專利名稱：光波導路裝置及其制造方法、以及光波導路連接結(jié)構的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種在光通信、光信息處理、其它一般光學 中廣泛應用的光波導路裝置的制造方法及由該制造方法獲得 的光波導路裝置、以及在光波導路裝置中使用的光波導路連 接結(jié)構。
背景技術：
通常，光波導路裝置通過光波導路傳播從發(fā)光元件發(fā)出 的光，相反，使受光元件接收由光波導路傳播來的光，從而
進行光耦合(optical coupling),但是進行該光耦合時，將相 互的光軸設定在同軸上是重要的，并且要求高的定位精度。
例如，提出了一種連接器，該連接器通過組合受發(fā)光元 件和三維光路零件(內(nèi)置有光波導路的零件)來對受發(fā)光元 件和光波導路之間進行高精度的位置對合(參照專利文獻l ); 該受發(fā)光元件與定位板進行準確的位置對合而安裝在定位板 上；該三維光路零件利用凸凹的嵌合而與上述定位板進行準 確的位置對合。
專利文獻l:日本特開2006-309113號/^才艮 可是，該連接器存在下述的問題首先，需要使受發(fā)光 元件與定位板進行準確的位置對合，其次將三維光路零件與 上述定位板進行精確的組裝這樣的兩個階段的工序，所以需 要繁瑣的勞力和時間、生產(chǎn)率差。另外還存在下述問題不 僅分別對定位板和三維光路零件要求高的加工精度，而且兩 者的組裝精度也是重要的，且其不易調(diào)整。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述情況而做成的，其目的在于提供一種 能夠通過簡單的工序以高精度使受發(fā)光元件與光波導路進行 光耦合的光波導路裝置的制造方法及由該制造方法獲得的光 波導路裝置、以及在光波導路裝置中使用的光波導路連接結(jié) 構。
為了達到上述目的，本發(fā)明的第l技術方案提供一種光波
導路裝置的制造方法，其包括以下工序準備在下敷層上形 成有凸狀芯圖案的光波導路的工序；準備形成有凸部的模具 的工序，該凸部用于成形能夠與上述光波導路的凸狀芯圖案 的規(guī)定部相嵌合的凹部；準備上表面上安裝有受發(fā)光元件的 基板的工序；在上述安裝的受發(fā)光元件的周圍配置上述模具， 使上述模具的成形用凸部的頂面與上述受發(fā)光元件的受發(fā)光 部相重疊地進行定位的工序；通過在上述沖莫具內(nèi)填充密封樹 脂材料并使密封樹脂材料固化，形成設有能夠與上述光波導 路的凸狀芯圖案的規(guī)定部相嵌合的凹部的密封樹脂層的工 序；脫模后，通過使上述光波導路的凸狀芯圖案的規(guī)定部與 上述密封樹脂層的凹部相嵌合，使受發(fā)光元件的受發(fā)光部與 光波導路進行光耦合的工序；形成覆蓋上述光波導路的凸狀 芯圖案的剩余部分的上敷層的工序。
另外，本發(fā)明的第2技術方案提供一種光波導路裝置的制 造方法，其中特別是作為上述模具，使用石英玻璃和硅中的 至少一個而形成的透明模具，在配置上述模具時，通過透視 模具內(nèi)，使形成于模具的凸部的頂面與受發(fā)光元件的受發(fā)光 部相重疊地進^于定位。
而且，本發(fā)明的第3技術方案提供一種光波導路裝置，其 包括在下敷層上形成有凸狀芯圖案的光波導路；安裝在基
