專利名稱:光波導路的制造方法
技術領域:
本發(fā)明涉及在光通信、光信息處理、位置傳感器、其他的一般光學技術的領域被廣泛地使用的光波導路的制造方法。
背景技術:
通常,在下敷層的表面上,將光的通路、即芯形成為規(guī)定圖案,并以覆蓋該芯的狀態(tài)形成上敷層,從而構成光波導路。特別是使上述上敷層的端部形成為透鏡部等將上敷層形成為所希望的形狀時,使用形成有凹部的成形模來形成上敷層,該凹部具有與該所希望的形狀相對應的模面(例如,參照專利文獻1)。另外,本申請人提出有尺寸精度優(yōu)異的具有透光性的樹脂制的成形模來作為上述上敷層形成用的成形模,并已經(jīng)提出專利申請(日本發(fā)明專利申請2010-U6714)。該成形模是如下所述那樣制作的。即、首先,準備形狀與上敷層的形狀相同的模具構件,將該模具構件設置在成形模形成用的容器內(nèi)。接著,向該容器內(nèi)填充透光性樹脂并使透光性樹脂硬化。然后,從上述容器中取出該硬化了的透光性樹脂,并使上述模具構件脫離,由此,獲得將上述模具構件的脫離痕跡作為上敷層形成用的凹部的透光性樹脂制的成形模。使用上述成形模的光波導路的制作如下所述那樣進行。即、首先,向上述成形模的凹部內(nèi)填充上敷層形成用的感光性樹脂。接著,將形成在下敷層的表面上的芯浸入該感光性樹脂內(nèi),并將上述下敷層按壓于上述成形模。然后,透過上述成形模使上述感光性樹脂曝光并使上述感光性樹脂硬化,形成為上敷層。然后,脫模,從而獲得由上述下敷層、芯以及上敷層構成的光波導路。專利文獻1 日本特開2008-281654號公報在上述光波導路的上敷層形成工序中,在將形成有芯的下敷層按壓于上述成形模時,為了使上述上敷層形成用的感光性樹脂中不混入空氣,通常,向上述成形模的凹部內(nèi)多填充一些感光性樹脂。因此,在將下敷層按壓于上述成形模時,過剩的感光性樹脂從凹部溢出,在凹部的周邊部,會發(fā)現(xiàn)該溢出了的感光性樹脂夾在成形模與下敷層之間的傾向。會發(fā)現(xiàn)該夾著的感光性樹脂由于上述曝光而保持原樣地硬化并變成毛刺的傾向。雖然該毛刺在脫模后被切除,但在上敷層的透鏡部形成有毛刺時,不能將該毛刺切除成透鏡曲面狀,會發(fā)現(xiàn)透鏡性能變得不足的傾向。另外,上述那樣在成形模與下敷層之間夾著感光性樹脂時,上述成形模的高度位置偏移該夾著的感光性樹脂的厚度,因此,上敷層的高度被形成得比設計值高,從而芯與上敷層之間的位置關系產(chǎn)生偏移。因此,從芯的頂端射出的光在上敷層的端部的透鏡部未被適當?shù)鼐酃?,而在分散的狀態(tài)下從該透鏡部射出。因此,接收該光的一側(cè)的受光強度(光傳播特性)下降。并且,在上述毛刺中,存在厚度較厚的部分和厚度較薄的部分,這成為產(chǎn)品 (光波導路)的特性產(chǎn)生偏差、有損特性的均勻性的原因。采用上述成形模來形成上敷層在上述方面存在改良的余地。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這樣的情況而做成的,其目的在于提供一種光波導路的制造方法, 該光波導路的制造方法在上敷層的形成中使用不會產(chǎn)生毛刺的成形模。為了達成上述目的,本發(fā)明的光波導路的制造方法具有如下所述的工序在將芯圖案形成在下敷層的表面上之后,使用形成有凹部的成形模而以覆蓋上述芯的狀態(tài)形成上敷層,該凹部具有與上敷層的形狀相對應的模面,該光波導路的制造方法采用如下的構成 使用下述(A)的成形模來作為上述成形模,上敷層的形成是這樣進行的向上述成形模的凹部內(nèi)填充上敷層形成用的感光性樹脂,在將上述芯浸入該感光性樹脂內(nèi)并且將從上述凹部內(nèi)溢出的感光性樹脂積存在上述成形模的槽部內(nèi)的狀態(tài)下,透過上述成形模使上述凹部內(nèi)的感光性樹脂曝光并使上述感光性樹脂硬化而形成為上敷層。