專利名稱：：感光性樹(shù)脂組合物以及被蝕刻基體的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及感光性樹(shù)脂組合物以及被蝕刻基體的制造方法。
背景技術(shù)：
：近年來(lái)，由于對(duì)增大畫(huà)面解析度的要求、以及對(duì)更高密度地安裝電子產(chǎn)品的要求日益提高，因此用于安裝驅(qū)動(dòng)等離子顯示板等顯示裝置的配線、電子產(chǎn)品的印刷基板等配線的微細(xì)化和高密度化也正在發(fā)展。這些配線采用以下方法形成用照相平板印刷術(shù)在設(shè)置有均勻金屬膜的基板表面上形成被稱作蝕刻掩模的樹(shù)脂圖案，然后，采用蝕刻加工將沒(méi)有被覆蝕刻掩模的金屬膜除去(例如參照專利文獻(xiàn)1)。接著，在蝕刻加工結(jié)束后，用堿性剝離液除去作為蝕刻掩模而使用的樹(shù)脂圖案，在基板上完成微加工后的配線。其中，用于配線的金屬，根據(jù)必要的電氣特性等可以使用各種金屬，也可以根據(jù)需要使用層疊有多種不同種類金屬的疊層金屬配線(例如參照專利文獻(xiàn)2)。這樣，作為蝕刻對(duì)象的金屬可以是各種各樣的，用于蝕刻加工的蝕刻液也可以是酸性或堿性等各種蝕刻液。并且，根據(jù)情況，對(duì)于層疊有多種不同種類金屬膜的疊層金屬膜，有時(shí)也使用多種蝕刻液進(jìn)行階段性蝕刻加工。因此，對(duì)作為蝕刻掩模而使用的樹(shù)脂圖案，要求具有即使采用酸性、堿性蝕刻液也不會(huì)被剝離的耐藥品性(耐蝕刻性)。對(duì)作為蝕刻掩模而使用的樹(shù)脂圖案賦予耐藥品性時(shí)，可以增加樹(shù)脂圖案內(nèi)部的交聯(lián)密度。這樣，可防止藥品浸透樹(shù)脂圖案內(nèi)部，并可防止樹(shù)脂圖案因藥品膨脹而在蝕刻工序中被剝離。但是，如果增加樹(shù)脂圖案的交聯(lián)密度，則在蝕刻工序結(jié)束后用剝離液剝離樹(shù)脂圖案時(shí)，樹(shù)脂圖案不易剝離。這種情況會(huì)造成樹(shù)脂圖案的殘?jiān)鼩埩粼诨迳隙a(chǎn)生不合格產(chǎn)品、或者剝離樹(shù)脂圖案的工序需要大量時(shí)間而導(dǎo)致工作效率降低。而且，即使樹(shù)脂圖案的耐藥品性提高，如果基材上的金屬膜與樹(shù)脂圖案之間的附著性不充分，則蝕刻液會(huì)侵入金屬膜與樹(shù)脂圖案之間，從而導(dǎo)致蝕刻工序中抗蝕劑即樹(shù)脂圖案剝離。此時(shí)，由于樹(shù)脂圖案被蝕刻液除去至必要的配線部分，因此導(dǎo)致產(chǎn)生不合格產(chǎn)品。另外，在程序上為了防止線(line)污染，需要在剝離工序前進(jìn)行將用作蝕刻液的酸性、堿性溶液洗滌、干燥的工序。一般來(lái)說(shuō)，在用純水洗滌后，進(jìn)行吹干工序，如果風(fēng)吹工序中附著性不充分而導(dǎo)致圖案剝離，則會(huì)成為造成(形成灰塵)線路污染的主要原因，故不優(yōu)選。專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2003-131369號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2000-11863號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于以上課題而完成的，目的在于提供一種感光性樹(shù)脂組合物，該感光性樹(shù)脂組合物兼具充分的耐藥品性和良好的剝離性、并且用于得到與基材上的金屬膜之間顯示良好粘合性的樹(shù)脂圖案，以及提供一種使用了這種樹(shù)脂圖案的被蝕刻基體的制造方法。本發(fā)明人反復(fù)進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，如果在來(lái)自含酸基的丙烯酸類樹(shù)脂的一部分酸基與來(lái)自含脂環(huán)族環(huán)氧基的不飽和化合物的環(huán)氧基反應(yīng)而生成的丙烯酸可溶性樹(shù)脂中，組合使樹(shù)脂圖案的交聯(lián)密度增大的多官能單體和抑制樹(shù)脂圖案的交聯(lián)密度過(guò)度增大的單官能單體、特別是含氮單官能單體，并在光聚合引發(fā)劑的存在下使這些物質(zhì)聚合制備樹(shù)脂圖案，則得到的樹(shù)脂圖案顯示良好的耐藥品性和剝離性，并且基材上的金屬膜與樹(shù)脂圖案之間的粘合性提高，從而完成了本發(fā)明。本發(fā)明的第一實(shí)施方式涉及感光性樹(shù)脂組合物，其包含通過(guò)使來(lái)自含酸基的丙烯酸類樹(shù)脂的一部分酸基與來(lái)自含脂環(huán)族環(huán)氧基的不飽和化合物的環(huán)氧基反應(yīng)而生成的丙烯酸可溶性樹(shù)脂(A);三官能以上多官能單體(B);含氮單官能單體(C);光聚合引發(fā)劑(D)。本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及被蝕刻基體的制造方法，該方法包括在基體上涂布上述感光性樹(shù)脂組合物，形成感光性樹(shù)脂層的工序；對(duì)上述感光性樹(shù)脂層進(jìn)行選擇性曝光后，顯影以形成樹(shù)脂圖案的曝光、顯影工序；將上述樹(shù)脂圖案作為掩模，對(duì)上述基體進(jìn)行選擇性蝕刻的蝕刻工序；用剝離液剝離上述樹(shù)脂圖案的剝離工序。根據(jù)本發(fā)明，可提供一種感光性樹(shù)脂組合物，該組合物兼具充分的耐藥品性和良好的剝離性、并且用于得到與基材上的金屬膜之間顯示良好粘合性的樹(shù)脂圖案。此外還提供一種使用了這種樹(shù)脂圖案的被蝕刻基體的制造方法。具體實(shí)施例方式以下，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明，但本發(fā)明并不受以下實(shí)施方式的任何限制?！锤泄庑詷?shù)脂組合物〉首先，對(duì)本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物包含通過(guò)使來(lái)自含酸基的丙烯酸類樹(shù)脂的一部分酸基與來(lái)自含脂環(huán)族環(huán)氧基的不飽和化合物的環(huán)氧基反應(yīng)而生成的堿性可溶性樹(shù)脂(A);三官能以上的多官能單體(B);含氮單官能單體(C);光聚合引發(fā)劑(D)。[使來(lái)自含酸基的丙烯酸類樹(shù)脂的一部分酸基與來(lái)自含脂環(huán)族環(huán)氧基的不飽和化合物的環(huán)氧基反應(yīng)而生成的堿性可溶性樹(shù)脂(A)]本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物所含有的堿性可溶性樹(shù)脂(以下也稱作"(A)成分"。)