專利名稱：一種cf檢測(cè)板和cf欠陷的檢測(cè)方法
一種CF檢測(cè)板和CF欠陷的檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示器(Liquid Crystal Display，簡(jiǎn)稱IXD)制造領(lǐng)域的檢測(cè)技 術(shù)，尤其涉及一種彩色濾光片(Color Filter，簡(jiǎn)稱CF)的檢測(cè)技術(shù)。
背景技術(shù)：
液晶顯示器之所以能夠?qū)崿F(xiàn)色彩的變化，主要是通過(guò)彩色濾光片的紅(R)、綠 (G)、藍(lán)(B)三種彩色光阻圖案來(lái)提供色相，依據(jù)混色原理而形成彩色顯示畫面。請(qǐng)參考圖1 現(xiàn)有彩色濾光片包括玻璃基板10、間隔形成于玻璃基板上的黑色 矩陣(Black Matrix，簡(jiǎn)稱BM) 11、在所述黑色矩陣的間隔區(qū)域形成的紅色濾光層12、綠 色濾光層13、藍(lán)色濾光層14、形成于濾光層和黑色矩陣上的保護(hù)層(OC) 15及透明導(dǎo)電層 (IT0)16o其中，濾光層(RGB)的形成方法目前以顏料分散法為主，其制造方法是以著色材 料分散在感光性樹脂中，此感光樹脂為負(fù)型，在紫外線照射下經(jīng)過(guò)光反應(yīng)(即交鏈反應(yīng))而 硬化，做往復(fù)的涂布、曝光、顯影、烘烤，可分別形成R、G、B三濾光層，然后在其濾光層和黑 色矩陣上形成保護(hù)層，最后再真空濺鍍ITO導(dǎo)電層，以形成彩色濾光片。請(qǐng)參考圖2 在CF半成品制作過(guò)程中，曝光工序是用紫外線26(UV)通過(guò)預(yù)先制作 的電極圖形掩膜板(鉻板或MASK)照射涂好感光性樹脂25的玻璃基板20的表面，通過(guò)紫 外光線進(jìn)行選擇性的照射，使受光部位的感光性樹脂發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，改變了這部分的膠膜 在顯影中的溶液度(即減小負(fù)性膠溶解度)，使未曝光的部分被顯影，從而得到所需的圖形 即紅色濾光層22、綠色濾光層23和藍(lán)色濾光層24。在使用MASK的時(shí)候，要檢查MASK是否干凈，如果MASK上線前或生產(chǎn)中被污染，在 曝光工序進(jìn)行光照射時(shí)，應(yīng)該被照射的地方因異物擋住未被照射，而在顯影機(jī)中被顯影，從 而表現(xiàn)為每一 CF產(chǎn)品中相同模號(hào)相同位置的部分顏色或整個(gè)色素消失，形成欠陷不良。目前，在CF半成品的制作過(guò)程中，針對(duì)CF欠陷不良的檢出，經(jīng)常采用的方法是目 視在綠光燈下檢出。具體地，在R、G、B單色制作工程中，每100片對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行外觀檢驗(yàn)(突 起異物及欠陷在綠燈下均表現(xiàn)為一小亮點(diǎn))，其中主要一項(xiàng)為欠陷檢查，從顯影后抽取一片 CF產(chǎn)品拿到暗室綠燈下進(jìn)行檢查手持基板分別使玻璃成為縱長(zhǎng)、橫長(zhǎng)，用氣槍吹基板的 背面、膜面，吹走浮灰，目視走線沿S方向(參考圖3)檢查缺陷，缺陷被發(fā)現(xiàn)時(shí)用氣槍吹該 處，若不能吹掉，則用油性筆在基板的背面作標(biāo)記，拿到色度計(jì)或測(cè)長(zhǎng)儀顯微鏡下，微調(diào)對(duì) 準(zhǔn)標(biāo)記區(qū)域后觀察、判定是異物還是R欠陷、G欠陷、B欠陷，以確定是哪個(gè)制程產(chǎn)生的欠陷 不良。在CF產(chǎn)品大批量生產(chǎn)過(guò)程中，發(fā)現(xiàn)在B制程表面檢驗(yàn)時(shí)有高比例的R欠陷、G欠 陷(每片CF產(chǎn)品有1 3個(gè))，而R、G本身制程中卻檢驗(yàn)不出，這樣造成CF產(chǎn)品的浪費(fèi)， 使CF產(chǎn)品制作成本提高。