專利名稱：洗凈裝置以及洗凈方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及洗凈裝置以及洗凈方法，特別是涉及用于向具有開閉自如的蓋的容器內(nèi)供給清潔氣體及從該容器排出來(lái)進(jìn)行洗凈的洗凈裝置以及洗凈方法。
背景技術(shù)：
一直以來(lái)，作為半導(dǎo)體制造中的用于輸送、保管光掩模、玻璃基板、晶片、中間掩模等基板的基板保持容器，公知有例如SMIFGtandardMechanical Interface 標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口)盒。SMIF盒具有盒罩和開閉自如的蓋。在輸送、保管時(shí)，蓋被盒罩關(guān)閉，從而SMIF盒成為密封狀態(tài)而防止了塵埃向內(nèi)部的侵入。為了將蓋固定在盒罩上，設(shè)置有鎖機(jī)構(gòu)。從而，在基板的輸送、保管時(shí)，蓋通過鎖機(jī)構(gòu)而被固定。在基板取出時(shí)，鎖機(jī)構(gòu)的固定被解除，于是蓋能夠從盒罩脫離。在將基板搬入SMIF盒中或?qū)⑵鋸腟MIF盒中取出時(shí)，還公知有自動(dòng)地進(jìn)行SMIF盒的開閉的開閉裝置。開閉裝置具有搭載SMIF盒的載物臺(tái)和用于在上下方向上驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)的升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。在載物臺(tái)上設(shè)置有用于將SMIF盒定位在規(guī)定位置的銷。并且，開閉裝置還具有鎖操作機(jī)構(gòu)，通過該鎖操作機(jī)構(gòu)對(duì)鎖機(jī)構(gòu)進(jìn)行操作，而進(jìn)行鎖機(jī)構(gòu)的固定、解除固定動(dòng)作。另外，在專利文獻(xiàn)1中記載有潔凈儲(chǔ)料器(clean stocker)內(nèi)的開閉裝置。專利文獻(xiàn)1 日本特開2008-30914號(hào)公報(bào)對(duì)于開閉裝置，若將盒搭載于載物臺(tái)上，那么最初，通過鎖操作機(jī)構(gòu)來(lái)解除鎖機(jī)構(gòu)的鎖。其次，升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使載物臺(tái)下降。由此，蓋和基板一起向下方移動(dòng)。若蓋下降到規(guī)定位置，則機(jī)械手向處理裝置側(cè)輸送基板。處理后的基板通過機(jī)械手返回載物臺(tái)上。然后， 升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使載物臺(tái)上升。由此，蓋和基板一起向上方移動(dòng)。若蓋鑲嵌于盒罩，則接下來(lái)鎖操作機(jī)構(gòu)鎖上鎖機(jī)構(gòu)的鎖。開閉裝置還具有洗凈機(jī)構(gòu)。洗凈機(jī)構(gòu)是用于利用氮?dú)獾榷栊詺怏w對(duì)盒內(nèi)部進(jìn)行置換的機(jī)構(gòu)。由此，能夠抑制基板表面的自然氧化等的化學(xué)變化或有機(jī)污染的發(fā)生。更具體地來(lái)說，洗凈機(jī)構(gòu)具有氣體供給罐、供給管、排出管、開閉閥、以及流量調(diào)整閥。供給管與盒的供給口連接，并向容器內(nèi)提供來(lái)自氣體供給罐的氣體。排出管與盒的排出口連接，并向外部排出盒內(nèi)的氣體。開閉閥以及流量調(diào)整閥，根據(jù)需要，設(shè)置于供給管以及排出管。若處理后的基板搭載于蓋上，則接著使基板和蓋一起上升，將蓋嵌入盒罩。進(jìn)一步進(jìn)行利用鎖機(jī)構(gòu)的上鎖，而將蓋固定于盒罩。之后，洗凈機(jī)構(gòu)對(duì)盒內(nèi)進(jìn)行洗凈。從而，存在以下情況，即，洗凈動(dòng)作時(shí)間比較長(zhǎng)，無(wú)法響應(yīng)提前將收納有基板的盒向下一個(gè)裝置輸送這樣的請(qǐng)求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題是縮短洗凈動(dòng)作時(shí)間。