5板上表面上的受發(fā)光元件；密封上述受發(fā)光元件的密封樹脂 層。以凹部的底面配置成與上述受發(fā)光元件的受發(fā)光部相重 疊的方式在上述密封樹脂層上形成與上述光波導路的凸狀芯 圖案的規(guī)定部相嵌合的凹部，通過使上述密封樹脂層的凹部 與光波導路的凸狀芯圖案的規(guī)定部相嵌合，使受發(fā)光元件的 受發(fā)光部與光波導路進行光耦合，用上敷層覆蓋上述光波導 路的凸狀芯圖案的剩余部分。
另外，本發(fā)明的第4技術方案提供一種光波導路連接結(jié) 構，其使用于光波導路裝置中，其包括在下敷層上形成有 凸狀芯圖案的光波導路；安裝在基板上表面上的受發(fā)光元件； 密封上述受發(fā)光元件的密封樹脂層。以凹部的底面配置成與 上述受發(fā)光元件的受發(fā)光部相重疊的方式在上述密封樹脂層 上形成與上述光波導路的凸狀芯圖案的規(guī)定部相嵌合的凹 部，通過使上述密封樹脂層的凹部與光波導路的凸狀芯圖案 的規(guī)定部相嵌合，使受發(fā)光元件的受發(fā)光部與光波導路進行 光耦合。
另外，在本發(fā)明中，"成形用凸部的頂面……與受發(fā)光元 件的受發(fā)光部相重疊地進行定位"的主旨不限于上述頂面與 受發(fā)光部直接重疊的情況，也包含兩者在相互分離的狀態(tài)下 對置的情況。另外，在本發(fā)明中，"以凹部的底面配置成與受 發(fā)光元件的受發(fā)光部相重疊的方式形成凹部"的主旨同樣地 不限于上述凹部的底面與受發(fā)光部直接重疊的配置，也包含 兩者在相互分離的狀態(tài)下對置的情況。
即，本發(fā)明人對于在簡單且高精度地進行定位的狀態(tài)下 使受發(fā)光元件與光波導路進行光耦合的方法反復進行了深入 研究。結(jié)果發(fā)現(xiàn)， 一方面使用露出凸狀芯圖案的光波導路， 而對基板上的受發(fā)光元件進行樹脂密封時，與進行該樹脂密封的同時，以與受發(fā)光元件的受發(fā)光部相對配置的方式形成 能夠與上述光波導路的凸狀芯圖案相嵌合的凹部，使上述凹 部與光波導路的凸狀芯圖案直接嵌合，從而能夠簡單且準確 地使兩者進行光耦合，最終完成了本發(fā)明。
本發(fā)明的光波導路裝置的制造方法如上所述，使用露出 凸狀芯圖案的光波導路作為光波導路，而對基板上的受發(fā)光 元件進行樹脂密封時，與進行該樹脂密封的同時，以與受發(fā) 光元件的受發(fā)光部相對配置的方式形成能夠與上述光波導路 的凸狀芯圖案相嵌合的凹部，使上述凹部與光波導路的凸狀 芯圖案直接嵌合。根據(jù)該方法，通過上下凸凹的嵌合能夠簡 單且以優(yōu)異的精度使受發(fā)光元件與光波導路進行光耦合。因
此，具有不需要以往那樣繁瑣的勞力和時間、能夠大幅降低 制造成本和操作時間這樣的優(yōu)點。
而且，在上述制造方法中，特別是作為上述模具，使用 石英玻璃和硅中的至少一個而形成的透明模具，在配置上述 模具時，通過透視模具內(nèi)，使形成于模具的凸部的頂面與受 發(fā)光元件的受發(fā)光部相重疊地進行定位，因此具有能夠簡單 地進行配置模具時的定位操作這樣的優(yōu)點。
另外，本發(fā)明的光波導路裝置通過使設置于受發(fā)光元件 與光波導路上的凹凸相互直接嵌合，在高精度定位狀態(tài)下進 行光耦合，因此，能夠高效率地傳播光。