(A)是如下的透光性樹脂制成的成形模,即,將具有形狀與上敷層的形狀相同的突起部分和形成在該突起部分的周圍的突條部分的模具構件設置在成形模形成用的容器內(nèi), 向該容器內(nèi)填充透光性樹脂并使透光性樹脂硬化之后,從上述容器中將硬化后的透光性樹脂與模具構件一起取出,以使上述模具構件脫離所得到的上述突起部分的脫離痕跡作為上敷層形成用的凹部、并將上述突條部分的脫離痕跡作為對從上述凹部溢出的上敷層形成用的感光性樹脂進行積存的槽部。本發(fā)明人以制作不會使毛刺產(chǎn)生的成形模來作為用于上敷層的形成的成形模為目的,對該成形模的形狀反復進行了研究。在該過程中,想到了下述方法在成形模中,在上敷層形成用的凹部的周圍形成槽部,將成為毛刺的原因的從上述凹部溢出的上敷層形成用的感光性樹脂積存在上述槽部中,在該狀態(tài)下形成上敷層。因此,對本申請人已經(jīng)申請的將透光性樹脂作為形成材料、并使用形狀與上敷層的形狀相同的模具構件來進行模具成形的方法加以改良,在上述模具構件上形成上述槽部形成用的突條部分,從而制作出形成有上述槽部的成形模。然后,發(fā)現(xiàn)使用該成形模來形成上敷層時,能夠制作不會產(chǎn)生毛刺的光波導路,從而達成本發(fā)明。在本發(fā)明的光波導路的制造方法中,上敷層形成用的成形模的制作以如下所述的方式進行將透光性樹脂作為形成材料,并使用具有形狀與上敷層的形狀相同的突起部分和形成在該突起部分的周圍的突條部分的模具構件進行模具成形。因此,能夠使上述成形模成為在上敷層形成用的凹部的周圍形成有用于對從該凹部溢出的上敷層形成用的感光性樹脂進行積存的槽部的成形模。另外,在形成上敷層的工序中,能夠通過使用上述成形模將成為毛刺的原因的感光性樹脂積存在上述槽部,因此,能夠制作不會產(chǎn)生毛刺的光波導路。因此,不需要毛刺的切除工序,從而能夠提高光波導路的生產(chǎn)率。特別是上述成形模的凹部的與覆蓋上述芯的頂端部的上敷層部分相對應的模面部分被形成為透鏡曲面時,能夠獲得將覆蓋芯的頂端部的上敷層部分形成為透鏡部的光波導路。并且,在該光波導路中,對于從芯的頂端部射出的光,能夠利用上述上敷層的透鏡部的折射作用,以抑制了發(fā)散的狀態(tài)射出。另外,對于從上述上敷層的透鏡部的表面入射的光,能夠利用上述透鏡部的折射作用,以聚光而使光集中的狀態(tài)使該光入射到芯的頂端部。 即、獲得的上述光波導路是光傳播特性優(yōu)異的光波導路。另外,上述成形模的形成材料、即透光性樹脂含有硅樹脂時,能夠?qū)⑸鲜龀尚文P纬蔀槌叽缇雀鼉?yōu)異的成形模,從而能夠獲得光傳播特性更優(yōu)異的光波導路。
圖1的(a) (c)是示意地表示在本發(fā)明的光波導路的制造方法的一實施方式中所使用的上敷層形成用的成形模的制造方法的說明圖。圖2的(a) (d)是示意地表示使用上述成形模的光波導路的制造方法的說明圖。圖3是示意地表示利用圖2的(a) (d)所示的制造方法獲得的光波導路的剖視圖。