下面，對(duì)用于解決課題的方案進(jìn)行說明。以下對(duì)作為方案說明的多個(gè)方式，能夠根據(jù)需要任意組合。本發(fā)明涉及的洗凈裝置，是用于使用清潔氣體對(duì)具有容器主體和開閉自如的蓋的容器進(jìn)行洗凈的裝置，并具備裝卸部、移動(dòng)機(jī)構(gòu)、固定部件、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、以及氣體給排機(jī)構(gòu)。 裝卸部用于能夠?qū)⑸w安裝于容器主體，以及在蓋能夠從容器主體脫離時(shí)能夠?qū)⑸w卸下。移動(dòng)機(jī)構(gòu)使裝卸部相對(duì)容器主體移動(dòng)。固定部件用于將蓋固定于容器主體以及解除固定。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)固定部件。在將蓋安裝于容器主體的動(dòng)作中，在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)利用固定部件來(lái)完成將蓋固定于容器主體的動(dòng)作之前，氣體給排機(jī)構(gòu)開始進(jìn)行容器的洗凈。在該洗凈裝置中，若移動(dòng)機(jī)構(gòu)使裝卸部向容器主體側(cè)移動(dòng)，則蓋不久就被安裝于容器主體。氣體給排機(jī)構(gòu)在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)利用固定部件來(lái)完成將蓋固定于容器主體的動(dòng)作之前，開始進(jìn)行容器的洗凈。從而，能夠高效地進(jìn)行容器內(nèi)的洗凈，從而縮短對(duì)容器的洗凈動(dòng)作的時(shí)間。另外，氣體給排機(jī)構(gòu)只要在固定部件完成固定之前則幾時(shí)開始進(jìn)行洗凈動(dòng)作都可以。蓋能夠在鉛垂方向上與容器主體進(jìn)行裝卸，蓋也可以具有與氣體給排機(jī)構(gòu)連接的在該裝置中，從設(shè)置于蓋的口向容器內(nèi)供給清潔氣體，然后排出。從而，即使在完成將蓋安裝于容器主體的動(dòng)作之前進(jìn)行洗凈，也能夠高效地進(jìn)行洗凈。也可以還具備用于檢測(cè)蓋部件的位置的第一檢測(cè)器，氣體給排機(jī)構(gòu)在移動(dòng)機(jī)構(gòu)完成將蓋安裝于容器主體之前，基于蓋的位置，開始進(jìn)行容器的洗凈。也可以還具備用于檢測(cè)蓋部件的位置的第一檢測(cè)器，氣體給排機(jī)構(gòu)在移動(dòng)機(jī)構(gòu)完成了將蓋安裝于容器主體之時(shí)，開始進(jìn)行容器的洗凈。也可以還具備用于檢測(cè)固定部件的位置的第二檢測(cè)器，氣體給排機(jī)構(gòu)基于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)了固定部件之后的固定部件的位置，開始進(jìn)行容器的洗凈。也可以還具備用于檢測(cè)固定部件的位置的第二檢測(cè)器，氣體給排機(jī)構(gòu)基于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)了固定部件之后的固定部件的位置，開始進(jìn)行容器的洗凈。一種用于使用清潔氣體對(duì)具有容器主體和開閉自如的蓋的容器進(jìn)行洗凈的洗凈方法。洗凈方法具有以下的步驟。◎自蓋從容器主體離開的狀態(tài)開始，將蓋安裝于容器主體的安裝步驟◎在安裝步驟之后，將蓋固定于容器主體的固定步驟◎在固定步驟完成之前，開始進(jìn)行容器的洗凈的洗凈開始步驟在該洗凈方法中，在安裝步驟中，將蓋安裝于容器主體。雖然接下來(lái)執(zhí)行固定步驟，但在固定步驟完成之前，開始進(jìn)行容器的洗凈。從而，能夠高效地進(jìn)行容器內(nèi)的洗凈，從而縮短對(duì)容器的洗凈動(dòng)作的時(shí)間。另外，洗凈動(dòng)作只要在固定步驟完成之前則幾時(shí)開始進(jìn)行都可以。也可以在安裝步驟中將蓋安裝于容器主體之前開始進(jìn)行洗凈。也可以在將蓋安裝到容器主體后開始進(jìn)行洗凈。也可以在固定步驟的中途開始進(jìn)行洗凈。在本發(fā)明涉及的洗凈裝置以及洗凈方法中，縮短了洗凈動(dòng)作的時(shí)間。


圖1是中間掩模盒以及開盒器的立體圖。圖2是表示中間掩模盒的盒罩和底蓋的分解立體圖。圖3是中間掩模盒的仰視圖。圖4是開盒器的立體圖。圖5是開盒器的內(nèi)部構(gòu)造的示意圖。圖6是開盒器的內(nèi)部構(gòu)造的示意圖。圖7是鎖機(jī)構(gòu)的局部放大圖。圖8是表示開盒器的控制結(jié)構(gòu)的框圖。圖9是表示罩開啟動(dòng)作的控制的流程圖。圖10是表示罩關(guān)閉動(dòng)作的控制的流程圖。圖11是表示第二實(shí)施方式中的罩關(guān)閉動(dòng)作的控制的流程圖。