而且，采用在上述光波導路裝置中使用的光波導路連接 結(jié)構，具有能夠減少光耦合的損失、簡單且低成本地實施高 效率的光傳播這樣的優(yōu)點。


圖l的(a)是作為本發(fā)明一個實施例的光波導路裝置制造工序的說明圖，圖l的(b)是圖l的(a)的A-A'剖視圖。
圖2的(a)為上述制造工序的說明圖，圖2的(b)為圖2
的(a)的B-B'剖視圖。
圖3為上述制造工序的說明圖。
圖4的(a)、圖4的(b)均為上述制造工序的說明圖。 圖5為在上述制造工序中，安裝方式的變形例的說明圖。 圖6為上述變形例的制造工序的說明圖。 圖7為本發(fā)明的另 一實施例的說明圖。
具體實施例方式
接著，以使發(fā)光元件和光波導路進行光耦合來制造的光 波導路裝置為例，對本發(fā)明的最佳實施方式進行詳細說明。
根據(jù)表示該最佳實施方式的例子，首先如圖l的(a)所 示，準備平板狀或片狀的基板l,在其上表面的規(guī)定位置安裝 了受光元件2后，在受光元件2的周圍配置模具(俯視為四邊 形)3。圖l的(b)是圖l的(a)的A-A'剖視圖。
作為形成上述基板l的材料，例如列舉出玻璃、石英玻璃、 硅、樹脂、金屬等。另外，根據(jù)基板l的材質(zhì)、所要求的特性 適當設定基板l的厚度，例如，當基板l為以聚酯樹脂(PET)、 聚碳酸酯樹脂(PC)、聚萘二曱酸乙二醇酯(PEN)等作為基 材的撓性印刷電路基板(FPC )時，通常優(yōu)選厚度為30~ 3 0 0 |x m;當基板1為以玻璃板或石英板作為基材的剛性基板 時，通常優(yōu)選厚度為1 ~ 5mm。
另外，作為上述受光元件2，列舉出未密封的光電二極管 (PD)陣列芯片、未密封的光電晶體管等，在本例中，使用 將3個由光電二極管形成的受光部2 a橫著排成 一 排而成的陣 列芯片。然后，通過引線接合等將該受光元件2安裝到基板1上。圖中，附圖標記4是接合線。
而且，上述模具3用于對上述安裝好的受光元件2進行樹 脂密封，因此，包括:主要用于密封受光元件2的空間3a、主要 用于密封接合線4的空間3b和樹脂注入口 5。而且，在上述空 間3a內(nèi)的模具3的頂面的、與受光元件2的各受光部2a分別對 置的部分上設有向下突出的凸部6,各凸部6的頂面從正上方 與受光元件2的各受光部2a重疊地配置。
作為上述模具3的材質(zhì)，例如列舉出金屬、樹脂、硅、石 英玻璃等，其中，優(yōu)選石英玻璃、硅等透明模具。即，上述 模具3為透明模具時具有如下優(yōu)點在定位時通過透視模具3 內(nèi)，能夠簡單地確定模具3內(nèi)的凸部6的頂面與受光元件2的受 光部2a相重疊的位置，容易進行定位操作。
另外，使用不透明的金屬模具作為上述模具3時，例如， 預先在上述模具3和基板1上分別設置對位標記(未圖示)，通 過自基板l的背面?zhèn)葘蓪ξ粯擞涍M行攝-像等來進行主動對 位。此時，優(yōu)選直接在一莫具3上刻上對位標記，在基板l上通 過印刷或鍍銅來形成對位標記。
而且，如圖所示，優(yōu)選預先在上述模具3的凸部6的左右 側(cè)面上設置起模斜度。若使用具有上述起模斜度的凸部6，則 該斜度被復制到由該凸部6成形的密封樹脂層7的凹部8 (參照 圖2的(a))的左右側(cè)面上，因此，如下所述，具有在將光波 導路的凸狀的芯圖案ll (參照圖3)嵌入凹部8而進行光耦合 時，容易嵌入這樣的優(yōu)點。
