專利名稱：光刻膠液制備方法及使用該光刻膠液的光刻膠膜的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光刻膠液制備方法以及使用該光刻膠液的光刻膠膜。更具體地，涉及由高濃度的原料液得到規(guī)定濃度的產(chǎn)品用光刻膠液的光刻膠液制備方法以及使用所得光刻膠液的光刻膠膜。
背景技術(shù)：
在彩色電視機(jī)、個(gè)人電腦、彈球盤游戲臺(tái)等液晶顯示器面板(以下，稱為L(zhǎng)CD面板)中，由薄膜晶體管(以下，稱為TFT)液晶方式形成的TFT液晶顯示器正成為主流。該TFT液晶顯示器應(yīng)用了稱為有源矩陣方式的技術(shù)，其以搭載了薄膜晶體管的陣列基板和用于著色的濾色片基板為中心而構(gòu)成，并且具有在這兩塊基板之間封有液晶材料的液晶單元。
陣列基板和濾色片基板的制備步驟中，例如通過在基板上涂布光刻膠液后，曝光，顯影等，在基板上形成光刻膠膜。特別地，在濾色片基板的制備步驟中，需要使用黑色和3原色的顏色光刻膠液，并分別對(duì)每種顏色反復(fù)進(jìn)行涂布光刻膠液，曝光，顯影等步驟。
然而，為了使LCD面板的發(fā)色性和對(duì)比度均一并且畫質(zhì)良好，優(yōu)選上述陣列基板和濾色片基板沒有斑點(diǎn)·條紋等。因而，在基板上均一地涂布光刻膠液是很重要的。
其中，作為在基板上均一地涂布光刻膠液的方法，可以采用使用旋涂機(jī)的旋涂法(參見特許文獻(xiàn)1)。所謂旋涂法，是通過在制備裝置上固定基板，在該固定的基板的中心部分滴入光刻膠液，然后高速水平旋轉(zhuǎn)基板，利用產(chǎn)生的離心力在基板上分散光刻膠液的方法。根據(jù)旋涂法，即使具有高粘性的光刻膠液，也可以均一地涂布。
此外，隨著近年來LCD面板的大型化，使基板旋轉(zhuǎn)的旋涂法在其裝置向旋涂機(jī)的大型化適應(yīng)方面產(chǎn)生了困難。此外，從旋轉(zhuǎn)時(shí)從基板灑落的光刻膠液很多，以及在涂布后需要進(jìn)行沖洗邊緣和洗滌端面的端面處理等觀點(diǎn)考慮，期望不旋轉(zhuǎn)基板的非旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行的涂布裝置。
為了滿足這些要求，提出了不旋轉(zhuǎn)基板的非旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行的涂布機(jī)。本裝置是一邊使基板上方的狹縫噴嘴移動(dòng)，一邊從狹縫噴嘴向基板表面供給光刻膠液的機(jī)器，其稱為狹縫涂布機(jī)(參見特許文獻(xiàn)2)。由于狹縫涂布機(jī)的出現(xiàn)，解決了旋涂機(jī)中存在的上述課題，并使大型LCD面板的制備變得容易。
特許文獻(xiàn)1特開2002-196322號(hào)公報(bào)特許文獻(xiàn)2特開2001-062370號(hào)公報(bào)發(fā)明要解決的問題在通過以往的旋涂機(jī)而進(jìn)行的光刻膠液涂布中，由于和離心力保持均衡，所以光刻膠液的固體量通常為25％-30％左右。通過旋涂機(jī)進(jìn)行的光刻膠液涂布，由于伴隨著高速水平旋轉(zhuǎn)，所以在光刻膠液固體量少(即低粘度)的情況下，從基板上灑落的光刻膠液很多。
另一方面，通過狹縫涂布機(jī)，由于可以不伴隨旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行涂布，所以更換為光刻膠液固體量低的光刻膠液。即使是低粘度的光刻膠液，也可以在基板上均一涂布。
然而，對(duì)于以往的光刻膠液，在光刻膠液生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的工廠中生產(chǎn)高濃度的原料液后，進(jìn)行高濃度原料液的靈敏度調(diào)節(jié)，接著，稀釋調(diào)節(jié)至每種產(chǎn)品不同的預(yù)期濃度，結(jié)果可以將所得規(guī)定光刻膠成分濃度的光刻膠液輸送至LCD面板的制備現(xiàn)場(chǎng)。
并且，通常在將產(chǎn)品用光刻膠液交給LCD面板等的制造商時(shí)，使用高價(jià)的小型專用容器。該小型專用容器可以按原樣直接連至LCD面板生產(chǎn)線，并且處理簡(jiǎn)便，此外，還有向光刻膠液中混入異物的危險(xiǎn)性小的優(yōu)點(diǎn)。該小型專用容器價(jià)格高，所以通常在將光刻膠液交給制造商后，在制造商處回收使用過的容器，進(jìn)行清掃等處理之后，再次進(jìn)行光刻膠液的充填，并可以作為所謂的循環(huán)容器使用。
這種小型的專用容器，不僅其購入費(fèi)用高，而且容器管理和回收方面的麻煩和費(fèi)用也是必然的，結(jié)果導(dǎo)致光刻膠液產(chǎn)品的成本很高。此外，小型專用容器在輸送的時(shí)候，在卡車等中空間占有率特別大而其輸送量小，因此從空間占有率方面其輸送費(fèi)也增大了。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種光刻膠液制備方法，其既可以降低光刻膠液輸送成本，又可以避免使用按原樣直接連接至現(xiàn)有LCD面板生產(chǎn)線的高價(jià)小型專用容器，并可以減少光刻膠液的供給總成本。
用于解決問題的方法本發(fā)明者為了解決上述課題，著眼于按原樣輸送高濃度光刻膠液，并且在LCD面板等制備現(xiàn)場(chǎng)，必須穩(wěn)定化后向每個(gè)產(chǎn)品供給不同濃度的預(yù)期濃度的產(chǎn)品用光刻膠液，并反復(fù)進(jìn)行了積極研究。其結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過測(cè)定調(diào)合罐里液體濃度和/或粘度，基于該測(cè)定結(jié)果通過調(diào)節(jié)原料液和溶劑的注入量而進(jìn)行稀釋控制，同時(shí)將通過稀釋控制而得到的產(chǎn)品用光刻膠液在緩沖槽中貯存一定時(shí)間使其穩(wěn)定化，可以解決上述問題，并最終完成本發(fā)明。更具體地，本發(fā)明提供如下方法。