，是使來(lái)自含酸基的丙烯酸類樹(shù)脂(al)的一部分酸基與來(lái)自含脂環(huán)族環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)的環(huán)氧基反應(yīng)，引入用活性能量線進(jìn)行固化所必需的、來(lái)自含脂環(huán)族環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)的不飽和基團(tuán)的堿性可溶性樹(shù)脂。每個(gè)成分如下所述。[含酸基的丙烯酸類樹(shù)脂(al)]作為含酸基的丙烯酸類樹(shù)脂(以下也稱作"(al)成分"。)，可以采用使具有乙烯性不飽和鍵的酸與選自(甲基)丙烯酸酯類、乙烯基芳香族化合物、酰胺類不飽和化合物、聚烯烴類化合物等單體中的1種或2種以上單體共聚而得到的共聚物。具體可列舉，將(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸2-羧乙酯、(甲基)丙烯酸2-羧丙酯、馬來(lái)酸(酐)等具有乙烯性不飽和鍵的酸作為為必要成分，使其與選自以下1種或2種以上單體共聚而得到的共聚物(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2_乙基己酯、(甲基)丙烯酸硬脂醇酯、(甲基)丙烯酸羥乙酯、(甲基)丙烯酸羥丙酯等(甲基)丙烯酸的酯類；苯乙烯、a-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對(duì)氯苯乙烯等乙烯基芳香族化合物；(甲基)丙烯酰胺、雙丙酮丙烯酰胺、N-羥甲基丙烯酰胺、N-丁氧基甲基丙烯酰胺等酰胺類不飽和化合物；丁二烯、異戊二烯、氯丁二烯等聚烯烴類化合物的單體、以及甲基丙稀腈、甲基異丙烯基甲酮、乙酸乙烯酯、《才"'乇乂7—(—〉工^化學(xué)制品)、丙酸乙烯酯(vinylpropionate)等其它單體。(al)成分的酸值優(yōu)選為15mgK0H/g以上，更優(yōu)選為40500mgK0H/g。通過(guò)使(al)成分具有上述酸值，即使在來(lái)自(al)成分的一部分酸基與來(lái)自后述的含脂環(huán)族環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)的環(huán)氧基反應(yīng)，而向(A)成分中引入所需量的不飽和基團(tuán)后，(A)成分中也可以殘留足夠量的酸基。由此，(A)成分可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的顯影性。[含脂環(huán)族環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)]作為含脂環(huán)族環(huán)氧基的不飽和化合物(以下也稱作"(a2)成分"。)，優(yōu)選在一分子中具有一個(gè)乙烯性不飽和基團(tuán)和脂環(huán)族環(huán)氧基的化合物。具體而言，例如可列舉由下式(I)(XV)表示的化合物。[化1]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage6</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>其中，R4分別獨(dú)立地表示氫原子或甲基。R5分別獨(dú)立地表示碳原子數(shù)16的二價(jià)脂肪族飽和烴基。R6分別獨(dú)立地表示碳原子數(shù)110的二價(jià)烴基。1為010的整數(shù)。RM尤選直鏈或支鏈的亞烷基，例如亞甲基、亞乙基、亞丙基、四亞甲基、丁烯基、l，5-亞戊基、1，6-亞己基。RM尤選例如亞甲基、亞乙基、亞丙基、四亞甲基、丁烯基、l，5-亞戊基、l，6-亞己基、亞苯基、亞環(huán)己基(cyclohexylene)、-CH2-Ph-CH廠(Ph為亞苯基。)。[堿性可溶性樹(shù)脂(A)的制備](A)成分是通過(guò)使來(lái)自(al)成分的一部分酸基與來(lái)自(a2)成分的環(huán)氧基反應(yīng)，向(al)成分中引入不飽和基團(tuán)而制備的。具體而言，例如，通過(guò)使(al)成分的惰性有機(jī)溶劑溶液與(a2)成分在約2012(TC下反應(yīng)約15小時(shí)來(lái)制備。作為惰性有機(jī)溶劑，沒(méi)有特別限定，可列舉醇類、酯類、脂肪族或芳香族烴類。(al)成分和(a2)成分的比率可以根據(jù)用于合成(al)成分的單體的種類而變化，(a2)成分相對(duì)于(al)成分的比例優(yōu)選為15摩爾％以上。如果(a2)成分相對(duì)于(al)成分的比例為15摩爾％以上，則可以對(duì)將含(A)成分的感光性樹(shù)脂組合物固化得到的樹(shù)脂圖案賦予良好的耐蝕刻性。由此制備的(A)成分的質(zhì)均分子量可以通過(guò)凝膠滲透色譜法求出，該值優(yōu)選為1000100000、更優(yōu)選為300070000、進(jìn)一步優(yōu)選為900030000。(A)成分由于在側(cè)鏈具有雙鍵因而在光聚合引發(fā)劑的存在下可以通過(guò)光來(lái)固化。也就是說(shuō)，樹(shù)脂(A)成分自身具有高感光性，因此可提高交聯(lián)時(shí)的固化密度，并且可提高曝光導(dǎo)致的感光性樹(shù)脂組合物的固化程度。此外，為了在側(cè)鏈具有酸基，可以用堿性顯影液進(jìn)行顯影，或者用堿性剝離液除去形成的樹(shù)脂圖案。這種(A)成分的酸值優(yōu)選為20200mgK0H/g、更優(yōu)選為30150mgK0H/g、進(jìn)一步優(yōu)選為50140mgK0H/g。通過(guò)使(A)成分的酸值在下限值以上，可得到優(yōu)異的顯影性，使其在上限值以下，則耐蝕刻性良好，并且可得到優(yōu)異的圖案形狀。此外，通過(guò)使(A)成分具有來(lái)自(a2)成分的脂環(huán)類基團(tuán)，可以提高耐蝕刻性。[三官能以上的多官能單體(B)]本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物包含三官能以上的多官能單體(以下也稱作"(B)成分"。)。其中"三官能以上的多官能單體"是指在光聚合引發(fā)劑的存在下，在l分子中具有3個(gè)以上在光照射下能進(jìn)行加成聚合的乙烯性雙鍵的單體成分。通過(guò)使本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物含有這種多官能的單體成分，可形成交聯(lián)密度高且耐藥品性優(yōu)異的樹(shù)脂圖案。