導(dǎo)電層同時圖案化，因此遮光圖案與第一導(dǎo)電圖案之間不會產(chǎn)生對位偏移的問題。另夕卜，由于阻擋結(jié)構(gòu)是利用與第一導(dǎo)電圖案同時形成的遮光圖案為掩模而形成的，因此阻擋結(jié)構(gòu)與第一導(dǎo)電圖案(或遮光圖案)之間亦不會發(fā)生對位偏移的問題。如此一來，習(xí)知技術(shù)中各層結(jié)構(gòu)因基板熱脹冷縮而造成的對位偏移的問題便可獲得改善，進(jìn)而提高顯示面板的制造良率。此外，在本發(fā)明實(shí)施例的顯示面板的制造方法中，由于阻擋結(jié)構(gòu)是利用遮光圖案為掩模而形成的，故本發(fā)明實(shí)施例的顯示面板的制造方法至少可省去一道掩模的費(fèi)用，進(jìn)而降低顯示面板的制造成本。以上所述的具體實(shí)施例，對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種陣列基板的制造方法，其特征在于，包括: 提供第一透光基板； 于所述第一透光基板上形成第一導(dǎo)電層； 于所述第一透光基板上形成遮光層； 利用能量束圖案化所述第一導(dǎo)電層和所述遮光層，以形成第一導(dǎo)電圖案和遮光圖案； 于所述第一透光基板上形成光反應(yīng)材料層，以至少覆蓋所述第一導(dǎo)電圖案以及所述第一透光基板；以及 以所述遮光圖案為掩模使部分所述光反應(yīng)材料層曝光，并圖案化所述光反應(yīng)材料層，而形成多個阻擋結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述第一透光基板具有相對的第一表面以及第二表面，于所述第一透光基板上形成所述第一導(dǎo)電層的步驟為:于所述第一透光基板的所述第一表面上形成所述第一導(dǎo)電層，而于所述第一透光基板上形成所述遮光層的步驟為:于所述第 一透光基板的所述第二表面上形成所述遮光層。
3.如權(quán)利要求2所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，更包括:移除位于所述第一透光基板的所述第二表面上的所述遮光層。
4.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述第一透光基板具有相對的第一表面，于所述第一透光基板上形成所述第一導(dǎo)電層的步驟以及于所述第一透光基板上形成所述遮光層的步驟包括: 于所述第一透光基板的所述第一表面上形成所述第一導(dǎo)電層；以及 于所述第一導(dǎo)電層上形成所述遮光層，其中所述第一導(dǎo)電層位于所述第一透光基板的所述第一表面與所述遮光層之間。
5.如權(quán)利要求4所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，更包括:移除位于所述第一導(dǎo)電層上的所述遮光層。
6.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述第一透光基板具有相對的第一表面，于所述第一透光基板上形成所述第一導(dǎo)電層的步驟以及于所述第一透光基板上形成所述遮光層的步驟包括: 于所述第一透光基板的所述第一表面上形成所述遮光層；以及 于所述遮光層上形成所述第一導(dǎo)電層，其中所述遮光層位于所述第一透光基板的所述第一表面與所述第一導(dǎo)電層之間。
7.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述第一導(dǎo)電圖案與所述遮光圖案重合。
8.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述第一透光基板為可撓性基板或硬質(zhì)基板。
9.如權(quán)利要求8所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述可撓性基板的材質(zhì)包括:聚對苯二甲酸乙二酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚醚砜、聚苯醚砜、聚碳酸酯、聚亞酰胺、環(huán)狀烯腈聚合物或聚芳酯樹脂。
10.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述光反應(yīng)材料層包括:負(fù)型光刻膠層或感光硬化層。
11.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述遮光層包括:吸光層或反光層。
12.如權(quán)利要求11所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述吸光層材料包括:黑色光刻膠、有色光刻膠、黑色樹脂、有色樹脂、墨水、碳粉或聚亞酰胺(polyimide，PI)。
13.如權(quán)利要求11所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述反光層的材料包括:金屬、金屬氧化物或金屬氮氧化物。
14.如權(quán)利要求13所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述金屬的材料包括:鉻或招。
15.如權(quán)利要求13所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述金屬氧化物的材料包括:氧化鉻或氧化鋁。
16.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述第一導(dǎo)電層為透光導(dǎo)電層。
17.如權(quán)利要求16所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述透光導(dǎo)電層的材質(zhì)包括:銦錫氧化物、銦鋅氧化物、氧化錫摻雜銻、鋁錫氧化物、鋁鋅氧化物、銦鍺鋅氧化物、導(dǎo)電高分子材料或納米金屬膜。
18.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述能量束包括激光。