具體實(shí)施例方式對(duì)作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的中間掩模盒1以及開盒器21進(jìn)行說明。(1)中間掩模盒使用圖1 圖3，對(duì)中間掩模盒1進(jìn)行說明。圖1是中間掩模盒以及開盒器的立體圖，圖2是表示中間掩模盒的盒罩和底蓋的分解立體圖，圖3是中間掩模盒的仰視圖。中間掩模盒1是用于將中間掩模3以密封狀態(tài)收納的容器，并由其他裝置輸送。中間掩模3是在LSI的制造工序中，用于在晶片上對(duì)電路圖案進(jìn)行曝光而使用的光掩模。中間掩模盒1具有盒罩5和底蓋7。底蓋7在盒罩5上裝卸自如。更詳細(xì)地，如圖所示，盒罩5是比較扁平的部件，并且是雖具有上表面和側(cè)面但底部為開放的箱形的部件。底蓋7從下方鑲嵌于盒罩5并以構(gòu)成盒罩5的底部的方式將盒罩 5密封。底蓋7可相對(duì)于盒罩5在鉛垂方向上裝卸。在底蓋7的上表面，設(shè)置有放置中間掩模3的中間掩模放置部9。并且，在底蓋7 的下表面，設(shè)置有供開盒器21的定位銷M插入的三個(gè)定位孔11。中間掩模盒1還具有鎖機(jī)構(gòu)13。鎖機(jī)構(gòu)13主要設(shè)置在形成盒罩5的底面的邊部 14上，并具有可向內(nèi)側(cè)滑動(dòng)的鎖部件15。如圖3以及圖7所示，鎖部件15被配置在設(shè)置于盒罩5的底面的槽部17內(nèi)，并可在規(guī)定范圍內(nèi)向內(nèi)側(cè)和外側(cè)移動(dòng)。在底蓋7的底面，在與槽部17對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有槽部19。鎖部件15在向內(nèi)側(cè)移動(dòng)時(shí)可向槽部19內(nèi)移動(dòng)。這樣， 在鎖部件15向外側(cè)移動(dòng)的狀態(tài)下鎖部件15從槽部19離開，從而底蓋7可從盒罩5脫離。 而且，在鎖部件15向內(nèi)側(cè)移動(dòng)的狀態(tài)下，鎖部件15的一部分插入槽部19內(nèi)，從而底蓋7不能從容器主體脫離。另外，在鎖部件15設(shè)置有卡合孔20 (后述)。另外，由未圖示的施力部件總是對(duì)鎖部件15施力以使得其與槽部19卡合。(2)開盒器開盒器21，例如被使用于在半導(dǎo)體工廠或液晶工廠等的潔凈室內(nèi)設(shè)置的潔凈儲(chǔ)料器。開盒器21打開中間掩模盒1的底蓋7，未圖示的機(jī)械手可將中間掩模3向處理裝置輸送。并且，開盒器21將未圖示的機(jī)械手輸送過來(lái)的處理后的中間掩模3返回至盒罩5內(nèi)。
對(duì)開盒器21的構(gòu)造進(jìn)行說明。開盒器21具有箱狀的框體23和載物臺(tái)25。在框體23的上表面形成有四邊形的開口部27。載物臺(tái)25具有與開口部27同等的形狀，并如圖4所示，配置于與構(gòu)成開口部27的上側(cè)邊部四構(gòu)成大概相同的平面的位置。圖4是開盒器的立體圖。在框體23內(nèi)設(shè)置有未圖示的風(fēng)扇，通過風(fēng)扇吸引潔凈儲(chǔ)料器內(nèi)的清潔的空氣來(lái)保持框體23內(nèi)清潔。在將中間掩模盒1放置于開盒器21的上部時(shí)，底蓋7被放置于載物臺(tái)25的上表面并通過定位銷M與定位孔11的卡合來(lái)定位，形成盒罩5的底部的邊部14被放置在框體 23的上側(cè)邊部四的上面。在該狀態(tài)下，將鎖驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)63的鎖操作銷64插入鎖部件15的卡合孔20。另外，鎖驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)63的其他機(jī)構(gòu)(未圖示)能夠使鎖操作銷64向外側(cè)和內(nèi)側(cè)移動(dòng)，于是鎖部件15向外側(cè)和內(nèi)側(cè)移動(dòng)。另外，如圖7所示，其中，設(shè)置有用于檢測(cè)鎖部件15的移動(dòng)狀態(tài)的第一鎖傳感器65 以及第二鎖傳感器66。第一鎖傳感器65是用于檢測(cè)鎖部件15向外側(cè)移動(dòng)而進(jìn)行解鎖的狀態(tài)的傳感器。第二鎖傳感器66是用于檢測(cè)鎖部件15向內(nèi)側(cè)移動(dòng)而進(jìn)行上鎖的狀態(tài)的傳感