具體實施例方式下面,根據(jù)附圖詳細說明本發(fā)明的實施方式。在本發(fā)明的光波導路的制造方法的一實施方式中,在形成上敷層3(參照圖2的 (d))時,使用成形模20,該成形模20將透光性樹脂作為形成材料并通過模具成形一體地制作、并在上敷層形成用的凹部21的周圍形成有槽部22。本發(fā)明的主要特征在于,使用這樣的成形模20來形成上敷層3。即、如果使用該成形模20來形成上敷層3,則在將形成有芯 2的下敷層1按壓于上述成形模20時,不會將從上述凹部21溢出的過剩的感光性樹脂3A 夾在成形模20與下敷層1之間,而能夠?qū)纳鲜霭疾?1溢出的過剩的感光性樹脂3A積存在上述槽部22內(nèi),從而能夠制作沒有毛刺的光波導路。另外,在本實施方式中,形成有兩個上述成形模20(參照圖2的(C))的凹部21,各凹部21的一端部分(在圖2的(c)中左端部分)被形成為透鏡曲面21a。另外,上述槽部 22的橫截面被形成為V字狀。詳細說明上述成形模20的制造方法。首先,如圖1的(a)所示,以突出于底座構件43的上表面的狀態(tài)將具有形狀與上敷層3 (參照圖3)的形狀相同的突起部分41和形成在該突起部分41的周圍的突條部分42 的模具構件40形成在底座構件43的上表面上。例如通過使用刀具切削板狀的構件來進行上述模具構件40的制作。另外,作為上述模具構件40的形成材料可列舉例如鋁、不銹鋼、 鐵等。特別是考慮到加工性而優(yōu)選鋁。另外,在本實施方式中,上述突條部分42的橫截面被形成為三角形狀。接下來,如圖1的(b)所示,將由上述模具構件40以及底座構件41構成的結構體設置在成形模形成用的容器30內(nèi)。此時,如圖所示,優(yōu)選以上述模具構件40為上側(cè)、底座構件43為下側(cè)的狀態(tài)將該結構體設置在上述容器30的底面上。另外,優(yōu)選在上述容器30 的內(nèi)表面、上述模具構件40以及底座構件43的表面上涂覆脫模劑。接著,如圖所示,向上述容器30內(nèi)填充液狀的透光性樹脂20A直到上述模具構件 40整體浸入該透光性樹脂20A中。作為該透光性樹脂20A可列舉例如硅氧烷樹脂、丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂等,可以單獨地或者兩種以上共同地使用這些樹脂。特別是考慮到能夠?qū)⒊尚文?0形成為尺寸精度更優(yōu)異的成形模而優(yōu)選含有硅樹脂。然后,使上述透光性樹脂20A硬化。根據(jù)透光性樹脂20A的種類,在常溫下、加熱下或者利用常溫下與加熱下的組合來進行該硬化。然后,將上述硬化了的透光性樹脂與上述模具構件40以及底座構件43 —起從上述容器30中取出。然后,使由上述模具構件40以及底座構件43構成的結構體從硬化了的透光性樹脂脫離。上述模具構件40的突起部分41的脫離痕跡成為具有與上敷層3 (參照圖 2的(d))的形狀相對應的模面的凹部21 (參照圖1的(c))。另外,上述模具構件40的突條部分42的脫離痕跡成為上述凹部21的周圍的槽部22(參照圖1的(C))。另外,將上述硬化了的透光性樹脂中的與底座構件43的周側(cè)部分相對應的部分(不需要的部分)切除。 這樣一來,獲得如圖1的(c)(與圖1的(b)上下相反地圖示)所示那樣的透光性樹脂制的上述成形模20。另外,在該成形模20中,考慮到透光性、強度等,優(yōu)選將在圖1的(c)中觀察的上述凹部21的底面與成形模20的下表面之間的部分的厚度T設定在0. 5 5. Omm的范圍內(nèi)。另外,通常將上述槽部22的大小設定為不會被從上述凹部21溢出的感光性樹脂 3A(參照圖2的(d))填滿的程度,例如,將寬度設定在1 IOmm的范圍內(nèi)、將深度設定在
0.1 1. Omm的范圍內(nèi)。下面,詳細說明光波導路的制造方法。首先,準備在形成下敷層1時使用的平板狀的基座10(參照圖2的(a))。作為該基座10的形成材料可列舉例如金屬、樹脂、玻璃、石英、硅等。特別優(yōu)選不銹鋼(SUQ制基板。原因在于不銹鋼制基板對熱的伸縮抗性優(yōu)異,從而能夠在上述光波導路的制造過程中, 將各種尺寸大致維持為設計值。另外,將基座10的厚度設定在例如20 μ m(膜狀) 5mm(板狀)的范圍內(nèi)。接著,如圖2的(a)所示,將下敷層1形成在上述基座10的表面上。作為該下敷層1的形成材料可列舉熱固性樹脂或者感光性樹脂。使用上述熱固性樹脂時,將在溶劑中溶解有該熱固性樹脂的清漆涂覆在基座10的表面上,之后加熱該清漆,由此形成為下敷層