(1)一種光刻膠液制備方法，通過向高濃度的原料液中加入溶劑而稀釋至預(yù)期濃度，從而得到規(guī)定濃度的產(chǎn)品用光刻膠液。該方法包括混合攪拌前述高濃度原料液和前述溶劑以得到混合液的混合攪拌步驟；取出一部分前述混合液，測(cè)定該取出的混合液的光刻膠成分的濃度或粘度中的至少一種，將其返回至前述混合液中的濃度·粘度測(cè)定步驟；基于前述濃度·粘度測(cè)定步驟中得到的濃度或粘度中的至少一種的測(cè)定值，一邊監(jiān)視前述原料液或前述溶劑的混合量，一邊將該混合液調(diào)節(jié)至預(yù)期濃度的調(diào)節(jié)步驟；和將在前述調(diào)節(jié)步驟中已調(diào)節(jié)至預(yù)期濃度的混合液貯存一定時(shí)間以使?jié)舛确€(wěn)定下來而形成產(chǎn)品用光刻膠液的濃度穩(wěn)定化步驟。
根據(jù)(1)的光刻膠液制備方法，通過向高濃度原料液中加入溶劑，可以精確地稀釋至預(yù)期濃度，同時(shí)得到性質(zhì)穩(wěn)定的規(guī)定濃度的產(chǎn)品用光刻膠液。因此，例如，在LCD面板等的制備現(xiàn)場(chǎng)施行本發(fā)明光刻膠液制備方法，在該制備現(xiàn)場(chǎng)中，交付高濃度的光刻膠液而不是稀釋后的低濃度產(chǎn)品用光刻膠液，由此可以謀求輸送量的減小化。
此外，如果在LCD面板等的制備現(xiàn)場(chǎng)施行(1)的光刻膠液制備方法，則由于輸送高濃度的原料液，所以可以避免使用按原樣直接連接至現(xiàn)有LCD面板生產(chǎn)線的小型專用容器。因此，如果用大型容器輸送高濃度原料液，則減少了高價(jià)小型專用容器的購買費(fèi)用以及該容器管理和回收方面的麻煩和費(fèi)用，同時(shí)減少了輸送中的空間占有率。
此外，對(duì)于(1)的光刻膠液制備方法，取出一部分原料液和溶劑的混合液，測(cè)定該取出液體光刻膠成分的濃度和/或粘度，基于該測(cè)定結(jié)果可以進(jìn)行原料液和溶劑補(bǔ)加量的調(diào)節(jié)。因此，無論使用的高濃度原料液濃度如何，都可以精確供給每種產(chǎn)品預(yù)期的產(chǎn)品用光刻膠液。
此外，(1)的光刻膠液制備方法，通過將由調(diào)節(jié)步驟調(diào)節(jié)至預(yù)期濃度的混合液貯存一定時(shí)間而使其濃度穩(wěn)定下來。因此，即使在制造批次之間使用不一致的原料液的時(shí)候，也可以維持目標(biāo)產(chǎn)品用光刻膠液的規(guī)定濃度，并保持一定的質(zhì)量。
(2)根據(jù)(1)所述的光刻膠液制備方法，其中前述濃度·粘度測(cè)定步驟中的濃度測(cè)定是通過使用聲波分析器或近紅外分光分析器中的至少一種而進(jìn)行的。
(2)的光刻膠液制備方法中濃度測(cè)定步驟通過使用作為濃度檢測(cè)器的聲波分析器和/或近紅外分光分析器而測(cè)定光刻膠成分的濃度。通過聲波分析器和/或近紅外分光分析器，可以容易地進(jìn)行作為液體中固體成分的光刻膠成分和溶劑的判別。
(3)根據(jù)(1)或(2)所述光刻膠液制備方法，其進(jìn)一步包含，通過溶劑溶解(1)或(2)所述光刻膠液制備方法中的任意步驟所產(chǎn)生的前述高濃度原料液的固化物，并將其加入至前述混合液中的洗滌步驟。
由于原料液光刻膠成分濃度高，因此在原料液輸送管線中有原料液的固化物容易粘附的傾向。根據(jù)(3)的光刻膠液制備方法，由溶劑溶解原料液形成的固化物并除去，同時(shí)將其加入至混合液中。因此，防止了由原料液的固化物而引起的管線等的堵塞，并由此可以減少定期清洗原料液輸送管線的工作，并可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。此外，由于溶解原料液固化物的溶劑沒有被廢棄，而被用作混合液的成分，所以可以節(jié)省溶劑的消耗，因此可以降低其后所得到的LCD面板等產(chǎn)品的價(jià)格。
(4)根據(jù)(1)至(3)之一所述的光刻膠液制備方法，其中前述濃度穩(wěn)定化步驟中具有貯存多于1天使用量的液體的緩沖槽。
(4)的光刻膠液制備方法中，在濃度穩(wěn)定化步驟中所使用的緩沖槽貯存多于1天使用量的產(chǎn)品用光刻膠液。一直以來所使用的專用小型容器中，因?yàn)橹荒艹涮钔耆蛔?天使用量的容量，所以在1天中需要進(jìn)行多次的更換工作。根據(jù)(4)的光刻膠液制備方法，因?yàn)榫哂匈A存多于1天使用量的量的緩沖槽，所以提高了上述(1)的產(chǎn)品用光刻膠液濃度穩(wěn)定化的效果，并可以在至少一天中進(jìn)行穩(wěn)定的連續(xù)供給。
此外，因?yàn)榫彌_槽的容量，即使由于本發(fā)明光刻膠液制備方法的其它步驟部分的裝置產(chǎn)生故障，或進(jìn)行裝置的清洗工作，而陷入該部分無法使用狀況的時(shí)候，也可以避免產(chǎn)品用光刻膠液的供給中斷。
(5)根據(jù)(1)至(4)之一所述的光刻膠液制備方法，其中前述原料液的固體成分濃度為30％或以上且50％或以下。
(5)的光刻膠液制備方法中所用原料液，其固體成分濃度為30％或以上且50％或以下。如果原料液固體成分濃度在此范圍內(nèi)，則在原料液中僅需要進(jìn)行靈敏度調(diào)節(jié)，而無需濃度調(diào)節(jié)。因此，在本發(fā)明光刻膠液制備方法的實(shí)施場(chǎng)所中交付的原料液，可以從其制備步驟中省略濃度調(diào)節(jié)步驟，因此可以縮減原料液交付物的交付周期。原料液的固體成分濃度優(yōu)選為30％或以上且45％或以下，更優(yōu)選為33％或以上且38％或以下。