ο在底蓋7形成有貫通上下表面的第一供給孔31以及第一排出孔33。在該第一供給孔31以及第一排出孔33配置有未圖示的止回閥或過濾器，從而外部的污濁的空氣難以進(jìn)入內(nèi)部。并且，在載物臺(tái)25上，在與第一供給孔31以及第一排出孔33對(duì)應(yīng)的位置分別形成有第二供給孔35以及第二排出孔37。第一供給孔31以及第一排出孔33與第二供給孔35以及第二排出孔37 —致，并由未圖示的連結(jié)構(gòu)造相互連結(jié)。在載物臺(tái)25上，設(shè)置有用于檢測(cè)中間掩模盒1的搭載情況的盒搭載傳感器71 (圖 8)。開盒器21還具有用于使載物臺(tái)25升降的升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41。升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41是氣缸機(jī)構(gòu)，并具有固定于載物臺(tái)25的下表面的桿43和驅(qū)動(dòng)桿43的氣缸驅(qū)動(dòng)部45。通過升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41，載物臺(tái)25能夠在圖5所示的上方位置與圖6所示的下方位置之間移動(dòng)。 圖5以及圖6是開盒器的內(nèi)部構(gòu)造的示意圖。在框體23內(nèi)設(shè)置有第一位置傳感器67和第二位置傳感器69。第一位置傳感器 67是用于對(duì)載物臺(tái)25處于上方位置的情況進(jìn)行檢測(cè)的傳感器，第二位置傳感器69是用于對(duì)載物臺(tái)25處于下方位置的情況進(jìn)行檢測(cè)的傳感器。更具體地，在載物臺(tái)25處于高位置 (底蓋7即將或已經(jīng)鑲嵌到盒罩5上時(shí)的位置)時(shí)，第一位置傳感器67生成檢測(cè)信號(hào)。在載物臺(tái)25處于最低位置(機(jī)械手能夠輸送中間掩?；脮r(shí)，第二位置傳感器69生成檢測(cè)信號(hào)。(3)洗凈裝置給排部49與開盒器21組裝，是用于利用清潔空氣對(duì)中間掩模盒1內(nèi)進(jìn)行洗凈的
直ο給排部49利用規(guī)定的空氣(例如，潔凈干燥空氣或N2等惰性氣體)對(duì)中間掩模盒1內(nèi)進(jìn)行洗凈。給排部49具有空氣供給罐51和空氣供給管53?？諝夤┙o罐51在內(nèi)部具有例如潔凈干燥空氣。空氣供給管53從空氣供給罐51與載物臺(tái)25的第二供給孔35連接。并且，在空氣供給管53的中途還設(shè)置有流量調(diào)整閥55和開閉閥57。
在該實(shí)施方式中，第二排出孔37向框體23內(nèi)開口。也可以在第二排出孔37連接排出管，以使空氣向框體23的外部排出。并且，也可以在排出管上連接排氣用泵來(lái)積極地排氣。另外，雖然圖中沒有記載，但在各部件彼此的接觸部分設(shè)置有密封件。(4)控制結(jié)構(gòu)使用圖8，對(duì)開盒器21的控制結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖8是表示開盒器的控制結(jié)構(gòu)的框圖?？刂撇?1是計(jì)算機(jī)，其具有CPU、RAM、R0M等硬件，并通過執(zhí)行程序的命令，進(jìn)行各種控制動(dòng)作?？刂撇?1作為各功能，具有升降驅(qū)動(dòng)部61a、氣體給排控制部61b、以及鎖控制部61c?？刂撇?1與升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41、流量調(diào)整閥55、開閉閥57、以及鎖驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)63連接，并可向它們發(fā)送控制信號(hào)。并且，控制部61還與第一鎖傳感器65、第二鎖傳感器66、第一位置傳感器67及第二位置傳感器69、盒搭載傳感器71、以及中間掩模搭載傳感器73連接，并可接收來(lái)自這些部件的檢測(cè)信號(hào)。(5)罩開啟動(dòng)作的控制 使用圖9，對(duì)可通過打開底蓋7來(lái)將中間掩模3向處理裝置側(cè)輸送的控制動(dòng)作進(jìn)行說明。圖9是表示罩開啟動(dòng)作的控制的流程圖。下面，對(duì)控制部61的動(dòng)作進(jìn)行說明。在最初的階段，載物臺(tái)25如圖5所示地被配置于最高的位置。在步驟Sl中，等待中間掩模盒1被搭載到開盒器21的上表面。若控制部61接收到來(lái)自盒搭載傳感器71的檢測(cè)信號(hào)，則向步驟S2轉(zhuǎn)移。在步驟S2中，控制部61的鎖控制部61c向鎖驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)63發(fā)送解鎖信號(hào)。