另外，上述模具3的、主要用于密封接合線4的空間3b的 頂部高度H1需要設定為足夠的高度，以使受光元件2的接合線 4不與頂面相接觸。這樣是為了使上述頂面不會因按壓接合線 4而造成斷線等，從而可靠地進行樹脂密封。另外，在主要用于密封受光元件2的空間3a中，若從與凹部8嵌合的光波導路 的芯和受光部2a之間的光傳播效率來考慮，空間3a中的凸部6 頂面和受光部2a之間的間隙間隔H2越小越好，通常優(yōu)選設定 為0 50(im。另夕卜，如下所述，當上述H2二0時，在受光部2a 上不形成樹脂密封層，芯圖案ll直接嵌入受光部2a的上表面 (參照圖7)。
接著，通過將密封樹脂材料填充于上述模具3內(nèi)并使密封 樹脂材料固化，形成密封樹脂層7，進行脫模。這樣一來，如 圖2的(a)所示，受光元件2被密封樹脂層7密封，且在密封 樹脂層7上表面能夠獲得形成有與下述的用于與光波導路的 凸狀芯圖案相嵌合的凹部8的中間品。另外，圖2的(b)為圖 2的(a)的B-B'剖視圖。
作為上述密封樹脂材料，通常適宜采用廣泛用作光波導 路的形成芯層的材料，例如，能夠列舉出感光性環(huán)氧樹脂、 感光性聚酰亞胺樹脂、感光性聚酰胺樹脂、感光性硅有機樹 脂等感光性樹脂、非感光性環(huán)氧樹脂、聚酰亞胺樹脂等熱固 化性樹脂。上述材料通常溶解到溶劑而作為清漆(varnish)。 使用，其中，優(yōu)選使用了感光性環(huán)氧樹脂的清漆。
并且，在使用感光性樹脂時，上述密封樹脂材料的固化 通常采用紫外線點照射。紫外線的照射量通常為100 ~ 5000mJ/cm2，優(yōu)選為2000 3000mJ/cm2。另外，照射時間為 1~3秒。另外，使用聚酰亞胺樹脂等非感光性熱固化樹脂時， 通常通過300 ~ 400°Cx60 ~ 180分鐘的加熱處理使其固化。
另一方面，如圖3所示，通過形成由平行延伸的3條凸狀 的芯構成的芯圖案11 ，從而在細長的薄膜狀的下敷層IO的一 面上制作光波導路薄膜。然后，在上述芯圖案ll上不設置上 敷層，使芯圖案ll保持呈凸狀露出的狀態(tài)。上述下敷層10是由感光性樹脂、聚酰亞胺樹脂、環(huán)氧樹 脂等通常的形成下敷層的材料形成的薄膜，其厚度并沒有特 別限定。
另外，形成上述芯圖案ll的材料也可以是感光性樹脂、 聚酰亞胺樹脂、環(huán)氧樹脂等通常的形成芯層的材料，芯圖案
11的凸狀芯的折射率必須大于上述下敷層IO和下述上敷層13 (參照圖4的(b))的折射率。例如，通過選擇形成上述下敷 層IO、芯圖案ll、上敷層13的各種材料的種類、或調(diào)整上述 各種材料的組成，能夠調(diào)整上述折射率。
并且，形成上述芯圖案ll的方法并沒有特別限定，例如 將形成芯的材料的樹脂溶解到溶劑中形成的清漆，通過旋涂 法、浸漬法、澆鑄法、注射法、噴墨法等涂敷在上述下敷層 10的上表面上之后，通過光刻法等將規(guī)定圖案復制到被涂敷 的清漆，使被涂敷的清漆顯影，去除清漆不用的部分，從而 能夠獲得芯圖案ll。
上述芯圖案11的厚度并沒有特別限定，但必須考慮利用 芯圖案ll的凸形狀與設于上述受光元件2的樹脂密封件的密 封樹脂層7上的凹部8相嵌合。
例如，如圖3所示，將這樣獲得的光波導路薄膜以相對于 安裝有被樹脂密封的上述受光元件2的基板l垂直地直立的狀 態(tài)進行配置，如圖4的(a)所示，該芯圖案ll的端面嵌入密 封樹脂層7的凹部8中。然后，通過使上述芯圖案11的3個凸狀 芯的頂端部分別與上述受光元件2的3個受光部2a相對，能夠 在準確定位的狀態(tài)下進行光波導路薄膜與受光元件2的光耦 合。