作為(B)成分，例如，季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、環(huán)氧乙烷改性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、環(huán)氧丙烷改性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等三官能以上的丙烯酸酯；聚異氰酸酯化合物與含羥基的(甲基)丙烯酸酯單體反應(yīng)而得的多官能聚氨酯(甲基)丙烯酸酯(urethane(metha)crylate);多元醇與N-羥甲基(甲基)丙烯酰胺的縮合物等。這些多官能單體可以單獨(dú)使用或2種以上組合使用。此外，通過(guò)將多官能聚氨酯(甲基)丙烯酸酯與其他多官能單體組合使用，可提高樹(shù)脂層的柔軟性。另外，將作為蝕刻掩模的樹(shù)脂圖案制成膜厚度為13ym的薄膜時(shí)，上述列舉的(B)成分中，特別優(yōu)選使用六官能以上的單體。以薄膜形成樹(shù)脂圖案時(shí)，從耐蝕刻性即對(duì)酸、堿的耐藥品性的觀點(diǎn)出發(fā)，是苛刻條件，在這樣的條件下，通過(guò)使用六官能以上的單體作為(B)成分，可以提高樹(shù)脂圖案內(nèi)部的交聯(lián)密度，可賦予樹(shù)脂圖案良好的耐藥品性。作為這種六官能以上的單體例如可列舉二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、聚異氰酸酯化合物與含羥基的(甲基)丙烯酸酯單體反應(yīng)而得的多官能聚氨酯(甲基)丙烯酸酯、多元醇與N-羥甲基(甲基)丙烯酰胺的縮合物等。其中，為了形成耐蝕刻性高的堅(jiān)固樹(shù)脂圖案優(yōu)選使用二季戊四醇六丙烯酸酯(DPHA)。這些六官能以上的單體可以單獨(dú)使用或2種以上組合使用，也可以將上述三官能以上的單體組合使用。相對(duì)于(A)成分100質(zhì)量份，上述(B)成分的含量?jī)?yōu)選為110300質(zhì)量份，更優(yōu)選為115200質(zhì)量份。通過(guò)使其含量為下限值以上，可得到優(yōu)異的耐蝕刻性；通過(guò)使其含量為上限值以下，可在蝕刻工序結(jié)束后用堿性剝離液良好地除去樹(shù)脂圖案。[含氮單官能單體(C)]本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物含有含氮的單官能單體(以下也稱作"(C)成分"。)。單官能單體是指具有1個(gè)乙烯性不飽和基團(tuán)的單體。通過(guò)使本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物含有單官能即(C)成分，可防止樹(shù)脂圖案內(nèi)部的交聯(lián)密度過(guò)高，可對(duì)樹(shù)脂圖案的膜賦予柔軟9性、對(duì)堿性剝離液的良好剝離性。此外，由于(C)成分是單官能，并且分子內(nèi)含有氮原子，因此如果(C)成分因聚合反應(yīng)而被引入樹(shù)脂分子中，則(C)成分所含的氮原子相對(duì)于樹(shù)脂圖案內(nèi)部含有的樹(shù)脂主鏈面向外側(cè)而配置。因此，(C)成分所含的氮原子可用于提高與基材上金屬膜之間的粘著性，從而提高樹(shù)脂圖案與基材上金屬膜之間的附著性。(C)成分優(yōu)選下述通式(1)所表示的化合物。[化4]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>(通式(1)中，A表示單鍵或碳原子數(shù)15的亞烷基；R1表示氫原子或甲基；R2、W分別獨(dú)立地表示氫原子、或可具有取代基的烴基。R2、W均為烴基時(shí)，可相互結(jié)合形成環(huán)結(jié)構(gòu)。)上述通式(1)中，f、R3中的烴基可以是芳香族烴基或脂肪族烴基。烴基的碳原子數(shù)優(yōu)選為1IO，更優(yōu)選為16。作為脂肪族烴基，更具體地可列舉直鏈或支鏈脂肪族烴基，結(jié)構(gòu)中含有環(huán)的脂肪族烴基等。作為該脂肪族烴基優(yōu)選碳原子數(shù)110的烷基，更優(yōu)選碳原子數(shù)15的烷基。此外，作為該烴基可具有的取代基，例如可列舉烷基、烷氧基、鹵原子、鹵化烷基、羥基、氧原子(=0、-0-)、羥基烷基、氰基等。上述通式(1)中，R2和R3互相結(jié)合形成環(huán)結(jié)構(gòu)時(shí)，R2和R3的2價(jià)烴基優(yōu)選碳原子數(shù)為36，更優(yōu)選碳原子數(shù)為45。R2和R3的2價(jià)烴基可具有氧原子(_0_)、氮原子(-N=、-NH-)o(C)成分優(yōu)選為使該(C)成分聚合得到的均聚物的玻璃化溫度(Tg)為8(TC以上的單體。如上所述，(C)成分是具有防止樹(shù)脂圖案交聯(lián)密度增大的作用的成分，從交聯(lián)密度的觀點(diǎn)出發(fā)，在降低耐藥品性的方面有作用。但是，通過(guò)使(C)成分滿足Tg條件，可以賦予樹(shù)脂圖案對(duì)藥品的牢固性，因此可提高樹(shù)脂圖案的耐藥品性，并可提高耐蝕刻性。作為該(C)成分，可以列舉丙烯酰胺(均聚物的Tg:179t:，以下相同)、甲基丙烯酰胺(171°C)、N-甲基丙烯酰胺(17rC)、二甲基丙烯酰胺(119tO、N-異丙基丙烯酰胺(134tO、丙烯?；鶈徇?acryloylmorpholine)(145°C)、N-叔丁基丙烯酰胺(135°C)、N-苯丙烯酰胺(16(TC)、雙丙酮丙烯酰胺(86tO、丙烯酰基哌啶(116tO、二乙基丙烯酰胺(8rC)、2-羥乙基丙烯酰胺(98°C)、二甲氨基丙基丙烯酰胺(134°C)等。其中更優(yōu)選均聚物的Tg為140°C以上的丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、N-甲基丙烯酰胺、丙烯?；鶈徇?、N-苯丙烯酰胺，最優(yōu)選丙烯?；鶈徇?。相對(duì)于(A)成分100質(zhì)量份，上述(C)成分的含量?jī)?yōu)選為1080質(zhì)量份，更優(yōu)選為2075質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選為3070質(zhì)量份。通過(guò)使其含量為下限值以上，可賦予樹(shù)脂圖案良好的柔軟性、剝離性以及對(duì)基材的附著性；通過(guò)使其含量為上限值以下，可防止樹(shù)脂圖案的交聯(lián)密度過(guò)低從而得到良好的藥劑耐性。[光聚合引發(fā)劑(D)]本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物所含有的光聚合引發(fā)劑(以下也稱作"(C)成分"。)