專利名稱：隔離子撒布裝置和隔離子撒布方法以及液晶面板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及隔離子(スペ一サ)撒布裝置和隔離子撒布方法以及液晶面板，特別涉及在液晶面板用基板上撒布隔離子的隔離子撒布裝置和隔離子撒布方法以及具備該液晶面板用基板的液晶面板。
背景技術(shù)：
作為AV設(shè)備或OA設(shè)備的顯示裝置，由于薄、輕、功耗低等優(yōu)點(diǎn)，液晶面板得到了廣泛的應(yīng)用。該液晶顯示面板具有矩陣狀地形成了TFT(Thin Film Transistor)等開(kāi)關(guān)元件的TFT基板和形成了濾色器、黑色矩陣等的對(duì)置基板，在兩個(gè)基板之間配置預(yù)定尺寸的聚合物有孔玻璃珠、石英有孔玻璃珠等絕緣性的隔離子，形成預(yù)定的間隙，并在該間隙內(nèi)注入液晶后密封而形成。并且，對(duì)在對(duì)置的一對(duì)基板或一個(gè)基板上形成的電極施加電壓，使之產(chǎn)生電場(chǎng)，由該電場(chǎng)來(lái)控制液晶的取向方向，從而改變光的透過(guò)率，顯示圖像。對(duì)于這種結(jié)構(gòu)的液晶面板，為了提高顯示品位，使對(duì)置的基板之間的間隔保持均勻至關(guān)重要，因此，需要在基板上均勻地撒布用來(lái)形成間隙的隔離子。
作為在基板上撒布隔離子的方法，有將隔離子分散在氟利昂、酒精、純水等溶劑中，將該溶劑從噴嘴進(jìn)行噴霧的濕式撒布方法和通過(guò)靜電槍或摩擦等使隔離子帶電，將該帶電后的隔離子從噴嘴噴出的干式撒布方法，在濕式撒布方法中，必須對(duì)氟利昂或酒精等進(jìn)行回收，另外，隔離子在溶劑中容易凝聚，不容易在基板面內(nèi)均勻地撒布隔離子，因此，近年來(lái)，干式撒布方法得到廣泛應(yīng)用。
在該干式撒布方法中，通常隔離子以正電位帶電，由于隔離子相互之間有排斥力發(fā)生作用，所以隔離子不會(huì)有局部的凝聚，但是，由于噴嘴與隔離子的位置關(guān)系而呈現(xiàn)以下的趨勢(shì)載物臺(tái)的中央部分因?yàn)槲挥趪娮斓恼路?，隔離子的撒布量就多，另一方面，載物臺(tái)的邊緣部分因?yàn)殡x噴嘴的距離變大，隔離子的撒布量變少，在載物臺(tái)整體上隔離子的撒布密度上就會(huì)產(chǎn)生偏差。
為了降低這種起因于噴嘴與載物臺(tái)的位置關(guān)系的隔離子撒布密度分布的偏差，有以下的方法使隔離子撒布裝置的工作室與隔離子帶相同符號(hào)電位(通常為正電位)的電，使向工作室壁面方向射出的隔離子向載物臺(tái)方向彈回，以此來(lái)實(shí)現(xiàn)隔離子撒布密度的均勻化。例如，在特開(kāi)2002-148635號(hào)公報(bào)中，公開(kāi)了使放置基板的撒布工作室形成為各層進(jìn)行了電絕緣的積層結(jié)構(gòu)，從外部對(duì)工作室的最內(nèi)層面施加與隔離子同符號(hào)的電壓，以此靠靜電力使向工作室壁面行進(jìn)的隔離子彈回，以此來(lái)抑制基板邊緣部的隔離子撒布量下降的結(jié)構(gòu)。
特開(kāi)2002-148635號(hào)公報(bào)(第3-10頁(yè)，圖1)發(fā)明內(nèi)容通過(guò)采用上述專利文獻(xiàn)1所記載的隔離子撒布裝置，能夠改善上述起因于噴嘴與載物臺(tái)的位置關(guān)系的隔離子撒布密度分布的偏差，但是，在該裝置中，反而是被工作室壁面彈回后飛到載物臺(tái)邊緣部分的隔離子的量變得太多。在此，可通過(guò)對(duì)在工作室壁面上施加的電壓進(jìn)行調(diào)整，或改善撒布隔離子的噴嘴的形狀或撒布圖形等來(lái)調(diào)整工作室壁面附近的載物臺(tái)邊緣部分的隔離子撒布量，但是，即使進(jìn)行了這種調(diào)整，也不能使基板上的隔離子的撒布密度變均勻。
其原因是，隔離子的撒布密度分布不僅隨噴嘴與載物臺(tái)的位置關(guān)系、工作室壁面與載物臺(tái)的位置關(guān)系，而且隨載物臺(tái)與其上面放置的基板的位置關(guān)系而發(fā)生變化。具體地講，是因?yàn)樵谳d物臺(tái)的中央部分，電場(chǎng)大致是一定的，而在載物臺(tái)的端部，由于邊沿效應(yīng)，電場(chǎng)集中，這樣一來(lái)，離載物臺(tái)端部較近的基板的邊緣部分的隔離子的撒布量就會(huì)增加。
在此，當(dāng)液晶面板的尺寸較小時(shí)，或者基板的切割位置有富余時(shí)(即，用一張基板制造多張的液晶面板時(shí)，液晶面板之間的間隔較寬的情況)，可以增加從基板的端部到液晶面板形成區(qū)域的距離，所以即使由于邊沿效應(yīng)，載物臺(tái)端部附近的隔離子的撒布量增加了，在液晶面板形成區(qū)域，也能夠減小其影響，但是，當(dāng)液晶面板的尺寸大型化，為了降低成本而在基板上密集配置多張液晶面板時(shí)，基板的切割位置必然沒(méi)有富余，結(jié)果，邊沿效應(yīng)的影響就會(huì)擴(kuò)大到位于載物臺(tái)端部附近的液晶面板形成區(qū)域。
為了降低該邊沿效應(yīng)的影響，也可以考慮擴(kuò)大工作室或載物臺(tái)的尺寸，使基板遠(yuǎn)離載物臺(tái)端部，但是，如果工作室的尺寸增加，進(jìn)行一次隔離子撒布所使用的隔離子的量就會(huì)相應(yīng)增加，這樣就浪費(fèi)了昂貴的隔離子，從而導(dǎo)致液晶面板的成本增加。另外，液晶面板的尺寸按照需求的產(chǎn)品，是各式各樣的，如果載物臺(tái)端部和其附近的液晶面板形成區(qū)域的距離因產(chǎn)品而異，那么隔離子撒布密度也會(huì)因不同的產(chǎn)品而發(fā)生變化，結(jié)果，產(chǎn)品的性能就會(huì)產(chǎn)生偏差。
本發(fā)明正是鑒于上述問(wèn)題點(diǎn)而提出來(lái)的，其主要的目的在于，提供一種無(wú)論液晶面板的尺寸或基板上的液晶面板的配置如何，均能在液晶面板形成區(qū)域均勻撒布隔離子的隔離子撒布裝置和隔離子撒布方法以及用該隔離子撒布裝置制造的液晶面板。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的隔離子撒布裝置是一種在放置于支承在工作室內(nèi)的載物臺(tái)上的基板上，用撒布噴嘴撒布隔離子的隔離子撒布裝置，在該隔離子撒布裝置中，上述載物臺(tái)由預(yù)先設(shè)定了尺寸的載物臺(tái)本體和支承在上述載物臺(tái)本體上，使上述載物臺(tái)的面方向的尺寸能夠變更的載物臺(tái)輔助部構(gòu)成。