1。另一方面,使用上述感光性樹脂時,將在溶劑中溶解有該感光性樹脂的清漆涂覆在基座 10的表面上,之后用紫外線等照射線曝光該清漆,由此形成為下敷層1。將下敷層1的厚度設定在例如5 50 μ m的范圍內(nèi)。接著,如圖2的(b)所示,利用光刻法將規(guī)定圖案的芯2形成在上述下敷層1的表面上。作為該芯2的形成材料,優(yōu)選使用圖案化性優(yōu)異的感光性樹脂。作為該感光性樹脂可列舉例如丙烯酸類紫外線硬化樹脂、環(huán)氧類紫外線硬化樹脂、硅氧烷類紫外線硬化樹脂、 降冰片烷類紫外線硬化樹脂、聚酰亞胺類紫外線硬化樹脂等,可以單獨地或者兩種以上一起地使用上述的樹脂。另外,芯2的截面形狀例如是圖案化性優(yōu)異的梯形或者長方形。將芯2的寬度設定在例如10 500 μ m的范圍內(nèi)。將芯2的厚度(高度)設定在例如25 100 μ m的范圍內(nèi)。另外,作為上述芯2的形成材料,使用折射率比上述下敷層1以及下述上敷層 3(參照圖幻的形成材料折射率高、且在傳播的光的波長的條件下透光性高的材料。上述折射率通過使向上述下敷層1、芯2、上敷層3的各形成材料、即樹脂中導入的有機基的種類以及含有量中的至少一個發(fā)生變化來進行調(diào)整,能夠使該折射率適當增加或者適當減少。例如,通過將環(huán)型芳香族性的基(苯基等)導入到樹脂分子中、或者使該芳香族性基團在樹脂分子中的含有量增加,能夠使折射率變大。另一方面,通過將直鏈或者環(huán)型脂肪族性的基 (甲基、降冰片烷基等)導入到樹脂分子中、或者使該脂肪族性基在樹脂分子中的含有量增加,能夠使折射率變小。然后,如圖2的(C)所示,使在上述的工序中制作的上述上敷層形成用的成形模20
6的凹部21以及槽部22朝上地將該成形模20設置在成形臺(未圖示)上,向該凹部21中填充上敷層3(參照圖2的(d))的形成材料即、液狀的感光性樹脂3A。接著,如圖2的(d)所示,在將圖案形成在上述下敷層1的表面上的芯2浸入上述上敷層3的形成材料、即感光性樹脂3A內(nèi)的狀態(tài)下,將該芯2相對于成形模20的凹部21進行定位,將上述下敷層1按壓于上述成形模20。此時的按壓載荷被設定在例如49 980N 的范圍內(nèi)。另外,此時,過剩的感光性樹脂3A從上述凹部21溢出,流入上述槽部22內(nèi)并積存。在此,由于上述成形模20的凹部21的形成部分是樹脂制的,因此具有耐壓性。因此, 能夠如上述那樣將下敷層1按壓于成形模20而使其與該成形模20緊密貼合,在該緊密貼合部分不存在上述感光性樹脂3A。接著,通過將紫外線等照射線透過上述成形模20向上述感光性樹脂3A進行照射而曝光該感光性樹脂3A。通過該曝光,上述凹部21內(nèi)的感光性樹脂3A硬化,從而以上敷層3與上述下敷層1以及芯2相接合的狀態(tài)形成一端部分被形成為透鏡部3a的上敷層3。 該上敷層3的厚度(自下敷層1的表面起的厚度)被設定在例如25 1500 μ m的范圍內(nèi)。 另外,因為上述槽部22內(nèi)的感光性樹脂3A通常不會填滿上述槽部22,所以雖然通過上述曝光而硬化,但不會與下敷層1相接合。然后,將上述上敷層3與上述基座10、下敷層1、芯2 —起從上述成形模20脫模, 如圖3(與圖2的(d)上下相反地圖示)所示,獲得形成在基座10的表面上的由下敷層1、 芯2、上敷層3構成的光波導路。