沒(méi)有特別限定，例如可列舉l-羥基環(huán)己基苯基甲酮、2-羥基-2-甲基-l-苯基丙烷-l-酮、1-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]-2-羥基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、1-(4-異丙基苯基)-2-羥基_2-甲基丙烷-1-酮、1_(4-十二烷基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、2，2-二甲氧基-l，2-二苯基乙烷-l-酮、雙(4-二甲氨基苯基)酮、2-甲基-l-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-1-酮、2-芐基-2-二甲氨基-1-(4-嗎啉代苯基)_丁烷-1-酮、乙酮(ethanone)+[9-乙基_6_(2-甲基苯?；?-9H-咔唑-3-基]+(鄰乙酰月虧)、2，4，6-三甲基苯?；交趸?、4-苯?；?4'-甲基二甲硫、4-二甲氨基苯甲酸、4-二甲氨基苯甲酸甲酯、4-二甲氨基苯甲酸乙酯、4-二甲氨基苯甲酸丁酯、4-二甲氨基-2-乙基己基苯甲酸、4-二甲氨基-2-異戊基苯甲酸、芐基-13_甲氧基乙基縮醛、芐基二甲基縮酮、1_苯基-1，2-丙二酮_2-(鄰乙氧羰基)肟、鄰苯?；郊姿峒柞?、2，4-二乙基噻噸酮、2-氯噻噸酮、2，4-二甲基噻噸酮、l-氯-4-丙氧基噻噸酮、噻噸、2-氯噻噸、2，4-二乙基噻噸、2-甲基噻噸、2-異丙基噻噸、2-乙基蒽醌、八甲基蒽醌、l，2-苯并蒽醌(benzanthraquinone)、2，3-二苯基蒽醌、偶氮二異丁基腈、過(guò)氧化苯甲酰、過(guò)氧化異丙基苯、2-巰基苯并咪唑、2-巰基苯并噁唑、2-巰基苯并噻唑、2-(鄰氯苯基)-4，5-二(間甲氧基苯基)-咪唑二聚體、二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、p，p'_雙二甲氨基二苯甲酮、4，4'_雙二乙氨基二苯甲酮、4，4'-二氯二苯甲酮、3，3-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮、偶苯酰、苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚、苯偶姻正丁醚、苯偶姻異丁醚、苯偶姻丁醚、苯乙酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、對(duì)二甲基苯乙酮、對(duì)二甲氨基苯丙酮、二氯苯乙酮、三氯苯乙酮、對(duì)叔丁基苯乙酮、對(duì)二甲氨基苯乙酮、對(duì)叔丁基三氯苯乙酮、對(duì)叔丁基二氯苯乙酮、a，a-二氯-4-苯氧基苯乙酮、噻噸酮、2-甲基噻噸酮、2-異丙基噻噸酮、二苯并環(huán)庚酮(dibenzosuberone)、戊基-4-二甲氨基苯甲酸酯、9-苯基吖啶、l，7-雙-(9-吖啶基)庚烷、l，5-雙-(9-吖啶基)戊烷、1，3-雙-(9-吖啶基)丙烷、對(duì)甲氧基三嗪、2，4，6-三(三氯甲基)_仲三嗪、2-甲基-4，6-雙(三氯甲基)_仲三嗪、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]_4，6-雙(三氯甲基)-仲三嗪、2_[2-(呋喃-2-基)乙烯基]_4，6-雙(三氯甲基)-仲三嗪、2-[2-(4-二乙氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-仲三嗪、2-[2-(3，4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-仲三嗪、2-(4-甲氧基苯基)_4，6-雙(三氯甲基)-仲三嗪、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4，6-雙(三氯甲基)-仲三嗪、2-(4-正丁氧基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-仲三嗪、2，4-雙-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基)苯基-仲三嗪、2，4-雙-三氯甲基-6-(2-溴-4-甲氧基)苯基-仲三嗪、2，4-雙-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-仲三嗪、2，4-雙_三氯甲基_6-(2-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-仲三嗪等。這些光聚合引發(fā)劑可以單獨(dú)使用或2種以上組合使用。(D)成分的含量可以根據(jù)(A)(C)成分的含量適當(dāng)調(diào)整，相對(duì)于堿性可溶性樹(shù)脂(A)100質(zhì)量份，優(yōu)選為130質(zhì)量份，更優(yōu)選為525質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選為1020質(zhì)量份。通過(guò)使其含量為上述范圍，可得到充分的耐熱性、耐藥品性，還可提高成膜性能，抑制光固化不良。[增感劑(E)]本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物可含有具有硫醇基的化合物作為增感劑(以下也稱作"(E)成分")。當(dāng)照射紫外光時(shí)，(E)成分通過(guò)烯-硫醇反應(yīng)(ene-thiolreaction)生成S自由基。S自由基引起的聚合反應(yīng)，不受氧阻的影響而促進(jìn)感光性樹(shù)脂組合物的固化，因此可提高顯影時(shí)圖案的殘膜率，并提高樹(shù)脂圖案的耐藥品性。作為這種(E)成分，可列11舉三羥甲基丙烷三(3-巰基丙酸酯)等酯類；2-巰基乙醇、l-硫代甘醇、單巰基乙酸甘油酯(glycerolmonothioglycollate)、4-巰基苯酚等醇類；巰基乙酸、3-巰基丙酸、2-巰基丙酸、硫羥蘋(píng)果酸、巰基異丁酸、內(nèi)消旋_2，3-二巰基異丁酸、硫代水楊酸等羧酸類；2-氨基乙硫醇、2_氨基硫酚、4-氨基硫酚等胺類；半胱氨酸等。感光性樹(shù)脂組合物中的(E)成分的含量，可以根據(jù)(A)(C)成分的含量適當(dāng)調(diào)整，相對(duì)于堿性可溶性樹(shù)脂(A)100質(zhì)量份，優(yōu)選為0.130質(zhì)量份，更優(yōu)選為0.525質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選為0.820質(zhì)量份，特別優(yōu)選為115質(zhì)量份。通過(guò)使其含量為上述范圍，可以提高顯影性以及耐蝕刻性。[單體成分]本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物除含有上述各成分外，還可含有各種單體成分。