專利名稱：導(dǎo)光板及導(dǎo)光板制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種導(dǎo)光板及其制造方法。
背景技術(shù)：
隨著數(shù)字科技的發(fā)展，液晶顯示產(chǎn)品已廣泛地應(yīng)用在日常生活的各個層面中。但是液晶本身不會發(fā)光，需要有光源裝置不斷提供光線射入液晶顯示屏幕，方可實現(xiàn)畫面顯示。為較好地顯示畫面，要求射入該液晶顯示屏幕的光線具有較高強度，且分布均勻。
目前多采用方式是使用一導(dǎo)光板作為面光源裝置的一部分來導(dǎo)引光線，并在導(dǎo)光板上形成凹凸微結(jié)構(gòu)的附加處理方式使光線的強度分布均勻。
請參閱圖1，是一種現(xiàn)有技術(shù)所揭露的面光源裝置立體分解示意圖。該面光源裝置1包括一線性光源11、一導(dǎo)光板12、一第一擴散片14、一第一棱鏡片15、一第二棱鏡片16及一第二擴散片17，該線性光源11設(shè)置在該導(dǎo)光板12的側(cè)面，并在該導(dǎo)光板12底面設(shè)置一反射片13，在該導(dǎo)光板12的上表面順序?qū)盈B該第一擴散片14、該第一棱鏡片15、該第二棱鏡片16及該第二擴散片17。該第一棱鏡片15棱鏡角與該第二棱鏡片16棱鏡角相互垂直。
為使入射液晶顯示屏幕的光強均勻分布在整個屏幕上，通常在導(dǎo)光板12表面設(shè)置微結(jié)構(gòu)，如圖2、圖3及圖4所示。在圖2中，在導(dǎo)光板12的底面或者上表面形成多個平行的V形結(jié)構(gòu)；在圖3中，在導(dǎo)光板12的底面或者上表面形成多個半球形的凹陷圖案；在圖4中，在導(dǎo)光板12的底面位置將含有散亂劑的油墨印刷成矩形斑點花樣形態(tài)。
下面以在導(dǎo)光板12的底面的設(shè)置微結(jié)構(gòu)為油墨印刷成矩形斑點花樣形態(tài)為例，如圖5所示，是面光源裝置1的光線傳輸路徑示意圖。其中箭頭所示為光線傳輸方向。從線光源11發(fā)出的入射光線R1，從導(dǎo)光板12的側(cè)面入射；入射光線R1在導(dǎo)光板12內(nèi)傳輸，當(dāng)光線傳輸至導(dǎo)光板12表面的微結(jié)構(gòu)時，如果滿足全反射條件則發(fā)生全反射改變光線傳輸方向；如果不滿足全反射條件則部分光線發(fā)生反射，繼續(xù)在導(dǎo)光板12內(nèi)傳輸，而部分光線會以一定角度折射出導(dǎo)光板12表面。自導(dǎo)光板12底面射出的光線R2，憑借該反射片13的反射，再次進入導(dǎo)光板12。自導(dǎo)光板12上表面射出的光線R3入射至第一擴散板14，且被該第一擴散板14擴散后，形成光線R4，其與擴散板14表面夾角θ2大于光線R3與導(dǎo)光板12表面夾角θ1。光線R4射入該第一棱鏡片15后，由于該第一棱鏡片15具集光特性，可減小光線擴散角度。自第一棱鏡片15射出的光線R5入射該第二棱鏡片16，由于該第二棱鏡片16同樣具集光特性，所以使得光線的擴散角度進一步變小，且射出光線R6。光線R6經(jīng)過第二擴散片17后，被第二擴散片17的再次散射，從而形成均勻的光線入射顯示屏幕。
在該種面光源裝置1中，為使液晶顯示產(chǎn)品更加均勻顯示畫面，必須使用多個擴散片，由于使用多個擴散片，導(dǎo)致入射光強會減少，因此必須增加光源或者使用高輝度的光源，所以制造費用將大幅提高。
再者，為確保光的均勻性及較廣視野角度，需使用多個擴散片及棱鏡片，因此其組裝過程更加復(fù)雜。