19.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述光反應(yīng)材料層被圖案化后，被曝光的部分所述光反應(yīng)材料層留下而形成所述多個阻擋結(jié)構(gòu)，而未被曝光的另一部分所述光反應(yīng)材料層則被移除。
20.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，利用所述能量束圖案化所述第一導(dǎo)電層和所述遮光 層，以形成所述第一導(dǎo)電圖案和所述遮光圖案的步驟包括:利用所述能量束同時圖案化所述第一導(dǎo)電層和所述遮光層，以形成所述第一導(dǎo)電圖案和所述遮光圖案。
21.—種顯示面板的制造方法，其特征在于，包括: 提供第一透光基板； 于所述第一透光基板上形成第一導(dǎo)電層； 于所述第一透光基板上形成遮光層； 利用能量束圖案化所述第一導(dǎo)電層和所述遮光層，以形成第一導(dǎo)電圖案和遮光圖案； 于所述第一透光基板上形成光反應(yīng)材料層，以至少覆蓋所述第一導(dǎo)電圖案以及所述第一透光基板； 以所述遮光圖案為掩模使部分所述光反應(yīng)材料層曝光，并圖案化所述光反應(yīng)材料層，而形成多個阻擋結(jié)構(gòu)； 提供第二透光基板； 令所述第二透光基板組立于所述多個阻擋結(jié)構(gòu)上；以及 令顯示介質(zhì)填入由所述第一透光基板與所述多個阻擋結(jié)構(gòu)所定義出的容置空間中。
22.如權(quán)利要求21所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述第一透光基板具有相對的第一表面以及第二表面，于所述第一透光基板上形成所述第一導(dǎo)電層的步驟包括:于所述第一透光基板的所述第一表面上形成所述第一導(dǎo)電層，而于所述第一透光基板上形成所述遮光層的步驟包括:于所述第一透光基板的所述第二表面上形成所述遮光層。
23.如權(quán)利要求22所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，更包括:移除位于所述第一透光基板的所述第二表面上的所述遮光層。
24.如權(quán)利要求21所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述第一透光基板具有相對的第一表面，于所述第一透光基板上形成所述第一導(dǎo)電層的步驟以及于所述第一透光基板上形成所述遮光層的步驟包括: 于所述第一透光基板的所述第一表面上形成所述第一導(dǎo)電層；以及 于所述第一導(dǎo)電層上形成所述遮光層，其中所述第一導(dǎo)電層位于所述第一透光基板的所述第一表面與所述遮光層之間。
25.如權(quán)利要求24所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，更包括:移除位于所述第一導(dǎo)電層上的所述遮光層。
26.如權(quán)利要求21所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述第一透光基板具有相對的第一表面，于所述第一透光基板上形成所述第一導(dǎo)電層的步驟以及于所述第一透光基板上形成所述遮光層的步驟包括: 于所述第一透光基板的所述第一表面上形成所述遮光層；以及 于所述遮光層上形成所述第一導(dǎo)電層，其中所述遮光層位于所述第一透光基板的所述第一表面與所述第一導(dǎo)電層之間。
27.如權(quán)利要求21所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述第一導(dǎo)電圖案與所述遮光圖案重合。
28.如權(quán)利要求21所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述第一透光基板為可撓性基板或硬質(zhì)基板。
29.如權(quán)利要求28所述的顯示面`板的制造方法，其特征在于，所述可撓性基板的材質(zhì)包括:聚對苯二甲酸乙二酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚醚砜、聚苯醚砜、聚碳酸酯、聚亞酰胺、環(huán)狀烯腈聚合物或聚芳酯樹脂。
30.如權(quán)利要求21所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述光反應(yīng)材料層包括:負(fù)型光刻膠層或感光硬化層。
31.如權(quán)利要求21所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述遮光層包括:吸光層或反光層。
32.如權(quán)利要求31所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述吸光層的材料包括:黑色光刻膠、有色光刻膠、黑色樹脂、有色樹脂、墨水、碳粉或聚亞酰胺(polyimide，PI)。
33.如權(quán)利要求31所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述反光層的材料包括:金屬、金屬氧化物或金屬氮氧化物。
34.如權(quán)利要求33所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述金屬的材料包括:鉻(Cr)或鋁(Al)。
35.如權(quán)利要求33所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述金屬氧化物的材料包括:氧化鉻或氧化鋁。
36.如權(quán)利要求21所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述第一導(dǎo)電層為透光導(dǎo)電層。
37.如權(quán)利要求36所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述透光導(dǎo)電層的材質(zhì)包括:銦錫氧化物、銦鋅氧化物、氧化錫摻雜銻、鋁錫氧化物、鋁鋅氧化物、銦鍺鋅氧化物、導(dǎo)電高分子材料或納米金屬膜。
