專(zhuān)利名稱(chēng)：供應(yīng)、接合驅(qū)動(dòng)電路板用的設(shè)備、方法及其盒式外殼的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于供應(yīng)驅(qū)動(dòng)電路板的設(shè)備及其盒式外殼、 一種驅(qū)動(dòng)電路 板的接合設(shè)備及其一種接合方法，以及一種具有所述接合設(shè)備的驅(qū)動(dòng)電路板的 接合系統(tǒng)，且更明確地說(shuō)，涉及一種用于供應(yīng)驅(qū)動(dòng)電路板的設(shè)備及其盒式外殼、 一種驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備及其一種接合方法，以及一種可縮短接合工藝的生 產(chǎn)間歇(tact time )的具有所述接合設(shè)備的驅(qū)動(dòng)電路板的接合系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
平板顯示器面板是可實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量圖像的圖像顯示元件。平板顯示器面板作 為高質(zhì)量圖像的下一代移動(dòng)監(jiān)視器、壁掛式電視和多媒體圖像設(shè)備而受到喜愛(ài)， 因?yàn)槠渚哂懈咔逦壬?、寬視角和低電功率消耗的?yōu)點(diǎn)。近來(lái)，對(duì)于平板顯 示器面板的關(guān)注已大大增加，且已實(shí)行其大規(guī)模生產(chǎn)及其不斷的研究。平板顯示器元件面板包括等離子顯示器面板(PDP)、液晶顯示器(LCD)、 有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)和真空熒光顯示器(VFD)等等。平板顯示器元件面 板的趨勢(shì)是其厚度持續(xù)變薄，而其尺寸持續(xù)變大。為了進(jìn)一步滿(mǎn)足所述趨勢(shì)， 將驅(qū)動(dòng)電路板(例如，PCB、 TCP、 CBF等)直接接合到平板顯示器面板(即， 襯底)并制造成統(tǒng)一化產(chǎn)品。如果將驅(qū)動(dòng)電路板直接粘合到襯底，那么其組裝和維修較容易，因?yàn)椴恍?要復(fù)雜的配線，且由于不需要單獨(dú)的配線空間而使產(chǎn)品小型化的緣故，可制造 出非常適銷(xiāo)的產(chǎn)品。接合系統(tǒng)的接合工藝主要包括將驅(qū)動(dòng)電路板附著在襯底的短邊緣上的SUS 附著工藝，和將驅(qū)動(dòng)電路板附著在襯底的長(zhǎng)邊緣上的ADD附著工藝。SUS附著 工藝和ADD附著工藝包含ACF附著工藝、預(yù)接合工藝和最終接合工藝。ACF附著工藝是將各向異性導(dǎo)電膜(anisotropic conductive film, ACF )粘合 到襯底的工藝。預(yù)接合工藝是預(yù)先將驅(qū)動(dòng)電路板接合在襯底上的ACF所粘合到 的區(qū)域上的工藝。最終接合工藝是最終將驅(qū)動(dòng)電路板粘合到襯底的接合表面的工藝，所述接合表面通過(guò)使用包含加熱器的接合器工具進(jìn)行熱壓而被預(yù)按壓。
在最終接合工藝中，預(yù)按壓在襯底上的驅(qū)動(dòng)電路板(例如，TCP)的末端通 過(guò)接合器工具而被接觸按壓。通過(guò)維持由接合器工具中包含的加熱器加熱的按
壓狀態(tài)持續(xù)約12到15秒而將TCP最終接合在襯底上。
同時(shí)，大型顯示器應(yīng)將多于20個(gè)TCP附著在襯底的長(zhǎng)邊緣上。通常，優(yōu)點(diǎn) 是，在TCP附著工藝中可通過(guò)一次按壓而縮短附著TCP的工藝時(shí)間。然而，如 果長(zhǎng)邊緣長(zhǎng)度增加，那么按壓表面長(zhǎng)度增加。因此，由于機(jī)器加工引起的誤差 或加熱器引起的熱變形等緣故，難以維持受壓表面的良好的平面性(與襯底的 接合表面平行的程度)。
如果受壓表面的平面性變差，那么施加到接合表面的按壓力不可能均勻。 因此，村底可能在施加有強(qiáng)按壓力的位置處受到損壞，且在施加有弱按壓力的 位置處TCP不可能完全按壓在襯底上。
為了解決所述問(wèn)題，已考慮一種通過(guò)在接合器工具的上部上制備具有螺栓 部件形狀的高度調(diào)節(jié)部件并在上/下方向上移動(dòng)所述高度調(diào)節(jié)部件來(lái)調(diào)節(jié)按壓表 面的平面'性的方法。
在驅(qū)動(dòng)電路板的常規(guī)接合設(shè)備中，安裝在螺栓部件形狀的末端的頭部應(yīng)以 順時(shí)針?lè)较蚧蚰鏁r(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，以便在上/下方向上移動(dòng)具有螺栓部件形狀的高 度調(diào)節(jié)部件。由于螺栓部件形狀相對(duì)較長(zhǎng)且頭部形成在螺栓部件形狀的末端上，
所以需要較大扭矩來(lái)移動(dòng)螺栓部件形狀。因此，存在的問(wèn)題是，當(dāng)將較大扭矩 施加到螺栓部件形狀的頭部時(shí)，頭部會(huì)斷裂。另外，由于螺栓部件形狀的變形 隨著螺栓部件形狀的長(zhǎng)度的不斷增加而擴(kuò)大，所以調(diào)節(jié)受壓表面的平面性變得 困難，借此使生產(chǎn)間歇延長(zhǎng)。
驅(qū)動(dòng)電路板的常規(guī)接合系統(tǒng)僅包含一個(gè)載有襯底的工作臺(tái)。因此，當(dāng)一個(gè) 工作臺(tái)運(yùn)作時(shí)(例如，ACF附著工藝、預(yù)接合工藝和最終接合工藝等)，無(wú)法在 同一工藝中進(jìn)行任何工作。因此，工作過(guò)程時(shí)間變得非常長(zhǎng)，且工藝效率變低。
為了縮短工藝時(shí)間并改進(jìn)工藝效率，已嘗試提高工作臺(tái)的轉(zhuǎn)移速度和接合 工作的速度。然而，工作臺(tái)中安全事故的可能性增加，且接合工作期間誤差增 加。
在驅(qū)動(dòng)電路板的接合系統(tǒng)中，依據(jù)驅(qū)動(dòng)電路板的類(lèi)型來(lái)選擇和使用各種類(lèi) 型的供應(yīng)設(shè)備，下文將以示意方式解釋供應(yīng)附著在襯底的短邊緣上的CBF (common block flexible printed circuit,共同塊柔性印刷電路)的CBF供應(yīng)設(shè)備。 如圖1所示，通常將多個(gè)驅(qū)動(dòng)電路板3、 4和5附著在一個(gè)長(zhǎng)邊緣和兩個(gè)短
英寸的PDP。約三個(gè)CBF 3附著在襯底G的短邊緣中的一者上。約六個(gè)FPC 5附著在另一短邊緣上，且約20個(gè)TCP6附著在襯底G的長(zhǎng)邊緣中的一者上。
圖2是說(shuō)明常規(guī)CBF盒式外殼的示意透視圖，且圖3是說(shuō)明包含圖2的常 規(guī)CBF盒式外殼的CBF供應(yīng)設(shè)備的示意前視圖。如圖2和3所示，CBF供應(yīng)設(shè) 備包括盒式外殼IO，其中多個(gè)CBF供應(yīng)盤(pán)30形成為預(yù)定框架以便接納CBF 3, 并在垂直方向上層壓；板零件20，其用于安裝盒式外殼10;和驅(qū)動(dòng)器50,其使 板零件20在預(yù)定方向上移動(dòng)。
盒式外殼IO接納在垂直方向上層壓的約15個(gè)CBF供應(yīng)盤(pán)30。 CBF供應(yīng)盤(pán) 30形成為預(yù)定框架以便接納CBF 3。工人隔離CBF 3并將CBF 3放置在CBF供 應(yīng)盤(pán)30上。每一CBF3因?yàn)槠浔恢瞥杀∧ば螤疃a(chǎn)生靜電，且因此工人應(yīng)在將 CBF 3放置在CBF供應(yīng)盤(pán)30上的同時(shí)執(zhí)行去除靜電的過(guò)程。
CBF供應(yīng)盤(pán)30可接納15個(gè)CBF3,因?yàn)?個(gè)CBF 3在水平方向上配置且3 個(gè)CBF 3在垂直方向上配置。 一個(gè)盒式外殼10可^^妻納約225個(gè)CBF 3,因?yàn)橛?于CBF供應(yīng)盤(pán)30本身的高度的緣故，盒式外殼10通常接納15個(gè)層壓的CBF 供應(yīng)盤(pán)30。
驅(qū)動(dòng)電路板的常規(guī)供應(yīng)設(shè)備，尤其是常規(guī)CBF供應(yīng)設(shè)備具有的問(wèn)題是，如 果應(yīng)將3個(gè)CBF 3供應(yīng)在一個(gè)襯底G的短邊緣上，那么僅可將CBF 3供應(yīng)到約 75個(gè)襯底G。另外，由于每當(dāng)處理襯底G時(shí)將CBF 3手動(dòng)配置在每一 CBF供 應(yīng)盤(pán)30上，所以應(yīng)安排在崗工人。因此，操作效率顯著減小，因?yàn)樵趯BF3 供應(yīng)在幾個(gè)村底G上之后需要再配置時(shí)間。
參看圖1,驅(qū)動(dòng)電路板(即，TCP 6)附著在襯底的長(zhǎng)邊緣上。為了將TCP 附著在村底上，首先附著ACF,其向形成在襯底上的圖案部分施加絕緣和粘合 特性。在單獨(dú)的工藝中通過(guò)ACF附著設(shè)備預(yù)先進(jìn)行此過(guò)程。接著，通過(guò)將完成 了 ACF附著的村底移動(dòng)到預(yù)接合單元(即，TCP接合設(shè)備)并將TCP附著在襯 底上來(lái)附著TCP。下文揭示TCP接合設(shè)備。
圖4是說(shuō)明根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的另一示范性實(shí)施例的TCP接合設(shè)備的示意平面 圖。常規(guī)TCP接合設(shè)備700包括圍繞軸向中心線731旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)730、耦 合到旋轉(zhuǎn)才幾構(gòu)730的下表面以便與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)730 —起旋轉(zhuǎn)的四個(gè)頭750、形成在 襯底G上的眼標(biāo)記(eye-mark )715，和由頭750抓取并轉(zhuǎn)移以4更接連地拍才聶TCP 6的對(duì)準(zhǔn)位置的視覺(jué)相機(jī)760。
兩個(gè)頭之間隔開(kāi)為90度的四個(gè)頭750耦合到旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)730的下表面的圓周 表面。當(dāng)四個(gè)頭750分別圍繞旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)730旋轉(zhuǎn)時(shí)，它們通過(guò)TCP裝載站(#10)、 TCP居中站(#20)、 TCP附著站(#30)和回收/等待站(#40)。為了便于解釋?zhuān)?將四個(gè)頭750分別命名為第一到第四頭751、 752、 753和754。
如果通過(guò)集中于第一頭751來(lái)解釋每一頭750的附著工藝，則第一頭751吸收一個(gè)TCP6并將其裝載在TCP裝載站(#10)。如果第一頭751完成了 TCP 6的裝載，那么第一頭751順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度并移動(dòng)到TCP居中站(#20), 且對(duì)裝載在所述位置處的TCP 6進(jìn)行簡(jiǎn)單居中。第四頭754繼續(xù)工作以將另一 TCP 6裝載在TCP裝載站(#10 )。
如果第一頭751完成了 TCP 6的居中，那么第一頭751再次順時(shí)針?lè)较蛐?轉(zhuǎn)并移動(dòng)到TCP附著站(#30 ),且將TCP 6附著在襯底G的TCP附著表面711 上。
在第一頭751將TCP 6附著在襯底G的TCP附著表面711上之前，應(yīng)進(jìn)行 襯底710的對(duì)準(zhǔn)。可通過(guò)以下步驟將村底G對(duì)準(zhǔn)在襯底臺(tái)770的精確位置處 將支撐襯底G的村底臺(tái)770移動(dòng)到視覺(jué)相機(jī)760的一位置以便對(duì)準(zhǔn)襯底G (步 驟1 ),檢查襯底上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記713之后通過(guò)襯底10的移動(dòng)而使襯底臺(tái)770后退 (步驟2 ),和通過(guò)^f艮據(jù)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記713的信息對(duì)準(zhǔn)襯底臺(tái)770而將襯底G移動(dòng)到 TCP附著站(#30)(步驟3 )。
完成襯底G的對(duì)準(zhǔn)后，通過(guò)視覺(jué)相機(jī)760再次檢查提供在TCP附著表面711 上的眼標(biāo)記715。接著應(yīng)進(jìn)行眼標(biāo)記715的對(duì)準(zhǔn)?？稍谕瓿梢r底G和形成在襯 底G的TCP附著表面711上的眼標(biāo)記715的對(duì)準(zhǔn)之后附著TCP 6。
如果完成了眼標(biāo)記715的對(duì)準(zhǔn)，那么第一頭751可在垂直方向上移動(dòng)并將 TCP 6預(yù)按壓在襯底G上。如果預(yù)按壓工藝完成，那么第一頭751順時(shí)針?lè)较?旋轉(zhuǎn)90度并移動(dòng)到回收/等待站(#40)。當(dāng)附著工藝期間產(chǎn)生有缺陷的TCP 6 時(shí)，第一頭751在回收/等待站(#40)處回收有缺陷的TCP6。當(dāng)未產(chǎn)生有缺陷 的TCP6時(shí)，第一頭751等待以便在預(yù)定時(shí)間過(guò)去之后從回收/等待站(#40)移 動(dòng)到TCP裝載站(#10)。
其它頭752、 753和754以預(yù)定時(shí)間隔開(kāi)進(jìn)行與第一頭751相同的操作。當(dāng) 第一頭751在回收/等待站(#40)處進(jìn)行預(yù)定工藝時(shí)，第二頭752在TCP附著 站(#30)處進(jìn)行TCP6附著工藝，且第三頭753在TCP居中站(#20)處進(jìn)行 TCP6居中工藝，且第四頭754在TCP裝載站(#10)處進(jìn)行TCP6附著和裝載 工藝。
在根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的另 一示范性實(shí)施例的TCP接合設(shè)備700中，頭750僅在 Z軸方向上移動(dòng)，且應(yīng)進(jìn)行上述步驟3以便對(duì)準(zhǔn)整個(gè)襯底G的位置。由于每次 可通過(guò)進(jìn)行襯底G上存在的眼標(biāo)記715的對(duì)準(zhǔn)來(lái)完成TCP 6附著對(duì)準(zhǔn)，所以附 著一個(gè)TCP 6需要進(jìn)行許多操作，借此使生產(chǎn)間歇變長(zhǎng)且生產(chǎn)率降級(jí)。
TCP 6不對(duì)準(zhǔn)而是在TCP居中站(#20)處簡(jiǎn)單地居中，且因此可在TCP 附著站(#30 )處，通過(guò)進(jìn)行檢查T(mén)CP 6和襯底G的眼標(biāo)記與視覺(jué)相機(jī)760的對(duì) 準(zhǔn)位置的過(guò)程來(lái)進(jìn)行TCP 6附著工藝。因此，存在的問(wèn)題是，因?yàn)闄z查過(guò)程使生產(chǎn)間歇變長(zhǎng)而導(dǎo)致生產(chǎn)率降低。
旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)730的每個(gè)4皮分為4個(gè)部分的區(qū)域與一個(gè)頭750耦合。因此，存 在的問(wèn)題是，無(wú)法每單位時(shí)間附著許多TCP。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的一目的是提供一種驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備，其可通過(guò)當(dāng)調(diào) 節(jié)按壓襯底的接合表面的接合器工具的按壓表面的平面性時(shí)防止螺栓部件發(fā)生 斷裂損壞，并容易地調(diào)節(jié)受壓表面的平面性，借此來(lái)縮短接合工藝的生產(chǎn)間歇。