由此， 鎖驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)63驅(qū)動(dòng)鎖部件15并解鎖。在步驟S3中，控制部61的升降驅(qū)動(dòng)部61a向升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41發(fā)送下降動(dòng)作信號(hào)。 由此，升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41使載物臺(tái)25向下方移動(dòng)。此時(shí)，中間掩模3與載物臺(tái)25 —起向下方移動(dòng)，而在更下方從盒罩5將中間掩膜3取出。在步驟S4中，等待載物臺(tái)25到達(dá)規(guī)定位置。若控制部61接收到來(lái)自第二位置傳感器69的檢測(cè)信號(hào)，則向步驟S4轉(zhuǎn)移。在步驟S5中，控制部61的升降驅(qū)動(dòng)部61a向升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41發(fā)送下降停止信號(hào)。 由此，升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41停止載物臺(tái)25的下降動(dòng)作。其結(jié)果，成為圖6所示的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，未圖示的機(jī)械手將中間掩模3向處理裝置輸送，處理裝置對(duì)中間掩模3進(jìn)行處理。(6)罩關(guān)閉動(dòng)作的控制使用圖10，對(duì)通過關(guān)閉底蓋7來(lái)將中間掩模3收納于中間掩模盒1內(nèi)的控制動(dòng)作進(jìn)行說明。圖10是表示罩關(guān)閉動(dòng)作的控制的流程圖。在最初的階段，載物臺(tái)25如圖6所示地被配置于最低的位置，雖然底蓋7被搭載于載物臺(tái)25的上表面，但中間掩模3沒有被搭載于底蓋7。在步驟Sll中，等待機(jī)械手將中間掩模3返回至底蓋7上。若控制部61接收到來(lái)自中間掩模搭載傳感器73的中間掩模檢測(cè)信號(hào)，則向步驟S12轉(zhuǎn)移。
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在步驟S12中，控制部61的升降驅(qū)動(dòng)部61a向升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41發(fā)送上升動(dòng)作開始信號(hào)。由此，升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41使載物臺(tái)25上升。在步驟S13中，等待第一位置傳感器67對(duì)載物臺(tái)25進(jìn)行檢測(cè)。若控制部61接收到來(lái)自第一位置傳感器67的檢測(cè)信號(hào)，則向步驟S14轉(zhuǎn)移。在步驟S14中，控制部61的氣體給排控制部61b向開閉閥57發(fā)送開通動(dòng)作信號(hào)。 由此，潔凈干燥空氣開始從給排部49的空氣供給罐51向中間掩模盒1內(nèi)供給。即，在底蓋 7鑲嵌于盒罩5之前，開始進(jìn)行洗凈動(dòng)作。在步驟S15中，控制部61的升降驅(qū)動(dòng)部61a向升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41發(fā)送上升動(dòng)作停止信號(hào)。由此，升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41停止載物臺(tái)25的移動(dòng)。在步驟S16中，控制部61的鎖控制部61c向鎖驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)63發(fā)送鎖動(dòng)作信號(hào)。由此，鎖驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)63通過鎖操作銷64使鎖部件15向內(nèi)側(cè)移動(dòng)。由此，鎖部件15與底蓋7的槽部19卡合，從而底蓋7被固定于盒罩5。在步驟S17中，控制部61等待從潔凈干燥空氣供給開始起經(jīng)過規(guī)定時(shí)間。若經(jīng)過規(guī)定時(shí)間，則向步驟S18轉(zhuǎn)移。