作為該單體成分，可列舉具有乙烯性不飽和基團(tuán)的化合物，可列舉具有1個(gè)乙烯性不飽和基團(tuán)的單官能單體(但(C)成分除外)和具有2個(gè)乙烯性不飽和基團(tuán)的多官能單體。根據(jù)聚合反應(yīng)性、單體的粘度等感光性樹(shù)脂組合物所需的特性可適當(dāng)選擇使用1種或2種以上這些單體成分。相對(duì)于(A)成分100質(zhì)量份，這些單體成分的添加量?jī)?yōu)選80質(zhì)量份以下，更優(yōu)選160質(zhì)量份。通過(guò)使其添加量為上限值以下，可以在樹(shù)脂圖案內(nèi)部維持足夠的交聯(lián)密度，并可提高對(duì)酸性、堿性蝕刻液的耐性。[OOSS][有機(jī)溶劑]為了改善涂布性、調(diào)整粘度，本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物優(yōu)選含有有機(jī)溶劑。作為該機(jī)溶劑，例如可列舉乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單正丙醚、乙二醇單正丁醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單正丙醚、二乙二醇單正丁醚、三乙二醇單甲醚、三乙二醇單乙醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單正丙醚、丙二醇單正丁醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇單正丙醚、二丙二醇單正丁醚、三丙二醇單甲醚、三丙二醇單乙醚等(聚)亞烷基二醇單烷基醚類；乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯等(聚)亞烷基二醇單烷基醚乙酸酯類；二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙醚、二乙二醇二乙醚、四氫呋喃等其它醚類；甲基乙基酮、環(huán)己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮類；2-羥基丙酸甲酯、2-羥基丙酸乙酯等乳酸烷基酯類；2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3_甲氧基丙酸乙酯、3_乙氧基丙酸甲酯、3_乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、甲酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酉旨、丙酮酸乙酉旨、丙酮酸正丙酉旨、乙酰乙酸甲酉旨、乙酰乙酸乙酯、2-乙酰乙酸乙酯等其它酯類；甲苯、二甲苯等芳香烴類；N-甲基吡咯烷酮、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺等酰胺類等。這些溶劑可以單獨(dú)使用或組合使用。有機(jī)溶劑的含量沒(méi)有特別限定，可在能涂布基板等的濃度下，根據(jù)涂布膜厚度適當(dāng)選擇。此時(shí)，固體成分濃度優(yōu)選為570質(zhì)量％，更優(yōu)選為1060質(zhì)量％。[其它成分]作為本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物的其它成分，根據(jù)需要可含有消泡劑、表面活性劑等添加劑。作為消泡劑，沒(méi)有特別限定，可列舉硅酮類、氟類化合物等。作為表面活性劑，沒(méi)有特別限定，可列舉陰離子類、陽(yáng)離子類、非離子類等化合物?！幢晃g刻基體的制造方法>接著，對(duì)使用了上述本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物的被蝕刻基體的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。使用了上述感光性樹(shù)脂組合物的被蝕刻基體的制造方法也是本
發(fā)明內(nèi)容之一。本發(fā)明的被蝕刻基體的制造方法包括(l)在基體上涂布本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物，形成感光性樹(shù)脂層的工序；(2)對(duì)上述感光性樹(shù)脂層進(jìn)行選擇性曝光后，顯影以形成樹(shù)脂圖案的曝光、顯影工序；(3)以上述樹(shù)脂圖案為掩模，對(duì)上述基體進(jìn)行選擇性蝕刻的蝕刻工序；(4)使用剝離液對(duì)上述樹(shù)脂圖案進(jìn)行剝離的剝離工序。另外，本發(fā)明中的"基體"是指在玻璃等基板上形成有蝕刻對(duì)象的膜的基體。作為蝕刻對(duì)象的膜可列舉金屬膜。首先，說(shuō)明(1)在基體上涂布本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物，形成感光性樹(shù)脂層的工序。該工序中，將上述本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物涂布在基體上，形成感光性樹(shù)脂層。作為用于制作基體的基板，通常使用玻璃基板。采用蒸鍍法或?yàn)R射法等在玻璃基板上形成蝕刻的對(duì)象即金屬膜制成作為蝕刻對(duì)象的基體。形成金屬膜的金屬除了含有金屬外，還含有具有導(dǎo)電性的金屬氧化物等，例如可以列舉Ni、Cr、Au、Mo、W、Pt、Ti、Cu、Pd、Ag等金屬、這些金屬的合金、Ir^OfSn(^等金屬氧化物、多晶硅等的半導(dǎo)體等。金屬膜可以是單層，而本發(fā)明的特征點(diǎn)之一在于，能夠?qū)τ刹煌g刻條件下的多層金屬膜形成的復(fù)合金屬膜進(jìn)行選擇性蝕刻。作為這種復(fù)合金屬膜，可以列舉形成有第一Cr(鉻)層、Cu(銅)層、第二Cr層的Cr/Cu/Cr疊層膜。通過(guò)使用輥式涂布機(jī)(rollcoater)、逆向涂布機(jī)(reversecoater)、棒材涂布機(jī)(barcoater)、狹縫涂布機(jī)(slitcoater)等接觸轉(zhuǎn)印型涂布裝置，或旋轉(zhuǎn)器(旋轉(zhuǎn)式涂布裝置)、幕簾式涂布機(jī)(curtaincoater)等非接觸型涂布裝置，在上述基體上涂布感光性樹(shù)脂組合物，干燥后除去溶劑，從而在基體上形成感光性樹(shù)脂層。感光性樹(shù)脂層的厚度沒(méi)有特殊限定，但優(yōu)選使作為蝕刻掩模的樹(shù)脂圖案的厚度為15iim。通過(guò)使其厚度為下限值以上，可以賦予樹(shù)脂圖案良好的耐藥品性；通過(guò)使其厚度為上限值以下，可以賦予樹(shù)脂圖案良好的剝離性。