在導(dǎo)光板12表面設(shè)置微結(jié)構(gòu)的制造方法一般是采用鉆石刀刃加工的方法，或者制作凹凸花樣的微細圖案的金屬模型射出的方法。采用鉆石刀刃加工的方法，在形成微細圖案的同時，產(chǎn)生的細屑很難去除。采用金屬模型的射出方法，由于其精度達數(shù)十微米的程度，所以要制作大小不均勻微細圖案的金屬模型有難度，且開模費用也較高。
另外，以油墨印刷點圖案代替形成凹凸圖樣的方式，在印刷過程中需要花費較長的時間，導(dǎo)致生產(chǎn)能力下降，且由于不良率較高，致使生產(chǎn)導(dǎo)光板價格上升；由于油墨及油墨中所添加的散亂劑可吸收光，導(dǎo)致光強降低。

發(fā)明內(nèi)容為解決上述導(dǎo)光板光線利用率不高，出射光線不均勻的問題，提供一種光線利用率高且可使得入射光均勻出射的導(dǎo)光板實為必要。
為解決上述導(dǎo)光制造成本高及產(chǎn)品良率低的問題，提供一種降低成本，提高生產(chǎn)力及產(chǎn)品良率的導(dǎo)光板制造方法。
一種導(dǎo)光板，其包括一入光面，該入光面設(shè)置在該導(dǎo)光板的角落，一與入光面相鄰的出光面及一與該出光面相對的底面，該出光面上設(shè)置有多個相互平行的直條狀微結(jié)構(gòu)，該底面上設(shè)置有多個朝向該入光面的圓弧狀微結(jié)構(gòu)。
一種導(dǎo)光板制造方法，其包括以下步驟提供一采用一深紫外光微影系統(tǒng)曝光的方法獲得具微結(jié)構(gòu)的導(dǎo)光板模仁；利用該導(dǎo)光板模仁在該導(dǎo)光板出光面成型多個相互平行直條狀的微結(jié)構(gòu)；利用該導(dǎo)光板模仁在該導(dǎo)光板底面成型多個朝向該入光面的圓弧狀微結(jié)構(gòu)。
相較于現(xiàn)有技術(shù)，上述導(dǎo)光板采用在底面及出光面上設(shè)置多個以不同形狀分布的微結(jié)構(gòu)方式，控制經(jīng)過導(dǎo)光板的光線沿著既定的方向傳輸，減少光線損失，增加光強及光均勻度，使得采用該導(dǎo)光板的光源裝置不必搭配多層光學(xué)膜片，簡化組裝程序。
相較于現(xiàn)有技術(shù)，上述導(dǎo)光板的制造方法采用一深紫外微影系統(tǒng)進行曝光，蝕刻出具高精度微結(jié)構(gòu)的導(dǎo)光板模仁，以制作出具高精度結(jié)構(gòu)的導(dǎo)光板，降低微結(jié)構(gòu)吸收光，避免使用高強度光源，降低成本。采用該導(dǎo)光板模仁以快速制造導(dǎo)光板，提高產(chǎn)品制造良率，加快導(dǎo)光板制造時間，從而進一步降低成本。

圖1是一種現(xiàn)有技術(shù)所揭示的面光源裝置立體分解示意圖。
圖2是圖1所示的導(dǎo)光板表面微結(jié)構(gòu)一種形態(tài)示意圖。
圖3是圖1所示的導(dǎo)光板表面微結(jié)構(gòu)另一種形態(tài)示意圖。
圖4是圖1所示的導(dǎo)光板表面微結(jié)構(gòu)再一種形態(tài)示意圖。
圖5是圖1所示的面光源裝置光線傳輸路徑示意圖。
圖6是本發(fā)明一種較佳實施方式所揭示的面光源裝置一種立體結(jié)構(gòu)示意圖。
圖7是圖6所示的導(dǎo)光板出光面的微結(jié)構(gòu)放大示意圖。
圖8是光線遇到該出光面的微結(jié)構(gòu)時光路放大示意圖。
圖9是本發(fā)明導(dǎo)光板的另一種立體結(jié)構(gòu)示意圖。
圖10是圖9所示的導(dǎo)光板出光面微結(jié)構(gòu)放大示意圖。
圖11是該導(dǎo)光板出光面微結(jié)構(gòu)再一立體結(jié)構(gòu)分布示意圖。
圖12是導(dǎo)光板底面微結(jié)構(gòu)一種分布型態(tài)示意圖。