另外，本發(fā)明的隔離子撒布裝置是一種在放置于支承在工作室內(nèi)的載物臺(tái)上的基板上，用撒布噴嘴撒布隔離子的隔離子撒布裝置，在該隔離子撒布裝置中，上述載物臺(tái)由在外緣部的至少一部分上具有相互結(jié)合的連接裝置的一方的、預(yù)先設(shè)定了尺寸的載物臺(tái)本體和在內(nèi)緣部的至少一部分上具有與上述連接裝置的一方結(jié)合的上述連接裝置的另一方的、多種尺寸的載物臺(tái)輔助部構(gòu)成，通過(guò)將上述載物臺(tái)本體和從上述多種尺寸中選擇的尺寸的上述載物臺(tái)輔助部連接起來(lái)，使上述載物臺(tái)的面方向的尺寸能夠變更。
另外，本發(fā)明的隔離子撒布裝置是一種在放置于支承在工作室內(nèi)的載物臺(tái)上的基板上，用撒布噴嘴撒布隔離子的隔離子撒布裝置，在該隔離子撒布裝置中，上述載物臺(tái)由預(yù)先設(shè)定了尺寸的載物臺(tái)本體和保持在上述載物臺(tái)本體上，可在該載物臺(tái)本體的面方向滑動(dòng)的載物臺(tái)輔助部構(gòu)成，通過(guò)滑動(dòng)上述載物臺(tái)輔助部，使上述載物臺(tái)的面方向的尺寸能夠變更。
在本發(fā)明中，可以構(gòu)成為上述載物臺(tái)輔助部被保持成其上面與上述載物臺(tái)本體下面大致抵接(當(dāng)接する)的狀態(tài)，通過(guò)在上述載物臺(tái)本體方向滑動(dòng)上述載物臺(tái)輔助部來(lái)去除上述載物臺(tái)輔助部上面堆積的上述隔離子。
在本發(fā)明中，上述載物臺(tái)本體和上述載物臺(tái)輔助部之間具有絕緣部件，還可以把上述載物臺(tái)本體和上述載物臺(tái)輔助部設(shè)定成不同的電位。
另外，在本發(fā)明中，優(yōu)選的是，在上述基板上設(shè)有多個(gè)形成液晶面板的區(qū)域，滑動(dòng)或選擇上述載物臺(tái)輔助部，使從上述載物臺(tái)的端部到該載物臺(tái)端部附近的上述區(qū)域的距離處在預(yù)先設(shè)定的范圍內(nèi)。
另外，本發(fā)明的隔離子撒布方法是一種在放置于支承在工作室內(nèi)的載物臺(tái)上的基板上，用撒布噴嘴撒布隔離子的隔離子撒布方法，在該隔離子撒布方法中，由預(yù)先設(shè)定了尺寸的載物臺(tái)本體和使上述載物臺(tái)的面方向的尺寸能夠變更的載物臺(tái)輔助部來(lái)構(gòu)成上述載物臺(tái)，由上述載物臺(tái)本體來(lái)支承上述載物臺(tái)輔助部，從而按照上述基板的尺寸來(lái)變更上述載物臺(tái)的面方向的尺寸，控制上述隔離子的撒布密度分布。
另外，本發(fā)明的隔離子撒布方法是一種在放置于支承在工作室內(nèi)的載物臺(tái)上的基板上，用撒布噴嘴撒布隔離子的隔離子撒布方法，在該隔離子撒布方法中，由在外緣部的至少一部分上具有相互結(jié)合的連接裝置的一方的、預(yù)先設(shè)定了尺寸的載物臺(tái)本體和在內(nèi)緣部的至少一部分上具有與上述連接裝置的一方結(jié)合的上述連接裝置的另一方的、多種尺寸的載物臺(tái)輔助部來(lái)構(gòu)成上述載物臺(tái)，將上述載物臺(tái)本體和從上述多種尺寸中選擇的尺寸的上述載物臺(tái)輔助部連接起來(lái)，從而按照上述基板的尺寸來(lái)變更上述載物臺(tái)的面方向的尺寸，控制上述隔離子的撒布密度分布。
另外，本發(fā)明的隔離子撒布方法是一種在放置于支承在工作室內(nèi)的載物臺(tái)上的基板上，用撒布噴嘴撒布隔離子的隔離子撒布方法，該隔離子撒布方法可以構(gòu)成為，由預(yù)先設(shè)定了尺寸的載物臺(tái)本體和保持在上述載物臺(tái)本體上，并可在該載物臺(tái)本體的面方向滑動(dòng)的載物臺(tái)輔助部構(gòu)成上述載物臺(tái)，通過(guò)滑動(dòng)上述載物臺(tái)輔助部，使上述載物臺(tái)的面方向的尺寸按照上述基板的尺寸來(lái)變更，控制上述隔離子撒布密度分布，將上述載物臺(tái)輔助部保持成其上面與上述載物臺(tái)本體下面大致抵接的狀態(tài)，在撒布上述隔離子之后，通過(guò)在上述載物臺(tái)本體方向滑動(dòng)上述載物臺(tái)輔助部來(lái)去除上述載物臺(tái)輔助部上面堆積的上述隔離子，進(jìn)行接下來(lái)的上述隔離子的撒布。
在本發(fā)明中，也可以構(gòu)成為，在上述載物臺(tái)本體和上述載物臺(tái)輔助部之間設(shè)置絕緣部件，通過(guò)用預(yù)先設(shè)置在上述載物臺(tái)輔助部上的電壓施加裝置來(lái)施加電壓，將上述載物臺(tái)和上述載物臺(tái)輔助部設(shè)定成不同的電位，控制上述載物臺(tái)面內(nèi)的上述隔離子的撒布密度分布。
另外，本發(fā)明的液晶面板是在對(duì)置的一對(duì)基板的至少一方上，用上述記載的隔離子撒布裝置撒布了上述隔離子的裝置。
這樣，根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)成，通過(guò)用固定在工作室內(nèi)的載物臺(tái)本體和保持在該載物臺(tái)本體上，可以滑動(dòng)的或者具有可與載物臺(tái)本體連接的結(jié)構(gòu)的載物臺(tái)輔助部來(lái)構(gòu)成液晶面板的制造中所使用的隔離子撒布裝置的載物臺(tái)，使載物臺(tái)尺寸可根據(jù)載物臺(tái)上放置的基板的尺寸相應(yīng)地變更，使載物臺(tái)端部和其附近的液晶面板形成區(qū)域的距離處在預(yù)定的范圍內(nèi)，能夠降低載物臺(tái)端部的邊沿效應(yīng)的影響。這樣一來(lái)，能夠提高隔離子撒布密度的均勻性，能夠以高成品率、低成本來(lái)制造對(duì)置的一對(duì)基板間的間隙得到均勻控制的高顯示品位的液晶面板。
根據(jù)本發(fā)明的隔離子撒布裝置和隔離子撒布方法以及用該隔離子撒布裝置制造的液晶面板，可以在基板上的液晶面板形成區(qū)域均勻地撒布隔離子。