(6)根據(jù)(1)至(5)之一所述的光刻膠液制備方法，其中前述產(chǎn)品用光刻膠液的固體成分濃度為10％或以上且30％或以下。
根據(jù)(6)的光刻膠液制備方法所得到的產(chǎn)品用光刻膠液，其固體成分濃度為10％或以上且30％或以下。產(chǎn)品用光刻膠液根據(jù)所用涂布裝置的不同，其固體成分的濃度也不同。通常，旋涂機(jī)用或狹縫旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)用產(chǎn)品用光刻膠液的固體成分濃度比狹縫涂布機(jī)這樣的非旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)用的產(chǎn)品用光刻膠液的固體成分濃度高。此外，產(chǎn)品用光刻膠液的固體成分濃度，即使在使用相同涂布裝置的時(shí)候，根據(jù)目標(biāo)產(chǎn)品的不同各自濃度也不同。
根據(jù)(6)的光刻膠液制備方法，因?yàn)楫a(chǎn)品用光刻膠液的固體成分濃度為30％或以下，所以可以容易地調(diào)節(jié)至目標(biāo)產(chǎn)品中固有的固體成分濃度。產(chǎn)品用光刻膠液的固體成分濃度在作為旋涂機(jī)用或狹縫旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)用時(shí)，優(yōu)選為20％或以上且30％或以下，更優(yōu)選為25％或以上且30％或以下。此外，在作為狹縫涂布法等非旋轉(zhuǎn)涂布法產(chǎn)品用時(shí)，優(yōu)選為10％或以上且20％或以下，更優(yōu)選為12％或以上且18％或以下。
(7)根據(jù)(1)至(6)之一所述的光刻膠液制備方法，其中前述產(chǎn)品用光刻膠液包括在使用規(guī)定光刻膠液的過程中產(chǎn)生的廢液或在洗滌光刻膠液制備裝置的過程中產(chǎn)生的廢液中的至少一種廢液。
(7)的光刻膠液制備方法中所用的溶劑，包括在使用規(guī)定光刻膠液的步驟中產(chǎn)生的廢液和/或在洗滌光刻膠液制備裝置的步驟中產(chǎn)生的廢液。其中，所謂“在使用規(guī)定光刻膠液的過程中產(chǎn)生的廢液”并不限定于使用根據(jù)本發(fā)明光刻膠液制備方法所得到的光刻膠液，其意味著使用各種光刻膠液的任何過程中所產(chǎn)生的廢液。此外，所謂“在洗滌光刻膠液制備裝置的過程中產(chǎn)生的廢液”意味著不僅是在洗滌用于實(shí)施本發(fā)明光刻膠液制備方法的裝置，例如用于制備光刻膠液原料液的制備裝置的過程中，還可以是在更換和檢查生產(chǎn)銘牌時(shí)洗滌所用裝置的過程中產(chǎn)生的廢液。
根據(jù)(7)的光刻膠液制備方法的話，例如通過在使用未用過的新鮮溶劑的同時(shí)，含有在使用規(guī)定光刻膠液的過程中產(chǎn)生的廢液和/或在洗滌光刻膠液制備裝置的過程中產(chǎn)生的廢液，可以再利用這些已廢棄的廢液。因此，不但不浪費(fèi)溶劑資源，而且減少了由于廢棄產(chǎn)生的費(fèi)用，并且使用根據(jù)(7)的光刻膠液制備方法得到的產(chǎn)品用光刻膠液后，可以降低所得到的LCD面板等產(chǎn)品的價(jià)格。
(8)根據(jù)(7)所述的光刻膠液制備方法，其中前述在使用規(guī)定光刻膠液的過程中產(chǎn)生的廢液是，在通過規(guī)定的光刻膠液形成光刻膠膜的光刻膠膜制備過程中產(chǎn)生的廢液。
(8)的光刻膠液制備方法中所用的溶劑，包括在通過規(guī)定的光刻膠液形成光刻膠膜的光刻膠膜制備過程中產(chǎn)生的廢液。由光刻膠液形成光刻膠膜的時(shí)候，在一定程度上出現(xiàn)了從基板上灑落的光刻膠液。特別是，通過伴隨基板旋轉(zhuǎn)的旋涂機(jī)進(jìn)行涂布的時(shí)候，旋轉(zhuǎn)時(shí)從基板上灑落的光刻膠液很多。根據(jù)(8)的光刻膠液制備方法，由于可以再利用形成光刻膠膜的光刻膠膜制備步驟中出現(xiàn)的這種光刻膠廢液，所以達(dá)到了和上述(7)同樣的效果。
(9)根據(jù)(8)所述的光刻膠液制備方法，其中前述在光刻膠膜制備過程中產(chǎn)生的廢液是，在狹縫涂布機(jī)涂布過程中產(chǎn)生的廢液或在狹縫涂布機(jī)頭的洗滌過程中產(chǎn)生的廢液的至少一種廢液。
(9)的光刻膠液制備方法中所用的溶劑，包括在狹縫涂布機(jī)涂布過程中產(chǎn)生的廢液和/或在狹縫涂布機(jī)頭的洗滌過程中產(chǎn)生的廢液。隨著LCD面板的大型化，LCD面板制備用基板越來越大型化。在大型面板用基板中的光刻膠膜形成中，優(yōu)選使用未伴隨旋轉(zhuǎn)的狹縫涂布法，但是由于基板是大型的，因而即使是使用狹縫涂布法的時(shí)候，從基板上灑落的光刻膠液量也很大。此外，狹縫涂布機(jī)頭，需要用溶劑定期洗滌，去除粘附在機(jī)頭上的光刻膠液作為原料而形成的固體物質(zhì)，并避免阻塞。根據(jù)(9)的光刻膠液制備方法，由于可以再利用這種在狹縫涂布機(jī)涂布步驟中產(chǎn)生的廢液和/或在狹縫涂布機(jī)頭的洗滌過程中產(chǎn)生的廢液，所以達(dá)到了和上述(7)同樣的效果。
(10)根據(jù)(1)至(9)之一所述的光刻膠液制備方法，其中前述產(chǎn)品用光刻膠液是液晶顯示器制備用的光刻膠液。
根據(jù)(10)的光刻膠液制備方法得到的產(chǎn)品用光刻膠液，是液晶顯示器制備用的光刻膠液。隨著近年來LCD面板的大型化，光刻膠液的涂布裝置正在從用旋涂機(jī)轉(zhuǎn)變?yōu)橛锚M縫涂布機(jī)。狹縫涂布機(jī)用的光刻膠液，由于光刻膠成分的含量(固體成分)低，所以用溶劑稀釋的比率很高。一方面，隨著LCD面板的大型化，光刻膠液的使用量不斷增大。根據(jù)本發(fā)明光刻膠液制備方法，在液晶顯示器的制備中，即使是稀釋比率必須高的時(shí)候，并且即使是產(chǎn)品用光刻膠液的需要量必須很大的時(shí)候，也可以迅速并且穩(wěn)定地進(jìn)行處理。