因此，現(xiàn)有方法無(wú)法達(dá)到理想的效果。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種CF檢測(cè)板和CF欠陷的檢測(cè)方法，解決現(xiàn)有檢查方法不能有效檢驗(yàn)出CF欠陷不良，無(wú)法達(dá)到理想效果的技術(shù)問(wèn)題。本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的一種CF檢測(cè)板，包括透光基板、遮光層、彩色濾光層，所述彩色濾光層包括第一彩 色濾光層、第二彩色濾光層、第三彩色濾光層，所述第一彩色濾光層為紅色或綠色中的一種 濾光層，第二彩色濾光層為空白濾光層，所述空白濾光層用于檢測(cè)時(shí)設(shè)置成紅色或綠色中 的另一種，第三彩色濾光層為藍(lán)色濾光層，其中，所述彩色濾光層形成于透光基板上，彩色 濾光層中濾光層的排列順序?yàn)榧t色、綠色和藍(lán)色，所述遮光層設(shè)置于透光基板上且圍設(shè)第 一、第二和第三彩色濾光層。本發(fā)明還提供一種CF欠陷的檢測(cè)方法，其特征在于當(dāng)在CF產(chǎn)品紅色制作首檢 時(shí)，在第一彩色濾光層為綠色濾光層的CF檢測(cè)板的空白濾光層上制作紅色濾光層，然后將 制作完紅色濾光層的CF檢測(cè)板進(jìn)行檢查；當(dāng)在CF產(chǎn)品綠色制作首檢時(shí)，在第一彩色濾光層 為紅色濾光層的CF檢測(cè)板的空白濾光層上制作綠色濾光層，然后將制作完綠色濾光層的 CF檢測(cè)板進(jìn)行檢查。本發(fā)明公開了一種CF檢測(cè)板，所述CF檢測(cè)板中設(shè)置有空白濾光層，當(dāng)在紅色或綠 色的單色制作過(guò)程中，可以通過(guò)CF檢測(cè)板來(lái)仿真實(shí)際CF產(chǎn)品制作時(shí)的結(jié)構(gòu)情形，達(dá)到檢出 CF欠陷不良的目的。具體地，在紅色制作首檢時(shí)，在第一彩色濾光層為綠色濾光層的CF檢 測(cè)板的空白濾光層上制作紅色濾光層，然后將制作完紅色濾光層的CF檢測(cè)板進(jìn)行檢查；再 在CF產(chǎn)品綠色制作首檢時(shí)，在第一彩色濾光層為紅色濾光層的CF檢測(cè)板的空白濾光層上 制作綠色濾光層，然后將制作完綠色濾光層的CF檢測(cè)板進(jìn)行檢查。因?yàn)橥瑯哟笮〉那废莶?良在亮度暗的背景下比在亮度高的背景下顯得更亮些，即RGB混色時(shí)的亮度要低于R、G單 色或GB或RB混色時(shí)的亮度，更容易檢出欠陷不良，有效解決了現(xiàn)有檢查方法不能有效檢驗(yàn) 出CF欠陷不良，無(wú)法達(dá)到理想效果的技術(shù)問(wèn)題。本發(fā)明的特征及優(yōu)點(diǎn)將通過(guò)具體實(shí)施方式
和附圖進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

圖1是現(xiàn)有彩色濾光片的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是現(xiàn)有彩色濾光片的RGB制作過(guò)程示意圖。圖3是現(xiàn)有彩色濾光片表面檢驗(yàn)?zāi)恳曌呔€示意圖。圖4是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種檢測(cè)板示意圖。圖5是本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種檢測(cè)板示意圖。
具體實(shí)施方式
