專利名稱：：前表面鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：\1)205膜15。作為物理汽相淀積方法，可以^使用諸如濺射方法、真空汽相淀積方法、電子束淀積方法等方法。有鑒于膜形成的容易性、良好膜粘結(jié)度等等，尤其推薦濺射方法。Al膜13是前表面鏡的反射膜。有60nm或更厚的膜厚，能夠獲得90%或更高的可見(jiàn)光反射率。即使厚度增加到60nm或更厚，反射率并不增加。因此，60nm的膜厚已經(jīng)足夠。但是，即使具有大于該厚度的厚度，也不會(huì)有特別的問(wèn)題。為了在背投電視中使用前表面鏡3，通過(guò)把Nb20s15的厚度設(shè)在30nm或更厚，能夠獲得足夠的耐高溫性、耐高濕度性、和耐磨性。Nb20s膜15的厚度，最好是60土40nm，以便借助SK)2和Nb20s之間折射率的差值，獲得增加反射作用的反射率。在離子蝕刻的玻璃上形成的Al膜，在硬度、耐高溫、耐高濕度、和耐鹽水方面，極大地優(yōu)于沒(méi)有離子蝕刻處理的Al膜。0044下面，作為本發(fā)明的一個(gè)例子，詳細(xì)il明用濺射方法的具體例。但是，本發(fā)明不受這些例子的限制。比較例1除了不進(jìn)行玻璃襯底的離子蝕刻處理外，用相同的膜形成制備前表面鏡。進(jìn)行與例1相同的反射率測(cè)量和耐久性測(cè)試。[0066反射率測(cè)量結(jié)果示于表1。與例1和例2比較，在短波長(zhǎng)和長(zhǎng)波長(zhǎng)的反射率是低的。在角度變得更大的情形下，反射率變得更低。0067〗在比較例1的前表面鏡上，進(jìn)行與例1相同的耐久性測(cè)試。在粘結(jié)度、耐濕度、耐高溫性質(zhì)、和耐高低溫性質(zhì)方面，結(jié)果與例1類似。雖然透射率在硬度測(cè)試之前和之后，都是0%，但出現(xiàn)許多細(xì)的擦痕。在耐鹽水測(cè)試中，7天內(nèi)發(fā)現(xiàn)周邊部分有白色霧狀，而IO天內(nèi)整個(gè)變得模糊不清。發(fā)現(xiàn)反射率降低了。因此，結(jié)果劣于例l和例2。表ll<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula>[表2<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>權(quán)利要求1.一種用于背投電視的前表面鏡，其中一種金屬膜和一種金屬氧化物膜按上述次序形成在玻璃襯底上，該前表面鏡的特征是，該玻璃襯底表面經(jīng)過(guò)離子蝕刻改性，且該金屬膜是Al膜。2.按照權(quán)利要求1的前表面鏡，其特征是，該金屬氧化物是通過(guò)順序地在Al膜上形成Si02膜和Nb20s膜而形成的。3.按照權(quán)利要求1或2的前表面鏡，其特征是，在玻璃襯底和Al膜之間形成SiO;s膜。4.按照權(quán)利要求1到3任一項(xiàng)的前表面鏡，其特征是，該Al膜包含與Al相比為5wt%或更少的從Mn、Mg、Si、和Nd中選出的至少一種金屬。全文摘要一種用于背投電視的前表面鏡，其中一種金屬膜和一種金屬氧化物膜按上述次序形成在玻璃襯底上，該前表面鏡的特征是，該玻璃襯底表面經(jīng)過(guò)離子蝕刻改性，且該金屬膜是Al膜。文檔編號(hào)G03B21/28GK101180574SQ20068001746公開(kāi)日2008年5月14日申請(qǐng)日期2006年5月24日優(yōu)先權(quán)日2005年6月2日發(fā)明者上野泰,北川克彥,大西正司,宮本實(shí)申請(qǐng)人:中央硝子株式會(huì)社