(11)一種光刻膠膜，其是通過管路直接向制備光刻膠膜的制備設(shè)備中供給根據(jù)(1)至(10)之一所述的光刻膠液制備方法得到的產(chǎn)品用光刻膠液而制備的。
(11)的光刻膠膜是通過管路直接向制備光刻膠膜的制備設(shè)備中供給根據(jù)(1)至(10)之一所述的光刻膠液制備方法得到的產(chǎn)品用光刻膠液而得到的。其中，所謂“通過管路直接”意味著，從用于實(shí)施(1)至(10)之一所述的光刻膠液制備方法的裝置供給的產(chǎn)品用光刻膠液不分配至獨(dú)立的容器中，而是通過管路按原樣導(dǎo)入至制備光刻膠膜的裝置中。不分配至獨(dú)立容器的話，在實(shí)施光刻膠液制備方法的裝置和制備光刻膠膜的制備設(shè)備之間的管路中，也可以具有添加添加劑等其它成分的部分，此外，也可以配置過濾器等。
(11)的光刻膠膜，不使用直接連接至作為構(gòu)成制備光刻膠膜的制備設(shè)備的一部分的現(xiàn)有LCD面板生產(chǎn)線的專用型小型專用容器，也可以進(jìn)行制備。通過以往的小型專用容器而進(jìn)行的光刻膠膜制備中，由于在2-3小時(shí)這樣的短時(shí)間內(nèi)容器變空，所以在1天內(nèi)必須更換幾次容器。因此，產(chǎn)生了人員配置和時(shí)間的損失。
(11)的光刻膠膜，可以通過由緩沖槽出來的管路直接向制備光刻膠膜的制備設(shè)備中供給在緩沖槽中積蓄的產(chǎn)品用光刻膠液而進(jìn)行制備。因此，可以避免在小型容器的更換中所需的人員配置和時(shí)間的損失。
(12)使用高濃度原料液作為狹縫涂布用涂布液的原料的方法。
(13)使用高濃度原料液作為液晶顯示器制備用光刻膠膜的原料的方法。
發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明光刻膠液制備方法，可以從高濃度原料液得到規(guī)定濃度的產(chǎn)品用光刻膠液。因此，在實(shí)施本發(fā)明光刻膠液制備方法的場(chǎng)所中，可以交付高濃度的光刻膠原料液本身，因而可以謀求輸送量的減小化。
此外，在LCD面板等的制備現(xiàn)場(chǎng)施行本發(fā)明光刻膠液制備方法，由于是向?qū)嵤﹫?chǎng)所輸送高濃度的光刻膠原料液，所以可以避免使用可按原樣直接連接至現(xiàn)有LCD面板生產(chǎn)線的小型專用容器。因此，用大型容器輸送高濃度原料液的話，可以減少高價(jià)小型專用容器的購買費(fèi)用以及該容器管理和回收方面的麻煩和費(fèi)用，同時(shí)可以減少輸送中的空間占有率。
此外，根據(jù)本發(fā)明的光刻膠液制備方法，取出一部分原料液和溶劑的混合液，測(cè)定該取出液體光刻膠成分的濃度和/或粘度，并且可以基于該測(cè)定結(jié)果進(jìn)行原料液和溶劑補(bǔ)加量的調(diào)節(jié)。因此，無論使用的高濃度原料液濃度如何，都可以精確供給每種產(chǎn)品預(yù)期的產(chǎn)品用光刻膠液。
此外，本發(fā)明的光刻膠液制備方法，通過將由調(diào)節(jié)步驟調(diào)節(jié)至預(yù)期濃度的混合液貯存一定時(shí)間而使其濃度穩(wěn)定下來。因此，即使在制造批次之間使用不一致的原料液的時(shí)候，也可以維持目標(biāo)產(chǎn)品用光刻膠液的規(guī)定濃度，并保持一定的質(zhì)量。


圖1是表示光刻膠液制備方法的圖。
圖2是表示用于實(shí)施光刻膠液制備方法的裝置的圖。
附圖標(biāo)記說明1 光刻膠液制備裝置10 原料液11 原料液導(dǎo)入管線12 原料液流量計(jì)20 溶劑21 溶劑導(dǎo)入管線22 溶劑流量計(jì)30 調(diào)合罐31 注入頭32 混合液33 攪拌器34 負(fù)載傳感器35、36 部分液體循環(huán)移送管線37 濃度檢測(cè)器和/或粘度檢測(cè)器38 流量調(diào)節(jié)器39 光刻膠液移送管線40 緩沖槽41 產(chǎn)品用光刻膠液42 產(chǎn)品用光刻膠液供給管線51、52 泵61、62 過濾器
71、72、73、74 空氣閥。
具體實(shí)施例方式
以下，基于

本發(fā)明的實(shí)施方式。另外，以下，對(duì)于共同的構(gòu)成元素，使用相同的符號(hào)并省略或簡(jiǎn)略其說明。
<光刻膠液制備方法的流程>
圖1是涉及本發(fā)明光刻膠液制備方法的一個(gè)實(shí)施方式的過程圖。以下，按照過程圖進(jìn)行說明。
在原料導(dǎo)入步驟(S101)中，在混合攪拌槽中導(dǎo)入形成產(chǎn)品用光刻膠液原料的高濃度原料液和溶劑。
在混合攪拌步驟(S102)中，混合攪拌由原料導(dǎo)入步驟(S101)導(dǎo)入的高濃度原料液和溶劑，得到混合液。
在濃度·粘度測(cè)定步驟(S103)中，從混合攪拌槽中取出一部分在混合攪拌步驟(S102)中得到的混合液，測(cè)定該取出混合液光刻膠成分的濃度和/或粘度，再返回至混合攪拌槽中。
濃度·粘度測(cè)定步驟(S103)中的濃度測(cè)定步驟，通過使用濃度檢測(cè)器而進(jìn)行光刻膠成分濃度的測(cè)定。作為濃度檢測(cè)器，只要可以測(cè)定混合液光刻膠成分的濃度，則沒有特別限定。本發(fā)明的混合液含有為液體成分的溶劑和為固體成分的光刻膠。因此，如果是可以判別液體成分和固體成分的濃度檢測(cè)器的話，則是可以的。本發(fā)明的光刻膠液制備方法中，優(yōu)選通過使用作為濃度檢測(cè)器的聲波分析器和/或近紅外分光分析器來測(cè)定濃度。
