專利名稱：管路壓力平衡系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種管路壓力平衡系統(tǒng)，尤其涉及一種光刻膠涂布機(jī)臺(tái)的管路 壓力平衡系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
請(qǐng)參考圖1，有關(guān)現(xiàn)有技術(shù)的光刻膠涂布機(jī)臺(tái)的排放管路的示意圖。其中，排放管路12，抽排管路14。 一般光刻膠涂布機(jī)臺(tái)具有噴嘴組件10，通過排放 管路閥件22，控制與排放管路12的通連，以排放光刻膠液至廢液排放端26。 而光刻膠涂布機(jī)臺(tái)供給光刻膠液至噴嘴組件10時(shí)，也通過抽排管路閥件24， 控制與排放管路12的通連，同樣地連接至廢液排放端26。依據(jù)現(xiàn)有技術(shù)，光 刻膠涂布機(jī)臺(tái)利用地心引力，將光刻膠液導(dǎo)流至廢液排放端26，請(qǐng)一并參考 圖2，為有關(guān)現(xiàn)有技術(shù)以噴嘴組件IO，對(duì)工件300涂布光刻膠液，其排放管路 及具有光刻膠供給回收系統(tǒng)400的光刻膠涂布機(jī)臺(tái)的示意圖。圖2中分別以三 角形、菱形等分別表示光刻膠供給、排放管路中的自動(dòng)三向閥、三向閥、手動(dòng) 閥及氣動(dòng)閥等，其中，V表示自動(dòng)三向閥；0表示三向閥；x表示手動(dòng)閥； 表示氣動(dòng)閥，光刻膠涂布機(jī)臺(tái)并通過上述的各式閥件控制光刻膠涂布機(jī)臺(tái)中光 刻膠的供給及排放。然而，圖1中的排放管路12為涂布工藝中的排泡管路段，若排放管路12 的流動(dòng)性不佳，會(huì)導(dǎo)致排放管路12內(nèi)光刻膠液凝聚，致使噴嘴組件10內(nèi)壓力 不正常，而發(fā)生工藝異常。因此將會(huì)造成涂布膜厚不均勻及涂布的工件表面產(chǎn) 生氣泡，進(jìn)而造成生產(chǎn)良率的下降。再者，在排放管路12進(jìn)行排泡程序時(shí)， 若其無法順利完成作業(yè)，將會(huì)影響光刻膠涂布機(jī)臺(tái)的稼動(dòng)率及產(chǎn)能。另外，因排放管路12設(shè)置于光刻膠涂布機(jī)臺(tái)內(nèi)，機(jī)臺(tái)操作人員無法實(shí)時(shí) 檢視排放管路12，因此也無法有效確認(rèn)排放管路12內(nèi)的光刻膠液是否發(fā)生阻 塞，因此也使得機(jī)臺(tái)操作人員無法實(shí)時(shí)反應(yīng)，無法對(duì)光刻膠涂布機(jī)臺(tái)進(jìn)行實(shí)時(shí) 的排泡或維修處理。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于提供一種用于光刻膠涂布機(jī)臺(tái)的管路壓 力平衡系統(tǒng)，通過液封壓力平衡瓶，能向排放管路補(bǔ)充氣體，平衡排放管路內(nèi) 的壓力，也使光刻膠液與外界隔絕，延長排放管路發(fā)生阻塞的循環(huán)周期。同時(shí)， 通過觀察液封壓力平衡瓶內(nèi)隔絕液體的液面高度，便可輕易察覺排放管路內(nèi)是 否阻塞情形。本發(fā)明所要解決的另一技術(shù)問題在于提供一種用于光刻膠涂布機(jī)臺(tái)的管 路壓力平衡系統(tǒng)，因能讓光刻膠液排放順暢，避免光刻膠液于排放管路內(nèi)發(fā)生 凝聚，發(fā)生工藝異常，而使光刻膠涂布工藝良率有所提升。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的管路壓力平衡系統(tǒng)用于一光刻膠的涂布機(jī)臺(tái)， 包括噴嘴組件、排放管路以及第一液封壓力平衡瓶。噴嘴組件設(shè)置于光刻膠涂 布機(jī)臺(tái)上，用以涂布光刻膠液。排放管路連接至噴嘴組件，以排放光刻膠液。 第一液封壓力平衡瓶具有第一長管以及第一短管，瓶內(nèi)具有一隔絕液體，第一 短管連接至排放管路，第一長管與第一短管均伸入液封壓力平衡瓶內(nèi)，且第一 長管更伸入隔絕液體中，與外界連通，當(dāng)排放管路內(nèi)為負(fù)壓時(shí)，通過隔絕液體， 自外界補(bǔ)充氣體至排放管路，即能平衡排放管路內(nèi)的壓力，以順利排放光刻膠 液。利用本發(fā)明的第一液封壓力平衡瓶，僅需觀察其內(nèi)部隔絕液體的液面高度， 如有改變，即能確定排放管路內(nèi)有阻塞產(chǎn)生。本發(fā)明的光刻膠涂布機(jī)臺(tái)還包含光刻膠供給回收系統(tǒng)，用以供給光刻膠至 噴嘴組件。