其理由是，本發(fā)明是用固定在工作室內(nèi)的載物臺(tái)本體和保持在該載物臺(tái)本體上，可以滑動(dòng)的載物臺(tái)輔助部來(lái)構(gòu)成液晶面板的制造中所使用的隔離子撒布裝置的載物臺(tái)，或者用固定在工作室內(nèi)的載物臺(tái)本體和具有可與該載物臺(tái)本體連接的結(jié)構(gòu)的載物臺(tái)輔助部來(lái)構(gòu)成液晶面板的制造中所使用的隔離子撒布裝置的載物臺(tái)，根據(jù)載物臺(tái)上放置的液晶面板用基板的尺寸，相應(yīng)地滑動(dòng)載物臺(tái)輔助部，或者連接載物臺(tái)輔助部，使載物臺(tái)尺寸能夠變更，從而使載物臺(tái)端部和其附近的液晶面板形成區(qū)域的距離處在預(yù)先設(shè)定的范圍內(nèi)。
并且，通過(guò)采用具有上述結(jié)構(gòu)的隔離子撒布裝置，無(wú)論液晶面板的尺寸或基板上的液晶面板的配置如何，都能夠提高液晶面板形成區(qū)域的隔離子撒布密度的均勻性，因此能夠以高成品率、低成本來(lái)制造對(duì)置的一對(duì)基板間的間隙得到均勻控制的高顯示品位的液晶面板。


圖1是表示本發(fā)明的第一個(gè)實(shí)施例所涉及的隔離子撒布裝置結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖2是表示本發(fā)明的第一個(gè)實(shí)施例所涉及的隔離子撒布裝置的載物臺(tái)結(jié)構(gòu)(將載物臺(tái)輔助部收進(jìn)去后的狀態(tài))的示意圖。
圖3是表示本發(fā)明的第一個(gè)實(shí)施例所涉及的隔離子撒布裝置的載物臺(tái)結(jié)構(gòu)(將載物臺(tái)輔助部滑動(dòng)后的狀態(tài))的示意圖。
圖4是表示本發(fā)明的第一個(gè)實(shí)施例所涉及的隔離子撒布裝置的載物臺(tái)結(jié)構(gòu)(放置基板后的狀態(tài))的示意圖。
圖5是表示本發(fā)明的第一個(gè)實(shí)施例所涉及的隔離子撒布裝置的載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)變化的圖。
圖6是表示本發(fā)明的第一個(gè)實(shí)施例所涉及的隔離子撒布裝置的載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)變化的圖。
圖7是表示本發(fā)明的第一個(gè)實(shí)施例所涉及的隔離子撒布裝置的載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)變化的圖。
圖8是表示本發(fā)明的第一個(gè)實(shí)施例所涉及的隔離子撒布裝置的載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)變化的圖。
圖9是表示本發(fā)明的第一個(gè)實(shí)施例所涉及的隔離子撒布裝置上堆積的隔離子的去除方法的示意圖。
圖10是用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的第一個(gè)實(shí)施例所涉及的隔離子撒布裝置的效果的圖，是表示從載物臺(tái)端部到基板端部的距離和隔離子分布的相關(guān)關(guān)系的圖。
圖11是表示本發(fā)明的第二個(gè)實(shí)施例所涉及的隔離子撒布裝置的載物臺(tái)結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖12是表示本發(fā)明的第二個(gè)實(shí)施例所涉及的隔離子撒布裝置的載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)變化的圖。
圖13是用來(lái)說(shuō)明現(xiàn)有隔離子撒布裝置中的工作室、載物臺(tái)和基板之間的位置關(guān)系以及撒布模式的圖。
圖14是表示現(xiàn)有隔離子撒布裝置中的工作室壁面電壓以及撒布模式與基板上的隔離子的分布的相關(guān)關(guān)系的圖。
具體實(shí)施例方式
如背景技術(shù)所示，在液晶面板的制造方法中，使對(duì)置的一對(duì)基板間的間隙保持均勻至關(guān)重要，因此，需要在基板面內(nèi)均勻地撒布用來(lái)形成間隙的隔離子。對(duì)此，在對(duì)工作室施加電壓的類型的隔離子撒布裝置中，是通過(guò)調(diào)整在工作室內(nèi)壁上施加的電壓，或者改善噴射隔離子的噴嘴的形狀或撒布圖形等來(lái)降低隔離子撒布密度的偏差。
例如，在圖13(a)所示的尺寸的隔離子撒布裝置中，將在工作室內(nèi)壁上施加的電壓設(shè)定為4.0kV、7.0kV、10kV，將各種電壓下的撒布模式設(shè)定為圖13(b)所示的模式2和模式3時(shí)，相對(duì)于從基板端部的距離，隔離子的撒布密度如圖14所示，通過(guò)改變施加電壓、撒布模式，就可以改變其分布，當(dāng)工作室壁面的電壓增加時(shí)(例如，圖中的X標(biāo)記或*標(biāo)記)，基板端部的撒布密度增加，另外，當(dāng)工作室壁面的電壓減小時(shí)(圖中黑三角標(biāo)記)，基板端部的撒布密度能夠稍微減少一點(diǎn)，但是，其內(nèi)側(cè)(例如離基板端200至300mm)的位置的撒布密度會(huì)下降，哪種電壓下都不能得到均勻的分布，另外，改變?nèi)霾寄Ｊ揭膊荒芨淖冞@種趨勢(shì)。其理由是，改善在工作室內(nèi)壁施加的電壓或噴嘴的形狀、撒布圖形的方法，只能抑制起因于噴嘴與載物臺(tái)的位置關(guān)系或者工作室壁面與載物臺(tái)的位置關(guān)系的撒布密度的偏差，而不能降低起因于載物臺(tái)與其上面放置的基板的位置關(guān)系的偏差，即由于載物臺(tái)端部的電場(chǎng)的集中而導(dǎo)致的隔離子撒布密度的偏差。
另外，還提出了一種通過(guò)改變?cè)诜胖没宓妮d物臺(tái)上施加的電壓來(lái)降低隔離子撒布密度的偏差的方法。例如，特開(kāi)2000-275652號(hào)公報(bào)中，公開(kāi)了將載物臺(tái)分割成多份，對(duì)每份分割后的載物臺(tái)設(shè)定成不同的電位或者分成幾組，設(shè)定不同電壓的方法。但是，上述公報(bào)記載的方法能改善載物臺(tái)整體的面內(nèi)分布，但仍然不能抑制起因于載物臺(tái)與其上面放置的基板的位置關(guān)系的隔離子撒布密度偏差，即由于載物臺(tái)端部的電場(chǎng)的集中而導(dǎo)致的隔離子撒布密度的偏差。