作為優(yōu)選濃度檢測(cè)器之一的聲波分析器，例如是富士工業(yè)(株)制備的FUD-1 MODEL-22或52。作為聲波分析器，沒有特別限定，可以使用市售的機(jī)器。
此外，作為優(yōu)選濃度檢測(cè)器的其他例子的近紅外分光分析器，例如橫河電機(jī)(株)制備的NR800。作為近紅外分光分析器，沒有特別限定，可以使用市售的機(jī)器。
濃度·粘度測(cè)定步驟(S103)中的粘度測(cè)定步驟，通過使用粘度檢測(cè)器而進(jìn)行光刻膠成分粘度的測(cè)定。本發(fā)明中，在實(shí)施粘度測(cè)定步驟的時(shí)候，需要預(yù)先確定目標(biāo)規(guī)定的產(chǎn)品用光刻膠液的濃度和粘度的關(guān)系。形成與目標(biāo)規(guī)定的產(chǎn)品用光刻膠液的濃度相當(dāng)?shù)恼扯?，通過后面的調(diào)節(jié)步驟，一邊監(jiān)視原料導(dǎo)入步驟(S101)中的導(dǎo)入量，一邊調(diào)節(jié)混合攪拌槽中的混合液。
作為粘度測(cè)定步驟中所用的粘度檢測(cè)器，沒有特別限定，但是優(yōu)選可以連續(xù)測(cè)定的粘度計(jì)。作為粘度檢測(cè)器，可以優(yōu)選使用例如，LEVIITRONIX公司制備的Viscometer BUM-1。
另外，在本發(fā)明濃度·粘度測(cè)定步驟(S103)中，可以僅實(shí)施了濃度測(cè)定和粘度測(cè)定中的任一種，此外，也可以實(shí)施兩種測(cè)定。并且，在濃度測(cè)定中，可以僅實(shí)施聲波分析器測(cè)定和近紅外分光分析器測(cè)定中的一種，此外，也可以通過兩種而實(shí)施測(cè)定。
在調(diào)節(jié)步驟(S104)中，基于在濃度·粘度測(cè)定步驟(S103)中得到的濃度和/或粘度測(cè)定值，一邊監(jiān)視原料導(dǎo)入步驟(S101)中的導(dǎo)入量，一邊將混合攪拌槽中的混合液調(diào)節(jié)至預(yù)期濃度。
也就是說，預(yù)先，將目標(biāo)規(guī)定的產(chǎn)品用光刻膠液的濃度和/或粘度，和作為原料導(dǎo)入的原料液的濃度和/或粘度的資料登記到調(diào)節(jié)步驟(S104)中所使用的調(diào)節(jié)機(jī)器中。當(dāng)濃度·粘度測(cè)定步驟(S103)中的測(cè)定結(jié)果比目標(biāo)產(chǎn)品用光刻膠液的濃度和/或粘度高的時(shí)候，調(diào)節(jié)機(jī)器進(jìn)行控制以增加作為原料的溶劑的導(dǎo)入量。另一方面，當(dāng)濃度·粘度測(cè)定步驟(S103)中的測(cè)定結(jié)果比目標(biāo)產(chǎn)品用光刻膠液的濃度和/或粘度低的時(shí)候，調(diào)節(jié)機(jī)器進(jìn)行控制以增加作為原料的原料液的導(dǎo)入量。由此，使混合攪拌槽內(nèi)的混合液濃度成為目標(biāo)規(guī)定的濃度。
作為調(diào)節(jié)步驟(S104)中所使用的調(diào)節(jié)機(jī)器，只要可以調(diào)節(jié)混合液濃度的話，則沒有特別限定。例如，可以使用流量調(diào)節(jié)器進(jìn)行調(diào)節(jié)?？梢詫⒘髁空{(diào)節(jié)器連接至上述的濃度檢測(cè)器和/或粘度檢測(cè)器，并基于測(cè)定的濃度和/或粘度，而控制原料液和/或溶劑的導(dǎo)入量。
此外，可以使用負(fù)載傳感器作為調(diào)節(jié)機(jī)器。在這種情況下，通過負(fù)載傳感器測(cè)定混合攪拌槽內(nèi)混合液的重量，并基于測(cè)定的濃度和/或粘度，控制原料液和/或溶劑的補(bǔ)加導(dǎo)入量，從而使混合攪拌槽內(nèi)的混合液濃度成為目標(biāo)規(guī)定的濃度。
在貯存步驟(S105)中，使通過調(diào)節(jié)步驟(S104)已調(diào)節(jié)至目標(biāo)規(guī)定的濃度的混合液貯存在緩沖槽中。
在濃度穩(wěn)定化步驟(S106)中，通過使在貯存步驟(S105)中貯存的混合液貯存一定時(shí)間而使其濃度穩(wěn)定下來，由此得到產(chǎn)品用光刻膠液。
也就是說，預(yù)先，特別確定產(chǎn)品用光刻膠液的濃度從貯存到穩(wěn)定化的時(shí)間，并比較通過貯存步驟(S105)向緩沖槽移送混合液之后的時(shí)間，和對(duì)于該混合液濃度所需的穩(wěn)定化時(shí)間。當(dāng)沒有經(jīng)過相對(duì)于混合液濃度穩(wěn)定化所需的時(shí)間時(shí)，進(jìn)行控制以繼續(xù)貯存步驟(S105)直至經(jīng)過了其不足的時(shí)間。另一方面，當(dāng)經(jīng)過了相對(duì)于混合液濃度穩(wěn)定化所需的時(shí)間時(shí)，可以進(jìn)入到接下來的供給步驟(S107)。
濃度穩(wěn)定化步驟(S106)中所使用的緩沖槽，優(yōu)選貯存了多于1天使用量的產(chǎn)品用光刻膠液。如果具有貯存了多于1天使用量的量的緩沖槽，則可以在至少一天中進(jìn)行穩(wěn)定的連續(xù)供給。此外，因?yàn)榫彌_槽的容量，即使由于本發(fā)明光刻膠液制備方法的其它步驟部分的裝置產(chǎn)生故障，或進(jìn)行裝置的清掃工作，而陷入該部分無法使用狀況的時(shí)候，也可以避免產(chǎn)品用光刻膠液的供給中斷。
在供給步驟(S107)中，從緩沖槽中供給充分穩(wěn)定化的產(chǎn)品用光刻膠液。本發(fā)明中，對(duì)供給形態(tài)沒有特別限定?？梢猿涮钪寥萜鞯?，也可以通過管路直接供給至制備光刻膠膜的裝置。