在該實施方式中,形成有兩個光波導路,在使用光波導路時,一個一個地切割兩個光波導路。另外,在上述脫模時,將上述槽部22內(nèi)的感光性樹脂3A 的硬化體從上述槽部22除去。另外,在上述上敷層3的脫模之前或者脫模之后,根據(jù)需要進行加熱處理。另外, 根據(jù)需要將上述基座10從下敷層1剝離。上述光波導路例如能夠通過形成為L字板狀來用作手指等在觸摸面板上的接觸位置的檢測部件(位置傳感器)。即、在上述L字板狀的光波導路中,將多個芯2形成為從上述L字板狀的角部向內(nèi)側(cè)端緣部以等間隔地排列狀態(tài)延伸的圖案。制作兩個這樣的L字板狀的光波導路。然后,將發(fā)光元件光耦合在一個光波導路的角部的外側(cè),將受光元件光耦合在另一個光波導路的角部的外側(cè)。然后,將上述光波導路沿著觸摸面板的四邊形的顯示器的窗口周緣部進行設置時,能夠用作手指等在觸摸面板上的接觸位置的檢測部件。另外,在上述實施方式中,將上敷層3的一端部分形成為透鏡部3a,但也可以與另一端部分同樣地形成為平面狀。另外,在上述實施方式中,使形成在成形模20上的槽部22的橫截面的形狀成為V 字狀,但也可以是其他的形狀,例如,可列舉U字狀、四邊形狀(長方形、梯形等)等。另外,在上述實施方式中,將透光性樹脂20A作為形成材料來制作成形模20,但也可以向該形成材料中增加透光性支承板。即、也可以在成形模20的制作工序中,向成形模形成用的容器30內(nèi)填充液狀的透光性樹脂20A之后,使透光性支承板與該透光性樹脂20A 的表面相接觸。該透光性支承板的接觸既可以在剛向上述容器30內(nèi)填充上述透光性樹脂 20A之后進行、也可以在經(jīng)過一段時間而上述透光性樹脂20A稍微硬化之后進行。對于與上述透光性支承板的接觸來說優(yōu)選該透光性樹脂20A的硬化程度是適當?shù)拇蠹s兩日后的硬化程度。這樣制作成形模20時,成形模20變成被透光性支承板加強的狀態(tài),能夠使該成形模成為在使模具構件40脫離時的仿型性優(yōu)異、并且將壁厚的厚度形成得較薄而透光性(透過成形模20的曝光性)優(yōu)異的成形模。下面,與比較例一起對實施例進行說明。但是,本發(fā)明并不限定于實施例。實施例(下敷層的形成材料)通過將100重量份的具有脂環(huán)骨架的環(huán)氧樹脂(ADEKA CORPORATION制、 EP4080E)、2 重量份的光產(chǎn)酸劑(photoacid generator) (San-Apro. Ltd,.制、CPI-200K)、5 重量份的紫外線吸收劑(千K ” ^ ” >社制、TINUVIN479)混合,調(diào)制下敷層的形成材料。(芯的形成材料)通過將40重量份的含有芴骨架的環(huán)氧樹脂(Osaka Gas Chemicals, co. ltd,. 制、0GS0L EG)、30重量份的含有芴骨架的環(huán)氧樹脂(Nagase ChemteX Corporation制、 EX-1040)、30重量份的l,3,3-三{4-(2-(3-氧雜環(huán)丁烷基))丁氧基苯基} 丁烷、1重量份的光產(chǎn)酸劑(San-Apro. Ltd,.制、CPI-200K)溶解在乳酸乙酯中,調(diào)制芯的形成材料。(上敷層的形成材料)通過將100重量份的具有脂環(huán)骨架的環(huán)氧樹脂(ADEKA CORPORATION制、 EP4080E)、2重量份的光產(chǎn)酸劑(San-Apro. Ltd,.制、CPI-200K)混合,調(diào)制上敷層的形成材料。