專利名稱：圖像形成裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用根據(jù)圖像信息而調(diào)制的光束等，使印刷線路基板等記錄介質(zhì)中的描繪區(qū)域曝光，形成圖像的曝光裝置等圖像形成裝置。
背景技術(shù)：
以前，例如作為在印刷線路基板等上形成配線圖案的圖像形成裝置的激光曝光裝置，具有以下結(jié)構(gòu)，將成為圖像曝光對(duì)象的印刷線路基板裝載于輸送用臺(tái)架部件(裝載)，一邊使該臺(tái)架部件在副掃描方向上以規(guī)定的速度移動(dòng)，一邊在規(guī)定的讀取位置，由CCD照相機(jī)對(duì)裝載于臺(tái)架部件上的印刷線路基板的四角上所設(shè)置的對(duì)準(zhǔn)孔(對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記)進(jìn)行攝像。而且，與該攝像所得到的印刷線路基板的位置相吻合，通過對(duì)描繪坐標(biāo)系中描繪對(duì)象區(qū)域進(jìn)行坐標(biāo)變換，而實(shí)行對(duì)圖像信息的調(diào)準(zhǔn)處理。
而且，在規(guī)定的曝光位置，通過基于圖像信息而調(diào)制、對(duì)由多角鏡引起的向主掃描方向偏向的激光束在印刷線路基板上形成的感光性涂膜進(jìn)行掃描曝光，基于圖像信息而曝光處理，即在印刷線路基板的規(guī)定區(qū)域(描繪區(qū)域)中形成與配線圖案相對(duì)應(yīng)的圖像(潛像)。還有，形成了圖像(潛像)的印刷線路基板從臺(tái)架部件取出(卸載)，取出了配線基板的臺(tái)架部件回復(fù)移動(dòng)(水平移動(dòng))到初期位置，轉(zhuǎn)移到下面的曝光印刷線路基板的工序(例如，參照特開2000-3384232號(hào)公報(bào))。
但是，在這樣的方式的激光曝光裝置中，在順序進(jìn)行將已曝光的印刷線路基板從臺(tái)架部件取出的工序，臺(tái)架部件向初期位置的回復(fù)移動(dòng)工序，將未曝光的印刷線路基板裝載于臺(tái)架部件的工序，以及將臺(tái)架部件移動(dòng)到讀取位置的移動(dòng)工序期間，不對(duì)印刷線路基板進(jìn)行曝光處理。也就是說，由于對(duì)印刷線路基板的曝光處理，是空出上述工序的時(shí)間而間隔進(jìn)行，所以制造效率不高。因此，一直存在有提高制造效率的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是得到一種圖像形成裝置，能夠一邊將記錄介質(zhì)沿規(guī)定的輸送路徑移動(dòng)，一邊高效率地進(jìn)行在該記錄介質(zhì)上形成圖像的圖像形成處理，提高形成圖像的記錄介質(zhì)的制造效率。
為了達(dá)到上述目的，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種圖像形成裝置，在用于在記錄介質(zhì)上形成圖像的圖像形成裝置中，包含可分別裝載各記錄介質(zhì)、可沿所規(guī)定的循環(huán)路徑移動(dòng)的第一及第二臺(tái)架、以及至少在對(duì)于第一臺(tái)架上的記錄介質(zhì)的圖像形成中，與第一臺(tái)架的動(dòng)作獨(dú)立，驅(qū)動(dòng)第二臺(tái)架，使其沿著不阻礙第一臺(tái)架的動(dòng)作范圍的循環(huán)路徑移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供一種圖像形成裝置，在用于在記錄介質(zhì)上形成圖像的圖像形成裝置中，包含可分別裝載各記錄介質(zhì)、可沿所規(guī)定的循環(huán)路徑移動(dòng)的至少3個(gè)臺(tái)架、以及至少在對(duì)于一個(gè)臺(tái)架上的記錄介質(zhì)的圖像形成中，與這一個(gè)臺(tái)架的動(dòng)作獨(dú)立，驅(qū)動(dòng)其余臺(tái)架，使其能夠沿著不阻礙該一個(gè)臺(tái)架的動(dòng)作的范圍的循環(huán)路徑相互獨(dú)立移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置。