針對(duì)這個(gè)問(wèn)題，本申請(qǐng)發(fā)明人著眼于載物臺(tái)和其上面放置的基板的位置關(guān)系，發(fā)現(xiàn)如果使從載物臺(tái)端部到基板上的液晶面板形成的區(qū)域之間的距離在預(yù)定的范圍之內(nèi)，就能夠降低起因于載物臺(tái)端部的電場(chǎng)的集中的隔離子撒布密度的偏差，并根據(jù)這一發(fā)現(xiàn)，提出了能根據(jù)基板的尺寸，相應(yīng)地改變載物臺(tái)尺寸的結(jié)構(gòu)。下面，參照附圖，說(shuō)明其具體結(jié)構(gòu)。
實(shí)施例1首先，參照?qǐng)D1至圖10，說(shuō)明本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例所涉及的隔離子撒布裝置和隔離子撒布方法以及用該隔離子撒布裝置制造的液晶面板。圖1是表示本發(fā)明的第一個(gè)實(shí)施例所涉及的隔離子撒布裝置構(gòu)成的示意圖，圖2和圖3是表示隔離子撒布裝置的載物臺(tái)結(jié)構(gòu)的示意圖，圖4是表示在載物臺(tái)上放置基板后的狀態(tài)的示意圖。另外，圖5至圖8是表示載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)變化的圖，圖9是表示去除載物臺(tái)上堆積的隔離子的方法的示意圖。另外，圖10是表示本實(shí)施例的隔離子撒布裝置的效果的圖，是表示隔離子撒布密度相對(duì)于載物臺(tái)上的玻璃基板的放置位置而變化的圖。
如圖1所示，本實(shí)施例的隔離子撒布裝置1的主要構(gòu)成要件如下通過(guò)調(diào)節(jié)器8和排氣管道9等使內(nèi)部保持減壓狀態(tài)的工作室2；屬于本實(shí)施例的特征部分的、面方向的尺寸能夠變更的載物臺(tái)3；在放置在載物臺(tái)3上的試料(例如，構(gòu)成液晶面板的TFT基板或?qū)χ没宓?，以下?jiǎn)稱基板10)上撒布以正電位或負(fù)電位帶電的隔離子的噴嘴4；用來(lái)向噴嘴4供給隔離子的隔離子供給部6和輸送配管5；和用來(lái)使工作室2保持預(yù)定電位的高壓電源7。并且，將撒布隔離子的基板10放置在載物臺(tái)3上之后，用調(diào)節(jié)器8和排氣管道9對(duì)工作室2內(nèi)部進(jìn)行減壓，根據(jù)需要，用高壓電源7對(duì)工作室2施加與隔離子相同極性的電壓，并將從隔離子供給部6通過(guò)輸送配管5供給的隔離子用噴嘴4噴出，使之在基板10上堆積。另外，在圖1中，表示的隔離子撒布裝置1是在工作室2上施加電壓的類型，但是也可以采用在工作室2上不施加電壓的類型的隔離子撒布裝置，這種情況下，不需要設(shè)置高壓電源7。
在此，通常，隔離子以正電位帶電，噴出隔離子的噴嘴4也是正電位，而載物臺(tái)3接地，所以噴嘴4和載物臺(tái)3之間會(huì)產(chǎn)生電場(chǎng)，在此電場(chǎng)作用下，隔離子被引到載物臺(tái)3上的基板10上，而電場(chǎng)的強(qiáng)度在載物臺(tái)3是不均勻的，在載物臺(tái)3的端部，由于邊沿效應(yīng)的影響，電場(chǎng)比較集中，因此隔離子的撒布量較多，而且，當(dāng)工作室2上施加的是正電位時(shí)，經(jīng)工作室2彈回的隔離子也會(huì)飛到載物臺(tái)3上，所以載物臺(tái)3的邊緣部分就成為隔離子的撒布量較多的區(qū)域(稱之為隔離子撒布量過(guò)多區(qū)域)。
根據(jù)本申請(qǐng)發(fā)明人的實(shí)驗(yàn)，該隔離子撒布量過(guò)多區(qū)域是從載物臺(tái)3的端部到預(yù)定的范圍內(nèi)，所以如果使基板10的液晶面板形成區(qū)域從載物臺(tái)3的端部離開(kāi)一定距離，就能夠降低液晶面板形成區(qū)域的隔離子撒布量的偏差。因此，在本實(shí)施例中，是在載物臺(tái)3上設(shè)置能夠使其尺寸變更的結(jié)構(gòu)，配合放置的基板10的尺寸來(lái)變更載物臺(tái)3的尺寸，使上述隔離子撒布量過(guò)多區(qū)域與基板10的液晶面板形成區(qū)域不要重疊。關(guān)于該載物臺(tái)3的具體結(jié)構(gòu)，參照?qǐng)D2和圖3進(jìn)行說(shuō)明。圖2和圖3的(a)是從上方(噴嘴4一側(cè))看載物臺(tái)3的俯視圖，(b)是分別沿A-A’、B-B’線的側(cè)面剖視圖，(c)是分別從箭頭方向所看的透視圖。
如圖2所示，本實(shí)施例的載物臺(tái)3，可以構(gòu)成為，由固定在工作室2上的載物臺(tái)本體3a和可在載物臺(tái)本體3a的面方向滑動(dòng)地被收納的載物臺(tái)輔助部3b構(gòu)成，如圖3所示，通過(guò)滑動(dòng)載物臺(tái)輔助部3b，將其從載物臺(tái)本體3a抽出，從而能夠?qū)⑤d物臺(tái)3變更為所希望的尺寸。
另外，在圖2和圖3中，作為載物臺(tái)3的最簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，采取的是將載物臺(tái)輔助部3b收在載物臺(tái)本體3a內(nèi)設(shè)置的空間內(nèi)，用手將載物臺(tái)輔助部3b抽出的結(jié)構(gòu)，但是，載物臺(tái)3的結(jié)構(gòu)不僅限于圖中的記載，只要是載物臺(tái)輔助部3b的至少一部分支承在載物臺(tái)本體3a上，而且由載物臺(tái)本體3a和載物臺(tái)輔助部3b可形成希望尺寸的載物臺(tái)3的結(jié)構(gòu)即可，載物臺(tái)輔助部3b的收納結(jié)構(gòu)、收納位置、滑動(dòng)結(jié)構(gòu)、有無(wú)擋板、載物臺(tái)本體3a和載物臺(tái)輔助部3b的寬度或長(zhǎng)度、厚度等都可以適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行變更，例如，也可以是后述的如圖7所示的通過(guò)旋轉(zhuǎn)齒輪12b，使載物臺(tái)輔助部3b滑動(dòng)的結(jié)構(gòu)。另外，在圖中，在圖的上下方向兩邊設(shè)置了載物臺(tái)輔助部3b，但是，載物臺(tái)輔助部3b只要設(shè)置在載物臺(tái)本體3a的至少一邊上即可，另外，也可以在圖的上下方向和左右方向均設(shè)置載物臺(tái)輔助部3b。