為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下將通過(guò)實(shí)施例和附圖， 對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明， 并不用于限定本發(fā)明。一種CF檢測(cè)板，包括透光基板、遮光層、彩色濾光層，所述彩色濾光層包括第一彩 色濾光層、第二彩色濾光層、第三彩色濾光層，所述第一彩色濾光層為紅色或綠色中的一種 濾光層，第二彩色濾光層為空白濾光層，所述空白濾光層用于檢測(cè)時(shí)設(shè)置成紅色或綠色中 的另一種，第三彩色濾光層為藍(lán)色濾光層，其中，所述彩色濾光層形成于透光基板上，彩色濾光層中濾光層的排列順序?yàn)榧t色、綠色和藍(lán)色，所述遮光層設(shè)置于透光基板上且圍設(shè)第
一、第二和第三彩色濾光層。其中，透光基板通常為玻璃基板，遮光層為本領(lǐng)域常規(guī)的黑色矩陣BM;所述空白 濾光層表示的意思是該第二彩色濾光層為空白，沒有制作任何單色的濾光層，處于空白狀 態(tài)。與第一彩色濾光層和第三彩色濾光層相比，該空白濾光層在實(shí)際的制作過(guò)程中不做任 何單色的制作，當(dāng)制作完第一彩色濾光層以后，直接制作第三彩色濾光層。其中具體的制 作方法與現(xiàn)有制作彩色濾光片CF的工藝過(guò)程類似，為本領(lǐng)域技術(shù)人員所公知，在此不再贅 述。請(qǐng)參考圖4所示，為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種檢測(cè)板示意圖，具體包括透光基板 40、遮光層41、彩色濾光層，所述彩色濾光層包括第一彩色濾光層、第二彩色濾光層、第三彩 色濾光層，所述第一彩色濾光層為紅色濾光層42，第二彩色濾光層為空白濾光層43，所述 空白濾光層用于檢測(cè)時(shí)設(shè)置成綠色濾光層，第三彩色濾光層為藍(lán)色濾光層44，其中，所述彩 色濾光層形成于透光基板40上，遮光層設(shè)置于透光基板上且圍設(shè)第一、第二和第三彩色濾 光層，所述第一彩色濾光層、第二彩色濾光層和第三彩色濾光層順序重復(fù)排列于透光基板 上。與現(xiàn)有彩色濾光片CF的結(jié)構(gòu)類似，只是缺少了綠色濾光層，即把現(xiàn)有CF中的綠色濾光 層去掉，成為空白濾光層。請(qǐng)參考圖5所示，為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種檢測(cè)板示意圖，具體包括透光基 板50、遮光層51、彩色濾光層，所述彩色濾光層包括第一彩色濾光層、第二彩色濾光層、第 三彩色濾光層，所述第一彩色濾光層為綠色濾光層53，第二彩色濾光層為空白濾光層52， 所述空白濾光層用于檢測(cè)時(shí)設(shè)置成紅色濾光層，第三彩色濾光層為藍(lán)色濾光層54，其中，所 述彩色濾光層形成于透光基板50上，遮光層設(shè)置于透光基板上且圍設(shè)第一、第二和第三彩 色濾光層，所述第二彩色濾光層52、第一彩色濾光層53和第三彩色濾光層54順序重復(fù)排列 于透光基板上。與現(xiàn)有彩色濾光片CF的結(jié)構(gòu)類似，只是缺少了紅色濾光層，即把現(xiàn)有CF中 的紅色濾光層去掉，成為空白濾光層。本發(fā)明還提供一種CF欠陷的檢測(cè)方法，包括如下步驟當(dāng)在CF產(chǎn)品紅色制作首檢 時(shí)，在第一彩色濾光層為綠色濾光層的CF檢測(cè)板的空白濾光層上制作紅色濾光層，然后將 制作完紅色濾光層的CF檢測(cè)板進(jìn)行檢查；當(dāng)在CF產(chǎn)品綠色制作首檢時(shí)，在第一彩色濾光層 為紅色濾光層的CF檢測(cè)板的空白濾光層上制作綠色濾光層，然后將制作完綠色濾光層的 CF檢測(cè)板進(jìn)行檢查。彩色濾光片CF的制作方法可以采用本領(lǐng)域現(xiàn)有的方法制作，其中，紅色制作首檢 是指在紅色批量制作前，先要檢查制作的只帶有紅色單色濾光層的CF產(chǎn)品是否符合要求， 即是紅色制作首檢。因?yàn)樵诂F(xiàn)有的產(chǎn)品工藝制程中，批量生產(chǎn)前，首先要試制作1到2片只 帶有紅色濾光層的CF產(chǎn)品來(lái)檢驗(yàn)產(chǎn)品是否符合性能標(biāo)準(zhǔn)和外觀要求。