關(guān)于本發(fā)明的其它目的、特征及優(yōu)點(diǎn)，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以從附圖中所描繪的本發(fā)明的實(shí)施形式的說明及權(quán)利要求中得到了解。
圖1是表示本發(fā)明第一實(shí)施形式的激光曝光裝置的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖2是從別的方向所看到的第一實(shí)施形式的激光曝光裝置的立體圖。
圖3是某一動(dòng)作狀態(tài)的第一實(shí)施形式的激光曝光裝置的立體圖。
圖4是別的動(dòng)作狀態(tài)的第一實(shí)施形式的激光曝光裝置的立體圖。
圖5是進(jìn)而別的動(dòng)作狀態(tài)的第一實(shí)施形式的激光曝光裝置的立體圖。
圖6是其它動(dòng)作狀態(tài)的第一實(shí)施形式的激光曝光裝置的立體圖。
圖7是第一實(shí)施形式的激光曝光裝置的長(zhǎng)度方向截面圖。
圖8是表示本發(fā)明第二實(shí)施形式的激光曝光裝置概略結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖9是從別的方向所看到的第二實(shí)施形式的激光曝光裝置的立體圖。
圖10是某一動(dòng)作狀態(tài)的第二實(shí)施形式的激光曝光裝置的立體圖。
圖11是別的動(dòng)作狀態(tài)的第二實(shí)施形式的激光曝光裝置的立體圖。
圖12是進(jìn)而別的動(dòng)作狀態(tài)的第二實(shí)施形式的激光曝光裝置的立體圖。
圖13是第二實(shí)施形式的激光曝光裝置的橫截面圖。
圖14是第二實(shí)施形式的激光曝光裝置的長(zhǎng)度方向截面圖。
圖15是臺(tái)架位于取出記錄介質(zhì)的位置的第二實(shí)施形式的激光曝光裝置的主要部分的立體圖。
圖16是曝光頭的概略立體圖。
圖17A是表示在基板材料上形成的已曝光區(qū)域的平面圖，圖17B是表示由曝光頭進(jìn)行的曝光區(qū)域的排列的圖。
圖18是表示數(shù)碼微鏡設(shè)備(DMD，Degital Micro mirror Device)的結(jié)構(gòu)的部分放大圖。
圖19A及圖19B是說明DMD的動(dòng)作的圖。
圖20A是表示在DMD不傾斜配置情況下的曝光光束的掃描線的概略平面圖，圖20B是表示在DMD傾斜配置情況下的曝光光束的掃描線的概略平面圖。
圖21是表示曝光頭概略結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖22A是沿著表示曝光頭概略結(jié)構(gòu)的沿光軸的副掃描方向的截面圖，圖22B是曝光頭的概略側(cè)面圖。
圖23A是表示光纖陣列光源的概略結(jié)構(gòu)的立體圖，圖23B是光纖陣列光源的局部放大圖，圖23C是說明激光出射部的發(fā)光點(diǎn)排列的圖，圖23D是說明激光出射部的發(fā)光點(diǎn)排列的圖。
圖24是說明多模式光纖結(jié)構(gòu)的圖。
圖25是表示合成激光源概略結(jié)構(gòu)的平面圖。
圖26是表示激光模塊的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。
圖27是圖26的激光模塊的側(cè)面圖。
圖28是圖26的激光模塊的正視圖。
具體實(shí)施例方式
以下參照?qǐng)D1～圖7，對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施形式進(jìn)行詳細(xì)說明。
圖1是從正面所看到的第一實(shí)施形式的激光曝光裝置(圖像形成裝置)的概略結(jié)構(gòu)的立體圖，圖2是從側(cè)面所看到的概略立體圖。