根據(jù)本發(fā)明的另一目的，提供一種驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備及其一種接合方 法，和一種驅(qū)動(dòng)電路板的接合系統(tǒng)，其可縮短生產(chǎn)間歇并改進(jìn)操作效率而不會(huì) 過(guò)分對(duì)工作臺(tái)使用過(guò)度。
根據(jù)本發(fā)明的又一目的，提供一種用于供應(yīng)驅(qū)動(dòng)電路板的設(shè)備及其盒式外 殼，其可通過(guò)有效地供應(yīng)驅(qū)動(dòng)電路板并顯著減少供應(yīng)驅(qū)動(dòng)電路板所需的在崗人 力來(lái)改進(jìn)驅(qū)動(dòng)電路板的接合操作效率。
根據(jù)本發(fā)明的又一目的，提供一種驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備，其可縮短在襯 底上附有驅(qū)動(dòng)電路板時(shí)所需的生產(chǎn)間歇且每單位時(shí)間附有更多的驅(qū)動(dòng)電路板， 借此改進(jìn)制造效率。
以下描述內(nèi)容中將部分地陳述本發(fā)明的額外優(yōu)點(diǎn)、目的和特征，且所屬領(lǐng) 域的一般技術(shù)人員通過(guò)查看以下描述將部分地了解所述額外優(yōu)點(diǎn)、目的和特征， 或可通過(guò)實(shí)踐本發(fā)明來(lái)了解所述額外優(yōu)點(diǎn)、目的和特征。
根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備，所述接合設(shè)備包
其中按壓?jiǎn)卧?按壓主體，^經(jīng)提供以便接近上襯底上的接合表面和與接 合表面隔開(kāi)；接合器工具，其具有按壓表面，當(dāng)將驅(qū)動(dòng)電路板按壓到接合表面 時(shí)，按壓表面接觸在驅(qū)動(dòng)電路板上；多個(gè)高度調(diào)節(jié)部件，其調(diào)節(jié)按壓表面相對(duì) 于接合表面的位移以獲得接合器工具的按壓表面的平面性；旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)零件，其 提供在高度調(diào)節(jié)部件上，且提供在高度調(diào)節(jié)部件的處于按壓主體與接合器工具 之間的區(qū)域上以便調(diào)節(jié)高度調(diào)節(jié)部件的旋轉(zhuǎn)。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備，所述接合設(shè)備 包含工作單元，其執(zhí)行將驅(qū)動(dòng)電路板接合在襯底上的工作；多個(gè)工作臺(tái)，其 在支撐襯底的同時(shí)將襯底轉(zhuǎn)移到工作單元；多個(gè)裝載/卸載零件，其將襯底裝載 到工作臺(tái)或從工作臺(tái)卸載襯底；以及控制單元，其控制所述多個(gè)工作臺(tái)彼此交 替地向工作單元的移動(dòng)，使得當(dāng)所述多個(gè)工作臺(tái)中的一者放置在工作單元處以 便執(zhí)行接合驅(qū)動(dòng)電路板的工作時(shí)，其它工作臺(tái)在每一裝載/卸載零件處執(zhí)行裝載或卸載工作。
根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供一種驅(qū)動(dòng)電路板的接合方法，所述接合方法 包含將裝載有第一襯底的第一工作臺(tái)移動(dòng)到工作單元，在所述工作單元處驅(qū)
動(dòng)電路板接合在襯底上；當(dāng)在工作單元處執(zhí)行第 一襯底的工作的同時(shí)將第二襯 底裝載在第二工作臺(tái)上；以及在第一襯底的工作完成時(shí)，將第一工作臺(tái)移動(dòng)到 第一裝載/卸載零件以卸載第一襯底，并將第二工作臺(tái)移動(dòng)到工作單元。
根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供一種驅(qū)動(dòng)電路板的接合系統(tǒng)，所述接合系統(tǒng) 包含驅(qū)動(dòng)電路板的多個(gè)接合設(shè)備，其用于將驅(qū)動(dòng)電路板接合到裝載在工作臺(tái) 上的襯底；以及裝載器，其分別提供在驅(qū)動(dòng)電路板的所述多個(gè)接合設(shè)備之間以 便將從一個(gè)驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備卸載的襯底裝載到驅(qū)動(dòng)電路板的另一相鄰的 接合設(shè)備，其中驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備包含工作單元，其執(zhí)行將驅(qū)動(dòng)電路板 接合在村底上的工作；第一和第二工作臺(tái)，其在支撐襯底的同時(shí)將村底轉(zhuǎn)移到 工作單元；第一和第二裝載/卸載零件，其彼此相對(duì)而配置并在所提供的工作單 元之間隔開(kāi)以便對(duì)應(yīng)于第一和第二工作臺(tái)；以及控制單元，其進(jìn)行控制以使得 當(dāng)?shù)谝还ぷ髋_(tái)放置在工作單元處以執(zhí)行接合驅(qū)動(dòng)電路板的工作時(shí)，第二工作臺(tái) 將襯底裝載在第二裝載/卸載零件上，且當(dāng)?shù)?一工作臺(tái)從第 一裝載/卸載零件卸載 襯底時(shí)，第二工作臺(tái)放置在工作單元處。
根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供一種驅(qū)動(dòng)電路板的供應(yīng)設(shè)備，所述供應(yīng)設(shè)備 包含多個(gè)盒式外殼，其接納待層壓作為供應(yīng)對(duì)象的多個(gè)驅(qū)動(dòng)電路板;外殼移 動(dòng)單元，其將所述多個(gè)盒式外殼彼此交替地移動(dòng)到工作位置，從驅(qū)動(dòng)電路板從 盒式外殼卸載的工作位置轉(zhuǎn)移到與所述工作位置隔開(kāi)預(yù)定距離的等待位置。
根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供一種驅(qū)動(dòng)電路板的供應(yīng)設(shè)備的盒式外殼，所 述盒式外殼包含第一外殼體，其接納待層壓的多個(gè)驅(qū)動(dòng)電路板，并在一個(gè)表 面上具有卸載單層驅(qū)動(dòng)電路板的卸載零件；第二外殼體，其耦合到與所述第一 外殼體相對(duì)的另一表面；支撐零件，其支撐層壓在第一外殼體中的驅(qū)動(dòng)電路板； 以及彈性部件，其提供在支撐零件與第二外殼體之間以便在支撐零件相對(duì)于第 二外殼體彼此隔開(kāi)的方向上彈性偏移。
根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供一種驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備，所述接合設(shè)備 包含至少一個(gè)頭，其抓取驅(qū)動(dòng)電路板并附著在襯底的驅(qū)動(dòng)電路板的附著表面 上；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其耦合到至少一個(gè)頭以便移動(dòng)至少一個(gè)頭；對(duì)準(zhǔn)位置檢測(cè)單元， 其獲得形成在驅(qū)動(dòng)電路板的附著表面上的眼標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)位置信息和由頭抓取的 驅(qū)動(dòng)電路板的對(duì)準(zhǔn)位置信息中的至少一者；控制單元，其基于從對(duì)準(zhǔn)位置檢測(cè) 單元獲得的信息來(lái)控制頭的移動(dòng)，使得由頭抓取的驅(qū)動(dòng)電路板對(duì)準(zhǔn)以便對(duì)應(yīng)于 眼標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)位置。根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供一種驅(qū)動(dòng)電路板的接合方法，所述接合方法 包含獲得關(guān)于形成在襯底G的驅(qū)動(dòng)電路板的附著表面上的眼標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)位置
的信息，以設(shè)定驅(qū)動(dòng)電路板的附著位置的標(biāo)準(zhǔn)；獲得關(guān)于驅(qū)動(dòng)電路板在抓取待 附著在驅(qū)動(dòng)電路板的附著表面上的驅(qū)動(dòng)電路板的頭上的對(duì)準(zhǔn)位置的信息；以及 基于在眼標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)位置信息獲取步驟和驅(qū)動(dòng)電路板的對(duì)準(zhǔn)位置信息獲取步驟 中獲得的信息來(lái)控制頭的相對(duì)移動(dòng)，使得驅(qū)動(dòng)電路板的對(duì)準(zhǔn)位置可與眼標(biāo)記的 對(duì)準(zhǔn)位置對(duì)準(zhǔn)。


從以下結(jié)合附圖而作出的詳細(xì)描述中將更加了解本發(fā)明的上述和其它目 的、特征及優(yōu)點(diǎn)，其中
圖1是說(shuō)明襯底的透視圖。
圖2是說(shuō)明根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的一個(gè)示范性實(shí)施例的CBF盒式外殼的示意透視圖。
圖3是說(shuō)明包含CBF盒式外殼的CBF供應(yīng)設(shè)備的示意前視圖。 圖4是說(shuō)明根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的另 一示范性實(shí)施例的TCP接合設(shè)備的平面圖。 圖5是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示范性實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備的示 意圖。
圖6和7分別是說(shuō)明圖5的預(yù)接合單元和按壓?jiǎn)卧囊晥D。 圖8和9是說(shuō)明圖7的按壓?jiǎn)卧纳习磯簡(jiǎn)卧那耙晥D和分解側(cè)視圖。 圖10和11是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的另一示范性實(shí)施例的按壓?jiǎn)卧纳习磯簡(jiǎn)?元的分解側(cè)視圖。圖12是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的另 一 示范性實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)電路板的接合系統(tǒng)的示 意模擬圖。
圖13和14分別是說(shuō)明圖12的接合系統(tǒng)中包含的ACF附著單元的構(gòu)造的 示意模擬圖和前視圖。
圖15和16分別是說(shuō)明圖12的接合系統(tǒng)中包含的預(yù)接合單元的構(gòu)造的示意 模擬圖和前^見(jiàn)圖。
圖17和18分別是說(shuō)明圖12的接合系統(tǒng)中包含的按壓?jiǎn)卧臉?gòu)造的示意模 擬圖和前^L圖。
圖19是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的又一示范性實(shí)施例的CBF供應(yīng)設(shè)備的平面圖。
圖20和21是圖19的前視圖和側(cè)視圖。
圖22是示意說(shuō)明圖19所示的CBF盒式外殼的透視圖。
圖23是圖22的分解橫截面圖。圖24是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的又 一 示范性實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備的透 視圖。
圖25是圖24的平面圖。
圖26是解釋圖24所示的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備的頭結(jié)構(gòu)的透視圖。 圖27是說(shuō)明圖24所示的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備的控制方框圖。 圖28是說(shuō)明圖24所示的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備的接合方法的流程圖。 圖29是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的又 一 示范性實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備的示 意平面圖。
具體實(shí)施例方式
下文中，將參看附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。通過(guò)參看附圖參照待
方法。然而，本發(fā)明不限于下文揭示的實(shí)施例，而是可以各種形式實(shí)施。描述 中界定的內(nèi)容(例如，具體構(gòu)造和元件)只是為了幫助所屬領(lǐng)域的一般技術(shù)人 員全面理解本發(fā)明而提供的特定細(xì)節(jié)，且本發(fā)明僅界定在所附權(quán)利要求書(shū)的范 圍內(nèi)。在對(duì)本發(fā)明的整個(gè)描述中，各圖中，相同附圖參考標(biāo)號(hào)用于表示相同元 件。
下文中，襯底可以是可用于LCD、 PDP和OLED中的平板顯示器面4反的任 何襯底。電路板可以是FPC ( flexible printed circuit,柔性印刷電路)、TCP (tape carriage package,帶載封裝)、PCB ( printed circuit board,印刷電路板)和CBF (common block FPC,共同塊FPC)中的任何一者。
圖5是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示范性實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備的示 意圖。
參看圖5,驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備100包含臺(tái)零件102、裝載/卸載零件104、 ACF附著單元110、預(yù)接合單元120和最終接合單元130。
并將所接收的襯底G移動(dòng)到裝載/卸載位置、預(yù)受壓位置和受壓位置。
裝載/卸載零件104將襯底G裝載到臺(tái)零件102,并將完成的襯底G卸載到 臺(tái)零件102。
ACF附著單元110切割A(yù)CF (各向異性導(dǎo)電膜)，將ACF附著在襯底G的 接合表面上，并對(duì)其進(jìn)行按壓。ACF插在驅(qū)動(dòng)電路板C與襯底G的接合表面之 間，并將驅(qū)動(dòng)電路板C粘合在襯底G的接合表面上。
參看圖6,預(yù)接合單元120包含預(yù)接合單元122。預(yù)接合單元122包含上/ 下方向上的上按壓?jiǎn)卧?22b和下支撐件122a。預(yù)接合單元122輕柔地將驅(qū)動(dòng)電路板C按壓在襯底G的接合表面上并使其
固定。上按壓?jiǎn)卧?22b通過(guò)配置在預(yù)接合單元122的上部中的圓柱體而在上/ 下方向上移動(dòng)。提供下支撐件122a,使其面積大于受壓的驅(qū)動(dòng)電路板C。