在該狀態(tài)下，將例如以往廣泛用作光波導路的敷層形成 材料的樹脂材料作為嵌合部密封用的樹脂材料，注入到上述嵌合部中，并使其固化，從而對芯圖案ll的端面與凹部8的嵌 合進行固定。然后，與上述同樣，使用例如以往廣泛用作光 波導路的敷層形成材料的樹脂材料，覆蓋光波導路薄膜的、 芯圖案ll露出的部分并使其固化，如圖4的(b)所示，形成 上敷層13。這樣一來，能夠獲得對芯圖案11由下敷層10和上 敷層13覆蓋的光波導路薄膜與受光元件2進行光耦合而形成 的光波導路裝置。另外，在圖4的(b)中，附圖標記12表示 對上述芯圖案11的端面與凹部8的嵌合進行固定的樹脂材料 的固化體。
作為上述嵌合部密封用樹脂材料，例如，能列舉出感光 性環(huán)氧樹脂、感光性聚酰亞胺樹脂、感光性聚酰胺樹脂、感 光性硅有機樹脂等感光性樹脂、非感光性環(huán)氧樹脂、聚酰亞 胺樹脂等熱固化性樹脂。通常將上述材料溶解到溶劑中而作 為清漆使用。其中，優(yōu)選使用了感光性環(huán)氧樹脂的清漆。
另外，用于形成上述上敷層13的樹脂材料也能夠列舉出 與上述相同的材料。但是，為了抑制自構成芯圖案ll的芯射 出的光的損失，優(yōu)選設定上述上敷層13的光的折射率小于上 述芯的光的折射率。
這樣得到的光波導路裝置能夠使受光元件2和作為光波 導路的芯圖案11以高精度對兩者相互的光軸進行位置對合的 狀態(tài)下進行光耦合，因此，光耦合部的光損失較小，能夠高 效率地傳播光。
并且，采用上述光波導路裝置的制造方法，能夠通過凹 凸的嵌合簡單地實現(xiàn)上述高精度的位置對合，因此能夠不花 費勞力且短時間地制造出上述高質(zhì)量的光波導路裝置，實用 效果好。
另外，在上述例中，將光波導路薄膜配置為垂直于安裝
12有受光元件2的基板1 ，使光波導路薄膜的芯圖案11的端面嵌
入密封受光元件2的密封樹脂層7的凹部8中，從而使兩者相嵌 合。但是，嵌合的方式不限于此，能夠設定適當?shù)姆绞健?br> 例如，如圖5所示，也可以將光波導路薄膜配置為平行于 安裝有受光元件2的基板1，使光波導路薄膜的芯圖案ll的長 度方向和密封受光元件2的密封樹脂層7的凹部8的長度方向 為相同方向的狀態(tài)下進行嵌合。嵌合的狀態(tài)如圖6所示。此時， 利用該嵌合部的光耦合，能夠與上述例子同樣地高效率地傳 播光。
另外，在上述例子中，用密封樹脂層7完全覆蓋了受光元 件2的上表面，利用該密封樹脂層7的厚度形成凹凸，從而設 置與光波導路薄膜的芯圖案ll相嵌合的凹部8,但如圖7所示， 在受光元件2的上表面以規(guī)定間隔將密封樹脂層7設成筋狀， 將受光元件2的上表面用作與光波導路薄膜的芯圖案ll相嵌 合的凹部8的底面也沒有問題。本例是如已述那樣，在圖l的 (b)中的112=0時的例子。
而且，在上述例中，使用了光波導路薄膜作為光波導路， 但是，即使使用整體無撓性的、板狀等的光波導路時，與上 述例子相同，在板狀等的光波導路的表面設置凸狀的芯圖案 11,使凸狀的芯圖案ll與形成于受光元件2的上表面上的密封 樹脂層7的凹部8相嵌合，能夠獲得與上述例子相同的效果。
另外，在上述例子中，使設有多個受光部2a的陣列型的 受光元件2與多個凸條延伸的芯圖案ll相嵌合而同時進行多 個光耦合，但也可以使單 一 的光波導路與單 一 的受光部2a進 行光耦合。