在光刻膠膜制備步驟(S108)中，由在供給步驟(S107)中供給的產(chǎn)品用光刻膠液制備光刻膠膜。本發(fā)明中，可以使用在供給步驟(S107)中充填至容器的產(chǎn)品用光刻膠液，也可以是不充填至容器，而通過管路直接供給至制備光刻膠膜裝置的情況。

本發(fā)明中，在不損害本發(fā)明作用效果的范圍內(nèi)，可以包括其它步驟。作為其它步驟，可以包括例如，用溶劑溶解在光刻膠液制備方法的任意步驟中產(chǎn)生的高濃度原料液的固化物，并混合至混合液中的洗滌步驟。此外，可以包括用于在故障或清掃時(shí)進(jìn)行處理以使存在于生產(chǎn)線中的液體暫時(shí)避開的旁路步驟，并進(jìn)一步包括結(jié)合其它成分的添加劑結(jié)合步驟等。
[原料液]本發(fā)明光刻膠液制備方法中所使用的原料，如果其是通過光反應(yīng)而產(chǎn)生化學(xué)作用·變化，并形成樹脂光刻膠膜而得到的話，則沒有特別限定?？梢粤信e，例如TFT陣列用正/負(fù)型光刻膠、CF用光刻膠、層間絕緣膜用光刻膠、間隔層用光刻膠、TAB/BUMP用光刻膠等。
作為本發(fā)明光刻膠液制備方法中所用原料液的光刻膠成分濃度的固體成分濃度優(yōu)選為30％或以上且50％或以下。優(yōu)選為30％或以上且45％或以下，更優(yōu)選為33％或以上且38％或以下。
作為本發(fā)明的光刻膠液制備方法中所用的溶劑，如果是可以稀釋原料液，并提高形成光刻膠膜時(shí)的涂布性和膜厚均一性的成分的話，則沒有特別限定?？梢允褂靡恢币詠硗ǔＫ玫挠袡C(jī)溶劑。
作為本發(fā)明的光刻膠液制備方法中所用溶劑的實(shí)例，可以列舉例如甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇、3-甲氧基-1-丁醇等一元醇；甲基-3-甲氧基丙酸酯、乙基-3-乙氧基丙酸酯等烷基羧酸酯；乙二醇、二乙二醇、丙二醇等多價(jià)醇；乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丙醚、乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙醚、丙二醇單丁醚、乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯等多元醇衍生物；醋酸、丙酸等脂肪酸；丙酮、甲乙酮、2-庚酮等酮等，這些有機(jī)溶劑可以單獨(dú)使用，也可以兩種或兩種以上混合使用。
作為本發(fā)明的光刻膠液制備方法中所用的溶劑，優(yōu)選包括在使用規(guī)定光刻膠液的過程中產(chǎn)生的廢液和/或在洗滌光刻膠液制備裝置的過程中產(chǎn)生的廢液。也就是說，對(duì)于通過本發(fā)明的光刻膠液制備方法所得到的產(chǎn)品用光刻膠液的使用沒有特別限定，其不僅優(yōu)選包括在使用各種光刻膠液的任何過程中產(chǎn)生的廢液和/或在洗滌用于實(shí)施本發(fā)明光刻膠液制備方法的裝置，例如用于制備光刻膠液原料液的制備裝置的過程中產(chǎn)生的廢液，還優(yōu)選包括在更換和檢查生產(chǎn)銘牌時(shí)洗滌所用裝置的過程中產(chǎn)生的廢液。
進(jìn)一步，在使用規(guī)定光刻膠液的步驟中所產(chǎn)生的廢液中，優(yōu)選包括由規(guī)定的光刻膠液形成光刻膠膜的光刻膠膜制備過程中產(chǎn)生的廢液。特別地，優(yōu)選包括在狹縫涂布機(jī)涂布過程中產(chǎn)生的廢液和/或在狹縫涂布機(jī)頭的洗滌過程中產(chǎn)生的廢液。
根據(jù)本發(fā)明的光刻膠液制備方法得到的產(chǎn)品用光刻膠液的固體成分濃度，沒有特別限定，其可以根據(jù)光刻膠液涂布裝置的種類和形成光刻膠膜的產(chǎn)品中所要求的各種濃度適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行調(diào)節(jié)。本發(fā)明中，因?yàn)榭梢院苋菀椎卣{(diào)節(jié)至目的產(chǎn)品中固有的固體成分濃度，所以產(chǎn)品用光刻膠液的固體成分濃度優(yōu)選為10％或以上且30％或以下。在使用旋涂機(jī)或狹縫旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)時(shí)，產(chǎn)品用光刻膠液的固體成分濃度優(yōu)選為20％或以上且30％或以下，更優(yōu)選為25％或以上且30％或以下。此外，在使用狹縫涂布機(jī)等非旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)時(shí)，優(yōu)選為10％或以上且20％或以下，更優(yōu)選為12％或以上且18％或以下。
作為根據(jù)本發(fā)明光刻膠液制備方法得到的產(chǎn)品用光刻膠液的用途，沒有特別限定，但是從通過溶劑稀釋的比率高，并且1天的需要量大的觀點(diǎn)考慮，其優(yōu)選用于LCD面板(液晶顯示器)。
特別地，在LCD面板的基板中，通過光刻膠膜形成圖案后，按正確規(guī)則配置幾十萬至幾千萬個(gè)TFT(薄膜晶體管)，并進(jìn)一步搭載電極。此外，濾色片基板需要對(duì)每種顏色實(shí)施多次光刻膠圖案的形成步驟。因此，為了提高后來得到的光刻膠膜的精度，對(duì)于光刻膠液，需要其品質(zhì)穩(wěn)定化。此外，隨著最近LCD面板的普及和大型化，形成了1天所需光刻膠液的量變大的情況。
根據(jù)本發(fā)明，可以精確供給每種產(chǎn)品預(yù)期的產(chǎn)品用光刻膠液，同時(shí)可以通過使產(chǎn)品用光刻膠液的濃度穩(wěn)定化而維持其品質(zhì)，并且可以進(jìn)行至少一天的穩(wěn)定連續(xù)供給。
實(shí)施例基于圖2對(duì)本發(fā)明的光刻膠液制備方法的實(shí)施例進(jìn)行說明，但是本發(fā)明并不限定于此。