接著，說(shuō)明(2)對(duì)上述感光性樹(shù)脂層進(jìn)行選擇性曝光后，顯影以形成樹(shù)脂圖案的曝光、顯影工序。對(duì)上述感光性樹(shù)脂層進(jìn)行選擇性曝光時(shí)，可以經(jīng)由遮光圖案，照射紫外線、準(zhǔn)分子激光等活性能量線進(jìn)行曝光。對(duì)于曝光，可以使用高壓水銀燈、氙燈、碳弧燈等發(fā)射紫外線的光源。照射的能量線量，因感光性樹(shù)脂組合物的組成而不同，但優(yōu)選例如52000mJ/cm2左右。接著，通過(guò)用顯影液對(duì)曝光后的樹(shù)脂層進(jìn)行顯影來(lái)制成樹(shù)脂圖案。顯影方法沒(méi)有特別限定，例如可以使用浸漬法、噴霧法等。作為顯影液的具體例，可以列舉單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺等有機(jī)類顯影液；氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、氨、季銨鹽等的水溶液。而且，也可以對(duì)顯影后的樹(shù)脂圖案進(jìn)行后烘焙(postbake)而加熱固化。后烘焙的溫度優(yōu)選150250°C。然后，說(shuō)明(3)將上述樹(shù)脂圖案作為掩模，對(duì)上述基體進(jìn)行選擇性蝕刻的蝕刻工序。作為蝕刻的方法，例如可以列舉常用的浸漬到蝕刻液中的濕法蝕刻。濕法蝕刻所使用的蝕刻液，只要是根據(jù)蝕刻的對(duì)象而適當(dāng)選擇的酸性型或堿性型的蝕刻液即可。作為酸性型的蝕刻液，可以列舉鹽酸、硫酸、氫氟酸、磷酸等單一酸性成分的水溶液；酸性成分與氯化鐵、氟化銨、高錳酸鉀等鹽的混合水溶液等。也可以使用組合了多種酸性成分的酸性成分。此外，作為堿性型的蝕刻液，可以列舉氫氧化鈉、氫氧化鉀、氨、有機(jī)胺、氫氧化四甲胺這類有機(jī)胺的鹽等單一堿性成分的水溶液；堿性成分與高錳酸鉀等鹽的混合水溶液等。也可以使用組合了多種堿性成分的堿性成分。本發(fā)明的被蝕刻基體的制造方法沒(méi)有特別限定，蝕刻液的溫度優(yōu)選為45t:以下。通過(guò)使用上述本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物形成本發(fā)明中作為蝕刻掩模而使用的樹(shù)脂圖案，以發(fā)揮對(duì)上述溫度范圍內(nèi)的酸性和堿性蝕刻液特別優(yōu)異的耐性。因此，可防止蝕刻工序中樹(shù)脂圖案剝離，從而對(duì)沒(méi)有樹(shù)脂圖案的部分進(jìn)行選擇性蝕刻。此外，由于本發(fā)明的被蝕刻基體的制造方法中作為蝕刻掩模而使用的樹(shù)脂圖案具有如上所述的高耐藥品性，因此，例如即使在基材上形成多種金屬膜，并對(duì)這些金屬膜依次使用不同種類的蝕刻液反復(fù)進(jìn)行蝕刻這樣苛刻的條件下，本發(fā)明的被蝕刻基體的制造方法也優(yōu)選適用。作為這樣的例子，可以列舉對(duì)上述依次形成有第一Cr層、Cu層、第二Cr層的基板進(jìn)行蝕刻加工的情形。這種基板中，例如使用酸性蝕刻液對(duì)位于最表面的第二Cr層及Cu層進(jìn)行蝕刻，然后使用堿性蝕刻液對(duì)第一Cr層進(jìn)行蝕刻。根據(jù)本發(fā)明的被蝕刻基體的制造方法，對(duì)于上述必須進(jìn)行酸性條件下的蝕刻工序和堿性條件下的蝕刻工序的基體，可以不剝離樹(shù)脂圖案而進(jìn)行蝕刻。在上述蝕刻后，為了防止線污染，根據(jù)需要可以進(jìn)行洗滌工序、干燥工序。對(duì)于洗滌工序，例如，在常溫下用純水洗滌基板10300秒；對(duì)于干燥工序，只要使用風(fēng)吹，適當(dāng)調(diào)整風(fēng)吹壓(0.15kg/cm2左右)即可。接著，說(shuō)明(4)使用剝離液對(duì)上述樹(shù)脂圖案進(jìn)行剝離的剝離工序。作為樹(shù)脂圖案的剝離方法沒(méi)有特殊限定，例如可列舉308(TC下、優(yōu)選508(TC下將基板在攪拌中的堿性剝離液浸漬530分鐘的方法。本發(fā)明中作為蝕刻掩模而使用的樹(shù)脂圖案，如上所述在45t:以下顯示了優(yōu)異的耐藥液性，如果藥液溫度為5(TC以上則因堿性剝離液而顯示膨脹性質(zhì)。根據(jù)這種性質(zhì)，如果使用5080°C的剝離液進(jìn)行剝離工序則具有工序時(shí)間縮短、樹(shù)脂圖案的剝離殘?jiān)鼫p少的優(yōu)點(diǎn)。也就是說(shuō)，通過(guò)在上述蝕刻工序與剝離工序之間設(shè)置藥液溫度差，本發(fā)明中作為蝕刻掩模而使用的樹(shù)脂圖案在蝕刻工序中發(fā)揮良好的耐藥液性的同時(shí)，在剝離工序中顯示良好的剝離性，從而可以同時(shí)滿足耐藥液性和剝離性這兩種相反的特性。作為剝離液，例如可列舉將氫氧化鈉、氫氧化鉀等無(wú)機(jī)堿性成分、叔胺、季銨鹽等有機(jī)堿性成分，溶解于水、二甲基亞砜、N-甲基吡咯烷酮、或他們的混合溶液中的剝離液。可以通過(guò)噴霧法、噴淋法、攪煉法等使用上述剝離液來(lái)剝離樹(shù)脂圖案。[實(shí)施例]根據(jù)以下實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更具體地說(shuō)明。但是，這些實(shí)施例只是本發(fā)明的示例，不能限定本發(fā)明的范圍。〈感光性樹(shù)脂組合物的制備>根據(jù)表1和表2，制備實(shí)施例114以及比較例13的感光性樹(shù)脂組合物。表l所記載的各成分如下所述。另外，配制堿性可溶性樹(shù)脂(A)的45質(zhì)量XDPGME(二丙二醇單甲醚)溶液用于感光性樹(shù)脂組合物的制備。表1和表2所記載的數(shù)值表示質(zhì)量份。其中，表1的堿性可溶性樹(shù)脂(A-l或A-2)100質(zhì)量份是指堿性可溶性樹(shù)脂的固體成分為100質(zhì)量份。堿性可溶性樹(shù)脂(A)A-l:寸<夕口7—ACAZ250(夕'<七^(guò)化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制，質(zhì)均分子量20000、酸值101.7mgK0H/g、含有含酸基的丙烯酸類樹(shù)脂與含脂環(huán)族環(huán)氧基的不飽和化合物反應(yīng)而生成的下式(2)、式(3)以及式(4)所表示的結(jié)構(gòu)單元的樹(shù)脂。)[化5]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>[式(2)中，R7表示烷基或羥基烷基，式(2)、式(3)以及式(4)中，X表示氫原子或甲基。]