專利名稱：一種超薄鋼片貼膜方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于貼膜工藝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種超薄鋼片貼膜方法，適合半自動(dòng)貼膜機(jī)生產(chǎn)mask掩模板的貼膜工藝。_
背景技術(shù)：
隨著科技的進(jìn)步,微電子工業(yè)的制造技術(shù)迅速發(fā)展,其中，微影工藝(lithographyprocess)扮演著十分重要的角色。微影工藝主要包括形成光阻層、曝光(exposure)與顯影(development)等步驟。微影工藝簡單的說是將設(shè)計(jì)好的線路圖案完整且精確地復(fù)制到基板上。其中，貼膜工藝在整個(gè)微影工藝中是第一道工序，起著極其重要的作用，它直接影響到后續(xù)工藝的進(jìn)行以及最終產(chǎn)品的質(zhì)量。貼膜的原理很簡單，即在一定溫度和物理壓力下將光阻干膜以一定的速度均勻的附著在基板上。但是，對(duì)于要求非常嚴(yán)格的mask掩模板來說貼膜是一個(gè)難點(diǎn)。容易出現(xiàn)超薄鋼片在壓膜時(shí)存在變形，超薄鋼片在壓膜時(shí)出現(xiàn)氣泡以及mask蝕刻斷橋等問題。因此，為解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題缺陷，業(yè)界急需探索出一種方案，以解決超薄鋼片在壓膜時(shí)存在變形，超薄鋼片在壓膜時(shí)出現(xiàn)氣泡以及mask蝕刻斷橋等問題，最終提聞廣品質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種超薄鋼片貼膜方法，以避免超薄鋼片貼膜中產(chǎn)生氣泡，進(jìn)而解決mask蝕刻工藝中因氣泡而造成的斷橋問題，并避免超薄鋼片在貼膜過程導(dǎo)致變形。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為:
一種超薄鋼片貼膜方法，包括如下步驟:
510:提供一面積大于需要貼膜之超薄鋼片面積的不銹鋼托板，將需貼膜的超薄鋼片放置于該不銹鋼托板上；
511:將需要貼膜之超薄鋼片與該不銹鋼托板進(jìn)行貼合，然后送入貼膜機(jī)滾輪；
512:貼合有超薄鋼片的不銹鋼托板進(jìn)入貼膜機(jī)滾輪后，向下于托板上施加一向下的壓
力；
513:托板承載著超薄鋼片進(jìn)入貼膜機(jī)滾輪進(jìn)行貼膜。進(jìn)一步地,在步驟SlO中，還包括如下步驟: SlOl:對(duì)經(jīng)過前處理后的超薄鋼片進(jìn)行檢查，查看是否存在未能處理干凈的污潰；如果存在有未處理干凈的污潰，則先使用酒精將污潰輕微擦拭干凈。進(jìn)一步地，擦拭結(jié)束待酒精揮發(fā)干凈后，再使用純水擦拭酒精印跡；待鋼片表面水潰完全干后將鋼片平整地鋪到專用貼膜墊板上，連同墊板一起貼膜。進(jìn)一步地，在步驟S12中，所述向下于托板上施加一向下的壓力系為施加在托板尾部。本發(fā)明超薄鋼片貼膜方法可以有效地避免超薄鋼片貼膜中產(chǎn)生氣泡，進(jìn)而解決了mask蝕刻工藝中因氣泡而造成的斷橋問題，并避免超薄鋼片在貼膜過程導(dǎo)致變形。_


圖1是本發(fā)明需貼膜的超薄鋼片與不銹鋼托板貼合的示意圖。圖2是本發(fā)明貼合有超薄鋼片的不銹鋼托板進(jìn)入貼膜機(jī)滾輪的示意圖。圖3是本發(fā)明于托板上施加一向下壓力的示意圖。
具體實(shí)施例方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。請(qǐng)參照?qǐng)D1 一圖3所示，本發(fā)明超薄鋼片的貼膜方法包括如下步驟:
SlO:提供一面積大于需要貼膜之超薄鋼片面積的不銹鋼托板；將需貼膜的超薄鋼片放置于該不銹鋼托板上；在本發(fā)明中，因瓦板即為需要貼膜之超薄鋼片，后續(xù)將以該因瓦板為例來進(jìn)行說明。Sll:將需要貼膜之超薄鋼片與該不銹鋼托板進(jìn)行貼合，然后送入貼膜機(jī)滾輪。S12:貼合有超薄鋼片的不銹鋼托板進(jìn)入貼膜機(jī)滾輪后，向下于托板上施加一向下的壓力。S13:托板承載著超薄鋼片進(jìn)入貼膜機(jī)滾輪進(jìn)行貼膜。其中，經(jīng)過前處理噴砂后的超薄鋼片可能存在未能處理干凈的污潰，如果直接貼膜容易形成氣泡，輕則影響產(chǎn)品質(zhì)量，重則直接造成產(chǎn)品報(bào)廢。所以，在步驟SlO中，還包括如下步驟:
SlOl:對(duì)經(jīng)過前處理后的超薄鋼片進(jìn)行檢查，查看是否存在未能處理干凈的污潰。如果存在有未處理干凈的污潰，則先使用酒精將污潰輕微擦拭干凈，其中，特別需要注意擦拭不可來回往復(fù)擦拭，而應(yīng)當(dāng)往一個(gè)方向擦拭。S102:擦拭結(jié)束待酒精揮發(fā)干凈后，再使用純水擦拭酒精印跡。其中，擦拭方法與用酒精擦拭相同，即，不可來回往復(fù)擦拭，而應(yīng)當(dāng)往一個(gè)方向擦拭相同。待鋼片表面水潰完全干后將鋼片平整地鋪到專用貼膜墊板上，連同墊板一起貼膜，可以防止貼膜變形。其中，貼膜前要對(duì)貼膜機(jī)膠輥進(jìn)行清潔處理，在停機(jī)狀態(tài)下用酒精擦拭干凈。在步驟S12中，所述向下于托板上施加一向下的壓力系為施加在托板尾部，即當(dāng)板進(jìn)入滾輪后，在托板尾部施加一個(gè)向下的力，從而以確保貼膜平整不變性。貼膜過程中因?yàn)橥邪宓氖褂?，貼薄板不易變形。本發(fā)明方法很好的解決了超薄鋼片貼膜中的氣泡問題，避免了超薄鋼片在貼膜過程導(dǎo)致的變形，進(jìn)一步解決了 mask蝕刻工藝中因氣泡而造成的斷橋問題。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種超薄鋼片貼膜方法，其特征在于，包括如下步驟: S10:提供一面積大于需要貼膜之超薄鋼片面積的不銹鋼托板，將需貼膜的超薄鋼片放置于該不銹鋼托板上； S11:將需要貼膜之超薄鋼片與該不銹鋼托板進(jìn)行貼合，然后送入貼膜機(jī)滾輪； S12:貼合有超薄鋼片的不銹鋼托板進(jìn)入貼膜機(jī)滾輪后，向下于托板上施加一向下的壓力； S13:托板承載著超薄鋼片進(jìn)入貼膜機(jī)滾輪進(jìn)行貼膜。
2.如權(quán)利要求1所述的超薄鋼片貼膜方法，其特征在于:在步驟SlO中，還包括如下步驟: SlOl:對(duì)經(jīng)過前處理后的超薄鋼片進(jìn)行檢查，查看是否存在未能處理干凈的污潰；如果存在有未處理干凈的污潰，則先使用酒精將污潰輕微擦拭干凈。
3.如權(quán)利要求2所述的超薄鋼片貼膜方法，其特征在于:擦拭結(jié)束待酒精揮發(fā)干凈后，再使用純水擦拭酒精印跡；待鋼片表面水潰完全干后將鋼片平整地鋪到專用貼膜墊板上，連同墊板一起貼膜。
4.如權(quán)利要求3所述的超薄鋼片貼膜方法，其特征在于:在步驟S12中，所述向下于托板上施加一向下的壓力系為施加在托板尾部。
全文摘要
本發(fā)明公開一種超薄鋼片貼膜方法，包括如下步驟S10提供一面積大于需要貼膜之超薄鋼片面積的不銹鋼托板，將需貼膜的超薄鋼片放置于該不銹鋼托板上；S11將需要貼膜之超薄鋼片與該不銹鋼托板進(jìn)行貼合，然后送入貼膜機(jī)滾輪；S12貼合有超薄鋼片的不銹鋼托板進(jìn)入貼膜機(jī)滾輪后，向下于托板上施加一向下的壓力；S13托板承載著超薄鋼片進(jìn)入貼膜機(jī)滾輪進(jìn)行貼膜。本發(fā)明超薄鋼片貼膜方法可以有效地避免超薄鋼片貼膜中產(chǎn)生氣泡，進(jìn)而解決了mask蝕刻工藝中因氣泡而造成的斷橋問題，并避免超薄鋼片在貼膜過程導(dǎo)致變形。
文檔編號(hào)G03F7/00GK103217865SQ201210014518
公開日2013年7月24日 申請(qǐng)日期2012年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月18日
發(fā)明者魏志凌, 高小平, 陳龍英 申請(qǐng)人:昆山允升吉光電科技有限公司