另外，在本實(shí)施例中，對(duì)載物臺(tái)本體3a進(jìn)行了接地，以便能夠?qū)⒁哉娢粠щ姷母綦x子有效地引到載物臺(tái)3上，所以載物臺(tái)輔助部3b也用金屬材料(優(yōu)選的是和載物臺(tái)本體3a相同的材料)制作，并對(duì)載物臺(tái)本體3a和載物臺(tái)輔助部3b進(jìn)行了電連接，使載物臺(tái)輔助部3b和載物臺(tái)本體3a形成相同的電位，但是，載物臺(tái)本體3a和載物臺(tái)輔助部3b并不一定要直接連接，也可以是將載物臺(tái)本體3a和載物臺(tái)輔助部3b分別接地的構(gòu)成。
下面，參照?qǐng)D4，說(shuō)明在具有上述尺寸變更結(jié)構(gòu)的載物臺(tái)3上放置基板10后的狀態(tài)。圖4(a)是表示在載物臺(tái)輔助部3b收在里面的載物臺(tái)本體3a上放置基板10后的狀態(tài)的俯視圖，(b)是表示將載物臺(tái)輔助部3b抽出后的狀態(tài)的俯視圖。
例如，考慮液晶面板形成區(qū)域10a為長(zhǎng)方形，在該液晶面板形成區(qū)域10a呈3行3列而配置有9個(gè)的基板10上撒布隔離子的情況，如圖4(a)所示，如果載物臺(tái)本體3a為正方形，在液晶面板形成區(qū)域10a的短邊方向的載物臺(tái)本體3a的端部和其附近的液晶面板形成區(qū)域10a邊緣部的距離足夠長(zhǎng)，所以不會(huì)產(chǎn)生隔離子撒布密度分布不均勻的問(wèn)題，但是，在長(zhǎng)邊方向的載物臺(tái)本體3a的端部和其附近的液晶面板形成區(qū)域10a邊緣部的距離較短，因此會(huì)產(chǎn)生隔離子撒布密度分布不均勻的問(wèn)題。對(duì)此，在這種情況下，如圖4(b)所示，將載物臺(tái)輔助部3b從載物臺(tái)本體3a抽出，使載物臺(tái)3整體向液晶面板形成區(qū)域10a的長(zhǎng)邊方向伸長(zhǎng)。這樣一來(lái)，就能夠充分增加在長(zhǎng)邊方向的載物臺(tái)本體3a的端部和其附近的液晶面板形成區(qū)域10a邊緣部的距離，從而能夠降低隔離子撒布密度分布不均勻的問(wèn)題。
為了確認(rèn)上述載物臺(tái)3的尺寸變更的效果，改變從載物臺(tái)3的端部到基板10的端部的間隔，測(cè)量了各種狀態(tài)下的基板10上的隔離子撒布數(shù)量。其結(jié)果如圖10所示。圖10表示的是在工作室2的尺寸為1680mm×1680mm、載物臺(tái)3的尺寸為1330mm×1330mm的隔離子撒布裝置1中，從載物臺(tái)3的端部到基板10的端部的距離設(shè)定為10mm、30mm、50mm時(shí)的隔離子撒布數(shù)量的分布。
從圖10可知，當(dāng)從載物臺(tái)3的端部到基板10的端部的距離為10mm(黑三角標(biāo)記、一點(diǎn)鏈狀線)時(shí)，在距離基板10的端部10mm的位置，單位面積的隔離子撒布數(shù)量非常多，有348個(gè)，并且，隨著距離基板10的端部越遠(yuǎn)，隔離子撒布數(shù)量慢慢地減少，但是，當(dāng)設(shè)定了隔離子撒布數(shù)量的目標(biāo)值為大約200個(gè)、下限為大約150個(gè)、上限為大約250個(gè)時(shí)，從基板10的端部到50mm的位置就會(huì)超過(guò)容許范圍。另外，當(dāng)從載物臺(tái)3的端部到基板10的端部的距離為30mm(黑方框標(biāo)記、虛線)時(shí)，距離基板10的端部10mm的位置的隔離子撒布數(shù)量減少為298個(gè)，但是，從基板10的端部到30mm的位置會(huì)超過(guò)容許范圍。而當(dāng)從載物臺(tái)3的端部到基板10的端部的距離為50mm(黑圓圈標(biāo)記、實(shí)線)時(shí)，距離基板10的端部10mm的位置的隔離子撒布數(shù)量是254個(gè)，大致在容許范圍內(nèi)。只要抽出載物臺(tái)輔助部3b，使隔離子的撒布數(shù)量在實(shí)際的產(chǎn)品所需要的容許范圍內(nèi)，就能夠?qū)⑤d物臺(tái)3的端部的影響降低到?jīng)]有實(shí)質(zhì)性問(wèn)題的程度。
另外，載物臺(tái)3的端部和其附近的液晶面板形成區(qū)域10a的端部的優(yōu)選的距離，因?yàn)闀?huì)由于隔離子撒布裝置1的工作室2或噴嘴4的形狀、隔離子的撒布圖形、對(duì)工作室2施加的電壓、隔離子的帶電電壓、載物臺(tái)3的形狀等的不同而變化，所以難以嚴(yán)格地進(jìn)行規(guī)定，但是已經(jīng)得到確認(rèn)的是，例如，對(duì)于從噴嘴4到載物臺(tái)3的距離為1550mm、從載物臺(tái)3的端部到工作室2的內(nèi)壁的距離為175mm的隔離子撒布裝置1的情況，如果從載物臺(tái)3的端部到液晶面板形成區(qū)域10a的端部的距離設(shè)定為大約50mm至大約130mm，在基板10內(nèi)的所有的液晶面板形成區(qū)域10a，隔離子的撒布數(shù)量都能夠控制在所希望的范圍內(nèi)。
在此，圖2和圖3中，由于是將載物臺(tái)輔助部3b從載物臺(tái)本體3a抽出的結(jié)構(gòu)，所以有可能會(huì)在載物臺(tái)本體3a和載物臺(tái)輔助部3b之間產(chǎn)生臺(tái)階，而電場(chǎng)在該臺(tái)階部分集中，導(dǎo)致隔離子的撒布密度產(chǎn)生偏差。對(duì)此，為了防止產(chǎn)生這種臺(tái)階，也可以如圖5(a)所示，在載物臺(tái)本體3a的端部設(shè)置錐形部10，或者如圖5(b)所示，在載物臺(tái)輔助部3b的端部設(shè)置錐形部11，如果是這種構(gòu)成，就能夠消除多出的臺(tái)階，從而抑制電場(chǎng)的集中。另外，錐形部11的形狀、錐角等不限，在圖中，錐形部11的截面形狀為直線狀，但是也可以賦予一定的圓形，使其厚度有小傾度的變化，也可以在不設(shè)置載物臺(tái)輔助部3b的邊上也同樣地設(shè)置錐形部11。
另外，在圖2至圖5中，是將載物臺(tái)輔助部3b從載物臺(tái)本體3a抽出的結(jié)構(gòu)，也可以是例如，將載物臺(tái)輔助部3b以合葉支承在載物臺(tái)本體3a上，使之能夠旋轉(zhuǎn)，增加載物臺(tái)3的尺寸時(shí)，以合葉為軸，旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)輔助部3b，將載物臺(tái)輔助部3b與載物臺(tái)本體3a的側(cè)面連接的結(jié)構(gòu)。這種結(jié)構(gòu)的情況，其特征在于，雖然不能連續(xù)地調(diào)整載物臺(tái)3的尺寸，但是能夠消除載物臺(tái)本體3a和載物臺(tái)輔助部3b的臺(tái)階，使載物臺(tái)3平坦化。