圖13是導(dǎo)光板底面微結(jié)構(gòu)另一種分布型態(tài)示意圖。
圖14是該導(dǎo)光板底面一種微結(jié)構(gòu)局部放大示意圖。
圖15是該導(dǎo)光板底面另一種微結(jié)構(gòu)局部放大示意圖。
圖16是光線遇到該底面微結(jié)構(gòu)時光路示意圖。
圖17是圖6所示的導(dǎo)光板局部剖面放大示意18是用于制造圖6所示導(dǎo)光板的模仁制造流程示意圖。
圖19是圖18所揭示的涂覆光阻劑示意圖。
圖20是圖18所揭示的用于曝光的光刻系統(tǒng)示意圖。
圖21是在一基板上形成微結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖22是在圖21所示的基板的微結(jié)構(gòu)表面鍍上金屬層的示意圖。
圖23是在圖22所示的金屬層表面電鑄一金屬層的示意圖。
圖24是電鑄層與該基板分離示意圖。
圖25是導(dǎo)光板模仁設(shè)置在模具上的示意圖。
圖26是在該模具內(nèi)填充導(dǎo)光板材料的示意圖。
圖27是將該成型后的導(dǎo)光板與模具分離的示意圖。
具體實施方式
請參閱圖6，是本發(fā)明一種較佳實施方式所揭示的面光源裝置立體結(jié)構(gòu)示意圖。該面光源裝置2包括一導(dǎo)光板20及一光源22，該光源22設(shè)置在該導(dǎo)光板20的一角落位置。
該光源22為一發(fā)光二極管。該光源22產(chǎn)生光線從該入光面205射入該導(dǎo)光板20。
該導(dǎo)光板20是一透明平板，具有一底面201、一出光面203及一入光面205。該入光面205是切除該導(dǎo)光板20的一角所形成的側(cè)面，該底面201與該出光面203分別為該導(dǎo)光板20的下表面與上表面。在該出光面203上設(shè)置有多個微結(jié)構(gòu)2031，該微結(jié)構(gòu)2031在出光面203呈多個平行直條狀分布。其中該微結(jié)構(gòu)2031可以V形溝槽或者U形溝槽等。
請參閱圖7，該出光面203上的微結(jié)構(gòu)2031為V形溝槽的局部結(jié)構(gòu)示意圖。該V形溝槽結(jié)構(gòu)為連續(xù)的“V”形。取該V形溝槽深度為D，V形溝槽最大寬度為L，該溝槽的夾角為θ，其中D取值范圍為1～8μm，L取值范圍為10～20μm，θ取值范圍為80°～160°。
請參閱圖8，是光線遇到該導(dǎo)光板20出光面203時的光路示意圖。光線在導(dǎo)光板20內(nèi)傳輸，當(dāng)遇到導(dǎo)光板20出光面203上的微結(jié)構(gòu)2031時，光線傳輸方向發(fā)生改變。通常，光源裝置2要求光線在出光面203上均勻射出以有效利用。在該面光源裝置2中，可以藉由該出光面203上的微結(jié)構(gòu)2031實現(xiàn)。當(dāng)光線傳輸至該微結(jié)構(gòu)2031的斜面時，破壞光線在該斜面上發(fā)生全反射條件，保證更多的光線自該出光面203射出。
請參閱圖9及圖10，其中圖9是該出光面203上微結(jié)構(gòu)2031的另一分布狀態(tài)立體示意圖，圖10是圖9中微結(jié)構(gòu)2031部分放大示意圖。該微結(jié)構(gòu)2031仍然呈直條狀分布的V形溝槽，在橫向方向呈不連續(xù)V形分布，且越遠離入光面，該V形溝槽的分布密度越增加。同樣取該V形溝槽深度為D，V形溝槽最大寬度為L，相鄰兩個溝槽相應(yīng)位置端間距為P，該溝槽的夾角為θ，其中D取值范圍為1～8μm，L取值范圍為10～20μm，P取值范圍為10～20μm，P的取值大于L的取值，θ取值范圍為80°～160°。