(上敷層形成用的成形模的制作)首先,使刀具旋轉(zhuǎn)從而切削鋁板,由此,以突出于底座構件的上表面的狀態(tài)將具有形狀與上敷層的形狀相同的突起部分和形成在該突起部分的周圍的突條部分的模具構件制作在底座構件的上表面上。接著,在以上述模具構件為上側(cè)、底座構件為下側(cè)的狀態(tài)下,將上述結構體設置在成形模形成用的容器的底面上。另外,在設置上述結構體之前,在上述容器的內(nèi)表面、上述模具構件以及底座構件的表面上涂覆脫模劑。接著,向上述容器內(nèi)填充透光性樹脂(Siin-Etsu Chemical Co,. Ltd制、 PolydimethylsiloxaneSIM-260),使從上述模具構件的上端面到上述透光性樹脂的液面的深度為1mm。然后,在常溫(25°C )下放置五天之后,進行150°C X 30分鐘的加熱處理,由此,使上述透光性樹脂硬化。然后,將上述硬化了的透光性樹脂與上述模具構件、底座構件一起從上述容器中取出之后,使由上述模具構件以及底座構件構成的結構體從硬化了的透光性樹脂脫離,并且,切除不需要的部分。這樣一來,獲得了由透光性樹脂構成的具有上敷層形成用的凹部和形成在該凹部的周圍的槽部的成形模。在該成形模中,上敷層形成用的凹部的一端部分形成為側(cè)截面形狀為大致1/4圓弧狀的透鏡曲面(曲率半徑為1. 4mm)。另外,上述槽部的橫截面形成為V字狀(開口寬度2mm、深度1mm)。另外,上敷層形成用的凹部的底面與成形模的下表面之間的部分的厚度為1mm。(光波導路的制造)首先,利用涂敷器在不銹鋼制基座(厚度為50 μ m)的表面上涂覆上述下敷層的形成材料。接著,進行1500J/cm2的紫外線照射的曝光,之后進行80°C X5分鐘的加熱處理, 由此,形成厚20 μ m的下敷層(在波長830nm的折射率=1. 510)。
接著,利用涂敷器在上述下敷層的表面上涂覆上述芯的形成材料,之后進行 IOO0C X5分鐘的加熱處理,從而形成感光性樹脂層。隨后,隔著形成有與芯的圖案相同形狀的開口圖案的光刻掩模(間隙100 μ m)進行2500J/cm2的紫外線照射的曝光,之后進行 IOO0C XlO分鐘的加熱處理。然后,通過使用Y-丁內(nèi)酯水溶液進行顯影而溶解除去未曝光部分,之后通過進行120°C X 5分鐘的加熱處理而圖案形成寬20 μ m、高50 μ m的截面為長方形的芯(在波長830nm的折射率=1. 592)。然后,使上述上敷層形成用的成形模的凹部以及槽部朝上地將該成形模設置在成形臺上,向該凹部21中填充上述上敷層的形成材料。接著,在將圖案形成在上述下敷層的表面上的芯浸入上述上敷層的形成材料內(nèi)的狀態(tài)下,將上述芯相對于成形模的凹部進行定位,將上述下敷層按壓于上述成形模(按壓載荷196N)。接著,透過上述成形模進行5000mJ/cm2的紫外線照射的曝光,由此,形成了上敷層 (在波長830nm的折射率=1.510),該上敷層的上表面到芯的頂面的厚度為950 μ m, 一端部分被形成為透鏡部(側(cè)截面形狀為大致1/4圓弧狀的凸透鏡部(曲率半徑1. 4mm))。然后,將上述上敷層、上述不銹鋼制基座、下敷層、芯一起從上述成形模脫模,從而獲得了形成在不銹鋼制基座的表面上的由下敷層、芯、上敷層構成的光波導路。在該光波導路的上敷層上未形成毛刺。比較例在上述實施例中,作為上敷層形成用的成形模使用了未在凹部的周圍形成槽部的成形模。該成形模的制作如下所述在上述實施例的成形模的制作中,使用了在形狀與上敷層的形狀相同的突起部分的周圍未形成突條部分的模具構件來作為模具構件。除了使用該模具構件之外,與上述實施例同樣,制作了成形模。然后,使用上述成形模,與上述實施例同樣,獲得了光波導路。另外,因為在該光波導路的上敷層上形成有毛刺,所以切除了該毛刺。