38.如權(quán)利要求21所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述第二透光基板包括第二透光基底以及配置于所述第二透光基底上的第二導(dǎo)電圖案。
39.如權(quán)利要求38所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述第二導(dǎo)電圖案與所述第一導(dǎo)電圖案交錯。
40.如權(quán)利要求21所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述顯示介質(zhì)包括:液晶、電泳液或電激發(fā)光材料。
41.如權(quán)利要求21所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述能量束包括激光。
42.如權(quán)利要求21所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，所述光反應(yīng)材料層被圖案化后，被曝光的部分所述光反應(yīng)材料層留下而形成所述多個阻擋結(jié)構(gòu)，而未被曝光的另一部分所述光反應(yīng)材料層則被移除。
43.如權(quán)利要求21所述的顯示面板的制造方法，其特征在于，利用所述能量束圖案化所述第一導(dǎo)電層和所述遮光層，以形成所述第一導(dǎo)電圖案和所述遮光圖案的步驟包括:利用所述能量束同時圖案化所述第一導(dǎo)電層和所述遮光層，以形成所述第一導(dǎo)電圖案和所述遮光圖案。
44.一種顯示面板，其特征在于，包括: 第一透光基板； 第二透光基底，相對于所述第一透光基板； 第一導(dǎo)電圖案，位于所述第一透光基板與所述第二透光基底之間，且曝露出部分的第一透光基板； 遮光圖案，與所述 第一透光基板連接，其中所述遮光圖案與所述第一導(dǎo)電圖案重合； 多個阻擋結(jié)構(gòu)，連接所述第一透光基板與所述第二透光基底，且位于所述第一透光基板被所述第一導(dǎo)電圖案所曝露之處； 第二導(dǎo)電圖案，位于所述第一導(dǎo)電圖案與所述第二透光基底之間，其中所述第一導(dǎo)電圖案與所述第二導(dǎo)電圖案交錯； 顯示介質(zhì)，位于由所述第一透光基板、所述第二透光基底以及所述多個阻擋結(jié)構(gòu)所形成的容置空間中。
45.如權(quán)利要求44所述的顯示面板，其特征在于，所述遮光圖案位于所述第一透光基板與所述第二透光基底之間。
46.如權(quán)利要求45所述的顯示面板，其特征在于，所述遮光圖案位于所述第一導(dǎo)電圖案與所述第二透光基底之間。
47.如權(quán)利要求45所述的顯示面板，其特征在于，所述遮光圖案位于所述第一導(dǎo)電圖案與所述第一透光基板之間。
48.如權(quán)利要求44所述的顯示面板，其特征在于，所述第一透光基板具有第一表面以及第二表面，所述第一表面位于所述第二表面與所述第二透光基底之間，而所述第二表面位于所述遮光圖案與所述第一表面之間。
49.如權(quán)利要求44所述的顯示面板，其特征在于，所述第一透光基板為可撓性基板或硬質(zhì)基板。
50.如權(quán)利要求44所述的顯示面板，其特征在于，所述可撓性基板的材質(zhì)包括:聚對苯二甲酸乙二酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚醚砜、聚苯醚砜、聚碳酸酯、聚亞酰胺、環(huán)狀烯腈聚合物或聚芳酯樹脂。
51.如權(quán)利要求44所述的顯示面板，其特征在于，所述多個阻擋結(jié)構(gòu)的材料包括:負(fù)型光刻膠或感光硬化材料。
52.如權(quán)利要求44所述的顯示面板，其特征在于，所述遮光層包括:吸光層或反光層。
53.如權(quán)利要求52所述的顯示面板，其特征在于，所述吸光層的材料包括:黑色光刻膠、有色光刻膠、黑色樹脂、有色樹脂、墨水、碳粉或聚亞酰胺(polyimide，PI)。
54.如權(quán)利要求52所述的顯示面板，其特征在于，所述反光層的材料包括:金屬、金屬氧化物或金屬氮氧化物。
55.如權(quán)利要求54所述的顯示面板，其特征在于，所述金屬的材料包括:鉻(Cr)或鋁(Al)。
56.如權(quán)利要求54所述的顯示面板，其特征在于，所述金屬氧化物的材料包括:氧化鉻或氧化鋁。
57.如權(quán)利要求44所述的顯示面板，其特征在于，所述第一導(dǎo)電層為透光導(dǎo)電層。
58.如權(quán)利要求57所述的顯示面板，其特征在于，所述透光導(dǎo)電層的材質(zhì)包括:銦錫氧化物、銦鋅氧化物、鋁錫氧化物、鋁鋅氧化物、銦鍺鋅氧化物、導(dǎo)電高分子材料或納米金屬膜。
59.如權(quán)利要求44所述的顯示面板，其特 征在于，所述顯示介質(zhì)包括:液晶、電泳液或電激發(fā)光材料。
60.如權(quán)利要求44所述的顯示面板，其特征在于，所述多個阻擋結(jié)構(gòu)與所述第一導(dǎo)電圖案或所述遮光圖案切齊。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種陣列基板的制造方法，以及一種顯示面板及其制造方法。所述陣列基板的制造方法包括提供第一透光基板；于第一透光基板上形成第一導(dǎo)電層；于第一透光基板上形成遮光層；利用能量束圖案化第一導(dǎo)電層和遮光層，以形成第一導(dǎo)電圖案和遮光圖案；于第一透光基板上形成光反應(yīng)材料層，以至少覆蓋第一導(dǎo)電圖案及第一透光基板；以遮光圖案為掩模使部分光反應(yīng)材料層曝光，并圖案化光反應(yīng)材料層，而形成多個阻擋結(jié)構(gòu)。
文檔編號G02F1/1333GK103165526SQ201210052720
公開日2013年6月19日 申請日期2012年3月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月16日
發(fā)明者劉柏彣, 呂志平 申請人:財團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院