在預(yù)接合單元120中，進(jìn)一步提供視覺(jué)單元(未圖示)以便通過(guò)精確地測(cè) 量襯底G和驅(qū)動(dòng)電路板C的每一位置而將驅(qū)動(dòng)電路板C設(shè)定在村底G的接合表 面的精確位置上。驅(qū)動(dòng)電路4反C應(yīng)精確地按壓在襯底G的接合位置處。這是因 為需要精確地抓取襯底G和驅(qū)動(dòng)電路板C的位置，且因此提供視覺(jué)單元。視覺(jué) 單元包含用于對(duì)準(zhǔn)襯底G的視覺(jué)裝置和用于對(duì)準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)電路板C的視覺(jué)裝置。襯 底G和驅(qū)動(dòng)電路板C通過(guò)使用由兩個(gè)視覺(jué)裝置測(cè)量到的位置信息而精確地相符。
預(yù)接合單元122額外包含筒形加熱器(未圖示)以將預(yù)接合單元122的溫 度提高到適當(dāng)溫度。筒形加熱器安裝在下支撐件122a和上按壓?jiǎn)卧?22b上， -使得通過(guò)在施加壓力時(shí)提高村底G和驅(qū)動(dòng)電路板C的溫度而容易地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)電 路板C的預(yù)接合。
參看圖7，最終接合單元130包含硅片的自動(dòng)巻取單元160、特氟綸片的自 動(dòng)巻取單元160、上按壓?jiǎn)卧?40和支持按壓?jiǎn)卧?50。
珪片的自動(dòng)巻取單元160分別配置在上按壓?jiǎn)卧?40的左側(cè)和右側(cè)，并自 動(dòng)巻取硅片。特氟綸片的自動(dòng)巻取單元160分別配置在上按壓?jiǎn)卧?40的左側(cè) 和右側(cè)，并自動(dòng)巻取特氟綸片。上按壓?jiǎn)卧?40通過(guò)配置在上按壓?jiǎn)卧?40中 的圓柱體而在上/下方向上移動(dòng)，且因此在從驅(qū)動(dòng)電路板C的上部向下部的方向 上施力口壓力。
支持按壓?jiǎn)卧?50配置在上按壓?jiǎn)卧?40的下側(cè)以便支撐襯底G的下部， 且可在上/下方向上移動(dòng)。
在最終接合期間，由預(yù)接合單元120預(yù)按壓的襯底G和驅(qū)動(dòng)電路板C配置 在最終接合單元130的上按壓?jiǎn)卧?40與支持按壓?jiǎn)卧?50之間，并通過(guò)上按 壓?jiǎn)卧?40的向下移動(dòng)而被按壓。
最終接合單元130包含配置在上按壓?jiǎn)卧?40和支持按壓?jiǎn)卧?50的受壓 表面上的電離器(未圖示)，用于去除襯底G和驅(qū)動(dòng)電路板C上存在的離子。
圖8是圖7的最終接合單元的上按壓?jiǎn)卧那耙晥D，且圖9是圖4的最終 接合單元的上按壓?jiǎn)卧姆纸鈧?cè)視圖。
參看圖8和9，上按壓?jiǎn)卧?40包含最終接合體142、接合器工具146、高 度調(diào)節(jié)部件144，和調(diào)節(jié)高度調(diào)節(jié)部件144的旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)零件145。
最終接合體142接收?qǐng)A柱體的驅(qū)動(dòng)力并將按壓力通過(guò)多個(gè)高度調(diào)節(jié)部件144 而轉(zhuǎn)移到接合器工具146。最終接合體142通過(guò)上/下移動(dòng)而接近配置在支持按 壓?jiǎn)卧?50上的襯底G的接合表面和與所述接合表面隔開(kāi)。在最終接合體142的下端部分上形成多個(gè)內(nèi)側(cè)具有螺紋的第一螺旋孔142a,使得高度調(diào)節(jié)部件144 可耦合到螺桿。
參看圖9，接合器工具146包含支撐體146b、加熱器146c和按壓棒146d。 在支撐體146b的上端部分上形成第二螺旋孔146a,用于螺旋耦合到高度調(diào)
節(jié)部件144，且用于對(duì)按壓棒146d進(jìn)行加熱的加熱器146c安裝在支撐體146b內(nèi)部。
在按壓襯底G之前，加熱器146c對(duì)按壓棒146d進(jìn)行加熱，且當(dāng)襯底G被 按壓時(shí)ACF通過(guò)按壓棒146d將熱量傳遞到電路板和襯底G,以便通過(guò)ACF施 加電流并通過(guò)ACF而以物理形式接觸。
按壓棒146d—體式地提供在支撐體146b的下表面上。按壓棒146d的下表 面(即，按壓表面147 )與電路板接觸以便按壓襯底G的接合表面。
高度調(diào)節(jié)部件144耦合到接合器工具146和預(yù)接合主體以調(diào)節(jié)按壓表面147 圍繞接合表面的位移，以獲得接合器工具146的按壓表面147的平面性。提供 多個(gè)高度調(diào)節(jié)部件144并使其彼此隔開(kāi)。每一高度調(diào)節(jié)部件144可調(diào)節(jié)按壓表 面147中預(yù)定區(qū)域的按壓表面147圍繞接合表面的相對(duì)位移。
高度調(diào)節(jié)部件144包含主體144a、提供在主體144a的上端部分上的第一螺 旋零件144b,和提供在主體144a的下端部分上的第二螺旋零件144c。
第一螺旋零件144b —體式地形成在主體144a的上端部分上。在第一螺旋 零件的圓周處形成與按壓主體142的第一螺旋孔142a的內(nèi)側(cè)中形成的螺紋相同 方向的螺紋，使得第一螺旋零件144b具有可螺旋耦合到第一螺旋孔142a的結(jié) 構(gòu)。
第二螺旋零件144c一體式地形成在主體144a的下端部分上。在第二螺旋零 件144c的圓周處形成與接合器工具的第二螺旋孔146a的內(nèi)側(cè)中形成的螺紋相同 方向的螺紋，使得第二螺旋零件144c具有可螺旋耦合到第 一螺旋孔146a的結(jié)構(gòu)。
形成在第一螺旋孔142a和第一螺旋零件144b中的螺紋的方向?yàn)樽笮菁y， 且形成在第二螺旋孔146a和第二螺旋零件144c中的螺紋的方向?yàn)橛倚菁y，以 便彼此形成在相對(duì)方向上。當(dāng)然，相反的情況也是可能的。
旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)零件145 —體式地形成，以便在高度調(diào)節(jié)零件144的第一螺旋零 件144b與第二螺旋零件144c之間主體144a的縱向方向的中部，朝向半徑方向 突出。旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)零件145具有六邊形螺母形狀，且可通過(guò)使用例如扳手等工具 施加扭矩而使高度調(diào)節(jié)零件144順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)零件145與高 度調(diào)節(jié)零件144 一體式地形成，但不限于這種情況。因此，由單獨(dú)部件形成的 旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)零件145可耦合到高度調(diào)節(jié)零件144的主體144a。
參看圖8和9,下文將解釋調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備100的最終接合單元130中上按壓?jiǎn)卧?40的按壓表面的平面性的過(guò)程。
接合器工具146中提供的按壓棒146d的按壓表面147應(yīng)維持與接合表面平 行以便將恒定壓力施加到村底G的總體接合表面。換句話說(shuō)，應(yīng)恒定地維持總 體按壓表面147與總體接合表面之間的距離。然而，由于機(jī)械處理引起的誤差 或加熱器引起的熱變形的緣故，可能不能恒定地維持按壓表面147與接合表面 之間的距離。因而，應(yīng)恒定地調(diào)節(jié)按壓表面147與接合表面之間的距離。
參看圖8,如果右按壓表面147b的位置高于左按壓表面147a,也就是說(shuō)， 如果從右按壓表面147b到接合表面的距離長(zhǎng)于從左按壓表面147a到接合表面 的距離，那么下文將解釋調(diào)節(jié)按壓表面147的平面性的方法。
由于每一高度控制零件144的第一螺旋零件144b與第二螺旋零件144c分 別由左旋螺紋和右旋螺紋組成，所以當(dāng)使高度控制零件144逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，接 合器工具146與最終接合體142隔開(kāi)。
通過(guò)使用扳手而使提供在高度調(diào)節(jié)零件144中在右按壓表面147b附近的旋 轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)零件145逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，使得右按壓表面與最終接合體142隔開(kāi)直到右按 壓表面的高度變?yōu)榕c左按壓表面的高度相同為止。接著，接合器工具146的按 壓表面147大體上變?yōu)槠叫杏诖宓譍的接合表面。提供在高度調(diào)節(jié)零件144中 在左按壓表面147b附近的旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)零件145順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，使得從左按壓表面 147b到接合表面的距離可增加。
每一螺旋零件144b和144c分別提供在高度調(diào)節(jié)部件144的主體144a的上 部和下部，且旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)零件145提供在高度調(diào)節(jié)部件144的主體144a的中心區(qū) 域上以便將扭矩施加到高度調(diào)節(jié)部件144。接著，從旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)零件145到高度調(diào) 節(jié)部件144的螺旋零件144b和144c的距離與常規(guī)情況相比近似減小一半，且 通過(guò)相同扭矩施加到螺旋零件144b和144c的應(yīng)力近似減小一半。為此，與常 規(guī)情況相比，高度調(diào)節(jié)部件144損壞和形狀變形的可能性顯著減小。
高度調(diào)節(jié)部件144的螺旋零件144b和144c提供在兩個(gè)位置處，以便彼此 在相對(duì)方向上形成螺紋。因此，當(dāng)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)零件145的旋轉(zhuǎn)角度相同時(shí)，接合 器工具146接近預(yù)接合主體142或與預(yù)接合主體142隔開(kāi)的距離增加，使得容 易調(diào)節(jié)接合器工具146的按壓表面147的高度，且可通過(guò)縮短調(diào)節(jié)時(shí)間而縮短 接合工藝的生產(chǎn)間歇。
下文中，將解釋本發(fā)明的其它示范性實(shí)施例。下文將省略對(duì)于與一個(gè)示范 性實(shí)施例中描述的構(gòu)成和操作相同的構(gòu)成和操作的解釋。
圖IO是根據(jù)本發(fā)明的另一示范性實(shí)施例的最終接合單元的上按壓?jiǎn)卧姆?解透^見(jiàn)側(cè)一見(jiàn)圖。
最終接合單元的上按壓?jiǎn)卧?40包含按壓主體242、接合器工具246、高度調(diào)節(jié)部件244和旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)零件245。
外側(cè)形成有螺紋的第一螺旋突出部242a—體式地提供在按壓主體242的下 端部分上。外側(cè)形成有螺紋的第二螺旋突出部246a —體式地提供在接合器工具 246的上部上。
內(nèi)側(cè)形成有螺紋的第一螺旋孔244b提供在每一高度調(diào)節(jié)部件244的主體 244a的上端部分上。內(nèi)側(cè)形成有螺紋的第二螺旋孔244c提供在主體244a的下 端部分上。
按壓主體242和高度調(diào)節(jié)部件244可通過(guò)第 一螺旋突出部242a與第 一螺旋 孔244b之間的螺旋耦合而耦合。高度調(diào)節(jié)部件244和接合器工具246可通過(guò)第 二螺旋孔244c與第二螺旋突出部246a之間的螺旋耦合而耦合。
形成在第一螺旋突出部242a與第一螺旋孔244b之間以及第二螺旋孔244c 與第二螺旋突出部246a之間的螺紋彼此在相對(duì)方向上。因此，通過(guò)使高度調(diào)節(jié) 部件244順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)而使接合器工具146接近預(yù)接合主體142或與預(yù) 接合主體142隔開(kāi)，且可通過(guò)適當(dāng)調(diào)節(jié)多個(gè)高度調(diào)節(jié)部件244來(lái)調(diào)節(jié)接合器工 具246的按壓表面247相對(duì)于接合表面的相對(duì)位移。
圖11是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的另一示范性實(shí)施例的按壓?jiǎn)卧纳习磯簡(jiǎn)卧姆?解側(cè)視圖。
參看圖11,如上述實(shí)施例，旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)零件345在縱向方向上形成在高度調(diào) 節(jié)部件344的主體344a的中部。然而，與所述實(shí)施例不同， 一對(duì)工具插入凹槽 345提供在垂直于中心軸的方向上。旋轉(zhuǎn)桿插入到工具插入凹槽345中，使得高 度調(diào)節(jié)部件344可順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)。因此，可通過(guò)適當(dāng)調(diào)節(jié)多個(gè)高度調(diào)節(jié) 部件344來(lái)調(diào)節(jié)接合器工具346的按壓表面347相對(duì)于接合表面的相對(duì)位移。
在上述實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備包含預(yù)接合單元和最終接合設(shè)備。 按壓?jiǎn)卧罱K接合設(shè)備的上按壓?jiǎn)卧８鶕?jù)本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè) 備可以是預(yù)接合單元本身或最終接合單元本身。如果根據(jù)本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)電路板 的接合設(shè)備是預(yù)接合設(shè)備，那么根據(jù)本發(fā)明的按壓?jiǎn)卧梢允穷A(yù)接合單元。
圖12是示意說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的另 一示范性實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)電路板的接合系統(tǒng) 的模擬圖。圖13是說(shuō)明圖12的接合系統(tǒng)中包含的ACF附著單元的構(gòu)造的示意 模擬圖。圖14是說(shuō)明圖12的接合系統(tǒng)中包含的ACF附著單元的構(gòu)造的前視圖。 圖15是說(shuō)明圖12的接合系統(tǒng)中包含的預(yù)接合單元的構(gòu)造的示意模擬圖。圖16 是說(shuō)明圖12的接合系統(tǒng)中包含的預(yù)接合單元的構(gòu)造的前視圖。圖17是說(shuō)明圖 12的接合系統(tǒng)中包含的按壓?jiǎn)卧臉?gòu)造的示意模擬圖。圖18是說(shuō)明圖12的接 合系統(tǒng)中包含的按壓?jiǎn)卧臉?gòu)造的前視圖。
驅(qū)動(dòng)電路板的接合系統(tǒng)400包含ACF附著單元410,其將各向異性導(dǎo)電膜(ACF)附著到襯底G;預(yù)接合單元420，其將驅(qū)動(dòng)電路板C固定在附著有 ACF的襯底G上；最終接合單元430，其最終接合由預(yù)接合單元420固定在襯 底G上的驅(qū)動(dòng)電路板C;和轉(zhuǎn)移設(shè)備，其分別提供在ACF附著單元410與預(yù)接 合單元420之間以及預(yù)接合單元420與最終接合單元430之間。