A-2:甲基丙烯酸芐酯以及甲基丙烯酸的共聚物(甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸=80:20(質(zhì)量比)、質(zhì)均分子量60000)單體(B)B-l:DPHA(二季戊四醇六丙烯酸酯，六官能單體)B-2:CN9006(寸一卜^一社制，聚氨酯丙烯酸酯，六官能單體)含氮單官能單體(C)C-l:丙烯?；鶈徇渌鼏误wB'-1:丙烯酸2_苯氧基乙酯B'_2:丙烯酸異冰片酯WOO]光聚合引發(fā)劑(D)IR369"A力工7369(乎"'^《—〉^'J于<少S力A義'社制)EAB-F:4，4'-雙(二乙氨基)二苯甲酮(保土少谷化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制)增感劑(E)E-l:三羥甲基丙烷三巰基丙酸酯[表l]<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>〈被蝕刻基體的制備〉通過(guò)濺射法制作層疊有第二Cr層/Cu層/第一Cr層的玻璃基板(厚度1.8mm)，作為評(píng)價(jià)基板。評(píng)價(jià)基板中，第二Cr層及第一Cr層分別位于最表面及最下層，Cu層位于它們中間。各層的厚度，第二Cr層為100nm、Cu層為2.0iim、第一Cr層為50nm。使用旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)對(duì)該評(píng)價(jià)基板涂布感光性樹(shù)脂組合物，在65t:下干燥6分鐘，得到具有2.5m膜厚度的感光性樹(shù)脂層的評(píng)價(jià)基板。接著，經(jīng)過(guò)負(fù)像掩模以25mJ/cm、含增感劑的組合物)或50mJ/cm2(不含增感劑的組合物)的曝光量向這些感光性樹(shù)脂層選擇性照射紫外線(光源超高壓水銀燈)，使用0.25質(zhì)量％的碳酸鈉溶液作為顯影液在3(TC下噴霧顯影120秒以形成樹(shù)脂圖案，用純水洗滌，吹干。然后對(duì)形成的樹(shù)脂圖案以300mJ/cm2曝光量照射紫外線(光源超高壓水銀燈)進(jìn)行后曝光。接著，對(duì)形成有樹(shù)脂圖案的評(píng)價(jià)基板進(jìn)行蝕刻。首先，將評(píng)價(jià)基板在由約15質(zhì)量^的鹽酸水溶液形成的35t:的酸性蝕刻液中浸漬5分鐘(※為了評(píng)價(jià)耐性，浸漬時(shí)間比通常的程序長(zhǎng))，對(duì)位于最表面的第二Cr層進(jìn)行蝕刻，用純水洗滌。然后，配制0.3/0.3/0.3(mol/L比)的HCl/FeCl3/Cu"水溶液作為酸性蝕刻液，將評(píng)價(jià)基板浸漬在30°C的該酸性蝕刻液中，一邊搖動(dòng)一邊將Cu層蝕刻60秒，用純水洗滌。最后，向5質(zhì)量％的Na2Si03水溶液中添加5質(zhì)量％的高錳酸鉀制成堿性蝕刻液，將評(píng)價(jià)基板在40°C的該堿性蝕刻液中浸漬10分鐘，對(duì)位于最下層的第一Cr層進(jìn)行蝕刻，用純水洗滌。蝕刻工序結(jié)束(包括用純水洗滌(23t:下、60秒)的工序)后，用氣槍吹干。然后，使用堿性剝離液剝離存在于評(píng)價(jià)基板上的樹(shù)脂圖案。剝離液使用加溫至6(TC的12質(zhì)量％的氫氧化鈉水溶液?！丛u(píng)價(jià)>將實(shí)施例114以及比較例13的感光性樹(shù)脂組合物如上所述制成具有2.5iim膜厚度的樹(shù)脂圖案的評(píng)價(jià)基板，評(píng)價(jià)進(jìn)行蝕刻并顯影后的殘膜率、耐藥液性(耐蝕刻性)、蝕刻結(jié)束后洗滌、吹干工序后的圖案粘著性、蝕刻結(jié)束后剝離樹(shù)脂圖案所需要的時(shí)間、以及樹(shù)脂圖案剝離后有無(wú)殘?jiān)Ｆ浣Y(jié)果如表3及表4所示。各項(xiàng)目的評(píng)價(jià)方法及評(píng)價(jià)基準(zhǔn)如下所述。[顯影時(shí)殘膜性]通過(guò)觀察對(duì)感光性樹(shù)脂層進(jìn)行曝光并噴霧顯影后的樹(shù)脂圖案膜的殘留率進(jìn)行評(píng)價(jià)。〇光固化的樹(shù)脂圖案顯影后的殘膜率為90%以上△:光固化的樹(shù)脂圖案顯影后的殘膜率為50%以上、不足90%X:光固化的樹(shù)脂圖案顯影后的殘膜率不足50%[酸、堿耐性]通過(guò)觀察第二Cr層、Cu層及第一Cr層的蝕刻工序結(jié)束后樹(shù)脂圖案的剝離狀況進(jìn)行評(píng)價(jià)?！?蝕刻工序結(jié)束后未觀察到樹(shù)脂圖案的剝離。〇蝕刻工序結(jié)束后幾乎觀察不到樹(shù)脂圖案的剝離?！?蝕刻工序中樹(shù)脂圖案的一部分(以面積率計(jì)為不足30%)發(fā)生了剝離。X:蝕刻工序中，樹(shù)脂圖案的大部分(以面積率計(jì)為30%以上)發(fā)生了剝離。[蝕刻、吹氣后圖案附著性]對(duì)蝕刻工序結(jié)束后用純水洗滌(23°CT、60秒)以及用氣槍吹干后的圖案附著性進(jìn)行評(píng)價(jià)?！?曝光量25mJ/ci^、線幅20iim間距80iim的圖案尺寸下，圖案附著而未觀察到圖案剝離。〇曝光量50mJ/cm2以下、線幅30ym間距90ym的圖案尺寸下，圖案附著而未觀察到圖案剝離。X:曝光量25mJ/cm2以下、線幅30iim間距90iim的圖案尺寸下，可觀察到圖案剝離。[蝕刻、吹氣后圖案直線性]按照以下基準(zhǔn)，對(duì)蝕刻工序結(jié)束后用純水洗滌(23t:下、60秒)以及用氣槍吹干后的圖案直線性進(jìn)行評(píng)價(jià)。另外，評(píng)價(jià)所使用的圖案的尺寸為線幅30i！m間距90i！m。〇未觀察到圖案的波浪(波36)形狀，直線性高?！?觀察到圖案中有若干波浪形狀。X:觀察到圖案中有波浪形狀，直線性低。[剝離時(shí)間]通過(guò)蝕刻工序結(jié)束后用堿性剝離液剝離樹(shù)脂圖案所需要的時(shí)間來(lái)進(jìn)行評(píng)價(jià)。〇剝離所需要的時(shí)間為120秒以下X:剝離所需要的時(shí)間超過(guò)120秒[剝離性]用堿性剝離液剝離樹(shù)脂圖案后，觀察基板上殘留的樹(shù)脂圖案的殘?jiān)⑦M(jìn)行評(píng)價(jià)。〇剝離后不存在樹(shù)脂圖案的殘?jiān)?。?剝離后樹(shù)脂圖案有少許殘留。X:剝離后樹(shù)脂圖案有大量殘留。[表3]實(shí)施例12345678顯影時(shí)殘膜性〇〇〇〇〇〇〇〇酸、堿耐性◎◎◎◎◎◎◎◎蝕刻、吹氣后圖案粘著性〇〇〇◎◎〇〇蝕刻、吹氣后圖案直線性o〇〇O△〇〇〇剝離時(shí)間〇O〇〇〇〇〇〇剝離性〇〇〇〇〇〇〇〇[表4]18<table>tableseeoriginaldocumentpage19</column></row><table>表4中由于比較例1的耐酸堿性不充分，因此沒(méi)有進(jìn)行蝕刻工序后的評(píng)價(jià)。