光刻膠供給回收系統(tǒng)包含回收槽，回收并儲(chǔ)存光刻膠液。而本發(fā)明 的管路壓力平衡系統(tǒng)還包含回收管路，回收槽通過回收管路連接至排放管路， 回收光刻膠液。并且，本發(fā)明的管路壓力平衡系統(tǒng)更進(jìn)一步包含第二液封壓力 平衡瓶，具有第二長管以及第二短管，瓶內(nèi)具有一隔絕液體，第二長管連接至 回收管路，第二短管與光刻膠供給回收系統(tǒng)外界連通，利用與第一液封壓力平 衡瓶相似的原理，平衡回收管路內(nèi)的壓力。對(duì)具有光刻膠供給回收系統(tǒng)的光刻 膠涂布機(jī)臺(tái)而言，本發(fā)明的管路壓力平衡系統(tǒng)即能克服前述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)， 滿足此類光刻膠涂布機(jī)臺(tái)的前述需求。以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本發(fā)明的 限定。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)的光刻膠涂布機(jī)臺(tái)排放管路的示意圖； 圖2為現(xiàn)有技術(shù)的排放管路及具有光刻膠供給回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機(jī) 臺(tái)的示意圖；圖3為本發(fā)明管路壓力平衡系統(tǒng)的示意圖；圖4為本發(fā)明具有管路壓力平衡系統(tǒng)及手動(dòng)光刻膠供給回收系統(tǒng)的光刻 膠涂布機(jī)臺(tái)的示意圖；圖5為本發(fā)明第二液封壓力平衡瓶與回收管路連接的示意圖；圖6為本發(fā)明具有管路壓力平衡系統(tǒng)及自動(dòng)光刻膠供給回收系統(tǒng)的光刻 膠涂布機(jī)臺(tái)的示意圖。其中，附圖標(biāo)記10:噴嘴組件22:排放管路閥件26:廢液排放端102:排放管路104:第一液封壓力平衡瓶106:第一長管110:隔絕液體108a:第二短管202:排放管路閥件206:廢液排放端400:光刻膠供給回收系統(tǒng)具體實(shí)施方式
請(qǐng)參考圖3，有關(guān)本發(fā)明管路壓力平衡系統(tǒng)的示意圖。本發(fā)明管路壓力平 衡系統(tǒng)包括噴嘴組件100、排放管路102以及第一液封壓力平衡瓶104。噴嘴 組件100設(shè)置于光刻膠涂布機(jī)臺(tái)上，用以涂布光刻膠液。排放管路102連接至 噴嘴組件100，利用重力導(dǎo)流光刻膠液，用以排放光刻膠液至廢液排放端206。 而光刻膠涂布機(jī)臺(tái)供給光刻膠液至噴嘴組件100時(shí)，也通過抽排管路112上抽12:排放管路 24:抽排管路閥件100:噴嘴組件102a:回收管路104a:第二液封壓力平衡瓶108:第一短管106a:第二長管 110a:隔絕液體 204:抽排管路閥件 300:工件排管路閥件204，控制與排放管路102的通連，同樣地連接至廢液排放端206。 此外，本發(fā)明的第一液封壓力平衡瓶104如圖3所示，具有第一長管106，第 一短管108，瓶內(nèi)具有隔絕液體IIO，其中第一長管106與第一短管108均伸 入于第一液封壓力平衡瓶104內(nèi)，且第一長管106更伸入于隔絕液體110中， 隔絕光刻膠液與管路壓力平衡系統(tǒng)外界的接觸，而第一短管108連接至排放管 路102，但未伸入第一液封壓力平衡瓶104的隔絕液體110，當(dāng)光刻膠液流動(dòng)， 排放管路102內(nèi)部形成負(fù)壓時(shí)，第一液封壓力平衡瓶104會(huì)通過第一長管106 及瓶內(nèi)的隔絕液體110，向排放管路102內(nèi)補(bǔ)充氣體，以平衡排放管路102內(nèi) 的壓力，順利排放光刻膠液，并利用隔絕液體IIO，使光刻膠液與外界隔絕。并且，如果排放管路102內(nèi)發(fā)生阻塞，會(huì)因排放管路102內(nèi)的正壓，導(dǎo)致 弟一很到乂衛(wèi)乂JT快j;ni丄ua鬥trji順^巴很'K^丄丄u tr、jii義iflj問/叉丄丌，矛兒臺(tái)于栄1f人貝1乂 需觀察隔絕液體110的液面高度，便可輕易察覺并判定排放管路102內(nèi)是否有 阻塞情形。另外，本發(fā)明的第一液封壓力平衡瓶104因?qū)⒐饪棠z液與外界接觸 隔絕，也能延長排放管路發(fā)生阻塞的可能時(shí)間周期。