圖2是表示作為本發(fā)明光刻膠液制備方法實(shí)施例的光刻膠液制備裝置1的圖。實(shí)施例的光刻膠液制備裝置1具有導(dǎo)入高濃度原料液10的導(dǎo)入部A，混合導(dǎo)入至該導(dǎo)入部A的原料液10和溶劑20并進(jìn)行攪拌的混合攪拌部B，以及通過在該混合攪拌部B中混合攪拌而調(diào)節(jié)濃度后，供給由此得到的產(chǎn)品用光刻膠液的供給部C。
導(dǎo)入部A主要由原料液導(dǎo)入管線11、原料液流量計(jì)12、溶劑導(dǎo)入管線21、溶劑流量計(jì)22構(gòu)成。此外混合攪拌部B主要由混合攪拌槽30、注入頭31、部分液體循環(huán)移送管線35和36、濃度檢測(cè)器和/或粘度檢測(cè)器37、流量調(diào)節(jié)器38構(gòu)成。供給部分中，緩沖槽40、產(chǎn)品用光刻膠液供給管線42是主要的構(gòu)成部件。
原料導(dǎo)入步驟(S101)在圖2的導(dǎo)入部分A中完成。原料導(dǎo)入步驟(S101)中，分別從原料液導(dǎo)入管線11和溶劑導(dǎo)入管線12中導(dǎo)入原料液10和溶劑20。從原料液導(dǎo)入管線11和溶劑導(dǎo)入管線12中導(dǎo)入的原料液10和溶劑20，經(jīng)混合攪拌部B的注入頭31注入至混合攪拌槽30中。另外，本實(shí)施例中，在原料液導(dǎo)入管線11中設(shè)立了原料液流量計(jì)12，在溶劑導(dǎo)入管線21中設(shè)立了溶劑流量計(jì)22。
混合攪拌步驟(S102)在圖2的混合攪拌部分B中完成。混合攪拌步驟(S102)中，通過注入頭31，一邊用從該原料液排出口附近設(shè)立的溶劑排出口中排出的溶劑20洗滌作為原料液10的排出口的原料液排出口，一邊向混合攪拌槽30中注入原料液10和溶劑20。
這時(shí)，通過原料液導(dǎo)入管線11中設(shè)立的原料液流量計(jì)12和溶劑導(dǎo)入管線21中設(shè)立的溶劑流量計(jì)22監(jiān)視向混合攪拌槽30中注入的原料液10和溶劑20的注入量，同時(shí)通過在混合攪拌槽30的下部設(shè)立的負(fù)載傳感器34監(jiān)視其總質(zhì)量。向混合攪拌槽30中注入的原料液10和溶劑20，通過攪拌器在混合攪拌槽30中混合攪拌一定時(shí)間，形成混合液32。
濃度·粘度測(cè)定步驟(S103)在圖2的混合攪拌部分B中完成。濃度·粘度測(cè)定步驟(S103)中，實(shí)施濃度和/或粘度的測(cè)定。濃度·粘度測(cè)定步驟中，通過混合攪拌槽30中設(shè)立的部分液體循環(huán)移送線35，取出一部分混合攪拌槽30中貯存的混合液32。作為取出的一部分混合液32的液體，通過在部分液體循環(huán)移送線35和36之間設(shè)定的濃度檢測(cè)器和/或粘度檢測(cè)器37來測(cè)定其濃度和/或粘度。濃度和/或粘度測(cè)定完成的液體通過部分液體循環(huán)移送線36返回至混合攪拌槽30中。
調(diào)節(jié)步驟(S104)在圖2的混合攪拌部分B中完成。調(diào)節(jié)步驟(S104)中，基于通過濃度·粘度測(cè)定步驟(S103)的濃度檢測(cè)器和/或粘度檢測(cè)器37測(cè)定的濃度和/或粘度結(jié)果，用流量調(diào)節(jié)器38調(diào)節(jié)控制導(dǎo)入部分A的原料液導(dǎo)入管線11中設(shè)立的原料液流量計(jì)12和/或溶劑導(dǎo)入管線21中設(shè)立的溶劑流量計(jì)22。由此，控制向混合攪拌槽30中補(bǔ)加注入的原料液10和/或溶劑20的注入量。根據(jù)需要，通過反復(fù)進(jìn)行上述濃度和/或粘度測(cè)定的操作以及調(diào)節(jié)控制注入量的操作而制備預(yù)期濃度的混合液32。
此外，即使基于混合攪拌槽30內(nèi)混合液32的重量，也可以通過負(fù)載傳感器34進(jìn)行調(diào)節(jié)步驟(S104)。也就是說，向混合攪拌槽30中充填規(guī)定量的原料液10和溶劑20時(shí)，通過負(fù)載傳感器34測(cè)定重量，并收到由濃度·粘度測(cè)定步驟(S103)的濃度檢測(cè)器和/或粘度檢測(cè)器37測(cè)定的濃度和/或粘度結(jié)果，調(diào)節(jié)控制在導(dǎo)入部分A的原料液導(dǎo)入管線11中設(shè)立的開關(guān)閥門和/或在溶劑導(dǎo)入管線12中設(shè)立的開關(guān)閥門，進(jìn)而調(diào)節(jié)控制向混合攪拌槽30中補(bǔ)加注入的原料液10和/或溶劑20的注入量。根據(jù)需要，通過反復(fù)進(jìn)行上述濃度和/或粘度測(cè)定的操作以及調(diào)節(jié)控制注入量的操作而制備預(yù)期濃度的混合液32。
貯存步驟(S105)在圖2的混合攪拌部B中完成。貯存步驟(S105)中，通過用于向供給部C進(jìn)行移送的光刻膠液移送管線39，并用泵51將混合攪拌槽30中所貯存的達(dá)到預(yù)期濃度的混合液32移送至供給部C的緩沖槽40。此時(shí)，通過在光刻膠液移送管線39中設(shè)立的過濾器61進(jìn)行過濾，并將過濾后的混合液32注入至緩沖槽40中。
此外，實(shí)施例光刻膠液制備裝置1的光刻膠液移送管線39，具有旁路，其用于出現(xiàn)需要截?cái)嘞蚬┙o部C移送的時(shí)候。通過旁路中具有開口閥和空氣閥74，可以使在光刻膠液移送管線39內(nèi)部移送的液體返回至混合攪拌槽30中。
濃度穩(wěn)定化步驟(S106)在圖2的供給部C中完成。貯存步驟(S105)中，通過使移送的規(guī)定濃度的混合液32在緩沖槽40中貯存一定時(shí)間而使其濃度穩(wěn)定下來，進(jìn)而得到產(chǎn)品用光刻膠液41。