參看圖12， ACF附著單元410包含工作臺(tái)411a和411b，其支撐村底G; 裝載和卸載單元412a和412b，其將襯底G裝載在工作臺(tái)411a和411b上或/人工 作臺(tái)411a和411b卸載襯底G; ACF附著單元415,其將ACF粘合到裝載在工 作臺(tái)411a和411b上的襯底G并對(duì)應(yīng)于ACF附著單元410的工作單元；和控制 單元(未圖示)，其大體上控制ACF附著單元410的工作。
襯底G力文置在工作臺(tái)411a和411b的上表面上。工作臺(tái)411a和411b通過(guò) 移動(dòng)導(dǎo)引件111而在裝載/卸載零件412a和412b與ACF附著單元415之間往復(fù) 運(yùn)動(dòng)。需要工作臺(tái)411a和411b真空吸收襯底G以便穩(wěn)定地支撐襯底G。為此， 需要在工作臺(tái)411a和411b處形成與真空泵(未圖示)連通的真空吸收孔，但不 限于這種情況。
工作臺(tái)411a和411b包含第一工作臺(tái)411a和第二工作臺(tái)411b。兩個(gè)工作臺(tái) 411a和411b分別對(duì)應(yīng)于第一和第二裝載/卸載單元412a和412b,使得兩項(xiàng)工作 (即，ACF附著工作和襯底G的裝載/卸載工作)同時(shí)執(zhí)行。
裝載/卸載零件412a和412b包含第一裝載/卸載零件412a和第二裝載/卸載 零件412b,其提供在ACF附著單元415的兩端以便彼此相對(duì)。第一裝載/卸載 零件412a對(duì)應(yīng)于第一工作臺(tái)411a,在第一裝載/卸載零件412a處，襯底G裝載 在第一工作臺(tái)411a上，或^^第一工作臺(tái)411a卸載襯底G。類(lèi)似地，第二裝載/ 卸載零件412b對(duì)應(yīng)于第二工作臺(tái)411b,在第二裝載/卸載零件412b處，襯底G 裝載在第二工作臺(tái)411b上，或從第二工作臺(tái)411b卸載襯底G。
ACF附著單元415將ACF切割、附著并按壓在襯底G上。如圖14所示， ACF附著單元415包含膜切割單元416,其將ACF切割成所需尺寸；保護(hù)帶 剝離單元417，其從切割的ACF剝離保護(hù)帶；膜移動(dòng)單元418,其將切割的ACF 移動(dòng)到附著區(qū)；和膜粘合單元419,其將ACF粘合到襯底G。
需要膜切割單元416通過(guò)不完全切割方法將ACF切割成必需的尺寸，但不 限于這種情況。保護(hù)帶剝離單元417剝離覆蓋的保護(hù)帶以便保護(hù)ACF使其不受 空氣中的濕氣或外來(lái)物質(zhì)的影響。膜粘合單元419將ACF粘合在襯底G的粘合 表面上并施加熱和壓力以i"更粘合ACF。
控制單元大體上控制ACF附著單元410的電和機(jī)械操作?？刂茊卧瑪?shù) 字信號(hào)處理器(digital signal processor, DSP )、微處理器和微控制單元等，或可 由其中任一者組成。將以ACF附著單元410的功能原理來(lái)解釋控制單元的控制過(guò)程。
參看圖13,如果第一村底G1放置在第一工作臺(tái)411a的上表面上，那么第 一工作臺(tái)411a真空吸收第一襯底Gl，并在穩(wěn)定支撐狀態(tài)下跟隨移動(dòng)導(dǎo)引件414 進(jìn)入ACF附著單元415中。如果第一村底Gl進(jìn)入ACF附著單元415中，那么 膜切割單元416將ACF切割成適當(dāng)尺寸，并通過(guò)保護(hù)帶剝離單元417在剝離狀 態(tài)下將ACF移動(dòng)到膜粘合單元419。膜粘合單元419通過(guò)按壓ACF將ACF附 著在第一村底Gl上。
在進(jìn)行這項(xiàng)工作的同時(shí)，將第二襯底G2裝載在位于第二裝載/卸載零件412b 處的第二工作臺(tái)411b上。
如圖13所示，如果ACF附著在第一襯底Gl上，那么第一工作臺(tái)411a跟 隨移動(dòng)導(dǎo)引件414移動(dòng)到第一裝載/卸載零件412a。同時(shí)，第二工作臺(tái)411b跟 隨移動(dòng)導(dǎo)引件414進(jìn)入ACF附著單元415中。如果第二襯底G2進(jìn)入ACF附著 單元415中，那么膜切割單元416將ACF切割成適當(dāng)尺寸，并通過(guò)保護(hù)帶剝離 單元417在剝離狀態(tài)下將ACF移動(dòng)到膜粘合單元419。膜粘合單元419通過(guò)按 壓ACF將ACF附著在第二襯底G2上。
在進(jìn)行第二襯底G2的工作的同時(shí)，從位于第一裝載/卸載零件412a處的第 一工作臺(tái)411a卸載第一襯底Gl，并裝載第三襯底(G3，圖12所示)。
類(lèi)似地，如果ACF附著在第二襯底G2上，那么第二工作臺(tái)411b跟隨移動(dòng) 導(dǎo)引件414移動(dòng)到第二裝載/卸載零件412b,且第一工作臺(tái)411a跟隨移動(dòng)導(dǎo)引 件414進(jìn)入ACF附著單元415中。當(dāng)將ACF附著在裝載在第一工作臺(tái)411a上 的第三襯底G3上時(shí)，從第二工作臺(tái)411b卸載第二襯底G2,并裝載第四襯底(G4, 圖12所示)。
控制單元控制ACF附著單元410以l更重復(fù)地連續(xù)執(zhí)行上述程序。 參看圖15,預(yù)接合單元420包含工作臺(tái)421a和421b;裝載/卸載零件422a 和422b,其將襯底Gl裝載在工作臺(tái)421a和421b上；預(yù)接合單元425,其對(duì)應(yīng) 于預(yù)接合單元420的工作單元，其中驅(qū)動(dòng)電路板固定在裝載在工作臺(tái)421a和 421b上的襯底G上；和控制單元(未圖示)，其大體上控制預(yù)接合單元420的 操作。
對(duì)于工作臺(tái)421a和421b以及裝載/卸載零件422a和422b的解釋將與ACF 附著單元410中的解釋同樣適用。
參看圖16,預(yù)接合單元425包含預(yù)接合單元426，其將驅(qū)動(dòng)電路板C不牢 固地按壓并固定在襯底G上。預(yù)接合單元426包含支撐襯底G的下部的下支撐 件427,和從襯底G的上部提供壓力的上加壓器428。上加壓器428可通過(guò)氣壓 或水壓致動(dòng)器將壓力施加在驅(qū)動(dòng)電路板C上。然而，考慮到村底G的工作是在需要高清潔度的清潔室中實(shí)行的，更合乎需要的是，通過(guò)例如線性馬達(dá)等驅(qū)動(dòng) 單元將壓力施加到驅(qū)動(dòng)電路板C 。
控制單元大體上控制預(yù)接合單元420的電和機(jī)械操作。參看圖15,將以預(yù) 接合單元420的功能原理來(lái)解釋控制單元的控制過(guò)程。
如果第一襯底G1放置在第一工作臺(tái)421a的上表面上，那么第一工作臺(tái)421a 真空吸收第一襯底Gl,并在穩(wěn)定支撐狀態(tài)下跟隨移動(dòng)導(dǎo)引件424進(jìn)入預(yù)接合單 元425中。如果第一襯底Gl進(jìn)入預(yù)接合單元425中并放置在下支撐件上，那么 驅(qū)動(dòng)電路板C放置在第一襯底Gl的上部，且上加壓器428以向下方向移動(dòng)并施 加較低溫度和壓力，借此將驅(qū)動(dòng)電路板C固定在第 一襯底Gl上。
在進(jìn)行這項(xiàng)工作的同時(shí)，將第二襯底G2裝載在放置在第二裝載/卸載零件 (422b)處的第二工作臺(tái)421b上。
如果驅(qū)動(dòng)電路板C固定在第一襯底G1上，那么第一工作臺(tái)421a跟隨移動(dòng) 導(dǎo)引件424移動(dòng)到第一裝載/卸載零件(422a)。同時(shí)，第二工作臺(tái)421b跟隨移 動(dòng)導(dǎo)引件424進(jìn)入預(yù)接合單元425中。如果第二村底G2進(jìn)入預(yù)接合單元425中 并放置在預(yù)接合單元的下支撐件427上，那么驅(qū)動(dòng)電路板C放置在第二襯底G2 的上部，且上加壓器428以向下方向移動(dòng)并施加較低溫度和壓力，借此將驅(qū)動(dòng) 電路板C固定在第二襯底G2上。
在進(jìn)行第二襯底G2的工作的同時(shí)，從放置在第一裝載/卸載零件(422a) 處的第一工作臺(tái)421a卸載第一襯底Gl，并裝載第三襯底G3。
類(lèi)似地，如果驅(qū)動(dòng)電路板C固定在第二襯底G2上，那么第二工作臺(tái)421b 跟隨移動(dòng)導(dǎo)引件424移動(dòng)到第二裝載/卸載零件(422b)。接著，第一工作臺(tái)421a 跟隨移動(dòng)導(dǎo)引件414進(jìn)入預(yù)接合單元425中。當(dāng)將驅(qū)動(dòng)電路板C附著在裝載在 第一工作臺(tái)411a上的第三襯底G3上時(shí)，從第二工作臺(tái)411b卸載第二襯底G2, 并裝載第四襯底G4。
控制單元控制預(yù)接合單元420以便重復(fù)地連續(xù)執(zhí)行相同程序。過(guò)去，在進(jìn) 行針對(duì)一個(gè)襯底的工作的同時(shí)，無(wú)法實(shí)行任何其它工作。因此，縮短了生產(chǎn)間 歇，并可改進(jìn)低工藝效率。
參看圖17，最終接合單元430包含工作臺(tái)431a和431b,其支撐襯底G; 裝載/卸載零件432a和432b,其將襯底Gl裝載在工作臺(tái)431a和431b上并從工 作臺(tái)431a和431b卸載襯底Gl;最終接合零件435，其對(duì)應(yīng)于最終接合單元430 的工作單元，其中驅(qū)動(dòng)電路板最終接合在裝載在工作臺(tái)431a和431b上的襯底G 上；和控制單元(未圖示)，其大體上控制最終接合單元430的操作。
對(duì)于工作臺(tái)431a和431b以及裝載/卸載零件432a和432b的解釋將與ACF 附著單元410中的解釋同樣適用。參看圖18,最終接合單元435包含支撐襯底G的下部的下支撐件436，和 從襯底G的上部施加壓力以便將驅(qū)動(dòng)電路板C最終接合在襯底G上的上加壓器 437，和將熱量施加到下支撐件436和上加壓器437的加熱器(未圖示)。上加 壓器437可通過(guò)氣壓或水壓致動(dòng)器將壓力施加在驅(qū)動(dòng)電路板C上。然而，考慮 到襯底G的工作是在需要高清潔度的清潔室中實(shí)行的，更合乎需要的是，通過(guò) 例如線性馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)單元將壓力施加到驅(qū)動(dòng)電路板C。加熱器將高溫?zé)崃渴┘?到下支撐件436和上加壓器437。需要所述溫度在標(biāo)準(zhǔn)溫度到350°C范圍內(nèi)。
控制單元大體上控制最終接合單元430的電和機(jī)械操作。參看圖17,將以 最終接合單元430的功能原理來(lái)解釋控制單元的控制過(guò)程。
如果第一村底G1放置在第一工作臺(tái)431a的上表面上，那么第一工作臺(tái)431a 真空吸收第一襯底Gl,并在穩(wěn)定支撐狀態(tài)下跟隨移動(dòng)導(dǎo)引件434進(jìn)入最終接合 零件435中。如果第一村底Gl進(jìn)入最終接合零件425中并放置在下支撐件436 上，那么上加壓器437以向下方向移動(dòng)以1"更施加高壓，且加熱器施加高溫，橫— 得驅(qū)動(dòng)電路板C完全按壓在第一襯底Gl上。
在進(jìn)行這項(xiàng)工作的同時(shí)，將第二襯底G2裝載在放置在第二裝載/卸載零件 (432b)處的第二工作臺(tái)431b上。
如果驅(qū)動(dòng)電路板C最終接合在第一襯底Gl上，那么第一工作臺(tái)431a跟隨 移動(dòng)導(dǎo)引件434移動(dòng)到第一裝載/卸載零件(432a)。同時(shí)，第二工作臺(tái)431b跟 隨移動(dòng)導(dǎo)引件434進(jìn)入最終接合零件435中。如果第二襯底G2進(jìn)入最終接合零 件425中并放置在下支撐件436上，那么上加壓器437以向下方向移動(dòng)以便施 加高壓并通過(guò)加熱器施加高溫，使得驅(qū)動(dòng)電路板C完全按壓在第二襯底G2上。
在進(jìn)行第二襯底G2的工作的同時(shí)，從放置在第一裝載/卸載零件432a處的 第一工作臺(tái)431a卸載第一襯底Gl,并裝載第三襯底G3。
類(lèi)似地，如果驅(qū)動(dòng)電路板C最終接合在第二襯底G2上，那么第二工作臺(tái) 431b跟隨移動(dòng)導(dǎo)引件434移動(dòng)到第二裝載/卸載零件432b。接著，第一工作臺(tái) 431a跟隨移動(dòng)導(dǎo)引件434進(jìn)入最終接合零件435中。當(dāng)將驅(qū)動(dòng)電路板C最終接 合在裝載在第一工作臺(tái)431a上的第三襯底G3上時(shí)，從第二工作臺(tái)431b卸載第 二村底G2,并裝載第四村底G4。
控制單元控制最終接合單元430以便重復(fù)地連續(xù)執(zhí)行相同程序。過(guò)去，在 進(jìn)行針對(duì)一個(gè)襯底的工作的同時(shí)，無(wú)法實(shí)行任何其它工作。因此，可解決生產(chǎn) 間歇增加和工藝效率低下的問(wèn)題。
一對(duì)裝載器440提供在ACF附著單元410與預(yù)接合單元420之間以及預(yù)接 合單元420與最終接合單元430之間。下文中，圖12所示的四個(gè)裝載器440將 簡(jiǎn)單命名為第一到第四裝載器441、 442、 443和444。第一裝載器441從襯底供應(yīng)設(shè)備450帶來(lái)村底G,以便將襯底G裝載在ACF附著單元410的第一裝載/ 卸載零件412a的第一工作臺(tái)411a上，并從放置在ACF附著單元410的第一裝 載/卸載零件412a處的第一工作臺(tái)411a卸載完成了 ACF附著的襯底G,并將完 成的襯底G裝載在放置在預(yù)接合單元420的第一裝載/卸載零件422a處的第一 工作臺(tái)421a上。提供第二裝載器442以便與第一裝載器441相對(duì)，第二裝載器 442相對(duì)于第二裝載/卸載零件412a執(zhí)行與第一裝載器441相同的功能。
第三裝載器443從放置在預(yù)接合單元420的第一裝載/卸載零件422a處的第 一工作臺(tái)421a卸載固定有驅(qū)動(dòng)電路板C的襯底G，并將完成的襯底G裝載在放 置在最終接合單元430的第一裝載/卸載零件432a處的第一工作臺(tái)431a上。提 供第四裝載器444以便與第三裝載器443相對(duì)，第四裝載器444相對(duì)于第二裝 載/卸載零件422b執(zhí)行與第三裝載器443相同的功能。
用于驅(qū)動(dòng)電路板的接合系統(tǒng)400的裝載器440包含吸收單元(未圖示)，其 可吸收襯底G，并經(jīng)構(gòu)成以便從裝載/卸載零件吸收襯底G，并通過(guò)圍繞旋轉(zhuǎn)軸 旋轉(zhuǎn)到預(yù)定角度來(lái)將襯底G裝載在其它裝載/卸載零件上，但不限于這種情況。 通常用于自動(dòng)工藝系統(tǒng)的裝載器可同樣適用，且可經(jīng)構(gòu)成以通過(guò)傳送帶等將襯 底G從一個(gè)裝載/卸載零件轉(zhuǎn)移到其它裝載/卸載零件。因此，用于本示范性實(shí)施 例中的裝載器440可由所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員以各種形式實(shí)施，但所有設(shè)計(jì)變化 均包含在所附權(quán)利要求書(shū)的范圍內(nèi)。
下文將詳細(xì)解釋驅(qū)動(dòng)電路板的接合系統(tǒng)400的功能原理。將省略對(duì)于ACF 附著單元410的膜附著工藝、預(yù)接合單元420的預(yù)接合工藝和最終接合單元430 的最終接合工藝的解釋。
第一裝載器441吸收村底供應(yīng)單元450的第一襯底Gl,并將第一襯底Gl 裝載在放置在ACF附著單元410的第一裝載/卸載零件412a處的第一工作臺(tái) 411a上。裝載有第一襯底G1的第一工作臺(tái)411a跟隨移動(dòng)導(dǎo)引件414進(jìn)入ACF 附著單元415中。當(dāng)ACF附著在第一襯底Gl上時(shí)，第二裝載器442吸收第二 襯底G2，并將第二襯底G2裝載在放置在ACF附著單元410的第二裝載/卸載零 件412b處的第二工作臺(tái)411b上。