在導(dǎo)光板20的底面201上，同樣設(shè)置有多個微結(jié)構(gòu)2013。該微結(jié)構(gòu)2013可以是V形溝槽，還可以是U形溝槽。取該微結(jié)構(gòu)2013為V形溝槽為例。請參閱圖11，是該出光面203上微結(jié)構(gòu)2031的又一分布狀態(tài)立體示意圖。該微結(jié)構(gòu)2031同樣呈連續(xù)V形溝槽，其中該V形溝槽的延伸方向平行于入光面205，且越遠離入光面，該V形溝槽的夾角θ值逐漸減小。
請參閱圖12，是設(shè)置在該底面201上的微結(jié)構(gòu)2013一種分布型態(tài)示意圖，各個V形溝槽結(jié)構(gòu)呈同心圓弧分布，該光源22位于導(dǎo)光板20底面201同心圓弧的圓心位置。
請參閱圖13，是設(shè)置在該底面201上的微結(jié)構(gòu)2013另一種分布型態(tài)示意圖，各個V形溝槽結(jié)構(gòu)2013在同心圓弧方向呈不連續(xù)分布，該同心圓弧的圓心同樣靠近該入光面205設(shè)置。
請參閱圖14，是設(shè)置在該底面201上的微結(jié)構(gòu)2013為V形溝槽的一種局部結(jié)構(gòu)示意圖。每一組成該微結(jié)構(gòu)2013的V形溝槽的二斜面為不對稱的斜面。取溝槽深度為D，該溝槽最大寬度為L，該溝槽的二斜面夾角為θ，其中D取值范圍為1～8μm，L取值范圍為10～20μm，該夾角θ取值范圍為130°～160°，其中該V形溝槽2013的夾角θ值保持不變。
請參閱圖15，是設(shè)置在該底面201上的微結(jié)構(gòu)2013為V形溝槽的另一種局部結(jié)構(gòu)示意圖。每一組成該微結(jié)構(gòu)2013的V形溝槽的兩個斜面為不對稱的斜面。取溝槽深度為D，該溝槽最大寬度為L，該溝槽的兩個斜面夾角為θ，其中D取值范圍為1～8μm，L取值范圍為10～20μm，該夾角θ取值范圍為130°～160°，該V形溝槽的θ值隨該V形溝槽與入光面205(參閱圖13)距離的增大而逐漸減小。
請參閱圖16，是光線遇到底面201微結(jié)構(gòu)2013的光路示意圖。為減少光線外泄，該微結(jié)構(gòu)2013的斜面應(yīng)滿足多數(shù)光線的全反射條件，改變?nèi)肷渲猎撐⒔Y(jié)構(gòu)的部分光線傳輸方向，使其再次回至導(dǎo)光板20內(nèi)。
再請參閱圖17，是圖6所示的導(dǎo)光板20局部剖面放大示意圖。在該導(dǎo)光板20底面201上設(shè)置多個微結(jié)構(gòu)2013，在該出光面203上設(shè)置多個微結(jié)構(gòu)2031，該微結(jié)構(gòu)2013可使得該光源22發(fā)出的光傳輸至導(dǎo)光板20時，滿足全反射條件，從而減少光線的損失，使得射出光線具高強度；該微結(jié)構(gòu)2031可破壞傳輸至出光面203的光線的全反射，使其能夠從出光面203射出，從而提高光線均勻度。而且，該微結(jié)構(gòu)2013與2031的配合，可使得光線從導(dǎo)光板20高強度、且均勻射出。
相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明得導(dǎo)光板20采用微結(jié)構(gòu)2013及2031來實現(xiàn)光的均勻出射，減少了光線的傳輸界面，從而可提高光線的利用率。而且，由于減少了光學(xué)組件，也簡化了組裝程序。