而本發(fā)明中所采用 的紅色首檢是，在第一彩色濾光層為綠色濾光層的CF檢測(cè)板的空白濾光層上制作紅色濾 光層，然后將制作完紅色濾光層的CF檢測(cè)板進(jìn)行檢查，所述檢查方法與現(xiàn)有技術(shù)類似。其 中，在空白濾光層上制作紅色濾光層是在空白濾光層上采用現(xiàn)有的制作方法，完成對(duì)紅色 單色的制作，因此，根據(jù)圖5所示的結(jié)構(gòu)示意圖來(lái)看，所述的CF檢測(cè)板實(shí)際上就形成了一個(gè) 完整的彩色濾光片CF產(chǎn)品，然后再拿到暗室的綠燈下進(jìn)行檢查，實(shí)現(xiàn)明背景到暗背景的轉(zhuǎn) 換，因?yàn)橥瑯哟笮〉那废莶涣荚诹炼劝档谋尘跋卤仍诹炼雀叩谋尘跋嘛@得更亮些，更容易檢出。這里的亮度暗是指RGB混色時(shí)的亮度(本發(fā)明)，亮度高是指R單色時(shí)的亮度(現(xiàn)有 技術(shù))，因?yàn)楝F(xiàn)有技術(shù)的制作方法在開始紅色制作之前只完成了黑色矩陣BM在玻璃基板上 的制作。同理，現(xiàn)有CF產(chǎn)品綠色制作首檢是指在綠色批量制作前，先要檢查制作的帶有紅 色和綠色濾光層的CF產(chǎn)品是否符合要求，即是綠色制作首檢。現(xiàn)有CF產(chǎn)品的制作過(guò)程一 般為先制作R單色，然后是G單色，檢查方式是拿到綠燈下進(jìn)行檢查，然后判定其缺陷類型。 而本發(fā)明中所采用的綠色首檢是，在第一彩色濾光層為紅色濾光層的CF檢測(cè)板的空白濾 光層上制作綠色濾光層，然后將制作完綠色濾光層的CF檢測(cè)板進(jìn)行檢查，所述檢查方法與 現(xiàn)有技術(shù)類似。其中，在空白濾光層上制作綠色濾光層是在空白濾光層上采用現(xiàn)有的制作 方法，完成對(duì)綠色單色的制作，因此，根據(jù)圖4所示的結(jié)構(gòu)示意圖來(lái)看，所述的CF檢測(cè)板實(shí) 際上就形成了一個(gè)完整的彩色濾光片CF產(chǎn)品，然后再拿到暗室的綠燈下進(jìn)行檢查，實(shí)現(xiàn)明 背景到暗背景的轉(zhuǎn)換，因?yàn)橥瑯哟笮〉那废莶涣荚诹炼劝档谋尘跋卤仍诹炼雀叩谋尘跋嘛@ 得更亮些，更容易檢出。這里的亮度暗是指RGB混色時(shí)的亮度(本發(fā)明)，亮度高是指RB混 色時(shí)的亮度(現(xiàn)有技術(shù))，因?yàn)楝F(xiàn)有技術(shù)的制作方法在開始綠色制作之前只完成了黑色矩 陣BM在玻璃基板上的制作和R單色的制作。優(yōu)選地，所述在CF檢測(cè)板的空白濾光層上制作紅色和綠色濾光層的步驟包括清 洗、涂膠、預(yù)烘、曝光和顯影，所述清洗、涂膠、預(yù)烘、曝光和顯影與現(xiàn)有技術(shù)中的步驟一樣， 在此不再贅述。不過(guò)，與現(xiàn)有制作單色的制程相比較，少了主固化的步驟，主固化就是使感 光性樹指完全固化到玻璃基板上，缺少該步驟是為了以后的回收利用。優(yōu)選地，所述將制作完紅色和綠色濾光層的CF檢測(cè)板進(jìn)行檢查之后，還包括對(duì)CF 檢測(cè)板進(jìn)行回收的步驟。根據(jù)實(shí)際的檢測(cè)來(lái)看，一片CF檢測(cè)板最多可以使用三次，為了提 高其使用效率和節(jié)約成本，有必要對(duì)CF檢測(cè)板進(jìn)行回收后再利用。其中，對(duì)CF檢測(cè)板進(jìn)行 回收包括對(duì)第一彩色濾光層為綠色濾光層的CF檢測(cè)板和第一彩色濾光層為紅色濾光層的 CF檢測(cè)板。進(jìn)一步，所述回收步驟包括用溶劑進(jìn)行溶解，除去空白濾光層上制作的紅色和綠 色濾光層，所述溶劑可以采用稀釋劑。