(受光強度的測量)分別制作上述實施例以及比較例的光波導路各兩個,將發(fā)光元件(才卜》工& 社制、VCS EL)光耦合到一個光波導路的另一端部(未形成有透鏡部的端部),將受光元件 (TA0S社制、CMOS線性傳感器陣列)光耦合到另一個光波導路的另一端部。然后,將上述兩個光波導路以夾著坐標輸入?yún)^(qū)域(對角尺寸76. 2mm)并透鏡部相對的方式配置。在該狀態(tài)下,從上述發(fā)光元件射出5. Omff的光,對上述受光元件處的受光強度進行了測量。結果,受光強度在使用實施例的光波導路時,最大值為3V、最小值為2V,其差為 IV。另一方面,在使用比較例的光波導路時,最大值為3. 5V、最小值為1. 5V,其差為2V。由上述的結果可知實施例的光波導路的受光強度的最大值和最小值之間的差比比較例的光波導路的最大值和最小值之間的差小,因此在光傳播特性的均勻性上優(yōu)異。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的光波導路的制造方法能夠利用在光通信、光信息處理、手指等在觸摸面板上的接觸位置的檢測部件(位置傳感器)等所采用的光波導路的制造。
權利要求
1.一種光波導路的制造方法,其具有如下所述的工序在將芯圖案形成于下敷層的表面之后,使用形成有凹部的成形模而以覆蓋上述芯的狀態(tài)形成上敷層,該凹部具有與上敷層的形狀相對應的模面,該光波導路的制造方法的特征在于,使用下述(A)的成形模來作為上述成形模,上敷層的形成是這樣進行的向上述成形模的凹部內(nèi)填充上敷層形成用的感光性樹脂,在將上述芯浸入該感光性樹脂內(nèi)并且將從上述凹部內(nèi)溢出的感光性樹脂積存在上述成形模的槽部內(nèi)的狀態(tài)下,透過上述成形模使上述凹部內(nèi)的感光性樹脂曝光并使上述感光性樹脂硬化而形成為上敷層;(A)是如下的由透光性樹脂制成的成形模,即,將具有形狀與上敷層的形狀相同的突起部分和形成在該突起部分的周圍的突條部分的模具構件設置在成形模形成用的容器內(nèi),向該容器內(nèi)填充透光性樹脂并使透光性樹脂硬化之后,從上述容器中將硬化后的透光性樹脂與模具構件一起取出,以使上述模具構件脫離所得到的上述突起部分的脫離痕跡作為上敷層形成用的凹部、并將上述突條部分的脫離痕跡作為對從上述凹部溢出的上敷層形成用的感光性樹脂進行積存的槽部。
2.根據(jù)權利要求1所述的光波導路的制造方法,其中,上述成形模的凹部的與覆蓋上述芯的頂端部的上敷層部分相對應的模面部分被形成為透鏡曲面。
3.根據(jù)權利要求1或者2所述的光波導路的制造方法,其中,上述成形模的形成材料、即透光性樹脂含有硅樹脂。
全文摘要
本發(fā)明提供一種將不使毛刺產(chǎn)生的成形模用于形成上敷層的光波導路的制造方法。通過將透光性樹脂(20A)作為形成材料、并使用具有形狀與上敷層的形狀相同的突起部分(41)和形成在該突起部分的周圍的突條部分(42)的模具構件(40)進行模具成形,制作上敷層形成用的成形模(20)。該成形模的突起部分的脫離痕跡被形成為上敷層形成用的凹部(21),突條部分的脫離痕跡被形成為槽部(22)。并且,在形成上敷層時,向凹部內(nèi)填充上敷層形成用的感光性樹脂,在將形成在下敷層的表面上的芯浸入該感光性樹脂內(nèi)、并將從凹部溢出的感光性樹脂積存在槽部(22)中的狀態(tài)下,透過成形模(20)而使感光性樹脂曝光并使感光性樹脂硬化。
文檔編號G02B6/122GK102313926SQ20111018606
公開日2012年1月11日 申請日期2011年7月1日 優(yōu)先權日2010年7月5日
發(fā)明者內(nèi)藤龍介, 長藤昭子 申請人:日東電工株式會社