如果膜固定在第一襯底G1上，那么第一工作臺(tái)411a跟隨移動(dòng)導(dǎo)引件414 移動(dòng)到第一裝載/卸載零件412a。同時(shí)，裝載有第二襯底G2的第二工作臺(tái)411b 跟隨移動(dòng)導(dǎo)引件414進(jìn)入ACF附著單元415中。當(dāng)在ACF附著單元415處ACF 附著在第二村底G2上時(shí)，第一裝載器441吸收裝載在第一工作臺(tái)411a上的第 一襯底Gl,并將第一村底Gl裝載在放置在預(yù)接合單元420的第一裝載/卸載零 件422a處的第 一工作臺(tái)421a上。第 一裝載器441從襯底供應(yīng)設(shè)備450吸收新的 第三襯底G3,并將第三襯底G3裝載在放置在ACF附著單元420的第一裝載/卸載零件412a處的第一工作臺(tái)411a上。
如果膜固定在第二襯底G2上，那么第二工作臺(tái)411b跟隨移動(dòng)導(dǎo)引件414 移動(dòng)到第二裝載/卸載零件412b。同時(shí)，裝載有第三襯底G3的第一工作臺(tái)411a 跟隨移動(dòng)導(dǎo)引件414進(jìn)入ACF附著單元415中。當(dāng)在ACF附著單元415處ACF 附著在第三襯底G3上時(shí)，第二裝載器442吸收裝載在第二工作臺(tái)411b上的第 二襯底G2,并將第二襯底G2裝載在放置在預(yù)接合單元420的第二裝載/卸載零 件422b處的第二工作臺(tái)421b上。第二裝載器442吸收新的第四村底G4,并將 第四襯底G4裝載在放置在ACF附著單元410的第二裝載/卸載零件412b處的 第二工作臺(tái)411b上。
完成膜附著工作之后，上面裝載有第一襯底Gl的第一工作臺(tái)421a跟隨移 動(dòng)導(dǎo)引件424進(jìn)入預(yù)接合單元425中。當(dāng)在預(yù)接合單元425處驅(qū)動(dòng)電路板C附 著在第一襯底Gl上時(shí)，第二裝載器442將完成了膜附著工作的第二襯底G2裝 載在放置在預(yù)接合單元420的第二裝載/卸載零件422b處的第二工作臺(tái)421b上。
如果驅(qū)動(dòng)電路板C固定在第一襯底G1上，那么第一工作臺(tái)421a跟隨移動(dòng) 導(dǎo)引件424移動(dòng)到第一裝載/卸載零件(42a)。同時(shí)，裝載有第二襯底G2的第 二工作臺(tái)421b跟隨移動(dòng)導(dǎo)引件424進(jìn)入預(yù)接合單元425中。當(dāng)在預(yù)接合單元415 處驅(qū)動(dòng)電路板C附著在第二襯底G2上時(shí)，第三裝載器441吸收裝載在第一工作 臺(tái)421b上的第一襯底Gl,并將第一襯底Gl裝載在放置在最終接合單元430的 第 一裝載/卸載零件432a處的第 一工作臺(tái)43 la上。第 一裝載器441從放置在ACF 附著單元410的第一裝載/卸載零件412a處的第一工作臺(tái)411a吸收第三襯底G3, 并將第三襯底G3裝載在預(yù)接合單元420的第一工作臺(tái)421a上。
如果驅(qū)動(dòng)電路板C固定在第二襯底G2上，那么第二工作臺(tái)421b跟隨移動(dòng) 導(dǎo)引件424移動(dòng)到第二裝載/卸載零件422b。同時(shí)，裝載有第三襯底G3的第一 工作臺(tái)411a再次跟隨移動(dòng)導(dǎo)引件414進(jìn)入預(yù)接合單元415中。當(dāng)在預(yù)4秦合單元 415處驅(qū)動(dòng)電路板C附著在第三襯底G3上時(shí)，第四裝載器444吸收裝載在第二 工作臺(tái)421b上的第二襯底G2，并將第二襯底G2裝栽在放置在最終接合單元 430的第二裝載/卸載零件432b處的第二工作臺(tái)421b上。第二裝載器442從放 置在ACF附著單元410的第二裝載/卸載零件412b處的第二工作臺(tái)411b吸收完 成了膜附著工作的第四襯底G4,并將第四襯底G4裝載在放置在ACF附著單元 410的第二裝載/卸載零件412b處的第二工作臺(tái)421b上。
完成膜附著工作之后，上面裝載有第一村底G1的第一工作臺(tái)421a跟隨移 動(dòng)導(dǎo)引件424進(jìn)入預(yù)接合單元425中。當(dāng)在預(yù)接合單元425處驅(qū)動(dòng)電路板C附 著在第一襯底Gl上時(shí)，第二裝載器442將完成了膜附著工作的第二襯底G2裝 載在放置在預(yù)接合單元420的第二裝載/卸載零件422b處的第二工作臺(tái)421b上。完成驅(qū)動(dòng)電路板C的預(yù)接合工作之后，上面裝載有第一襯底Gl的第一工作
臺(tái)431a跟隨移動(dòng)導(dǎo)引件434進(jìn)入最終接合單元435中。當(dāng)在最終接合單元435 處驅(qū)動(dòng)電路板C最終附著在第一襯底Gl上時(shí)，第四裝載器444從預(yù)接合單元 420的第二工作臺(tái)421b吸收完成了驅(qū)動(dòng)電路板C的預(yù)接合工作的第二襯底G2, 并將第二襯底G2裝載在最終接合單元430的第二工作臺(tái)431b上。
如果驅(qū)動(dòng)電路板C最終接合在第一襯底Gl上，那么第一工作臺(tái)431a跟隨 移動(dòng)導(dǎo)引件424移動(dòng)到第一裝載/卸載零件(432a )。同時(shí)，裝載有第二襯底G2 的第二工作臺(tái)431b跟隨移動(dòng)導(dǎo)引件434進(jìn)入最終接合單元435中。當(dāng)在最終接 合單元435處，驅(qū)動(dòng)電路板C最終接合在第二襯底G2上時(shí)，第三裝載器443 從第一工作臺(tái)431b吸收上面完成了所有工作的第一襯底Gl,并將第一襯底Gl 移動(dòng)到面板輸出單元460。第三裝載器443從預(yù)接合單元420的第一工作臺(tái)421b 吸收上面完成了驅(qū)動(dòng)電路板C的預(yù)接合工作的第三襯底G3,并將第一襯底Gl 裝載在最終接合單元430的第一工作臺(tái)431a上。
如果驅(qū)動(dòng)電路板C最終接合在第二襯底G2上，那么第二工作臺(tái)431b跟隨 移動(dòng)導(dǎo)引件434移動(dòng)到第二裝載/卸載零件432b。同時(shí)，裝載有第三襯底G3的 第一工作臺(tái)431a再次跟隨移動(dòng)導(dǎo)引件434進(jìn)入最終接合單元435中。當(dāng)在最終 接合單元435處，驅(qū)動(dòng)電路板C最終接合在第三襯底G3上時(shí)，第四裝載器444 吸收上面完成了所有工作的第二襯底G2,并將第二襯底G2移動(dòng)到面板輸出單 元460。第四裝載器444從預(yù)接合單元420的第二工作臺(tái)421b吸收上面完成了 驅(qū)動(dòng)電路板C的預(yù)接合工作的第四襯底G4,并將第四襯底G4裝載在最終接合 單元430的第二工作臺(tái)431b上。
通過(guò)連續(xù)重復(fù)上述工藝，將ACF附著在襯底G上，且將驅(qū)動(dòng)電路板C固定 并最終接合，從而可完成村底G的電路板接合工作。在根據(jù)本示范性實(shí)施例的 驅(qū)動(dòng)電路板的接合系統(tǒng)100中，在操作一個(gè)工作臺(tái)的同時(shí)，在另一工作臺(tái)上裝 載或卸載襯底，借此使生產(chǎn)間歇縮短一半并顯著提高工藝效率。
上述示范性實(shí)施例中解釋了通過(guò)機(jī)器人臂吸收面板的若干裝載器，但不限 于這種情況。如果上面完成了一個(gè)工藝的面板可通過(guò)傳送帶等自動(dòng)進(jìn)行到下一 工藝，那么可使用任何類(lèi)型的裝載器。
圖19是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的又一示范性實(shí)施例的CBF供應(yīng)設(shè)備的平面圖。圖 20是圖19的前視圖，且圖20是圖19的側(cè)視圖。圖22是示意說(shuō)明圖19所示的 CBF盒式外殼的透視圖。圖23是圖22的分解橫截面圖。
可使用根據(jù)本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)電路板供應(yīng)設(shè)備以便將例如PCB (printed circuit board,印刷電路板)、FPC、 TCP和CBF等驅(qū)動(dòng)電路板供應(yīng)到例如PDP、 LCD、 OLED和VFD的平板顯示器面板。然而，為了便于解釋?zhuān)挛膶H解釋供應(yīng)CBF的情況。
參看圖19和23,CBF供應(yīng)設(shè)備500包含接納多個(gè)層壓封套3的四個(gè)盒式外 殼510、配置四個(gè)盒式外殼510使其具有相等角度的板520、使板520在圓周方 向上沿著軸核心551旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元550、去除待層壓并接納在盒式外殼 510中的CBF3的靜電的電離器、將盒式外殼510固定在板520上的夾具，和收 集有缺陷的CBF 3的有缺陷電路板的收集盒。
四個(gè)盒式外殼510具有長(zhǎng)方體形狀，且在板上圍繞圓周方向配置成相等角 度。如圖7和8所示，每一盒式外殼510包含第一外殼體511,其具有通常待 層壓的1,300個(gè)CBF3的預(yù)定接納空間；第二外殼體515，其耦合到第一外殼體 511的下表面；支撐零件517,其支撐經(jīng)層壓以接納在第一外殼體511中的CBF 3;和彈性部件518,其耦合在支撐零件517的下表面與第二外殼體515的上表 面之間以提供預(yù)定彈力，使得可向外部供應(yīng)層壓在支撐零件517中的CBF3。
卸載了單片CBF 3的卸載單元512提供在第一外殼體511的上表面上，且 多個(gè)鎖定脊?fàn)钗?13圍繞著層壓CBF 3而提供在第一外殼體511的四個(gè)側(cè)壁的 內(nèi)表面的上部區(qū)域上。開(kāi)口 514提供在四個(gè)側(cè)壁的每一表面上以形成去除CBF 3 之間產(chǎn)生的靜電的離子可流動(dòng)通過(guò)的路徑。下文將對(duì)此進(jìn)行詳細(xì)解釋。
特別地，鎖定脊?fàn)钗?13分離并支撐到達(dá)第一外殼體的上部的若干CBF3, 使得可根據(jù)CBF 3的層壓次序來(lái)供應(yīng)單片CBF 3。
當(dāng)支撐零件517通過(guò)耦合到支撐零件517的下部的彈性部件518的操作而 依次上升時(shí)，鎖定脊?fàn)钗?13中的單片CBF 3以向上方向逐步移動(dòng)，且最終通 過(guò)卸載單元而卸載到外部。未卸載的CBF 3通過(guò)例如機(jī)械手(未圖示)的轉(zhuǎn)移 設(shè)備而轉(zhuǎn)移到襯底的預(yù)接合和接合工作位置，所述轉(zhuǎn)移設(shè)備通過(guò)使用真空吸收 來(lái)轉(zhuǎn)移對(duì)象。
如上所述，四個(gè)盒式外殼以相等角度配置在板520上。由于約1300個(gè)層壓 CBF 3接納在盒式外殼中，所以CBF供應(yīng)設(shè)備500可接納約5200個(gè)CBF 3。
在常規(guī)CBF供應(yīng)設(shè)備(參看圖3 )供應(yīng)約200到300個(gè)CBF 3之后，工人 必須手動(dòng)將CBF3重新配置在預(yù)定的CBF供應(yīng)盤(pán)30的框架(參看圖3)中。然 而，由于本示范性實(shí)施例中每循環(huán)可供應(yīng)總共5200個(gè)CBF 3,所以可供應(yīng)的CBF 3的量遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于常規(guī)CBF3的供應(yīng)量，借此允許顯著改進(jìn)操作效率。盡管常規(guī)盒 式外殼10 (參看圖2)可將CBF 3供應(yīng)到75片襯底G,但本示范性實(shí)施例中包 含盒式外殼510的CBF供應(yīng)設(shè)備500可基于計(jì)算值將CBF 3供應(yīng)到約1700片 襯底(G,參看圖2),而不需要特殊改變或手動(dòng)工作，借此顯著提高操作效率。
旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元550使支撐盒式外殼510的板520旋轉(zhuǎn)，使得四個(gè)盒式外殼 依次循環(huán)以便執(zhí)行預(yù)定工作。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元550可使板520圍繞軸核心551旋
23轉(zhuǎn)。
每一盒式外殼510并不同時(shí)供應(yīng)CBF 3。在盒式外殼510由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元 550旋轉(zhuǎn)的區(qū)域上存在第一工作站(#1)和第二到第四等待站(#2、 #3和#4)。 當(dāng)一個(gè)盒式外殼510在第一工作站(#1 )處供應(yīng)約1300個(gè)CBF 3時(shí)，》支置在第 二到第四等待站(#2、 #3和#4)處的三個(gè)盒式外殼510保持在等待狀態(tài)。如果 放置在第一等待站(#1)處的盒式外殼510的CBF 3供應(yīng)工作完成，那么以相 同方法通過(guò)逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)90度來(lái)供應(yīng)接納在其它盒式外殼510中的所有層壓CBF 3。
由于CBF3是薄膜，所以存在的問(wèn)題是，CBF3之間會(huì)產(chǎn)生靜電，且不容 易一個(gè)接一個(gè)地供應(yīng)單片。因此，將電離器540安裝在鄰近于第一工作站(#1 ) 的區(qū)域中。
電離器540通過(guò)向提供在盒式外殼510的四個(gè)壁表面上的開(kāi)口 514噴射負(fù) 電荷離子以便通過(guò)放電而去除從盒式外殼510供應(yīng)的CBF 3之間的靜電，來(lái)防 止CBF 3之間粘住。由于電離器540向側(cè)部方向或CBF 3的開(kāi)口 514噴射離子， 所以幾乎可去除CBF 3上存在的靜電。去除了靜電的CBF 3以單片狀態(tài)通過(guò)第 一外殼體511的內(nèi)部區(qū)域和鎖定脊?fàn)钗?13,且最終可以單片狀態(tài)通過(guò)卸載單元 512。安裝電離器來(lái)去除靜電，但也可使用氣槍來(lái)去除靜電。
夾具560安裝在CBF供應(yīng)設(shè)備500中的每一盒式外殼510與板520的接觸 區(qū)域中。夾具560強(qiáng)有力地耦合到盒式外殼510和板520,使得盒式外殼510不 會(huì)從板520移動(dòng)或振動(dòng)，且如果必要，可通過(guò)釋放夾具560的鎖定單元而使盒 式外殼510與板520分離。如果在CBF供應(yīng)設(shè)備500中完成供應(yīng)工作的一個(gè)循 環(huán)，那么層壓CBF 3應(yīng)再次接納在盒式外殼中，因?yàn)樵诤惺酵鈿?10與板520 分離之后可能較易于工作。
有缺陷電路板的收集盒570提供在CBF供應(yīng)設(shè)備500中鄰近于第一工作站 (#1)的位置處。有缺陷電路板的收集盒570收集有缺陷的CBF3,借此防止有 缺陷的CBF 3預(yù)先附著到襯底。有缺陷電路板意味著CBF 3因靜電的緣故而以 多片而非單片的形式提供，或CBF3具有損壞部分。
下文將解釋CBF供應(yīng)i殳備500的4喿作方法。
首先，將CBF堆填充到四個(gè)盒式外殼510的預(yù)定高度。接納層壓CBF的每 一盒式外殼510配置在板520上以便通過(guò)夾具560耦合到板520。每一盒式外殼 510通過(guò)由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元550旋轉(zhuǎn)板520而位于第一工作站(#1 )和第二到第四 等待站(#2、 #3和#4)處。