此外，比較例25的蝕刻、風(fēng)吹工序后的圖案附著性不充分，一部分圖案被剝離，因此沒(méi)有進(jìn)行之后的剝離工序的評(píng)價(jià)，但對(duì)于殘留圖案的圖案直線性，一并記入0中以作參考。如表3及表4所示，相對(duì)于比較例15，實(shí)施例18具有良好的酸、堿性耐性(耐藥品性)，在蝕刻工序后的洗滌、風(fēng)吹工序中也具有充分的圖案附著性。由此可知，通過(guò)將使來(lái)自含酸基的丙烯酸類樹(shù)脂的一部分酸基與來(lái)自含脂環(huán)族環(huán)氧基的不飽和化合物的環(huán)氧基反應(yīng)而生成的丙烯酸可溶性樹(shù)脂、以及含氮單官能單體用于感光性樹(shù)脂組合物，可提高樹(shù)脂圖案的耐藥品性。一般來(lái)說(shuō)，如果添加單官能單體，則固化后的樹(shù)脂內(nèi)部交聯(lián)密度降低，因此考慮到這一點(diǎn)出發(fā)預(yù)計(jì)會(huì)不利于耐藥品性，但如果使用本發(fā)明所使用的含氮單官能單體，則與上述預(yù)計(jì)相反，可提高如上所述的耐藥品性和附著性。推測(cè)是單體所含的氮原子使樹(shù)脂圖案對(duì)基材表面的附著性提高所致。在這一方面，使用不含氮原子的單官能單體的比較例4和5在蝕刻、風(fēng)吹工序后的附著性不充分。但是，如上所述，如果大量使用多官能單體，則樹(shù)脂內(nèi)部的交聯(lián)密度提高，因此雖在耐藥品性方面有利，但在剝離性方面不利。在這一方面，通過(guò)使用本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物中的含氮單官能單體，不會(huì)過(guò)度提高樹(shù)脂內(nèi)部的交聯(lián)密度，并且可賦予樹(shù)脂圖案耐藥品性和附著性，因此可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)耐藥品性、附著性、以及剝離性這些相反的性能。此外，如果將實(shí)施例7與比較例3進(jìn)行比較，則可知通過(guò)含氮單官能單體的存在可提高樹(shù)脂圖案的酸、堿性耐性。含氮單官能單體的存在使樹(shù)脂圖案的酸、堿性耐性提高的原因，是因?yàn)橥ㄟ^(guò)提高樹(shù)脂圖案與基材的附著性可防止蝕刻液浸入樹(shù)脂圖案與基材之間。此外，如果將實(shí)施例6與實(shí)施例7進(jìn)行比較，可知兩者在蝕刻工序后均無(wú)樹(shù)脂圖案的剝離。但與實(shí)施例7相比，實(shí)施例6在低曝光量下的蝕刻、風(fēng)吹后的圖案附著性更優(yōu)異。關(guān)于這一點(diǎn)，認(rèn)為是因?yàn)橥ㄟ^(guò)添加增感劑使敏感度良好從而使聚合反應(yīng)充分，因此即使是更小尺寸的圖案也不會(huì)受到蝕刻時(shí)藥液帶來(lái)的影響。權(quán)利要求一種感光性樹(shù)脂組合物，包含通過(guò)使來(lái)自含酸基的丙烯酸類樹(shù)脂的一部分酸基與來(lái)自含脂環(huán)族環(huán)氧基的不飽和化合物的環(huán)氧基反應(yīng)而生成的堿性可溶性樹(shù)脂(A)；三官能以上的多官能單體(B)；含氮單官能單體(C)；光聚合引發(fā)劑(D)。2.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于所述含氮單官能單體(C)是由下述通式(1)表示的化合物，R1R2CH2=(t—C一O-A—Z(1)通式(1)中，A表示單鍵或碳原子數(shù)15的亞烷基；W表示氫原子或甲基；R^RS分別獨(dú)立地表示氫原子、或可具有取代基的烴基。12、13均為烴基時(shí)，可相互結(jié)合形成環(huán)結(jié)構(gòu)。3.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于相對(duì)于所述堿性可溶性樹(shù)脂(A)100質(zhì)量份，所述含氮單官能單體(C)的含量為1060質(zhì)量份。4.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于所述多官能單體(B)為六官能以上的單體。5.如權(quán)利要求4所述的感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于相對(duì)于所述堿性可溶性樹(shù)脂(A)100質(zhì)量份，所述多官能單體(B)的含量為110300質(zhì)量份。6.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于該組合物進(jìn)一步含有增感劑(E)。7.—種被蝕刻基體的制造方法，其特征在于該方法包括在基體上涂布權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物，形成感光性樹(shù)脂層的工序；對(duì)所述感光性樹(shù)脂層進(jìn)行選擇性曝光后，顯影以形成樹(shù)脂圖案的曝光、顯影工序；將所述樹(shù)脂圖案作為掩模，對(duì)所述基體進(jìn)行選擇性蝕刻的蝕刻工序；用剝離液剝離所述樹(shù)脂圖案的剝離工序。8.如權(quán)利要求7所述的被蝕刻基體的制造方法，其特征在于所述基體是在基板上依次形成有第一Cr層、Cu層、第二Cr層的基體；所述蝕刻工序包括使用酸性蝕刻液對(duì)所述第二Cr層進(jìn)行選擇性蝕刻的工序；使用酸性蝕刻液對(duì)所述Cu層進(jìn)行選擇性蝕刻的工序；以及使用堿性蝕刻液對(duì)所述第一Cr層進(jìn)行選擇性蝕刻的工序。全文摘要本發(fā)明提供一種感光性樹(shù)脂組合物，該感光性樹(shù)脂組合物兼具充分的耐藥品性和良好的剝離性、并且用于得到與基材上的金屬膜之間顯示良好粘合性的樹(shù)脂圖案，以及提供一種使用了這種樹(shù)脂圖案的被蝕刻基體的制造方法。本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物包含通過(guò)使來(lái)自含酸基的丙烯酸類樹(shù)脂的一部分酸基與來(lái)自含脂環(huán)族環(huán)氧基的不飽和化合物的環(huán)氧基反應(yīng)而生成的堿性可溶性樹(shù)脂(A)；三官能以上的多官能單體(B)；含氮單官能單體(C)；光聚合引發(fā)劑(D)。文檔編號(hào)G03F7/00GK101776845SQ20091021532公開(kāi)日2010年7月14日申請(qǐng)日期2009年12月23日優(yōu)先權(quán)日2008年12月25日發(fā)明者桃澤綾,植松照博,高木利哉申請(qǐng)人:東京應(yīng)化工業(yè)株式會(huì)社