另外，也可以在洗凈動(dòng)作中，對(duì)中間掩模盒1內(nèi)的壓力進(jìn)行測(cè)定，并控制流量調(diào)整閥55而使壓力成為規(guī)定值。在步驟S18中，控制部61的氣體給排控制部61b向開閉閥57發(fā)送關(guān)閉信號(hào)。由此，停止來(lái)自給排部49的空氣供給罐51的潔凈干燥空氣向中間掩模盒1內(nèi)的供給。在上述控制動(dòng)作中，洗凈動(dòng)作在將底蓋7鑲嵌于盒罩5之前開始進(jìn)行。從而，能夠高效地進(jìn)行中間掩模盒1內(nèi)的洗凈，從而縮短對(duì)中間掩模盒1的洗凈動(dòng)作時(shí)間。其結(jié)果，能夠使中間掩模盒1盡早地從開盒器21向其他的裝置移動(dòng)。而且，能夠減少氣體供給量。另外，洗凈開始時(shí)機(jī)，可以是將底蓋7鑲嵌于盒罩5的瞬間、即將鑲嵌之前，并且也可以是鑲嵌的幾秒之前。(7)第二實(shí)施方式使用圖11，對(duì)其他實(shí)施方式中的、通過關(guān)閉底蓋7而將中間掩模3收納于中間掩模盒1內(nèi)的控制動(dòng)作進(jìn)行說明。圖11是表示第二實(shí)施方式中的罩關(guān)閉動(dòng)作的控制的流程圖。 其中，對(duì)動(dòng)作內(nèi)容與圖10相同的步驟使用相同的附圖標(biāo)記。在步驟Sll中，等待機(jī)械手將中間掩模3返回至載物臺(tái)25上。若控制部61從中間掩模搭載傳感器73接收到中間掩模檢測(cè)信號(hào)，則向步驟S12轉(zhuǎn)移。在步驟S12中，控制部61的升降驅(qū)動(dòng)部61a向升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41發(fā)送上升動(dòng)作開始信號(hào)。由此，升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41使載物臺(tái)25上升。在步驟S19中，等待第一位置傳感器67對(duì)載物臺(tái)25進(jìn)行檢測(cè)。若控制部61接收到來(lái)自第一位置傳感器67的檢測(cè)信號(hào)，則向步驟S15轉(zhuǎn)移。在步驟S15中，控制部61的升降驅(qū)動(dòng)部61a向升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41發(fā)送上升動(dòng)作停止信號(hào)。由此，升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41停止載物臺(tái)25的移動(dòng)。在步驟S20中，控制部61的鎖控制部61c向鎖驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)63發(fā)送鎖動(dòng)作信號(hào)。由此，鎖驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)63通過鎖操作銷64而使鎖部件15向內(nèi)側(cè)移動(dòng)。因此，鎖部件15與底蓋7 的槽部19卡合。于是，底蓋7被固定于盒罩5。在步驟S14中，在鎖部件15的上述的鎖動(dòng)作完成之前(在鎖部件15向最內(nèi)側(cè)移動(dòng)之前)，控制部61的氣體給排控制部61b向開閉閥57發(fā)送開通動(dòng)作信號(hào)。具體地，通過在鎖部件15的鎖動(dòng)作中接收來(lái)自第二鎖傳感器66的檢測(cè)信號(hào)，控制部61的氣體給排控制部61b使開閉閥57打開。由此，在底蓋7鑲嵌于盒罩5之后、在鎖動(dòng)作結(jié)束之前，潔凈干燥空氣開始從給排部49的空氣供給罐51向中間掩模盒1內(nèi)供給。在步驟S17中，控制部61等待從潔凈干燥空氣供給開始起經(jīng)過規(guī)定時(shí)間。若經(jīng)過規(guī)定時(shí)間，則向步驟S18轉(zhuǎn)移。在步驟S18中，控制部61的氣體給排控制部61b即控制部61向開閉閥57發(fā)送關(guān)閉信號(hào)。由此，停止來(lái)自給排部49的空氣供給罐51的潔凈干燥空氣向中間掩模盒1內(nèi)的供給。在上述的控制動(dòng)作中，洗凈動(dòng)作在底蓋7鑲嵌于盒罩5之后、在鎖動(dòng)作結(jié)束之前開始進(jìn)行。從而，能夠高效地進(jìn)行中間掩模盒1內(nèi)的洗凈，從而縮短對(duì)中間掩模盒1的洗凈動(dòng)作時(shí)間。其結(jié)果，能夠使中間掩模盒1盡早地從開盒器21向其他的裝置移動(dòng)。而且，能夠減少氣體供給量。