放置在第一工作站(#1)處的盒式外殼510經(jīng)由卸載單元512借助提供在 盒式外殼510中的彈性部件518的彈力來(lái)供應(yīng)單片CBF 3。提供在第一外殼體511中的支撐零件517支撐多個(gè)CBF3，且借助彈性部件518的彈力在依次與第 二外殼體515隔開(kāi)的方向上上升。此時(shí)，必須使用具有適當(dāng)彈性系數(shù)的彈性部 件518而經(jīng)由卸載單元512來(lái)彈出單片CBF 3。
根據(jù)由支撐零件517堆疊的CBF3的向上移動(dòng)，通過(guò)提供在第一外殼體511 的上部區(qū)域的內(nèi)壁表面上的多個(gè)鎖定脊?fàn)钗?13來(lái)分離單片CBF3。多個(gè)鎖定脊 狀物513用于通過(guò)較確定地將CBF 3劃分為單片而經(jīng)由卸載單元512供應(yīng)單片 CBF3。也就是說(shuō)，盡管鎖定脊?fàn)钗?13(提供在圖23中的底部上的鎖定脊?fàn)钗? 在CBF 3第一次到達(dá)時(shí)對(duì)所述多個(gè)CBF 3進(jìn)行捕獲，但CBF 3在移動(dòng)到下一鎖 定脊?fàn)钗?13期間被再次捕獲，且另外，CBF 3在移動(dòng)到下一鎖定脊?fàn)钗?13 期間被又一次捕獲，使得CBF 3被較確定地劃分為單片。
此時(shí)，可通過(guò)將離子連續(xù)供應(yīng)到提供在第一外殼體511的壁表面上的開(kāi)口 514，而借助放電來(lái)去除CBF之間存在的靜電，借此經(jīng)由卸載單元512提供解除 了靜電的單片CBF 3。
在支撐零件517借助彈性部件518的彈力上升到頂部從而供應(yīng)了堆疊在盒 式外殼510中的所有CBF 3之后，該支撐零件通過(guò)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元550而隔開(kāi)90 度以便使配置在第二工作站(#2)處的盒式外殼510逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，并將盒 式外殼510定位在第一工作站(#1)處，且類(lèi)似地執(zhí)行如上所述的供應(yīng)工作。 此時(shí)，可連續(xù)執(zhí)行供應(yīng)工作，而不會(huì)由于在配置到第四等待站(#4)的盒式外 殼510中再次堆疊CBF 3而中斷。
如此，因?yàn)镃BF 3供應(yīng)設(shè)備500可接納常規(guī)供應(yīng)設(shè)備的幾十倍的CBF 3, 所以不僅使工作效率最大化，而且還存在一個(gè)益處，即可不雇傭常規(guī)操作人員 來(lái)配置CBF 3,因?yàn)榕c需要操作人員頻繁地配置CBF的常規(guī)CBF供應(yīng)設(shè)備(圖 2和3所示)不同，CBF 3堆可直接堆疊在多個(gè)盒式外殼510中。
在上述實(shí)施例中，盒式外殼耦合到圓形板并由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器旋轉(zhuǎn)，但可通過(guò) 驅(qū)動(dòng)耦合到通過(guò)移動(dòng)驅(qū)動(dòng)器而沿著直線移動(dòng)的軌道的多個(gè)盒式外殼來(lái)執(zhí)行CBF 供應(yīng)工作。
此外，在所述實(shí)施例中，總共有四個(gè)盒式外殼耦合到板，但盒式外殼的數(shù) 目可能多于或少于四個(gè)。
圖24是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明另 一示范性實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備的透視 圖，且圖25是圖24的平面圖，且圖26是說(shuō)明圖24所示的驅(qū)動(dòng)電路板的接合 設(shè)備的頭結(jié)構(gòu)的透視圖，且圖27是圖24所示的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備的控制 方框圖，且圖28是說(shuō)明驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備的接合方法的流程圖。僅為了清 楚地解釋圖24到26中的驅(qū)動(dòng)電路板的附著表面611,以較小數(shù)目來(lái)說(shuō)明附著表 面611的凄t目。此處，為了便于解釋?zhuān)瑢H針對(duì)附著TCP的情況來(lái)解釋驅(qū)動(dòng)電路板的接合 設(shè)備和接合方法，且因此，將驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備稱(chēng)為T(mén)CP接合設(shè)備。
如圖所示，TCP接合設(shè)備600包含旋轉(zhuǎn)裝置630，其可圍繞軸核心旋轉(zhuǎn)； 四對(duì)頭650,其耦合到旋轉(zhuǎn)裝置630的下表面以便由旋轉(zhuǎn)裝置630旋轉(zhuǎn)，并將 TCP 6附著在襯底G的TCP附著表面611上；對(duì)準(zhǔn)位置檢測(cè)單元660,其用于 獲得關(guān)于TCP6的對(duì)準(zhǔn)位置的信息和關(guān)于形成在襯底G的TCP附著表面611上 的眼標(biāo)記615的對(duì)準(zhǔn)位置的信息；和控制單元680,其基于對(duì)準(zhǔn)位置檢測(cè)單元 660獲得的信息來(lái)控制頭650相對(duì)于旋轉(zhuǎn)裝置630的移動(dòng)。
此處，TCP6配置在旋轉(zhuǎn)裝置630的外圍，并通過(guò)由頭650抓取而轉(zhuǎn)移。對(duì) 準(zhǔn)位置檢測(cè)單元660包含TCP對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)661,其用于獲得關(guān)于TCP 6的對(duì) 準(zhǔn)位置的信息；和兩對(duì)眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)665,其用于獲得關(guān)于形成在村底G 的TCP附著表面611上的眼標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)位置的信息。
此外，根據(jù)所述情況，對(duì)準(zhǔn)位置檢測(cè)單元660可包含襯底對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)663， 其用于獲得關(guān)于整個(gè)襯底G的對(duì)準(zhǔn)位置的信息以便改進(jìn)附著工作的準(zhǔn)確性。下 文將對(duì)此進(jìn)行解釋。
首先，旋轉(zhuǎn)裝置630圍繞軸核心631有規(guī)律地旋轉(zhuǎn)，使得耦合到旋轉(zhuǎn)裝置 630的下表面的四對(duì)頭650執(zhí)行附著工作。
頭650直接裝載并對(duì)準(zhǔn)TCP 6，并將TCP 6附著到襯底G的TCP附著表面 611并等待再次工作?？偣灿兴膶?duì)頭650耦合到旋轉(zhuǎn)裝置630的下表面，但不限 于這種情況。下文中，為了便于解釋?zhuān)瑢⑺膶?duì)頭650分別稱(chēng)為第一到第四頭651、 652、 653和654。所有頭的附著工藝依次執(zhí)行且實(shí)質(zhì)上相同。因此，將主要解 釋第一頭651的附著工藝，且將簡(jiǎn)要解釋或省略其它頭652、 653和654的附著 工藝。
第一頭651通過(guò)旋轉(zhuǎn)裝置630的旋轉(zhuǎn)而依次循環(huán)經(jīng)過(guò)TCP裝載站(#10 )、 TCP對(duì)準(zhǔn)站(#20)、 TCP附著站(#30)和回收/等待站(#40)。每一站(弁10至'J #40 )表示對(duì)應(yīng)于旋轉(zhuǎn)裝置630的下部區(qū)域中的四對(duì)頭650的預(yù)定位置，且頭650 可通過(guò)旋轉(zhuǎn)裝置630的旋轉(zhuǎn)而依次移動(dòng)到每一站(#10到#40 )。
下文中，將依次解釋每一站(#10至1)#40)中執(zhí)行的過(guò)程，且將通過(guò)解釋與 每一過(guò)程有關(guān)的元件來(lái)更有效地解釋TCP接合設(shè)備600。
首先，在TCP裝載站(#10)處，向第一頭651供應(yīng)TCP6。第一頭651配 置在TCP供應(yīng)表面(未圖示)上以便使TCP 6與已配置有多個(gè)TCP 6的TCP供 應(yīng)表面脫離，且通過(guò)吸收力來(lái)吸收TCP6。此時(shí)，因?yàn)榈谝活^651具有可在X、 Y、 Z和Q軸上調(diào)節(jié)其位置的結(jié)構(gòu)，所以第一頭651可容易地使TCP 6與TCP 供應(yīng)表面脫離。第一頭651吸收TCP 6之后，第一頭651旋轉(zhuǎn)90度并移動(dòng)到TCP對(duì)準(zhǔn)站 (#20 )以進(jìn)行下一工作。然而，在TCP對(duì)準(zhǔn)站(#20 )處未完成TCP 6的對(duì)準(zhǔn)。 因?yàn)門(mén)CP對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)661安裝在TCP對(duì)準(zhǔn)站(#20 )處，所以TCP對(duì)準(zhǔn)視覺(jué) 相機(jī)661獲得對(duì)準(zhǔn)位置信息(例如，由第 一頭651轉(zhuǎn)移的TCP 6圍繞眼標(biāo)記615 盤(pán)旋的程度)，并將信息發(fā)送到控制單元680,如下文所述。
換句話說(shuō)，TCP對(duì)準(zhǔn)站(#20 )是TCP對(duì)準(zhǔn)一見(jiàn)覺(jué)相機(jī)661獲得TCP 6的對(duì) 準(zhǔn)位置信息的位置。當(dāng)吸收TCP 6的第一頭651從TCP對(duì)準(zhǔn)站(#20 )循環(huán)到 TCP附著站(#30)時(shí)，基于TCP 6的對(duì)準(zhǔn)位置信息、由眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)665 獲得的信息，和由襯底對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)663獲得的信息完成TCP 6的實(shí)質(zhì)對(duì)準(zhǔn)。
TCP附著站(#30)是在第一頭651的循環(huán)期間已完成對(duì)準(zhǔn)的TCP 6附著到 形成有村底G的眼標(biāo)記615的TCP附著表面611的位置。襯底臺(tái)670的移動(dòng)的 預(yù)定路徑形成在TCP附著站(#30)的下部區(qū)域中以便將村底轉(zhuǎn)移到工作區(qū)域。 襯底對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記613和眼標(biāo)記615形成在襯底G上，所述襯底G在安裝于一于底臺(tái) 670上的情況下轉(zhuǎn)移到TCP附著站(#30 )的下部區(qū)域。襯底對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記613是用 于將整個(gè)襯底G精確地對(duì)準(zhǔn)在襯底臺(tái)670上的標(biāo)記，且在襯底G的長(zhǎng)側(cè)的兩端 均進(jìn)行了標(biāo)記以便提供關(guān)于整個(gè)襯底G的對(duì)準(zhǔn)位置的信息。另一方面，在襯底 G的TCP附著表面611上形成眼標(biāo)記615以便對(duì)每一 TCP附著表面611的對(duì)準(zhǔn) 位置進(jìn)行標(biāo)記。
TCP接合設(shè)備600包含單獨(dú)的視覺(jué)相機(jī)663和665,其用于通過(guò)對(duì)襯底對(duì)準(zhǔn) 標(biāo)記613和眼標(biāo)記615進(jìn)行拍才聶來(lái)獲得關(guān)于-十底對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記613和眼標(biāo)記615的 信息。
首先，襯底對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)663安裝在村底臺(tái)670的從外部裝載襯底G的上 部區(qū)域中，以便拍攝襯底G在精確的對(duì)準(zhǔn)位置上的裝載狀態(tài)，并將信息轉(zhuǎn)移到 控制單元680。控制單元680可通過(guò)從襯底對(duì)準(zhǔn)纟見(jiàn)覺(jué)相機(jī)663轉(zhuǎn)移的信息來(lái)控制 盤(pán)旋的程度。
因?yàn)橐r底臺(tái)670可在平面方向(X軸、Y軸和Q軸的方向)上移動(dòng)，所以 襯底臺(tái)670可根據(jù)從控制單元680接收的命令來(lái)對(duì)準(zhǔn)襯底G的位置。然而，村 底臺(tái)670無(wú)法在平面方向上控制位置，而是可沿著軌道671在預(yù)定方向(X軸 方向)上往復(fù)運(yùn)動(dòng)。這是即使襯底G以盤(pán)旋狀態(tài)在預(yù)定方向上移動(dòng)時(shí)也可將TCP 6適應(yīng)性地附著到盤(pán)旋的襯底的原因，因?yàn)樵谒鰧?shí)施例中，可在所有方向(X、 Y、 Z和Q軸)上控制吸收并轉(zhuǎn)移TCP 6的頭650的位置。
因?yàn)閮H可在垂直方向上控制常規(guī)頭750 (圖4所示)的位置，所以應(yīng)單獨(dú)控 制襯底G的位置，但所述實(shí)施例的頭650的位置可通過(guò)相對(duì)于旋轉(zhuǎn)裝置630的 移動(dòng)而控制成對(duì)應(yīng)于形成在襯底G上的TCP附著表面611,且因此，簡(jiǎn)化了工作且可縮短附著的工作時(shí)間。
另一方面，將兩對(duì)眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)665安裝在作為襯底臺(tái)670和TCP 附著站(#30)的路徑的軌道671附近的區(qū)域中。此處，將在眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相 機(jī)665之前解釋頭650的結(jié)構(gòu)，以便清楚地解釋眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)665獲得 眼標(biāo)記615的對(duì)準(zhǔn)位置信息的原理。
參看圖24和25，因?yàn)轭^650具有預(yù)定體積，所以如果頭650經(jīng)配置用于將 TCP6附著到延續(xù)并存在于村底G上的TCP附著表面611,那么可能發(fā)生中斷。 因此， 一對(duì)第一頭可將TCP6附著到TCP附著表面611的第一和第三TCP附著 表面611a和611c。接著，所述對(duì)第四頭654通過(guò)旋轉(zhuǎn)90度而到達(dá)TCP附著站 (#30),以便將TCP 6附著到第二和第四TCP附著表面611b和611d。同樣， 所述對(duì)第三頭653到達(dá)TCP附著站(#30 ),以便將TCP 6附著到第五TCP附著 表面611e和第七TCP附著表面(未圖示)。也就是說(shuō)，每一頭650具有可將TCP 6附著在兩個(gè)TCP附著表面上且使一個(gè)附著表面611插在頭之間的結(jié)構(gòu)。
由于頭的例如上文所述的結(jié)構(gòu)，所以當(dāng)所述對(duì)眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相才幾665a拍 攝第一 TCP附著表面611a上標(biāo)記的眼標(biāo)記615和第三TCP附著表面611c上標(biāo) 記的眼標(biāo)記615的位置信息并將位置信息轉(zhuǎn)移到控制單元680時(shí)，控制單元680 可在TCP附著站(#30 )處通過(guò)在第一頭651從TCP對(duì)準(zhǔn)站(#20 )移動(dòng)到TCP 附著站(#30)時(shí)控制第一頭651的移動(dòng)以對(duì)準(zhǔn)第一頭651,來(lái)將TCP6附著到 襯底G的第一和第三TCP附著表面611a和611c。