圖示激光曝光裝置10，在將作為印刷線路基板材料的薄板狀的基板材料200以規(guī)定的速度輸送的同時(shí)，由根據(jù)圖像信息而調(diào)制的激光束B而曝光，在該基板材料200上形成對(duì)應(yīng)于配線圖案的圖像(潛像)。
為了說明的方便，將圖1及圖2的箭頭X所表示的方向作為基板材料200的“輸送方向”，以此為基準(zhǔn)進(jìn)行“上游側(cè)”及“下游側(cè)”的表現(xiàn)。而且，將與其相反的方向作為基板材料200的“回復(fù)方向”。進(jìn)而，與箭頭X垂直的方向用箭頭Y表示，作為激光曝光裝置10的“寬度方向”。
曝光裝置的概要如圖1及圖2所示，激光曝光裝置10設(shè)置有兩臺(tái)吸附保持基板材料200的正面(上面)的同時(shí)向輸送方向移動(dòng)的、規(guī)定厚度的略矩形平板狀臺(tái)架部件20。還有，兩臺(tái)臺(tái)架部件20具有大體相同的結(jié)構(gòu)。在以下有些情況下，將一個(gè)作為臺(tái)架部件20A，一個(gè)作為臺(tái)架部件20B而說明。而且，也有將吸附保持于臺(tái)架部件20A上的基板材料200作為基板材料200A，將吸附保持于臺(tái)架部件20B上的基板材料200作為基板材料200B而說明的情況。
兩臺(tái)臺(tái)架部件20，分別由后述的上部輸送裝置42、44向輸送方向移動(dòng)，在規(guī)定的位置(后述第二升降臺(tái)68A上)停止后下降，由后述的下部輸送裝置70而向回復(fù)方向移動(dòng)。而且，在規(guī)定的位置(后述第一升降臺(tái)66A上)停止后上升，再一次向輸送方向及回復(fù)方向移動(dòng)。即，兩臺(tái)臺(tái)架部件20，分別向上下移動(dòng)，并向輸送方向和回復(fù)方向移動(dòng)，在移動(dòng)到上部輸送路徑時(shí)，吸附保持的基板材料200曝光，該基板材料200取出后，沿下部回復(fù)路徑移動(dòng)，回復(fù)到原來的初期位置(裝載基板材料200的位置)。
在臺(tái)架部件20的移動(dòng)路徑(輸送路徑及回復(fù)路徑)的兩側(cè)，左右對(duì)稱地豎立設(shè)置有一對(duì)側(cè)壁12、14。該一對(duì)側(cè)壁12、14具有相同的結(jié)構(gòu)，但為了說明的方便，在從輸送方向一側(cè)看到的正視圖中，令左側(cè)為側(cè)壁12，右側(cè)為側(cè)壁14。而且，在側(cè)壁12、14的長(zhǎng)度方向的略中央部，以規(guī)定的間隔(圖中雖然很近，但實(shí)際上隔開臺(tái)架部件20的輸送方向的長(zhǎng)度以上)并列設(shè)置有跨越臺(tái)架部件20的移動(dòng)路徑，在正視圖中大體是倒凹字形的兩個(gè)門16、18。
門16、18的兩下部分別固定于側(cè)壁12、14的外面，在下游側(cè)的門16的上部安裝有多個(gè)曝光頭100，在上游側(cè)的門18的上部安裝有構(gòu)成圖像位置檢測(cè)裝置180的兩臺(tái)CCD照相機(jī)182、184。曝光頭100以能夠向通過門16(圖像形成部)的基板材料200進(jìn)行照射激光束B的狀態(tài)而朝向下方固定，CCD照相機(jī)182、184也是能夠?qū)νㄟ^門18的基板材料200的位置(描繪位置)檢測(cè)用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(圖示省略)進(jìn)行攝像的狀態(tài)而朝向下方固定。
所以，該激光曝光裝置10主要有以下的動(dòng)作首先，基板材料(印刷線路基板)200A以吸附保持于臺(tái)架部件20A的狀態(tài)而輸送，同時(shí)，由CCD照相機(jī)182、184對(duì)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行攝像，檢測(cè)出該位置(描繪位置)。而且，基于該檢測(cè)結(jié)果，由曝光頭100對(duì)規(guī)定的描繪區(qū)域進(jìn)行曝光。曝光終了后，基板材料(印刷線路基板)200A從臺(tái)架部件20卸載。另一方面，此時(shí)，臺(tái)架部件20B已經(jīng)在吸附保持下一個(gè)臺(tái)架部件20B的狀態(tài)下輸送，由CCD照相機(jī)182、184進(jìn)行位置檢測(cè)，開始曝光。
