專利名稱：非離子表面活性劑及其制備方法及用途、光刻膠顯影液的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及化學技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種非離子表面活性劑及其制備方法及用途、光刻膠顯影液。
背景技術(shù)：
光刻技術(shù)作為半導體產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)之一，在半導體加工領(lǐng)域具有非常廣泛的應用。以平板顯示技術(shù)為例，平板顯示技術(shù)中精細圖案的獲得，一般是通過光刻技術(shù)實現(xiàn)。光刻技術(shù)包括光刻膠的曝光、顯影等エ藝，由于光刻膠在曝光前后在顯影液的溶解性能會有不同，因此，進行曝光后，光刻膠的曝光區(qū)與未曝光區(qū)依賴于溶解性能的不同，分為可溶區(qū)和不溶區(qū)，可溶區(qū)溶于光刻膠顯影液，而不溶區(qū)留下，即光刻膠可以根據(jù)曝光的圖形選擇性的溶于光刻膠顯影液，從而形成需要的圖形。而為了獲得良好的圖案，需要對光刻膠進行高 精度的顯影，因此對光刻膠顯影液的顯影性提出更高的要求。但通常情況下，光刻膠為疏水性，曝光后由于光刻膠的可溶區(qū)被不可溶區(qū)包圍，顯影液很難充分接觸到可溶區(qū)，尤其是兩者邊緣部分，造成圖形邊緣的可溶性光刻膠溶解并不充分，圖案邊緣部分顯影性差，使顯影液的顯影性降低?，F(xiàn)有技術(shù)中，為了提高顯影液對光刻膠可溶區(qū)的溶解性，以提高顯影液的顯影性，通常在顯影液中添加非離子表面活性剤，添加非離子表面活性劑能夠改善顯影液對光刻膠的潤濕性，使曝光后光刻膠的可溶區(qū)具有了很好的溶解性。但添加非離子表面活性劑后，顯影液對光刻膠的不溶區(qū)的溶解性常常也會相應變高，從而導致光刻膠不可溶區(qū)的表面和邊緣也容易被顯影液溶解，造成光刻圖形畸變，從而影響顯影液的顯影性的有效提高。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于，提供一種非離子表面活性劑及其制備方法及用途、光刻膠顯影液，能夠有效提高光刻膠顯影液的顯影性。為達到上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案本發(fā)明實施例提供了一種非離子表面活性剤，所述非離子表面活性劑為具有結(jié)構(gòu)式I的物質(zhì)；結(jié)構(gòu)式I :
權(quán)利要求
1.一種非離子表面活性剤，其特征在于，所述非離子表面活性劑為具有結(jié)構(gòu)式I的物質(zhì)； 結(jié)構(gòu)式I :
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的非離子表面活性剤，其特征在于，所述nl為5，所述n2為9，所述ml為10,所述m2為7。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的非離子表面活性剤，其特征在于，所述nl為10，所述n2為15，所述ml為20，所述m2為15。
4.一種非離子表面活性劑的制備方法,其特征在于,包括 向四氫呋喃中加入2-溴丙基對苯酚、正丁基鋰和三甲氧基硼，進行反應以得到第一生成物； 向四氫呋喃中加入所述第一生成物、苯基溴代こ烯醚、三苯基磷鈀、八水合氫氧化鋇和甲醇，進行反應以得到所述非離子表面活性剤。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述向四氫呋喃中加入2-溴丙基對苯酚、正丁基鋰和三甲氧基硼，進行反應以得到第一生成物包括 將2-溴丙基對苯酚溶解在四氫呋喃中； 向所述溶解有2-溴丙基對苯酚的四氫呋喃中加入正丁基鋰； 向所述溶解有2-溴丙基對苯酚并加入正丁基鋰的四氫呋喃中加入三甲氧基硼，進行反應以得到第一生成物； 所述向四氫呋喃中加入所述第一生成物、苯基溴代こ烯醚、三苯基磷鈀、八水合氫氧化鋇和甲醇，進行反應以得到所述非離子表面活性劑包括 將所述第一生成物和苯基溴代こ烯醚溶解在四氫呋喃中； 向所述溶解有所述第一生成物和苯基溴代こ烯醚的四氫呋喃中加入三苯基磷鈀、八水合氫氧化鋇和甲醇，進行反應以得到所述非離子表面活性剤。
6.一種光刻膠顯影液，包括堿性物質(zhì)和去離子水，其特征在于，所述光刻膠顯影液還包括至少ー種權(quán)利要求I至3中任一項所述的非離子表面活性剤。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光刻膠顯影液，其特征在于，在所述光刻膠顯影液中，所述堿性物質(zhì)與所述去離子水的質(zhì)量比為I : 10000至I : 100，所述非離子表面活性劑與所述去離子水的質(zhì)量比為I : 200至2 25。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光刻膠顯影液，其特征在于，在所述光刻膠顯影液中，所述堿性物質(zhì)與所述去離子水的質(zhì)量比為I : 10000至I : 200，所述非離子表面活性劑與所述去離子水的質(zhì)量比為I : 200至3 50。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光刻膠顯影液，其特征在于，所述光刻膠顯影液中，所述堿性物質(zhì)與所述去離子水的質(zhì)量比為3 1000，所述非離子表面活性劑與所述去離子水的質(zhì)量比為I : 40。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光刻膠顯影液，其特征在于，所述光刻膠顯影液中，所述堿性物質(zhì)與所述去離子水的質(zhì)量比為3 1000，所述非離子表面活性劑與所述去離子水的質(zhì)量比為3 100。
11.上述權(quán)利要求I至3中任意一項所述的非離子表面活性劑用于光刻膠顯影液中的用途。
全文摘要
本發(fā)明實施例公開了一種非離子表面活性劑及其制備方法及用途、光刻膠顯影液，為提高光刻膠顯影液的顯影性而發(fā)明。本發(fā)明公開的非離子表面活性劑，為具有結(jié)構(gòu)式1的物質(zhì)；結(jié)構(gòu)式1在結(jié)構(gòu)式1中R1代表氫、烷基、烷氧基、芳香基或鹵素，R2代表氫、烷基、烷氧基、芳香基或鹵素；n1為5至20的整數(shù)；n2為4至15的整數(shù)；m1為5至23的整數(shù)；m2為4至18的整數(shù)。本發(fā)明可用于光刻膠顯影液中。
文檔編號G03F7/32GK102652910SQ20111026084
公開日2012年9月5日 申請日期2011年9月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月5日
發(fā)明者李琳 申請人:京東方科技集團股份有限公司