供給步驟(S107)在圖2的供給部C中完成。供給步驟(S107)中，用泵52，并通過產(chǎn)品用光刻膠液供給管線42，供給經(jīng)過一定時(shí)間而得到的產(chǎn)品用光刻膠液41。此時(shí)，產(chǎn)品用光刻膠液41通過在產(chǎn)品用光刻膠液供給管線42中設(shè)立的過濾器62進(jìn)行過濾，然后進(jìn)行供給。
光刻膠膜制備步驟(S108)在圖2的供給部C后完成(在圖2中沒有圖示)。光刻膠膜制備步驟(S108)是通過產(chǎn)品用光刻膠液供給管線42和/或其它管道，直接向使用產(chǎn)品用光刻膠液制備光刻膠膜的制備設(shè)備供給產(chǎn)品用光刻膠液41的步驟。也就是說，在與使用產(chǎn)品用光刻膠液制備光刻膠膜的制備設(shè)備所存在的場(chǎng)所同一個(gè)場(chǎng)所中，設(shè)置用于實(shí)施本發(fā)明光刻膠液制備方法的光刻膠液制備裝置。
權(quán)利要求
1.一種光刻膠液制備方法，通過向高濃度的原料液中加入溶劑而稀釋至預(yù)期濃度，從而得到規(guī)定濃度的產(chǎn)品用光刻膠液，該方法包括如下步驟混合攪拌所述高濃度原料液和所述溶劑以得到混合液的混合攪拌步驟；取出一部分所述混合液，測(cè)定該取出的混合液的光刻膠成分的濃度或粘度中的至少一種后，將取出的混合液返回至所述混合液中的濃度·粘度測(cè)定步驟；基于所述濃度·粘度測(cè)定步驟中得到的濃度或粘度中的至少一種的測(cè)定值，一邊監(jiān)視所述原料液或所述溶劑的混合量，一邊將該混合液調(diào)節(jié)至預(yù)期濃度的調(diào)節(jié)步驟；將在所述調(diào)節(jié)步驟中已調(diào)節(jié)至預(yù)期濃度的混合液貯存一定時(shí)間以使?jié)舛确€(wěn)定下來而形成產(chǎn)品用光刻膠液的濃度穩(wěn)定化步驟。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠液制備方法，其中，所述濃度·粘度測(cè)定步驟中的濃度測(cè)定是通過使用聲波分析器或近紅外分光分析器中的至少任意一種而進(jìn)行的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光刻膠液制備方法，其進(jìn)一步包括通過所述溶劑溶解權(quán)利要求1或2所述光刻膠液制備方法中的任意步驟中所產(chǎn)生的所述高濃度原料液的固化物，并將其加入至所述混合液中的洗滌步驟。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠液制備方法，其中，所述濃度穩(wěn)定化步驟中具有貯存多于1天使用量的液體的緩沖槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠液制備方法，其中，所述原料液的固體成分濃度為30％或以上且50％或以下。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠液制備方法，其中，所述產(chǎn)品用光刻膠液的固體成分濃度為10％或以上且30％或以下。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠液制備方法，其中，所述溶劑包括在使用規(guī)定光刻膠液的步驟中產(chǎn)生的廢液或在洗滌光刻膠液制備裝置的步驟中產(chǎn)生的廢液中的至少一種廢液。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光刻膠液制備方法，其中，所述在使用規(guī)定光刻膠液的步驟中產(chǎn)生的廢液是，在通過規(guī)定的光刻膠液形成光刻膠膜的光刻膠膜制備步驟中產(chǎn)生的廢液。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光刻膠液制備方法，其中，所述在光刻膠膜制備步驟中產(chǎn)生的廢液是，在狹縫涂布機(jī)涂布步驟中產(chǎn)生的廢液或在狹縫涂布機(jī)頭的洗滌步驟中產(chǎn)生的廢液的至少一種廢液。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠液制備方法，其中，所述產(chǎn)品用光刻膠液是用于制造液晶顯示器的光刻膠液。
11.一種光刻膠膜，通過管路直接向制備光刻膠膜的制備設(shè)備中供給根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠液制備方法得到的產(chǎn)品用光刻膠液而制備。
12.使用高濃度原料液作為狹縫涂布用涂布液的原料的方法。
13.使用高濃度原料液作為液晶顯示器制備用光刻膠膜的原料的方法。
全文摘要
提供一種光刻膠液制備方法，該方法既可降低光刻膠液輸送成本，又可避免使用按原樣直接連接至現(xiàn)有LCD面板生產(chǎn)線的高價(jià)小型專用容器，并由此可以在總體上減少光刻膠液的供給成本。在該光刻膠液制備方法中，測(cè)定調(diào)合罐內(nèi)液體的濃度或粘度中的至少一種，基于該測(cè)定結(jié)果通過調(diào)節(jié)原料液和溶劑的注入量而進(jìn)行稀釋控制，同時(shí)將通過稀釋控制而得到的產(chǎn)品用光刻膠液在緩沖槽中貯存一定時(shí)間使其穩(wěn)定化。
文檔編號(hào)G03F7/16GK1928717SQ200610129178
公開日2007年3月14日 申請(qǐng)日期2006年9月4日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月6日
發(fā)明者森尾公隆, 青木知三郎 申請(qǐng)人:東京應(yīng)化工業(yè)株式會(huì)社