實(shí)質(zhì)上與此相似，另一對(duì)眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相才幾665b拍才聶第二和第四TCP 附著表面611b和611d上標(biāo)記的眼標(biāo)記615并將位置信息轉(zhuǎn)移到控制單元680, 控制單元680可在TCP附著站(#30)中通過(guò)在第四頭654從TCP對(duì)準(zhǔn)站(弁20) 移動(dòng)到TCP附著站(#30)時(shí)控制第四頭654的移動(dòng)以對(duì)準(zhǔn)第四頭654，來(lái)將 TCP6附著到襯底G的第二和第四TCP附著表面611b和611d。
當(dāng)完成TCP6的附著時(shí)，第一頭651再次順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度以移動(dòng)到回 收/等待站(#40)。在回收/等待站(#40)中，第一頭651回收有缺陷的TCP 6 或移動(dòng)到TCP裝載站(#10 )以便等待裝載另一 TCP 6。
如此，每一頭650循環(huán)經(jīng)過(guò)四個(gè)站(#10到#40)以執(zhí)行附著工作，但下文 中，將解釋控制單元680,其在頭從TCP對(duì)準(zhǔn)站(弁20)移動(dòng)到TCP附著站(#30) 時(shí)控制頭650的移動(dòng)。
參看圖27，控制單元680基于對(duì)準(zhǔn)位置檢測(cè)單元660獲得的對(duì)準(zhǔn)位置信息 來(lái)控制頭650的相對(duì)移動(dòng)。在所述實(shí)施例中，對(duì)準(zhǔn)位置檢測(cè)單元660包含襯底 對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)663、眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)665和TCP對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)661。因此， 控制單元680接收由襯底對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)663拍攝的整個(gè)襯底G的對(duì)準(zhǔn)位置信息、由眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)665拍攝的標(biāo)記在TCP附著表面611上的眼標(biāo)記615的 對(duì)準(zhǔn)位置信息，和由TCP對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)661拍攝的TCP6的對(duì)準(zhǔn)位置信息?？?制單元680通過(guò)在頭650到達(dá)TCP附著站(#30 )之前總體分析所述信息來(lái)預(yù)先 完成頭650的對(duì)準(zhǔn)，并控制頭650的相對(duì)移動(dòng)以便在頭已到達(dá)TCP附著站(#30) 之后將TCP 6準(zhǔn)確地附著到TCP附著表面611。
因此，因?yàn)槊恳活^650可在頭已到達(dá)TCP附著站(#30)之后立即將TCP6 準(zhǔn)確地附著到TCP附著表面611,所以可快速且準(zhǔn)確地執(zhí)行附著工作，且因此， 與常規(guī)接合設(shè)備相比可顯著縮短生產(chǎn)間歇。
下文中將解釋具有此構(gòu)造的接合設(shè)備的接合方法。
首先，四對(duì)頭通過(guò)旋轉(zhuǎn)裝置630的旋轉(zhuǎn)力而順時(shí)針?lè)较蜓h(huán)。4妄著，如上 所述，所述對(duì)第一頭651在TCP裝載站(#10)中分別吸收TCP6。且接著，所 述對(duì)第一頭651旋轉(zhuǎn)卯度以移動(dòng)到TCP對(duì)準(zhǔn)站(#20)，且吸收到第一頭651 的TCP 6的位置由安裝在TCP對(duì)準(zhǔn)站(#20 )中的TCP對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)661拍攝。 已完成拍攝之后，第 一 頭651再次旋轉(zhuǎn)90度以將TCP 6移動(dòng)到TCP附著站(#30 )。
此時(shí)，在第一頭651從TCP對(duì)準(zhǔn)站(#20)移動(dòng)到TCP附著站(#30)時(shí)， 控制單元680完成TCP 6的對(duì)準(zhǔn)。TCP 6的對(duì)準(zhǔn)意味著控制單元680控制頭的移 動(dòng)以便將TCP 6準(zhǔn)確地附著到包含眼標(biāo)記615的襯底G的TCP附著表面611。
為此，襯底對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)663、眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)665和TCP對(duì)準(zhǔn)視覺(jué) 相機(jī)661獲得襯底G、形成在襯底G上的TCP附著表面611和由頭650運(yùn)載的 TCP6的位置信息，以便使那些位置彼此準(zhǔn)確地對(duì)準(zhǔn)，且控制單元680基于位置 信息來(lái)控制頭650的移動(dòng)以^^將TCP 6附著到TCP附著表面611。
將更詳細(xì)地解釋此過(guò)程。襯底對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)663安裝在襯底臺(tái)的從外部裝 載襯底G的上部區(qū)域中。參看圖28,襯底對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)663通過(guò)依次拍攝形成 在襯底G的隅角處的兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記613來(lái)獲得關(guān)于整個(gè)襯底G的對(duì)準(zhǔn)位置信息 (Sll)。將所獲得的襯底G的對(duì)準(zhǔn)位置信息轉(zhuǎn)移到控制單元680,使得控制單 元可計(jì)算襯底G已向襯底臺(tái)670盤(pán)旋的程度。
接著，沿著軌道671安裝的眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)665拍攝提供在襯底G的 TCP附著表面611上的襯底G的眼標(biāo)記615,并獲得對(duì)準(zhǔn)位置信息(S13 )。將 所獲得的眼標(biāo)記615的對(duì)準(zhǔn)位置信息轉(zhuǎn)移到控制單元680,使得控制單元可辨認(rèn) 眼標(biāo)記615的對(duì)準(zhǔn)位置。
最后，在TCP附著站(#30)中安裝TCP對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)661以獲得由頭650 運(yùn)載的TCP6的對(duì)準(zhǔn)位置信息(S15 )。將所獲得的TCP的對(duì)準(zhǔn)位置信息轉(zhuǎn)移到 控制單元680。
控制單元680在第一頭651從TCP對(duì)準(zhǔn)站(#20 )移動(dòng)到TCP附著站(#30 )時(shí)基于由村底對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)663、眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)665和TCP對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相 機(jī)661獲得的對(duì)準(zhǔn)位置信息中的每一者來(lái)控制頭650相對(duì)于旋轉(zhuǎn)裝置630的移 動(dòng)(S17)。
已通過(guò)上述步驟對(duì)準(zhǔn)以便將TCP6準(zhǔn)確地附著到TCP附著表面611的頭650 可通過(guò)在垂直方向上下降而將TCP 6附著到更準(zhǔn)確的位置(S19)。當(dāng)TCP6的 對(duì)準(zhǔn)已完成時(shí)，頭650上升到原始位置并順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)90度以等待裝載另一 TCP 6。
下文中將更詳細(xì)地解釋此過(guò)程。當(dāng)?shù)谝活^651在回收/等待站(#40)處等待 時(shí)，第四頭654執(zhí)行附著工藝，且同時(shí)第三頭653通過(guò)TCP對(duì)準(zhǔn)站(#20)處的 TCP對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)661來(lái)提供位置信息，且第二頭(652 )在TCP裝載站(#10 ) 處吸收并裝載襯底G。
如此，所述實(shí)施例的TCP接合設(shè)備600包含控制單元680,其通過(guò)獲得關(guān) 于整個(gè)襯底G、眼標(biāo)記615和TCP 6的對(duì)準(zhǔn)位置信息并總體分析所述對(duì)準(zhǔn)位置 信息來(lái)控制頭650的相對(duì)移動(dòng)。因此，TCP接合設(shè)備600可比常規(guī)TCP接合設(shè) 備700 (圖4所示)更準(zhǔn)確、有效且快速地執(zhí)行附著工作。
另外，因?yàn)椴涣硗庑枰糜趯?duì)準(zhǔn)的時(shí)間而是在移動(dòng)的同時(shí)對(duì)準(zhǔn)頭650,所以 可快速地執(zhí)行TCP 6的附著工作，且因此，不僅可縮短生產(chǎn)間歇而且可顯著改 進(jìn)生產(chǎn)率。
此外，因?yàn)榭偣灿兴膶?duì)頭650耦合到旋轉(zhuǎn)裝置630的下表面，所以與常規(guī) 裝置相比，可通過(guò)一半的旋轉(zhuǎn)數(shù)來(lái)執(zhí)行相同的附著工作，且可通過(guò)每小時(shí)更多 旋轉(zhuǎn)數(shù)而更加改進(jìn)工藝效率。
圖29是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的又一實(shí)施例的TCP接合設(shè)備的示意平面圖。下文 將僅解釋與上述實(shí)施例的差異。
TCP接合設(shè)備600a包含兩個(gè)線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)630a和630b，其沿著每一線 性路徑移動(dòng)；兩對(duì)頭651a、 652a、 651b和652b，其耦合到線性驅(qū)動(dòng)才幾構(gòu)630a 和630b的下表面并在沿著線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)630a和630b以線性方式往復(fù)運(yùn)動(dòng)的同 時(shí)將TCP 6附著在襯底G的TCP附著表面611上；對(duì)準(zhǔn)位置檢測(cè)單元660,其 用于獲得關(guān)于TCP 6的對(duì)準(zhǔn)位置的信息和關(guān)于形成在襯底G的TCP附著表面 611上的眼標(biāo)記615的對(duì)準(zhǔn)位置的信息；和控制單元(未圖示)，其經(jīng)配置以基 于對(duì)準(zhǔn)位置檢測(cè)單元660獲得的信息來(lái)控制相應(yīng)的頭651a、 652a、 651b和652b 相對(duì)于每一線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)630a和630b的移動(dòng)。
與上述實(shí)施例的TCP接合設(shè)備(四對(duì)頭651、 652、 653和654 (圖24和25 所示)通過(guò)由旋轉(zhuǎn)裝置630旋轉(zhuǎn)來(lái)執(zhí)行預(yù)定的附著工作)不同，TCP接合設(shè)備 600a通過(guò)線性往復(fù)運(yùn)動(dòng)將TCP6附著在襯底G的TCP附著表面611上。然而，為了便于解釋?zhuān)瑢蓚€(gè)線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)稱(chēng)為第一和第二線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，且將耦合 到第 一 和第二線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的兩對(duì)頭稱(chēng)為第 一 和第二頭。
此處，線性驅(qū)動(dòng)才幾構(gòu)630a和630b中的每一者從每一 TCP裝載站(#10a、 #10b)開(kāi)始裝載TCP6，并越過(guò)TCP對(duì)準(zhǔn)站(#20a、 #20b )來(lái)獲得TCP 6的對(duì) 準(zhǔn)位置，并到達(dá)TCP附著站(#30a )以便將TCP 6附著到襯底G。此時(shí)，當(dāng)?shù)?一線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)630a的第一頭651a和652a在TCP附著站(#30)處附有TCP 6 時(shí)，第二線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)630b的第二頭651b和652b在TCP裝載站(#10b)處裝 載TCP 6。
在根據(jù)所述實(shí)施例的TCP接合設(shè)備600a中，通過(guò)獲得/總體分析信息來(lái)控 制頭651a、 652a、 651b和652b的位置的方法實(shí)質(zhì)上類(lèi)似于上述實(shí)施例。然而， 因?yàn)榫€性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)630a和630b不沿著一個(gè)路徑以線性方式往復(fù)運(yùn)動(dòng)，所以TCP 對(duì)準(zhǔn)-見(jiàn)覺(jué)相機(jī)661a和661b中的每一者可安裝在每一路徑的預(yù)定位置中，即在 TCP對(duì)準(zhǔn)站(#20a、 #20b)附近的區(qū)域中。
TCP對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)661a和661b中的每一者在TCP裝載站(#10a、 #10b ) 中裝載TCP6，并配置在針對(duì)TCP附著站(#30)的路徑的中心區(qū)域中以獲得關(guān) 于頭651a、 652a、 651b和652b的位置的信息和關(guān)于由頭651a、 652a、 651b和 652b吸收/運(yùn)載的TCP 6在彼此之間盤(pán)旋的程度的信息，并將所獲得的信息發(fā)送 到控制單元(未圖示)。因?yàn)槊恳活^651a、 652a、 651b和652b的位置可由控制 單元(未圖示)的位置控制命令單獨(dú)控制，所以由每一頭651a、 652a、 651b和 652b抓取的TCP6可準(zhǔn)確地附著到相應(yīng)的TCP附著表面611。
如上文詳細(xì)描述，控制單元基于TCP 6的對(duì)準(zhǔn)位置信息、襯底G上的眼標(biāo) 記615的對(duì)準(zhǔn)位置信息和整個(gè)村底G的對(duì)準(zhǔn)位置信息來(lái)控制頭651a、652a、651b 和652b以及臺(tái)670的位置，以便將TCP 6附著在襯底G上的準(zhǔn)確位置。
下文中，將示意解釋具有如上構(gòu)造的TCP接合設(shè)備600a的TCP接合方法。
首先，從相應(yīng)的TCP裝載站(#10a)向在每一下表面上包含一對(duì)頭651a、 652a、 651b和652b的線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)630a和630b中的第一線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)630a 的第一頭651a和652a供應(yīng)兩個(gè)TCP6。接著，第一頭沿著線性路徑移動(dòng)到TCP 附著站(#30)。此時(shí)，將TCP對(duì)準(zhǔn)站(#20a)配置在路徑的中心區(qū)域中以通過(guò) TCP對(duì)準(zhǔn)3見(jiàn)覺(jué)相機(jī)661a獲得由第一頭651a和652a吸收/運(yùn)載的TCP6的對(duì)準(zhǔn)位 置信息。