請(qǐng)連同圖3， 一并參考圖4，為本發(fā)明利用噴嘴組件100，對(duì)工件300涂 布光刻膠液，其具有管路壓力平衡系統(tǒng)及手動(dòng)的光刻膠供給回收系統(tǒng)400的光 刻膠涂布機(jī)臺(tái)的示意圖。圖4的實(shí)施例中，V表示自動(dòng)三向闊；O表示三向閥； x表示手動(dòng)閥； 表示氣動(dòng)閥，排放管路102可接至廢液排放端206，同時(shí) 并連接至光刻膠供給回收系統(tǒng)400的回收槽，收集廢光刻膠液。圖4中分別以 三角形、菱形等分別表示光刻膠供給、排放管路中的自動(dòng)三向閥、三向閥、手 動(dòng)閥及氣動(dòng)閥等，本發(fā)明的此實(shí)施例以手動(dòng)方式，控制光刻膠涂布機(jī)臺(tái)中光刻 膠的供給、排放及回收。如圖4所示，本發(fā)明的管路壓力平衡系統(tǒng)可還進(jìn)一步 包括光刻膠供給回收系統(tǒng)400，且請(qǐng)一并參考圖5，顯示回收管路102a與第二 液封壓力平衡瓶104a連接的示意圖。與第一液封壓力平衡瓶104同樣地，第 二液封壓力平衡瓶104a具有一第二長管106a以及一第二短管108a，不同的 是，第二長管106a連接至回收管路102a，第二短管108a則與光刻膠供給回 收系統(tǒng)400的外界連通，用以平衡回收管路102a內(nèi)的壓力。并且，第二液封 壓力平衡瓶104a內(nèi)具有一隔絕液體UOa，第二長管106a與第二短管108a均 伸入于第二液封壓力平衡瓶104a內(nèi)，且第二長管106a更伸入隔絕液體110a 中，隔絕光刻膠液與光刻膠供給回收系統(tǒng)400外界的接觸。本發(fā)明的管路壓力平衡系統(tǒng)利用第一液封壓力平衡瓶104及第二液封壓 力平衡瓶104a與排放管路102及回收管路102a的連接，不僅能平衡排放管路 102及回收管路102a內(nèi)的壓力，順利排放光刻膠液，也因隔絕光刻膠液與外 界氣體的接觸，而能延長管路發(fā)生阻塞的可能時(shí)間周期。尤其是對(duì)于具有光刻 膠回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機(jī)臺(tái)，使管路內(nèi)光刻膠液流動(dòng)順利及與外界隔絕為相 關(guān)重要的課題。本發(fā)明的管路壓力平衡系統(tǒng)即能克服前述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，滿 足此類光刻膠涂布機(jī)臺(tái)的前述需求。請(qǐng)參考圖6，為本發(fā)明利用噴嘴組件100，對(duì)工件300涂布光刻膠液，其 具有管路壓力平衡系統(tǒng)及自動(dòng)的光刻膠供給回收系統(tǒng)400的光刻膠涂布機(jī)臺(tái) 的示意圖，其中，V表示自動(dòng)三向閥；0表示三向閥；x表示手動(dòng)閥;100表示 氣動(dòng)閥。圖6中排放管路102可接至廢液排放端206，同時(shí)也連接至光刻膠供 給回收系統(tǒng)400的回收槽?；厥詹弁ㄟ^回收管路102a連接至排放管路102， 收集廢光刻膠液。如同圖4所示的實(shí)施例，圖6中的實(shí)施例也分別以三角形、 菱形等分別表示光刻膠供給、排放管路中的自動(dòng)三向閥、三向閥、手動(dòng)閥及氣 動(dòng)閥等，然本發(fā)明的此實(shí)施例能以光刻膠涂布機(jī)臺(tái)的控制器(未顯示)，控制連 接管路中分別閥件，編輯好配合自動(dòng)化涂布工藝，而以自動(dòng)方式控制光刻膠涂 布機(jī)臺(tái)中光刻膠的供給、排放及回收。更進(jìn)一步提高機(jī)臺(tái)效率及產(chǎn)能。與圖4所示的實(shí)施例相同，本發(fā)明的管路壓力平衡系統(tǒng)也可更進(jìn)一步包括 第二液封壓力平衡瓶104a及光刻膠供給回收系統(tǒng)400，第二液封壓力平衡瓶 104a通過回收管路102a與光刻膠供給回收系統(tǒng)400連接。同樣地，請(qǐng)一并參 考圖5，第二液封壓力平衡瓶104a具有第二長管106a以及第二短管108a ， 第二長管106a連接至回收管路102a，第二短管108a則與光刻膠供給回收系 統(tǒng)400的外界連通，不僅能平衡回收管路102a內(nèi)的壓力，順利排放光刻膠液， 也能隔絕光刻膠液與外界的接觸。因此，本發(fā)明的管路壓力平衡系統(tǒng)能解決前述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，平衡排放 管路內(nèi)壓力，避免光刻膠液發(fā)生凝聚，提升光刻膠涂布工藝的良率及改善機(jī)臺(tái) 稼動(dòng)率及產(chǎn)能。