而且，上述例子是將本發(fā)明應用在制造使受光元件2與光 波導路薄膜等的芯圖案11進行光耦合的光波導路裝置的方法中的例子，但不限與此，也能夠應用在制造使發(fā)光元件與光 波導路薄膜等的芯圖案11進行光耦合的光波導路裝置的方法中。
接著，對實施例進行說明。但是，本發(fā)明并不限于以下 的實施例。 實施例
光波導路薄膜的準備
作為用于傳播光信號的光波導路薄膜，準備好在由厚度
為20pm的環(huán)氧樹脂構成的下敷層的表面上形成有行寬/間距 (Line/Space ) 二50jim/125阿、高度為80,的凸狀芯圖案的
光波導路薄膜。
受光元件的安裝
使用以厚度為50pm的聚酰亞胺樹脂片為基材的撓性電路 基板(FPC)作為基板，通過引線接合將作為受光元件的未 密封的PD陣列芯片(受光部62.5pmx50iam、相鄰受光部之間 的間隔為125|im )連接在基板規(guī)定位置上并進行安裝。 模具的準備
通過使聚曱基丙烯酸甲酯(PMMA樹脂)流入超精密金 屬模具中，準備了透明樹脂模具。在該模具中設有樹脂注入 口、引線接合密封用空間、受光元件主體密封用空間，在上 述主體密封用空間內(nèi)的模具的頂面上形成有向下的具有與受 光元件的發(fā)光部相對置的頂面的凸部(參照圖l)。 密封樹脂材料的調(diào)制 將雙苯氧乙醇芴基縮水甘油醚(成分A): 70重量份、1, 3, 3-三{4-[2-( 3-氧雜環(huán)丁烷)]丁氧基苯基}丁烷30重量份、4， 4'-雙[二 ( P羥基乙氧基)苯基亞硫酸基]苯基硫酸-雙-六氟 銻酸鹽的50%碳酸丙二酯溶液(光酸發(fā)生劑成分B): 0.5重量份溶解到28重量份的乳酸乙烷中，調(diào)制成密封樹脂材料。 受光元件的密封 然后，用上述模具覆蓋安裝在基板上的受光元件的周圍， 從模具的樹脂注入口注入上述密封樹脂材料并使其固化，從而 密封受光元件和接合線。使固化物脫模后，能夠獲得由樹脂密
封受光元件的中間品(參照圖2)。
嵌合部密封用樹脂材料的調(diào)制
通過將上述成分A: 35重量份、(3' ， 4'-環(huán)氧環(huán)己烷) 曱基3' ，4'-環(huán)氧環(huán)己基羧酸酯40重量份、脂環(huán)式環(huán)氧樹 脂(大賽璐化學工業(yè)公司制造，CELLOXIDE2021P): 25重 量份、和上述成分B: l重量份混合，調(diào)制成下述的嵌合部密 封用樹脂材料。
凹凸嵌合以及密封固定
接著，將上述凸狀芯圖案露出的光波導路薄膜與由樹脂 密封了上述受光元件的中間品垂直配置，通過使光波導路薄 膜的凸狀芯圖案嵌入設于密封樹脂層的上表面上的凹部中， 從而使兩者相嵌合，在準確的位置對合的狀態(tài)下使光波導路 薄膜的光波導路與受光元件的受光部進行光耦合。然后，將 上述嵌合部密封用樹脂材料滴下到凸狀芯圖案與凹部之間的 嵌合部中，并進行紫外線點照射而使其固化，而將上述嵌合 部密封固定。
光波導路薄膜的保護
然后，將與用于上述光耦合部密封而調(diào)制成的材料相同 的樹脂材料滴下到與受光元件 一體化的光波導路薄膜上，利 用旋轉(zhuǎn)涂敷機輕微地進行均涂后，通過紫外線照射使其固化， 形成了覆蓋剝離出的凸狀芯圖案的上敷層。這樣，能夠獲得 作為目的的光波導路裝置。可知，經(jīng)由光波導^各而入射到受光元件的光量為通過主