控制單元通過(guò)在第一線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)630a的第一頭651a和652a從TCP對(duì)準(zhǔn) 站(#20)移動(dòng)到TCP附著站(#30)時(shí)，基于TCP6的對(duì)準(zhǔn)位置信息、由眼標(biāo) 記對(duì)準(zhǔn)^L覺(jué)相機(jī)665獲得的眼標(biāo)記615的對(duì)準(zhǔn)位置信息和整個(gè)襯底G的對(duì)準(zhǔn)位 置信息準(zhǔn)確地控制第一頭651a和652a的位置，來(lái)完成對(duì)準(zhǔn)。在第一線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)630a的附著工藝的實(shí)質(zhì)上相同的時(shí)間，具有不同預(yù)定 路徑的第二線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)630b的第二頭651b和652b在相應(yīng)的TCP裝載站 (#10b)中裝載兩個(gè)TCP6。第二線性驅(qū)動(dòng)沖幾構(gòu)630b的第二頭651b和652b還 執(zhí)行與第一線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)630a的第一頭651a和652a相同的對(duì)準(zhǔn)和附著工藝。 因?yàn)榈谝活^651a和652a已將TCP6附著到襯底G的第一和第三TCP附著表面 611a和611c,所以第二頭651b和652b應(yīng)將TCP 6附著到第二和第四TCP附著 表面611b和611d。這是無(wú)法將TCP 6直接附著到鄰近的TCP附著表面611的 原因，因?yàn)槊恳活^651a、 652a、 651b和652b占據(jù)了空間。
如此，根據(jù)所述實(shí)施例的TCP接合設(shè)備600a具有的益處是，因?yàn)轭^651a、 652a、 651b和652b以線性方式移動(dòng)而可縮短工作時(shí)間。
盡管在上述實(shí)施例中耦合到旋轉(zhuǎn)裝置或線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的一個(gè)區(qū)域的頭的數(shù) 目為兩個(gè)，但根據(jù)每種結(jié)構(gòu)，頭的數(shù)目可多于或少于兩個(gè)。
此外，盡管在上述實(shí)施例中TCP對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)的數(shù)目為兩個(gè)，但其可為單 個(gè)優(yōu)化構(gòu)造。
如上所述，驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備可在控制按壓村底接合表面的接合器工 具的按壓表面的平面性時(shí)螺栓部件發(fā)生損壞，并通過(guò)比現(xiàn)有技術(shù)更容易地控制 按壓表面的平面性來(lái)縮短接合工藝的生產(chǎn)間歇。
驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備、接合方法和接合系統(tǒng)可通過(guò)在操作一個(gè)工作臺(tái)的 同時(shí)在另一工作臺(tái)上裝載或卸載村底來(lái)縮短工藝時(shí)間并改進(jìn)工藝效率，而不會(huì) 4吏工作臺(tái)使用過(guò)度。
驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備及其盒式外殼可改進(jìn)驅(qū)動(dòng)電路板的接合工作效率， 因?yàn)橛捎诮蛹{層壓驅(qū)動(dòng)電路板堆的結(jié)構(gòu)的緣故而更有效地供應(yīng)驅(qū)動(dòng)電路;^反，且 所述驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備及其盒式外殼顯著減少了供應(yīng)常規(guī)驅(qū)動(dòng)電路板所需 的在崗人力。
驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備在單位時(shí)間內(nèi)可附有更多的驅(qū)動(dòng)電路板，因?yàn)橥ㄟ^(guò) 控制單元獲得關(guān)于整個(gè)襯底、眼標(biāo)記和驅(qū)動(dòng)電路板的對(duì)準(zhǔn)位置信息、分析所述 對(duì)準(zhǔn)位置信息并控制頭的相對(duì)移動(dòng)而顯著縮短了將驅(qū)動(dòng)電路板附著到襯底所需 的生產(chǎn)間歇，借此允許改進(jìn)生產(chǎn)效率。
所屬領(lǐng)域的一般技術(shù)人員應(yīng)了解，可在不脫離由所附權(quán)利要求書(shū)界定的本 發(fā)明的精神和范圍的情況下，在本發(fā)明中作出形式和細(xì)節(jié)上的各種替代、修改 和變化。因此，應(yīng)了解，上述實(shí)施例僅用于說(shuō)明的目的且不應(yīng)解釋為對(duì)于本發(fā) 明的限制。
權(quán)利要求
1.一種驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備，其特征在于包括至少一個(gè)頭，其抓取所述驅(qū)動(dòng)電路板以便附著到襯底的所述驅(qū)動(dòng)電路板的附著表面；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其耦合到至少一個(gè)頭以便移動(dòng)至少一個(gè)頭；檢測(cè)單元，其獲得在形成在所述驅(qū)動(dòng)電路板的所述附著表面上的眼標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)位置信息與由所述頭抓取的所述驅(qū)動(dòng)電路板的對(duì)準(zhǔn)位置信息之間所選擇的至少一個(gè)對(duì)準(zhǔn)位置信息；以及控制單元，其基于從所述對(duì)準(zhǔn)位置的所述檢測(cè)單元所獲得的所述信息來(lái)控制所述頭的移動(dòng)，使得由所述頭抓取的所述驅(qū)動(dòng)電路板對(duì)準(zhǔn)以便對(duì)應(yīng)于所述眼標(biāo)記的所述對(duì)準(zhǔn)位置。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備，其特征在于其中所述驅(qū) 動(dòng)電路板是TCP (帶載封裝)，且所述驅(qū)動(dòng)電路板的所述附著表面是TCP附著表 面。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備，其特征在于其中至少一 個(gè)頭是多個(gè)頭，且所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是以線性方式移動(dòng)所述多個(gè)頭的線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述多個(gè)頭通過(guò)所述線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在TCP裝載站與TCP附著站之間循環(huán)， 當(dāng)所述抓取所述TCP的頭移動(dòng)到所述TCP附著站時(shí)，所述控制單元控制所 述頭的相對(duì)移動(dòng)，使得所述被抓取的TCP對(duì)應(yīng)于所述TCP附著表面而對(duì)準(zhǔn)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備，其特征在于其中 所述多個(gè)頭成兩對(duì)地耦合到所述線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，以及所述控制單元控制所述線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使得一對(duì)頭在所述TCP裝載站與所 述TCP附著站之間;波此交替地移動(dòng)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備，其特征在于其中至少一 個(gè)頭是多個(gè)頭，且所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是圍繞軸核心而旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)裝置，所述多個(gè)頭耦合到所述旋轉(zhuǎn)裝置以便彼此隔開(kāi)，并在所述旋轉(zhuǎn)裝置上沿著 圓周方向圍繞所述TCP裝載站、所述TCP對(duì)準(zhǔn)站、所述TCP附著站和回收/等待 站而纟盾環(huán)，以及當(dāng)所述抓取所述TCP的頭移動(dòng)到所述TCP附著站時(shí)，所述控制單元控制所 述頭的相對(duì)移動(dòng)，使得所述被抓取的TCP對(duì)應(yīng)于所述TCP附著表面而對(duì)準(zhǔn)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備，其特征在于其中所述多 個(gè)頭沿著所述旋轉(zhuǎn)裝置的圓周表面彼此具有相同的角度間隔，且四對(duì)所述頭耦 合到所述旋轉(zhuǎn)裝置，以及每一對(duì)所述頭同時(shí)依次圍繞所述TCP裝載站、所述TCP對(duì)準(zhǔn)站、所述TCP循環(huán)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求3或5所述的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備，其特征在于其中所 述檢測(cè)單元包括tcp對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)，其由所述頭抓取并獲得所述tcp對(duì)準(zhǔn)位置信息；以及 眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)，其獲得所述眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)位置信息， 其中關(guān)于通過(guò)所述tcp對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)所獲得的所述tcp對(duì)準(zhǔn)位置信息和通 過(guò)所述眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)所獲得的所述眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)位置信息的信息傳輸?shù)剿?述控制單元，使得所述控制單元基于所述已傳輸?shù)男畔?lái)控制所述頭的移動(dòng)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備，其特征在于其中所述t c p 對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)安裝在對(duì)應(yīng)于所述tcp對(duì)準(zhǔn)站的位置處，使得在所述tcp對(duì)準(zhǔn)站 處獲得所述tcp對(duì)準(zhǔn)位置信息。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備，其特征在于其中兩對(duì)所以及一對(duì)所述眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn);現(xiàn)覺(jué)相才幾依次獲得所述眼標(biāo)記中每個(gè)奇數(shù)的兩個(gè)眼標(biāo) 記信息，以及另 一對(duì)所述眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)依次獲得所述眼標(biāo)記中每個(gè)偶數(shù)的兩個(gè)眼 標(biāo)記信息。
10. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備，其特征在于其中所述 對(duì)準(zhǔn)位置的檢測(cè)單元包括襯底對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)，其通過(guò)拍攝形成在所述襯底中的 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記來(lái)獲得襯底對(duì)準(zhǔn)位置，以及信息、通過(guò)所述對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)所獲得的所述tcp對(duì);位置信息和通過(guò)所述眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)所獲得的所述眼標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)位置信息來(lái)控制所述頭的移動(dòng)。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備，其特征在于其中在 將所述襯底轉(zhuǎn)移到所述tcp附著站之前獲得通過(guò)所述襯底對(duì)準(zhǔn)視覺(jué)相機(jī)所獲得 的所述襯底對(duì)準(zhǔn)位置信息，并將所述襯底對(duì)準(zhǔn)位置信息傳輸?shù)剿隹刂茊卧?br> 12. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備，其特征在于進(jìn)一步包 括襯底臺(tái)，所述襯底臺(tái)在支撐所述襯底的同時(shí)沿著預(yù)定路徑往復(fù)運(yùn)動(dòng)，且所述 襯底臺(tái)支撐所述襯底以便在所述路徑上在所述襯底的板表面方向上移動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種供應(yīng)驅(qū)動(dòng)電路板用的設(shè)備及其盒式外殼、驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備及接合方法，和具有該接合設(shè)備的驅(qū)動(dòng)電路板的接合系統(tǒng)。驅(qū)動(dòng)電路板的接合設(shè)備包括按壓?jiǎn)卧?，其將?qū)動(dòng)電路板按壓在附有驅(qū)動(dòng)電路板的襯底的接合表面上，其中按壓?jiǎn)卧ò磯褐黧w，其經(jīng)提供以便接近襯底的上部上的接合表面和與接合表面隔開(kāi)；接合器工具，其具有受壓表面，當(dāng)將驅(qū)動(dòng)電路板按壓到接合表面時(shí)，受壓表面與驅(qū)動(dòng)電路板接觸；多個(gè)高度調(diào)節(jié)部件，其調(diào)節(jié)受壓表面相對(duì)于接合表面的位移以獲得接合器工具的受壓表面的平面性；以及旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)零件，其提供在高度調(diào)節(jié)部件上以便調(diào)節(jié)高度調(diào)節(jié)部件的旋轉(zhuǎn)，且提供在高度調(diào)節(jié)部件的處于按壓主體與接合器工具之間的區(qū)域上。
文檔編號(hào)G02F1/133GK101556391SQ20091013550
公開(kāi)日2009年10月14日 申請(qǐng)日期2007年6月7日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月29日
發(fā)明者安廷祐, 徐志源, 樸丙敞, 樸永根, 樸贊慶, 白永煥, 金萬(wàn)濟(jì), 陳明出 申請(qǐng)人:Sfa工程股份有限公司