以下將結(jié)合具體的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明的檢測(cè)方法進(jìn)行說(shuō)明如需要生產(chǎn)型號(hào)為4152A的CF產(chǎn)品1000片，在計(jì)劃下單時(shí)下1002片，其中多投 入的2片玻璃基板跟隨量產(chǎn)制作CF檢測(cè)板，即制作成玻璃+BM+G+B(中間不做R和后續(xù)的 保護(hù)層)的檢測(cè)板，以及玻璃+BM+R+B (中間不做G和后續(xù)的保護(hù)層)的檢測(cè)板，這樣就完 成了檢測(cè)板的制作。在下一批型號(hào)為4152A工單下達(dá)以后，在R制程首檢時(shí)，可投入一片檢 測(cè)板(該檢測(cè)板為第一彩色濾光層為綠色濾光層的CF檢測(cè)板)，完成在空白濾光層上制作 R單色，然后將該檢測(cè)板拿到暗室綠燈下進(jìn)行檢查，如果沒有發(fā)現(xiàn)缺陷，則可進(jìn)行R單色的 制作；在G制程首檢時(shí)，可投入一片檢測(cè)板(該檢測(cè)板為第一彩色濾光層為紅色濾光層的 CF檢測(cè)板)，完成在空白濾光層上制作G單色，然后將該檢測(cè)板拿到暗室綠燈下進(jìn)行檢查， 如果沒有發(fā)現(xiàn)缺陷，則可進(jìn)行G單色的制作；B制程可以按照正常程序檢驗(yàn)，即按照現(xiàn)有技 術(shù)中正常的抽檢頻率(1% )及方法檢查，該制程中不需要CF檢測(cè)板。當(dāng)然，前述的檢測(cè)板 都可以回收利用，因?yàn)樵摍z測(cè)板第一次使用后R或G未固化，可以使用PGMEA對(duì)檢測(cè)板進(jìn)行 回收利用，可重復(fù)利用1-3次。
該實(shí)施方式的效果1、成本對(duì)比CF—個(gè)批次投入1000片，每片若有一粒欠陷不良，則會(huì)損失IXD(空 盒單價(jià)5元/CELL) =IOOOX 5 = 5000元；投入2片檢測(cè)板的成本為30X2 = 60元。因此， 可節(jié)約4940元，每月CF產(chǎn)能按30000片計(jì)算，可節(jié)約30批次X 4940元=148200元。2、生產(chǎn)效率因彩色濾光片中的RGB共用一塊MASK，通過(guò)左右偏移MARK對(duì)位標(biāo)記 即可完成RGB的對(duì)位制作，所以在R制程結(jié)束時(shí)再投入一片第一彩色濾光層為紅色濾光層 的CF檢測(cè)板，以保證G制程首檢無(wú)此欠陷不良，這樣能節(jié)約G表面首檢時(shí)間30分鐘，因?yàn)?現(xiàn)有技術(shù)中每個(gè)單色制程在生產(chǎn)時(shí)均需要做首檢(假設(shè)投入1000片，首檢外觀一般需要30 分鐘)，提高了生產(chǎn)效率。本發(fā)明公開了一種CF檢測(cè)板，所述CF檢測(cè)板中設(shè)置有空白濾光層，當(dāng)在紅色或綠 色的單色制作過(guò)程中，可以通過(guò)CF檢測(cè)板來(lái)仿真實(shí)際CF產(chǎn)品制作時(shí)的結(jié)構(gòu)情形，達(dá)到檢出 CF欠陷不良的目的。具體地，在紅色制作首檢時(shí)，在第一彩色濾光層為綠色濾光層的CF檢 測(cè)板的空白濾光層上制作紅色濾光層，然后將制作完紅色濾光層的CF檢測(cè)板進(jìn)行檢查；再 在CF產(chǎn)品綠色制作首檢時(shí)，在第一彩色濾光層為紅色濾光層的CF檢測(cè)板的空白濾光層上 制作綠色濾光層，然后將制作完綠色濾光層的CF檢測(cè)板進(jìn)行檢查。因?yàn)橥瑯哟笮〉那废莶?良在亮度暗的背景下比在亮度高的背景下顯得更亮些，即RGB混色時(shí)的亮度要低于R、G單 色或GB或RB混色時(shí)的亮度，更容易檢出欠陷不良，有效解決了現(xiàn)有檢查方法不能有效檢驗(yàn) 出CF欠陷不良，無(wú)法達(dá)到理想效果的技術(shù)問(wèn)題。