由于不同材料的折射系數(shù)不相同，所以不同材料的導(dǎo)光板相應(yīng)全反射臨界角也不相同，從而所對應(yīng)的θ值范圍亦不同。一般，導(dǎo)光板20采用光學(xué)塑料材料制成的，其材料為聚甲基丙烯酸甲酯(Poly Methy Lmethacry Late，PMMA，俗稱壓克力或有機玻璃)，其折射系數(shù)約為1.48，所以相應(yīng)的全反射臨界角約為42°。該導(dǎo)光板20材料還可以為聚碳酸酯(Polgcar bonate，PC)等。
上述導(dǎo)光板20微結(jié)構(gòu)2013、2031的制造方法并非采用微型刀具線性切割加工而成，而是采用X光光刻、無電解精密電鑄技術(shù)應(yīng)用于微細加工技術(shù)中，在基板上形成導(dǎo)光圖樣后轉(zhuǎn)印至金屬模仁上，然后利用該金屬模仁制造導(dǎo)光板的方法。
一種較佳實施方式所揭示的采用光刻制程制造導(dǎo)光板模仁的光刻制造流程如圖18所示，該導(dǎo)光板20底面201的微結(jié)構(gòu)2013及出光面203的微結(jié)構(gòu)2031可以采用同樣的方法制造，現(xiàn)以導(dǎo)光板20出光面203的微結(jié)構(gòu)2031為例，且該微結(jié)構(gòu)2031為V形溝槽，其制造過程包括如下步驟a.設(shè)計感光圖樣(Optical pattern Design)使用計算器輔助設(shè)計，在計算機上設(shè)計出將會成型在導(dǎo)光板20出光面203上的微結(jié)構(gòu)2031的感光圖樣(圖未示)，并印制在透明薄膜上。
b.涂覆光阻劑(Photoresist Coating)提供一平面基板30，在其上涂覆一層光阻劑300，如圖19所示。
c.曝光(Exposing)利用一光刻系統(tǒng)產(chǎn)生的深紫外激光光線對該光阻劑300進行照射，將設(shè)計好的感光圖樣轉(zhuǎn)印至光阻劑300上，該光刻系統(tǒng)3如圖20所示。
d.顯影(Developing)將曝光后的光阻劑300進行顯影，蝕刻掉未曝光的光阻劑300，在平面基板30上形成微結(jié)構(gòu)301，如圖21所示。
e.電鍍及電鑄翻模(Metallization and Electroforming to make stamper)請參閱圖22、圖23及圖24，在微結(jié)構(gòu)301與基板30上，鍍上一金屬層302。對金屬層302以無電解精密電鑄的復(fù)制技術(shù)進行電鑄，將該微結(jié)構(gòu)301復(fù)制于金屬層302上，獲得具微結(jié)構(gòu)301′的導(dǎo)光板模仁303。
在進行無電解精密電鑄時，取該微型溝槽301為V形溝槽為例，在平面基板30與V形溝槽上覆蓋一層金屬層302，該金屬層302可以為鎳等金屬材料。然后以無電解精密電鑄的復(fù)制技術(shù)對該金屬層302進行電鑄，獲得一電鑄金屬層，其中該電鑄金屬材料可以為金屬鎳，該導(dǎo)光板模仁303與光阻劑300脫離后，該微結(jié)構(gòu)301轉(zhuǎn)印至導(dǎo)光板模仁303上，形成微結(jié)構(gòu)301′，獲得一具金屬層302及該電鑄金屬層的導(dǎo)光板模仁303，該微機構(gòu)301′于該微結(jié)構(gòu)301相對應(yīng)。
f.脫模(Demoulding)采用紫外光線照射，固化光阻劑后，將該具微結(jié)構(gòu)301′的導(dǎo)光板模仁303與該基板30分離。請參閱圖24，同時結(jié)合參閱圖11，該導(dǎo)光板模仁303的微結(jié)構(gòu)301′包括具有凹陷部3031及凸出部3032，該凸出部3032對應(yīng)該導(dǎo)光板20微結(jié)構(gòu)2031，該凹陷部3031對應(yīng)該兩個相鄰微結(jié)構(gòu)2031之間部分。