另外，作為載物臺(tái)3的尺寸變更結(jié)構(gòu)，也可以是例如圖6所示，在載物臺(tái)本體3a上設(shè)置凸部(引導(dǎo)部12a)，使之成為抽出載物臺(tái)輔助部3b時(shí)的引導(dǎo)件，而在載物臺(tái)輔助部3b上，在與該凸部對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置預(yù)定的凹部的結(jié)構(gòu)。如果采用這種結(jié)構(gòu)，由于能夠使載物臺(tái)輔助部3b與載物臺(tái)本體3a的邊為相同的尺寸，所以能夠使載物臺(tái)3成為矩形形狀，從而能夠抑制電場(chǎng)的偏置。另外，在圖2至圖6中，是用手抽出載物臺(tái)輔助部3b的結(jié)構(gòu)，但是也可以是如圖7所示，在載物臺(tái)本體3a的側(cè)面等處安裝齒輪12b，使之能夠旋轉(zhuǎn)，而在載物臺(tái)輔助部3b底面的與齒輪12b抵接的部分，設(shè)置與齒輪12b咬合的形狀的凹凸，通過(guò)旋轉(zhuǎn)齒輪12b，使載物臺(tái)輔助部3b在載物臺(tái)3的面方向滑動(dòng)的結(jié)構(gòu)。通過(guò)采取這種結(jié)構(gòu)，能夠準(zhǔn)確地控制載物臺(tái)輔助部3b的抽出量，同時(shí)，通過(guò)用電機(jī)等使齒輪12b旋轉(zhuǎn)，還能夠自動(dòng)地調(diào)整載物臺(tái)尺寸。
另外，可以想象在抽出載物臺(tái)輔助部3b時(shí)，電場(chǎng)分布會(huì)發(fā)生變化，隔離子的撒布密度的分布也會(huì)隨之發(fā)生變化，所以也可以在形成了液晶面板的基板10上撒布隔離子之前，先測(cè)量隔離子的撒布密度的分布，并根據(jù)其結(jié)果，對(duì)載物臺(tái)輔助部3b的抽出量進(jìn)行微調(diào)。此時(shí)，隔離子的撒布密度可以隨便用任何方法測(cè)量，例如，可以采用以下的方法在載物臺(tái)3的附近以預(yù)定的間隔設(shè)置好探針，用該探針捕獲帶電的隔離子，根據(jù)探針的電位來(lái)推測(cè)該位置的隔離子的撒布密度，或者用霍爾器件等來(lái)測(cè)量因帶電的隔離子移動(dòng)而產(chǎn)生的磁場(chǎng)，根據(jù)霍爾器件的電流值來(lái)推測(cè)該位置的隔離子的撒布密度，或者從載物臺(tái)上方照射光，用光檢測(cè)裝置來(lái)測(cè)量從載物臺(tái)或試驗(yàn)用基板的反射光，從光檢測(cè)裝置的輸出來(lái)求取隔離子的撒布密度等。這樣，通過(guò)在隔離子撒布裝置1上預(yù)先設(shè)置上述探針或霍爾器件等隔離子撒布密度測(cè)量裝置，就能夠更準(zhǔn)確地設(shè)定載物臺(tái)輔助部3b的抽出量。
另外，在圖2至圖7中，對(duì)載物臺(tái)本體3a和載物臺(tái)輔助部3b進(jìn)行了電連接，將載物臺(tái)本體3a和載物臺(tái)輔助部3b設(shè)定成了相同的電位(在此是地電位)，但是，載物臺(tái)本體3a和載物臺(tái)輔助部3b也可以設(shè)定成不同的電位。例如，也可以如圖8所示，對(duì)載物臺(tái)本體3a和載物臺(tái)輔助部3b用絕緣體14進(jìn)行絕緣，將載物臺(tái)本體3a接地，用預(yù)先設(shè)置的電壓調(diào)整部13設(shè)定載物臺(tái)輔助部3b的電位。并且，用上述方法等來(lái)求隔離子的撒布密度，結(jié)果，基板10端部的隔離子撒布密度較大時(shí)，可以使載物臺(tái)輔助部3b的電壓向隔離子的電位靠近等，來(lái)進(jìn)一步提高隔離子撒布密度的均勻性。
另外，反復(fù)使用隔離子撒布裝置1時(shí)，載物臺(tái)3上面，特別是載物臺(tái)輔助部3b上面每次撒布時(shí)都會(huì)有隔離子堆積，因此，載物臺(tái)3就會(huì)被絕緣體覆蓋，結(jié)果，可以想象載物臺(tái)3的電場(chǎng)分布會(huì)發(fā)生變化，從而最后可能會(huì)得不到隔離子的分布的再現(xiàn)性。但是，在圖2至圖8的結(jié)構(gòu)中，由于載物臺(tái)輔助部3b保持成能夠在載物臺(tái)本體3a上收進(jìn)抽出的狀態(tài)，所以只要設(shè)定成載物臺(tái)輔助部3b的上面和載物臺(tái)本體3a的下面(圖8中是絕緣體14)大致抵接的尺寸，那么，當(dāng)如圖9(a)所示，一旦隔離子15的撒布結(jié)束之后，只要如圖9(b)所示，將載物臺(tái)輔助部3b收進(jìn)載物臺(tái)本體3a，就能夠?qū)⑤d物臺(tái)輔助部3b上堆積的隔離子15集中后從載物臺(tái)輔助部3b上去除，因此，能夠簡(jiǎn)單地清潔載物臺(tái)輔助部3b表面，從而能夠更準(zhǔn)確地控制隔離子的撒布密度。
這樣，本實(shí)施例的隔離子撒布裝置1的載物臺(tái)3由固定在工作室2內(nèi)的載物臺(tái)本體3a和收在載物臺(tái)本體3a內(nèi)，能夠滑動(dòng)的載物臺(tái)輔助部3b構(gòu)成，所以能夠根據(jù)載物臺(tái)3上放置的基板10的尺寸，抽出載物臺(tái)輔助部3b，將載物臺(tái)3的端部和基板10的液晶面板形成區(qū)域10a端部的距離設(shè)定在預(yù)定的范圍內(nèi)，這樣一來(lái)，就能夠避免載物臺(tái)3端部的影響，從而能夠提高隔離子撒布密度的均勻性。另外，可以任意設(shè)定載物臺(tái)3的尺寸，所以無(wú)論基板10的尺寸或切割位置如何，始終能夠?qū)⒏綦x子的撒布密度設(shè)定成最佳狀態(tài)。
實(shí)施例2下面，參照?qǐng)D11和圖12，說(shuō)明本發(fā)明的第二個(gè)實(shí)施例所涉及的隔離子撒布裝置和隔離子撒布方法以及用該裝置制造的液晶面板。圖11和圖12是表示隔離子撒布裝置的載物臺(tái)結(jié)構(gòu)的示意圖。