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精 神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種CF檢測(cè)板，其特征在于，包括透光基板、遮光層、彩色濾光層，所述彩色濾光層 包括第一彩色濾光層、第二彩色濾光層、第三彩色濾光層，所述第一彩色濾光層為紅色或綠 色中的一種濾光層，第二彩色濾光層為空白濾光層，所述空白濾光層用于檢測(cè)時(shí)設(shè)置成紅 色或綠色中的另一種，第三彩色濾光層為藍(lán)色濾光層，其中，所述彩色濾光層形成于透光基 板上，彩色濾光層中濾光層的排列順序?yàn)榧t色、綠色和藍(lán)色，所述遮光層設(shè)置于透光基板上 且圍設(shè)第一、第二和第三彩色濾光層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CF檢測(cè)板，其特征在于，所述第一彩色濾光層為紅色濾光層， 所述空白濾光層用于檢測(cè)時(shí)設(shè)置成綠色濾光層，所述第一彩色濾光層、第二彩色濾光層和 第三彩色濾光層順序重復(fù)排列于透光基板上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CF檢測(cè)板，其特征在于，所述第一彩色濾光層為綠色濾光層， 所述空白濾光層用于檢測(cè)時(shí)設(shè)置成紅色濾光層，所述第二彩色濾光層、第一彩色濾光層和 第三彩色濾光層順序重復(fù)排列于透光基板上。
4.一種CF欠陷的檢測(cè)方法，其特征在于當(dāng)在CF產(chǎn)品紅色制作首檢時(shí)，在第一彩色濾 光層為綠色濾光層的CF檢測(cè)板的空白濾光層上制作紅色濾光層，然后將制作完紅色濾光 層的CF檢測(cè)板進(jìn)行檢查；當(dāng)在CF產(chǎn)品綠色制作首檢時(shí)，在第一彩色濾光層為紅色濾光層的 CF檢測(cè)板的空白濾光層上制作綠色濾光層，然后將制作完綠色濾光層的CF檢測(cè)板進(jìn)行檢 查。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的CF欠陷的檢測(cè)方法，其特征在于，所述在CF檢測(cè)板的空白濾 光層上制作紅色和綠色濾光層的步驟包括清洗、涂膠、預(yù)烘、曝光和顯影。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的CF欠陷的檢測(cè)方法，其特征在于，所述將制作完紅色和綠色 濾光層的CF檢測(cè)板進(jìn)行檢查之后，還包括對(duì)CF檢測(cè)板進(jìn)行回收的步驟。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的CF欠陷的檢測(cè)方法，其特征在于，所述回收步驟包括用溶劑 進(jìn)行溶解，除去空白濾光層上制作的紅色和綠色濾光層。
全文摘要
一種CF檢測(cè)板，包括透光基板、遮光層、彩色濾光層，所述彩色濾光層包括第一彩色濾光層、第二彩色濾光層、第三彩色濾光層，所述第一彩色濾光層為紅色或綠色中的一種濾光層，第二彩色濾光層為空白濾光層，所述空白濾光層用于檢測(cè)時(shí)設(shè)置成紅色或綠色中的另一種，第三彩色濾光層為藍(lán)色濾光層，其中，所述彩色濾光層形成于透光基板上，彩色濾光層中濾光層的排列順序?yàn)榧t色、綠色和藍(lán)色，所述遮光層設(shè)置于透光基板上且圍設(shè)第一、第二和第三彩色濾光層；本發(fā)明還公開一種利用所述CF檢測(cè)板檢測(cè)CF產(chǎn)品制作過(guò)程中欠陷不良的方法。本發(fā)明通過(guò)所述CF檢測(cè)板來(lái)仿真實(shí)際CF產(chǎn)品制作時(shí)的結(jié)構(gòu)情形，能夠有效檢驗(yàn)出CF欠陷不良的技術(shù)問(wèn)題。
文檔編號(hào)G02F1/13GK101995682SQ20091018971
公開日2011年3月30日 申請(qǐng)日期2009年8月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月22日
發(fā)明者許科偉 申請(qǐng)人:比亞迪股份有限公司