利用該導(dǎo)光板模仁303制造方法獲得一導(dǎo)光板模仁303后，又利用該導(dǎo)光板模仁303制造導(dǎo)光板20，即成形(Injection molding)。
如圖25、圖26及圖27所示，是利用該導(dǎo)光板模仁303在該導(dǎo)光板20出光面203表面形成微結(jié)構(gòu)2031的過程示意圖。
該過程包括如下步驟首先，將該具微結(jié)構(gòu)301′的導(dǎo)光板模仁303固定在金屬模具304上，如第圖25所示；接著，將形成導(dǎo)光板20的材料40熱壓或者射出后注入模具402內(nèi)，獲得一導(dǎo)光板本體41，如圖26所示；然后，利用該具微結(jié)構(gòu)301′的導(dǎo)光板模仁303壓合該導(dǎo)光板本體41；最后，經(jīng)過一定時間后使金屬模具304分離，則在該導(dǎo)光板20的底面201及出光面203上形成微結(jié)構(gòu)2031，如圖27所示。
請再次參閱圖20，在該導(dǎo)光板模仁303制造過程中，其中該光刻步驟系采用該光刻系統(tǒng)3對該導(dǎo)光板20進行光刻。該光刻系統(tǒng)3是一利用深紫外激光光線照射，使得光阻劑300感光進而在光阻劑表面形成光刻圖樣的系統(tǒng)。其包括一深紫外激光光源(Beam Laser)31，一濾波裝置(Beam Filter)32，一光分離器(Beam Spliter)331，一光合成器332，一第一光線調(diào)制器(Opto-AcousticModulator，OAM)341，一第二光線調(diào)制器342，一第一會聚透鏡(NumericalAperture Lens，NAL)351，一第二會聚透鏡352，一第三會聚透鏡353，一旋轉(zhuǎn)平臺36，一第一反射鏡371，一第二反射鏡372及第三反射鏡373。其中該第三會聚透鏡353、該反射鏡372及該旋轉(zhuǎn)平臺36組成一聚焦裝置。
光線自深紫外激光光源31產(chǎn)生后，依次經(jīng)過濾波裝置32，光分離器331后，獲得兩束光，一束光經(jīng)過第一光線調(diào)制器341、第一會聚透鏡351后，接著經(jīng)過光合成器332及聚焦裝置，然后照射至光阻劑300進行感光；另一束光經(jīng)過第一反射鏡371、第二光線調(diào)制器342及第二會聚透鏡352后，接著經(jīng)過光合成器332及聚焦裝置，然后照射至光阻劑300進行感光。該光刻系統(tǒng)3各組件沿光線經(jīng)過先后依次排布。
該深紫外光源31射出波長范圍介于200～400納米的激光光線，配合該濾波裝置32，過濾其中一定波長范圍的光線，獲得波長約為257納米的深紫外光線；該光分離器331能夠?qū)⒔邮盏降墓饩€分離為反射光線與透過光線；該光合成器332可以使接受到的光線以穿透或者反射的方式射出；該光線調(diào)制器34是一種利用一塊調(diào)制晶體使光線偏轉(zhuǎn)并將其接通或斷開的調(diào)相裝置，可以對接收到的光線相位進行調(diào)整，獲得具一定相位的光線；該第一會聚透鏡351、第二會聚透鏡352及第三會聚透鏡353可以通過調(diào)整其數(shù)值孔徑參數(shù)，獲得對光線的不同程度的解析能力，該解析能力與光源的波長(λ)關(guān)系成正比，分辨 ，K為一數(shù)值，其大小與系統(tǒng)相關(guān)；該旋轉(zhuǎn)平臺36為一氣墊支撐的可旋轉(zhuǎn)平臺，該旋轉(zhuǎn)平臺36的旋轉(zhuǎn)軸憑借一空氣墊支撐，使得該旋轉(zhuǎn)平臺36具有較好平衡度及較低離心率，進而可以精確定位光照位置。