(8)其他實(shí)施方式以上，雖然對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限定于上述實(shí)施方式，在不脫離發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種變更。特別是，本說明書所述的多個(gè)實(shí)施方式以及變形例可根據(jù)需要任意地組合。雖然在上述實(shí)施方式中，中間掩模盒為保持一張中間掩模的類型，但也可以是對(duì)收納多張中間掩模的盒子進(jìn)行保持的類型。雖然在上述實(shí)施方式中，盒為中間掩模盒，但也可以是收納其他物品的盒。例如， 物品也可以是光掩模、玻璃基板、以及半導(dǎo)體晶片。雖然在上述實(shí)施方式中，設(shè)置于罩上的供給孔和排出孔各為一個(gè)，但也可以是多個(gè)。在上述實(shí)施方式中使用的各種傳感器，可以是透過型或反射型的光電傳感器，也可以是非接觸式傳感器或限位開關(guān)。不特別限定傳感器種類。工業(yè)上應(yīng)用可行性本發(fā)明能夠廣泛應(yīng)用在用于向具有開閉自如的蓋的容器內(nèi)供給清潔氣體以及排出來(lái)進(jìn)行洗凈的洗凈裝置以及洗凈方法中。附圖標(biāo)記說明1…中間掩模盒(容器)；3…中間掩模；5…盒罩(容器主體)；7…底蓋(蓋)；9··· 中間掩模放置部；11…定位孔；13…鎖機(jī)構(gòu)(驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu))；14…邊部；15…鎖部件(固定部件)；17…槽部；19···槽部；20···卡合孔；21···開盒器(洗凈裝置)；23…框體；24···定位銷; 25…載物臺(tái)(裝卸部)；27…開口部；29···上側(cè)邊部；31···第一供給孔(口)；33…第一排出孔(口)；35···第二供給孔；37…第二排出孔；41···升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(移動(dòng)機(jī)構(gòu))；43···桿； 45…氣缸驅(qū)動(dòng)部；49…給排部(氣體給排機(jī)構(gòu))；51…空氣供給罐；53…空氣供給管；55··· 流量調(diào)整閥；57…開閉閥；61…控制部；63…鎖驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；64…鎖操作銷；65…第一鎖傳感器；66…第二鎖傳感器(檢測(cè)器)；67…第一位置傳感器；69…第二位置傳感器；71···盒搭載傳感器；73…中間掩模搭載傳感器。
權(quán)利要求
1.一種洗凈裝置，該洗凈裝置用于使用清潔氣體對(duì)具有容器主體和開閉自如的蓋的容器進(jìn)行洗凈，其特征在于，具備裝卸部，該裝卸部用于能夠?qū)⑸鲜錾w安裝于上述容器主體，以及在上述蓋能夠從上述容器主體脫離時(shí)能夠?qū)⑸鲜錾w卸下；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述裝卸部相對(duì)上述容器移動(dòng)； 固定部件，該固定部件用于將上述蓋固定于上述容器主體以及解除固定； 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)上述固定部件；以及氣體給排機(jī)構(gòu)，在將上述蓋安裝于上述容器主體的動(dòng)作中，在上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)完成利用上述固定部件來(lái)將上述蓋固定于上述容器主體的動(dòng)作之前，該氣體給排機(jī)構(gòu)開始進(jìn)行上述容器的洗凈。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的洗凈裝置，其特征在于， 上述蓋能夠在鉛垂方向上與上述容器主體進(jìn)行裝卸， 上述蓋具有與上述氣體給排機(jī)構(gòu)連接的口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的洗凈裝置，其特征在于， 還具備用于檢測(cè)上述蓋部件的位置的第一檢測(cè)器，上述氣體給排機(jī)構(gòu)在上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)完成將上述蓋安裝于上述容器主體之前，基于上述蓋的位置，開始進(jìn)行上述容器的洗凈。