當(dāng)然，本發(fā)明還可有其它多種實(shí)施例，在不背離本發(fā)明精神及其實(shí)質(zhì)的情 況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變形，但 這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種管路壓力平衡系統(tǒng)，用于一光刻膠涂布機(jī)臺(tái)，其特征在于，包括一噴嘴組件，設(shè)置于該光刻膠涂布機(jī)臺(tái)上，用以涂布一光刻膠液；一排放管路，連接至該噴嘴組件，以排放該光刻膠液；以及一第一液封壓力平衡瓶，具有一第一短管以及一第一長管，該第一短管連接至該排放管路，該第一長管與該管路壓力平衡系統(tǒng)外界連通，以平衡該排放管路內(nèi)的壓力。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)該排放管 路內(nèi)為負(fù)壓時(shí)，通過該第一長管自該管路壓力平衡系統(tǒng)外界補(bǔ)充氣體至該排放 管路，以排放該光刻膠液。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，該第一液封 壓力平衡瓶內(nèi)具有一隔絕液體，該第一長管與該第一短管均伸入于該第一液封 壓力平衡瓶內(nèi)，且該第一長管還伸入該隔絕液體中，隔絕該光刻膠液與該管路 壓力平衡系統(tǒng)外界的接觸。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)該排放管 路內(nèi)為正壓時(shí)，能觀察該隔絕液體的一液面高度改變，判定該排放管路內(nèi)是否 阻塞。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，該排放管路 利用重力導(dǎo)流該光刻膠液。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，該光刻膠涂 布機(jī)臺(tái)還包含一光刻膠供給回收系統(tǒng)，連接至該噴嘴組件及該排放管路，用以 供給光刻膠至該噴嘴組件，或回收并儲(chǔ)存該光刻膠液。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，該光刻膠供 給回收系統(tǒng)還包含一回收槽，回收并儲(chǔ)存該光刻膠液。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，還包含一回 收管路，該回收槽通過該回收管路連接至該排放管路，回收該光刻膠液。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，還包含一第 二液封壓力平衡瓶，具有一第二長管以及一第二短管，該第二長管連接至該回 收管路，該第二短管與該光刻膠供給回收系統(tǒng)外界連通，以平衡該回收管路內(nèi)的壓力。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的管路壓力平衡系統(tǒng)，其特征在于，該第二液封 壓力平衡瓶內(nèi)具有一隔絕液體，該第二長管與該第二短管均伸入于該第二液封 壓力平衡瓶內(nèi)，且該第二長管還伸入該隔絕液體中，隔絕該光刻膠液與該光刻 膠供給回收系統(tǒng)外界的接觸。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于光阻涂布機(jī)臺(tái)的管路壓力平衡系統(tǒng)，包括噴嘴組件、排放管路以及第一液封壓力平衡瓶。噴嘴組件用以涂布光阻液。排放管路連接至噴嘴組件，以排放光阻液。第一液封壓力平衡瓶具有第一短管以及第一長管，第一短管連接至排放管路，第一長管則與管路壓力平衡系統(tǒng)外界連通，用以平衡排放管路內(nèi)的壓力。當(dāng)排放管路內(nèi)為負(fù)壓時(shí)，通過第一長管自管路壓力平衡系統(tǒng)外界補(bǔ)充氣體至排放管路，以順利排放光刻膠液。同時(shí)僅需觀察第一液封壓力平衡瓶內(nèi)隔絕液體的液面高度是否改變，即能判定排放管路內(nèi)是否阻塞。
文檔編號(hào)G03F7/16GK101221361SQ20081000106
公開日2008年7月16日 申請(qǐng)日期2008年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月18日
發(fā)明者林志遠(yuǎn), 蘇士博, 鄭為元, 陳豊涵, 陳閔翔 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司