該深紫外光刻系統(tǒng)3的工作原理為首先提供一涂覆有光阻劑300的平面基板，并設(shè)置在該旋轉(zhuǎn)平臺36上。
該深紫外光源31發(fā)出深紫外光線31a，該深紫外光線31a經(jīng)過濾裝置32過濾后，濾掉其它波長的光線，獲得一波長為257納米的深紫外光線32a，該深紫外光線32a經(jīng)過該光分離器331后，將光分離為兩束，獲得一透過型深紫外光線33a及一反射型深紫外光線33b。
該透過型深紫外光線33a射向該第一光線調(diào)制器341，經(jīng)過該第一光線調(diào)制器341調(diào)整后，獲得一具一定相位頻率的深紫外光線34a；該深紫外光線34a經(jīng)過其中第一會聚透鏡351后，獲得一平行深紫外光線35a，然后該深紫外光線35a射向光合成器332，經(jīng)該光合成器332及該第三反射鏡373后射向第三會聚透鏡353，獲得一會聚深紫外光線353a，該深紫外光線353a直接照射該光阻劑300。
該反射型深紫外光線33b經(jīng)過該光線分離器331后，射向一第一反射鏡371，改變其光線傳輸方向，使其射向該第二光線調(diào)制器342，同樣經(jīng)過該第二光線調(diào)制器342調(diào)整后，獲得另一具一定相位頻率的深紫外光線34b，接著該深紫外光線34b經(jīng)過第二會聚透鏡352后，獲得一平行深紫外光線35b，然后該深紫外光線35b經(jīng)第二反射鏡372改變光束傳輸方向后，射向光合成器332，經(jīng)該光合成器332后再經(jīng)過第三反射鏡373反射后射向該第三會聚透鏡353，獲得一會聚深紫外光線353b，該深紫外光線353b直接照射該光阻劑300。
該深紫外光線353a及深紫外光線353b照射該光阻劑300的同時配合旋轉(zhuǎn)該旋轉(zhuǎn)平臺36，多次重復(fù)照射，直到涂覆有感光劑300的基板整體被照射，進而在光阻劑300上照射形成所需要的感光圖樣。過了一定時間，且經(jīng)過顯影過程后，在基板上形成多個微結(jié)構(gòu)301，如圖21所示。
在利用該深紫外光刻系統(tǒng)3光刻過程中，波長愈短時則該深紫外光刻系統(tǒng)3的分辨率愈佳，可以制得較高精度的V形溝槽結(jié)構(gòu)301。如以波長為257納米的氟化氪(KrF)激光光源而言，解析能力為0.25～0.15微米之間。采用上述方法制造導(dǎo)光板20，可以制得具高精確度微結(jié)構(gòu)的導(dǎo)光板20，在制造過程中，避免產(chǎn)生難以除掉的碎削，所以將低了成本；而且該微結(jié)構(gòu)2013、2031不會吸收光引起光強減弱，所以不必使用高輝度光源，制造費用也大幅降低；另外，采用深紫外光刻系統(tǒng)3進行曝光，可以精確蝕刻以及調(diào)整微結(jié)構(gòu)2013、2031在導(dǎo)光板20表面的分布，所以制得的導(dǎo)光板20可以提高光均勻度。
權(quán)利要求
1.一種導(dǎo)光板，其包括一入光面，該入光面設(shè)置在該導(dǎo)光板的角落，一與入光面相鄰的出光面及一與該出光面相對的底面，其特征在于該出光面上設(shè)置有多個相互平行的直條狀微結(jié)構(gòu)，該底面上設(shè)置有多個朝向該入光面的圓弧狀微結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)光板，其特征在于該出光面上的微結(jié)構(gòu)及該底面上的微結(jié)構(gòu)為V形溝槽。
3.如權(quán)利要求2所述的導(dǎo)光板，其特征在于位于該出光面上的直條狀V形溝槽之間存在間隙。