動對位來進行完全調(diào)芯時的光量的60~ 90%,光的耦合損失
小、質(zhì)量高。
權利要求
1.一種光波導路裝置的制造方法，其特征在于，其包括以下工序準備在下敷層上形成有凸狀芯圖案的光波導路的工序；準備形成有凸部的模具的工序，該凸部用于成形能夠與上述光波導路的凸狀芯圖案的規(guī)定部相嵌合的凹部；準備上表面上安裝有受發(fā)光元件的基板的工序；在上述安裝的受發(fā)光元件的周圍配置上述模具，使上述模具的成形用凸部的頂面與上述受發(fā)光元件的受發(fā)光部相重疊地進行定位的工序；通過在上述模具內(nèi)填充密封樹脂材料并使密封樹脂材料固化，形成設有能夠與上述光波導路的凸狀芯圖案的規(guī)定部相嵌合的凹部的密封樹脂層的工序；脫模后，通過使上述光波導路的凸狀芯圖案的規(guī)定部與上述密封樹脂層的凹部相嵌合，使受發(fā)光元件的受發(fā)光部與光波導路進行光耦合的工序；形成覆蓋上述光波導路的凸狀芯圖案的剩余部分的上敷層的工序。
2. 根據(jù)權利要求l所述的光波導路裝置的制造方法，其特征在于，作為上述模具，使用石英玻璃和硅中的至少一個而形成的透明模具，在配置上述模具時，通過透視模具內(nèi)，使形成于模具上的凸部的頂面與受發(fā)光元件的受發(fā)光部相重疊地進行定位。
3. —種光波導路裝置，其特征在于，包括在下敷層上形成有凸狀芯圖案的光波導路；安裝在基板上表面上的受發(fā)光元件；密封上述受發(fā)光元件的密封樹脂層；以凹部的底面配置成與上述受發(fā)光元件的受發(fā)光部相重疊的方式在上述密封樹脂層上形成與上述光波導路的凸狀芯圖案的規(guī)定部相嵌合的凹部，通過使上述密封樹脂層的凹部與光波導路的凸狀芯圖案的規(guī)定部相嵌合，使受發(fā)光元件的受發(fā)光部與光波導路進行光耦合，用上敷層覆蓋上述光波導路的凸狀芯圖案的剩余部分。
4. 一種光波導路連接結(jié)構，使用于光波導路裝置中，其特征在于，包括在下敷層上形成有凸狀芯圖案的光波導路；安裝在基板上表面上的受發(fā)光元件；密封上述受發(fā)光元件的密封樹脂層；以凹部的底面配置成與上述受發(fā)光元件的受發(fā)光部相重疊的方式在上述密封樹脂層上形成與上述光波導路的凸狀芯圖案的規(guī)定部相嵌合的上述凹部，通過使上述密封樹脂層的凹部與光波導路的凸狀芯圖案的規(guī)定部相嵌合，使受發(fā)光元件的受發(fā)光部與光波導路進行光耦合。
全文摘要
本發(fā)明提供能夠通過簡單的工序以優(yōu)異的精度使受發(fā)光元件與光波導路進行光耦合的光波導路裝置及其制造方法、以及光波導路連接結(jié)構。準備在下敷層(10)上形成有凸狀芯圖案(11)的光波導路薄膜，并且在對安裝在基板(1)上的受光元件(2)進行密封的密封樹脂層(7)上表面上成形底部與上述受光元件(2)的受光部(2a)相重疊的凹部，通過將上述光波導路薄膜的凸狀芯圖案(11)與上述密封樹脂層的凹部相嵌合，使受光元件(2)與光波導路薄膜的光波導路進行光耦合。并且，用上敷層(13)覆蓋凸狀芯圖案(11)的嵌合部之外的部分。
文檔編號G02B6/42GK101493554SQ200910006090
公開日2009年7月29日 申請日期2009年1月22日 優(yōu)先權日2008年1月22日
發(fā)明者程野將行 申請人:日東電工株式會社