在上述的第一個(gè)實(shí)施例中，是用載物臺(tái)本體3a和相對(duì)于載物臺(tái)本體3a能夠滑動(dòng)的載物臺(tái)輔助部3b構(gòu)成載物臺(tái)3，而在抽出載物臺(tái)輔助部3b的結(jié)構(gòu)中，在載物臺(tái)本體3a和載物臺(tái)輔助部3b的連接部分容易產(chǎn)生臺(tái)階，而且，載物臺(tái)3的結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜。另一方面，液晶面板的尺寸和其切割位置的種類不是很多。對(duì)此，在本實(shí)施例中，不是滑動(dòng)載物臺(tái)輔助部3b來(lái)任意調(diào)整載物臺(tái)3的尺寸，而是通過(guò)在載物臺(tái)本體3a上連接預(yù)先設(shè)置的載物臺(tái)輔助部3b，來(lái)變更載物臺(tái)3的尺寸。
具體地講，如圖11所示，本實(shí)施例的載物臺(tái)3，由固定在工作室2內(nèi)、在其外緣部的至少一部分上具有可與載物臺(tái)輔助部3b連接的結(jié)構(gòu)(互相結(jié)合的連接裝置的一方)的載物臺(tái)本體3a和在其內(nèi)緣部的至少一部分上具有可與載物臺(tái)本體3a連接的結(jié)構(gòu)(上述連接裝置的另一方)的一種或多種載物臺(tái)輔助部3b構(gòu)成，將載物臺(tái)輔助部3b從載物臺(tái)本體3a的上方嵌入，使載物臺(tái)本體3a和載物臺(tái)輔助部3b相互連接，從而形成希望尺寸的載物臺(tái)3。
在此，在圖11中，是在載物臺(tái)本體3a的下部設(shè)置凸部，而在載物臺(tái)輔助部3b的上部也設(shè)置凸部，凸部與凸部相互接觸后，載物臺(tái)輔助部3b與載物臺(tái)本體3a連接的結(jié)構(gòu)，但是，載物臺(tái)本體3a與載物臺(tái)輔助部3b的連接結(jié)構(gòu)是任意的，例如，也可以如圖12所示，在載物臺(tái)本體3a的外緣部的至少一部分上設(shè)置凸部(或凹部)，在載物臺(tái)輔助部3b的內(nèi)緣部的至少一部分上設(shè)置與該凸部(或凹部)嵌合的凹部(或凸部)，通過(guò)使其們相互嵌合，來(lái)連接載物臺(tái)本體3a和載物臺(tái)輔助部3b。另外，在圖12中，是將載物臺(tái)輔助部3b連接在載物臺(tái)本體3a的上下兩個(gè)邊上，但是，只要是載物臺(tái)輔助部3b連接在載物臺(tái)本體3a的至少一邊上即可，例如，也可以是在載物臺(tái)本體3a的全周設(shè)置凹部，而使載物臺(tái)輔助部3b與各邊對(duì)應(yīng)而形成，僅對(duì)需要改變載物臺(tái)3尺寸的部分連接載物臺(tái)輔助部3b。
另外，在本實(shí)施例中，也可以在隔離子撒布裝置1上預(yù)先設(shè)置上述探針或霍爾器件等隔離子撒布量測(cè)量裝置，以便測(cè)量因安裝載物臺(tái)輔助部3b而導(dǎo)致的隔離子分布的波動(dòng)。另外，載物臺(tái)本體3a和載物臺(tái)輔助部3b可以設(shè)定成相同的電位，為了更細(xì)地控制載物臺(tái)3端部的影響，也可以將載物臺(tái)輔助部3b的電位設(shè)定成與載物臺(tái)本體3a不同的電位。另外，在本實(shí)施例中，由于載物臺(tái)輔助部3b是可拆卸的結(jié)構(gòu)，所以當(dāng)撒布隔離子之后，可以只將載物臺(tái)輔助部3b從載物臺(tái)本體3a上拆下來(lái)進(jìn)行清潔，從而能夠抑制因隔離子層疊而導(dǎo)致的電場(chǎng)的紊亂，更準(zhǔn)確地控制隔離子的撒布密度。
這樣，根據(jù)本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，也能夠?qū)⑴浜陷d物臺(tái)3上放置的基板10的尺寸而選擇的載物臺(tái)輔助部3b連接在載物臺(tái)本體3a上，將載物臺(tái)3的端部和基板10的液晶面板形成區(qū)域10a端部的距離設(shè)定在預(yù)定的范圍內(nèi)，這樣一來(lái)，就能夠抑制因電場(chǎng)在載物臺(tái)3端部集中而產(chǎn)生的隔離子密度分度的偏差，另外，無(wú)論基板尺寸、切割位置如何，始終能夠?qū)⒏綦x子的分布設(shè)定成最佳狀態(tài)。
另外，在將載物臺(tái)輔助部3b連接在載物臺(tái)本體3a上的結(jié)構(gòu)的情況下，能夠消除載物臺(tái)本體3a和載物臺(tái)輔助部3b的臺(tái)階，所以不會(huì)有電場(chǎng)在載物臺(tái)本體3a和載物臺(tái)輔助部3b的連接部分集中的現(xiàn)象，因此能夠更準(zhǔn)確地控制隔離子的撒布密度。另外，在第一個(gè)實(shí)施例那樣滑動(dòng)載物臺(tái)輔助部3b的結(jié)構(gòu)的情況下，其結(jié)構(gòu)決定了在載物臺(tái)本體3a的角部會(huì)存在不能配置載物臺(tái)輔助部3b的部分，而在連接載物臺(tái)輔助部3b的結(jié)構(gòu)的情況下，在連接了載物臺(tái)輔助部3b的狀態(tài)下，能夠使載物臺(tái)3整體呈矩形形狀，因此能夠更準(zhǔn)確地控制隔離子的撒布密度。
以上說(shuō)明的各實(shí)施例，毋庸置疑，能夠適用于在兩張對(duì)置的基板之間夾持液晶的結(jié)構(gòu)的任意的液晶面板，在各基板上分別設(shè)置透明電極并借助基板間的縱向方向的電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)液晶的NT方式的液晶面板、在一方電極上設(shè)置梳齒狀的電極并以梳齒電極間的電場(chǎng)來(lái)驅(qū)動(dòng)液晶的IPS方式的液晶面板等各種形式的液晶面板均能適用。另外，上述各實(shí)施例的隔離子撒布裝置和隔離子撒布方法，不僅限于液晶面板用基板，對(duì)任意的基板也能夠同樣適用。
權(quán)利要求