4.如權(quán)利要求2所述的導(dǎo)光板，其特征在于該多個圓弧狀V形溝槽之間存在間隙。
5.如權(quán)利要求2所述的導(dǎo)光板，其特征在于該出光面上的直條狀V形溝槽沿平行入光面方向分布。
6.一種導(dǎo)光板的制造方法，其包括如下步驟提供一導(dǎo)光板本體；提供一采用一深紫外光光刻系統(tǒng)曝光的方法獲得具微結(jié)構(gòu)的導(dǎo)光板模仁；利用該導(dǎo)光板模仁在該導(dǎo)光板本體出光面成型多個相互平行直條狀的微結(jié)構(gòu)；利用該導(dǎo)光板模仁在該導(dǎo)光板本體底面形成多個呈朝向該入光面的圓弧狀微結(jié)構(gòu)。
7.如權(quán)利要求6所述的導(dǎo)光板的制造方法，其特征在于該導(dǎo)光板本體是以熱壓或者射出成型方式制得。
8.如權(quán)利要求6所述導(dǎo)光板的制造方法，其特征在于該導(dǎo)光板模仁的制造方法包括如下步驟提供一基板，在其上涂覆光阻劑；利用一光刻系統(tǒng)產(chǎn)生的深紫外激光光線對該光阻劑進行照射；將曝光后的光阻劑進行顯影，在該基板上形成微結(jié)構(gòu)，獲得具微結(jié)構(gòu)的基板；在該具微結(jié)構(gòu)的基板及該微結(jié)構(gòu)表面電鍍金屬層，并在該金屬層表面進行無電解電鑄，獲得一電鑄層；將該金屬層及該電鑄層與該基板分離，獲得一具金屬層及電鑄層的導(dǎo)光板模仁。
9.如權(quán)利要求6所述導(dǎo)光板的制造方法，其特征在于該光刻系統(tǒng)包括一激光光源，用以產(chǎn)生激光光線；一光分離器，用以接收該激光光線，并通過反射及透過方式分離該激光光線，獲得透過型激光光線及反射型激光光線；一第一光線調(diào)制器，用以接收自光分離器的透過型激光光線，對該透過型激光光線進行相位調(diào)整，獲得不同相位的激光光線；一第二光線調(diào)制器，用以接收自光分離器的反射型激光光線，對該反射型激光光線進行相位調(diào)整，獲得不同相位的激光光線；一光合成器，用以接收自光線調(diào)制器的反射型激光光線及透過型激光光線，并通過反射及透過方式使得激光光線沿一定方向射出；一聚焦裝置，用以接收自光合成器射出的激光光線，并使其聚焦。
10.如權(quán)利要求9所述導(dǎo)光板的制造方法，其特征在于該聚焦裝置包括一會聚透鏡及一旋轉(zhuǎn)平臺，該聚焦裝置接收經(jīng)過光合成器的激光光線，并經(jīng)過該會聚透鏡聚焦于旋轉(zhuǎn)平臺。
全文摘要
本發(fā)明是關(guān)于一種導(dǎo)光板及該導(dǎo)光板制造方法。該導(dǎo)光板包括一種導(dǎo)光板，其包括一入光面，該入光面設(shè)置在該導(dǎo)光板的角落，一與入光面相鄰的出光面及一與該出光面相對的底面，該出光面上設(shè)置有多個相互平行的直條狀微結(jié)構(gòu)，該底面上設(shè)置有多個朝向該入光面的圓弧狀微結(jié)構(gòu)。該多個微結(jié)構(gòu)改變該導(dǎo)光板內(nèi)光線傳輸方向，使得經(jīng)過該導(dǎo)光板的光線沿著適當(dāng)?shù)姆较蛏涑?，增加射出?dǎo)光板的光線強度及均勻度。同時，本發(fā)明提供一種該導(dǎo)光板的制造方法。
文檔編號G02B27/10GK1979290SQ200510102328
公開日2007年6月13日 申請日期2005年12月6日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月6日
發(fā)明者陳杰良 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司