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的洗凈裝置，其特征在于， 還具備用于檢測(cè)上述蓋部件的位置的第一檢測(cè)器，上述氣體給排機(jī)構(gòu)在上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)完成了將上述蓋安裝于上述容器主體之時(shí)，開始進(jìn)行上述容器的洗凈。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的洗凈裝置，其特征在于， 還具備用于檢測(cè)上述蓋部件的位置的第一檢測(cè)器，上述氣體給排機(jī)構(gòu)在上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)完成將上述蓋安裝于上述容器主體之前，基于上述蓋的位置，開始進(jìn)行上述容器的洗凈。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的洗凈裝置，其特征在于， 還具備用于檢測(cè)上述蓋部件的位置的第一檢測(cè)器， 上述氣體給排機(jī)構(gòu)在上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)完成了將上述蓋安裝于上述容器主體之時(shí)，開始進(jìn)行上述容器的洗凈。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的洗凈裝置，其特征在于， 還具備用于檢測(cè)上述固定部件的位置的第二檢測(cè)器，上述氣體給排機(jī)構(gòu)基于上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)了上述固定部件之后的上述固定部件的位置，開始進(jìn)行上述容器的洗凈。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的洗凈裝置，其特征在于， 還具備用于檢測(cè)上述固定部件的位置的第二檢測(cè)器，上述氣體給排機(jī)構(gòu)基于上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)了上述固定部件之后的上述固定部件的位置，開始進(jìn)行上述容器的洗凈。
9.一種洗凈方法，該洗凈方法用于使用清潔氣體對(duì)具有容器主體和開閉自如的蓋的容器進(jìn)行洗凈，其特征在于，具備自上述蓋從上述容器主體離開的狀態(tài)開始，將上述蓋安裝于上述容器主體的安裝步驟；在上述安裝步驟之后，將上述蓋固定于上述容器主體的固定步驟； 在上述固定步驟完成之前，開始進(jìn)行上述容器的洗凈的洗凈開始步驟。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的洗凈方法，其特征在于，在上述安裝步驟中將上述蓋安裝于上述容器主體之前開始進(jìn)行上述洗凈。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的洗凈方法，其特征在于， 在將上述蓋安裝到上述容器主體后開始進(jìn)行上述洗凈。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的洗凈方法，其特征在于， 在上述固定步驟的中途開始進(jìn)行上述洗凈。
全文摘要
在洗凈裝置中縮短洗凈動(dòng)作時(shí)間。開盒器(21)是用于向具有盒罩(5)和開閉自如的底蓋(7)的中間掩模盒(1)內(nèi)供給清潔氣體以及從中排出而進(jìn)行洗凈的裝置，并具備載物臺(tái)(25)、升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(41)、鎖機(jī)構(gòu)(13)、以及給排部(49)。載物臺(tái)(25)能夠?qū)⒌咨w(7)從盒罩(5)上卸下以及將其安裝于盒罩(5)。升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(41)能夠移動(dòng)載物臺(tái)(25)。鎖機(jī)構(gòu)(13)使鎖部件(15)動(dòng)作，該鎖部件(15)將底蓋(7)不能脫落地固定于盒罩(5)以及解除固定。給排部(49)在完成鎖部件(15)將底蓋(7)固定于盒罩(5)的動(dòng)作之前，開始進(jìn)行洗凈。
文檔編號(hào)G03F1/00GK102422408SQ20108002051
公開日2012年4月18日 申請(qǐng)日期2010年4月13日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月12日
發(fā)明者泉孝憲, 鹿田延秀 申請(qǐng)人:村田機(jī)械株式會(huì)社