1.一種隔離子撒布裝置，在放置于支承在工作室內(nèi)的載物臺(tái)上的基板上，用撒布噴嘴撒布隔離子，其特征在于所述載物臺(tái)由預(yù)先設(shè)定了尺寸的載物臺(tái)本體和支承在所述載物臺(tái)本體上，使所述載物臺(tái)的面方向的尺寸能夠變更的載物臺(tái)輔助部構(gòu)成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔離子撒布裝置，其特征在于所述載物臺(tái)由在外緣部的至少一部分上具有相互結(jié)合的連接裝置的一方的、預(yù)先設(shè)定了尺寸的載物臺(tái)本體和在內(nèi)緣部的至少一部分上具有與所述連接裝置的一方結(jié)合的所述連接裝置的另一方的、多種尺寸的載物臺(tái)輔助部構(gòu)成，通過(guò)將所述載物臺(tái)本體和從所述多種尺寸中選擇的尺寸的所述載物臺(tái)輔助部連接起來(lái)，使所述載物臺(tái)的面方向的尺寸能夠變更。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔離子撤布裝置，其特征在于所述載物臺(tái)由預(yù)先設(shè)定了尺寸的載物臺(tái)本體和保持在所述載物臺(tái)本體上，可在該載物臺(tái)本體的面方向滑動(dòng)的載物臺(tái)輔助部構(gòu)成，通過(guò)滑動(dòng)所述載物臺(tái)輔助部，使所述載物臺(tái)的面方向的尺寸能夠變更。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的隔離子撒布裝置，其特征在于所述載物臺(tái)輔助部被保持成其上面與所述載物臺(tái)本體下面大致抵接的狀態(tài)，通過(guò)在所述載物臺(tái)本體方向滑動(dòng)所述載物臺(tái)輔助部來(lái)去除所述載物臺(tái)輔助部上面堆積的所述隔離子。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的隔離子撒布裝置，其特征在于所述載物臺(tái)本體和所述載物臺(tái)輔助部之間具有絕緣部件，使得所述載物臺(tái)本體和所述載物臺(tái)輔助部可設(shè)定成不同的電位。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的隔離子撒布裝置，其特征在于所述基板上設(shè)有多個(gè)形成液晶面板的區(qū)域，滑動(dòng)或選擇所述載物臺(tái)輔助部時(shí)，使從所述載物臺(tái)的端部到該載物臺(tái)端部附近的所述區(qū)域之間的距離處在預(yù)先設(shè)定的范圍內(nèi)。
7.一種隔離子撒布方法，在放置于支承在工作室內(nèi)的載物臺(tái)上的基板上，用撒布噴嘴撒布隔離子，其特征在于由預(yù)先設(shè)定了尺寸的載物臺(tái)本體和使所述載物臺(tái)的面方向的尺寸能夠變更的載物臺(tái)輔助部構(gòu)成所述載物臺(tái)，由所述載物臺(tái)本體來(lái)支承所述載物臺(tái)輔助部，從而按照所述基板的尺寸來(lái)變更所述載物臺(tái)的面方向的尺寸，控制所述隔離子的撒布密度分布。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的隔離子撒布方法，其特征在于由在外緣部的至少一部分上具有相互結(jié)合的連接裝置的一方的、預(yù)先設(shè)定了尺寸的載物臺(tái)本體和在內(nèi)緣部的至少一部分上具有與所述連接裝置的一方結(jié)合的所述連接裝置的另一方的、多種尺寸的載物臺(tái)輔助部構(gòu)成所述載物臺(tái)，將所述載物臺(tái)本體和從所述多種尺寸中選擇的尺寸的所述載物臺(tái)輔助部連接起來(lái)，從而按照所述基板的尺寸來(lái)變更所述載物臺(tái)的面方向的尺寸，控制所述隔離子的撒布密度分布。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的隔離子撒布方法，其特征在于由預(yù)先設(shè)定了尺寸的載物臺(tái)本體和保持在所述載物臺(tái)本體上，并可在該載物臺(tái)本體的面方向滑動(dòng)的載物臺(tái)輔助部構(gòu)成所述載物臺(tái)，通過(guò)滑動(dòng)所述載物臺(tái)輔助部，使所述載物臺(tái)的面方向的尺寸按照所述基板的尺寸來(lái)變更，控制所述隔離子撒布密度分布。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的隔離子撒布方法，其特征在于將所述載物臺(tái)輔助部保持成其上面與所述載物臺(tái)本體下面大致抵接的狀態(tài)，在撒布所述隔離子之后，通過(guò)在所述載物臺(tái)本體方向滑動(dòng)所述載物臺(tái)輔助部來(lái)去除所述載物臺(tái)輔助部上面堆積的所述隔離子，進(jìn)行接下來(lái)的所述隔離子的撒布。
11.根據(jù)權(quán)利要求7至9中任意一項(xiàng)所述的隔離子撒布方法，其特征在于在所述載物臺(tái)本體和所述載物臺(tái)輔助部之間設(shè)置絕緣部件，通過(guò)用預(yù)先設(shè)置在所述載物臺(tái)輔助部上的電壓施加裝置來(lái)施加電壓，從而將所述載物臺(tái)和所述載物臺(tái)輔助部設(shè)定成不同的電位，控制所述載物臺(tái)面內(nèi)的所述隔離子的撒布密度分布。
12.根據(jù)權(quán)利要求7至9中任意一項(xiàng)所述的隔離子撒布方法，其特征在于所述基板上設(shè)有多個(gè)形成液晶面板的區(qū)域，滑動(dòng)或選擇所述載物臺(tái)輔助部時(shí)，使從所述載物臺(tái)的端部到該載物臺(tái)端部附近的所述區(qū)域的距離處在預(yù)先設(shè)定的范圍內(nèi)。
13.一種液晶面板，其特征在于在對(duì)置的一對(duì)基板的至少一方上，用權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的隔離子撒布裝置撒布了所述隔離子。
全文摘要
一種能夠在基板上的液晶形成區(qū)域均勻地撒布隔離子的隔離子撒布裝置和隔離子撒布方法以及液晶面板。用預(yù)先設(shè)定了尺寸的載物臺(tái)本體(3a)和保持在載物臺(tái)本體(3a)上可以滑動(dòng)的載物臺(tái)輔助部(3b)或者具有可與載物臺(tái)本體(3a)連接的結(jié)構(gòu)的載物臺(tái)輔助部(3b)來(lái)構(gòu)成載物臺(tái)(3)，根據(jù)載物臺(tái)(3)上放置的基板(10)的尺寸，相應(yīng)地滑動(dòng)或連接載物臺(tái)輔助部(3b)，使載物臺(tái)尺寸可變，從而使載物臺(tái)(3)的端部和其附近的液晶面板形成區(qū)域(10a)的距離處在預(yù)先設(shè)定的范圍內(nèi)。這樣就能夠提高隔離子撒布密度的均勻性，能夠以高成品率、低成本來(lái)制造對(duì)置的一對(duì)基板間的間隙得到均勻控制的高顯示品位的液晶面板。
文檔編號(hào)G02F1/1339GK1737671SQ20051008818
公開(kāi)日2006年2月22日 申請(qǐng)日期2005年7月29日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月29日
發(fā)明者元松俊彥 申請(qǐng)人:Nec液晶技術(shù)株式會(huì)社