也就是說，前一個(gè)基板材料(印刷線路基板)卸載后的臺(tái)架部件20B，在臺(tái)架部件20A上的基板材料(印刷線路基板)200A曝光期間，通過該臺(tái)架部件20A的下方而回復(fù)移動(dòng)到初期位置(裝載位置)，裝載下一個(gè)基板材料200B，進(jìn)入由CCD照相機(jī)182、184進(jìn)行位置檢測(cè)的工序。也就是說，通過各臺(tái)架部件20A、20B的上下循環(huán)移動(dòng)，而不間斷地順次進(jìn)行基板材料200的曝光。能夠提高曝光頭100的工作效率，即印刷線路基板的制造效率。激光曝光裝置10的概要如上，以下詳細(xì)說明其各部分的結(jié)構(gòu)。
曝光頭的結(jié)構(gòu)首先，參照?qǐng)D16～圖28，對(duì)曝光頭100的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。如上所述，曝光頭100垂直設(shè)置于架設(shè)在激光曝光裝置10的寬度方向上的門16的上部，在由臺(tái)架部件20吸附保持而輸送來的基板材料200通過其正下方的曝光位置時(shí)，對(duì)于該基板材料200的被曝光面202，從上方照射基于圖像信息而調(diào)制的激光束B，在該被曝光面202上形成與印刷線路基板的配線圖案相對(duì)應(yīng)的圖像(潛像)。
這里，基板材料200的上面部，是由感光材料形成有薄膜狀感光性涂膜的被曝光面202，被曝光面202在形成圖像(潛像)后經(jīng)蝕刻等規(guī)定的處理，能夠形成與潛像相對(duì)應(yīng)的配線圖案。還有，感光性涂膜，可以是在基板材料200上涂敷液體狀的感光材料后硬化，也可以是疊層預(yù)先形成為薄膜狀的感光材料而形成。
如圖16、17A、17B所示，曝光頭100具有配置為m行n列(例如3行5列)的大體是矩陣狀的多個(gè)(例如14個(gè))的結(jié)構(gòu)。圖中所示是由于與基板材料200的寬度的關(guān)系，在第3行配置4個(gè)曝光頭100。還有，以下在表示配線在第m行第n列的各個(gè)曝光頭時(shí)，記作曝光頭100mn。
由曝光頭100所曝光的區(qū)域102，是以副掃描方向?yàn)槎踢叺木匦巍Ｋ?，通過臺(tái)架部件20在輸送方向上的移動(dòng)，(通過曝光頭100在副掃描方向上的相對(duì)移動(dòng))，在基板材料200的被曝光面202上的描繪區(qū)域204上，順序形成每一個(gè)曝光頭100的帶狀已曝光區(qū)域206。還有，以下在表示對(duì)由配置在第m行第n列的各個(gè)曝光頭100所曝光的區(qū)域102的情況下，記作曝光區(qū)域102mn。
而且，如圖17A、17B所示，配列為線狀的各行的曝光頭100，分別在配列方向以規(guī)定的間隔(曝光區(qū)域的長(zhǎng)邊的自然數(shù)倍，本實(shí)施形式中為2倍)錯(cuò)開配置，使帶狀的已曝光區(qū)域206在與副掃描方向垂直的方向上(主掃描方向)上無(wú)間隔地排列。因此，在第一行的曝光區(qū)域10211，與曝光區(qū)域10212之間所不能曝光的部分，可以由第二行的曝光區(qū)域10221與第三行的曝光區(qū)域10231所曝光。
如圖18所示，各曝光頭10011～100mn，設(shè)置有根據(jù)象素信息按照各象素對(duì)入射的光束進(jìn)行調(diào)制的空間光調(diào)制元件的數(shù)碼微鏡設(shè)備(以下稱DMD)106。如圖所示，DMD106是在SRAM單元(存儲(chǔ)單元)108上一體配置格子狀的構(gòu)成象素的多個(gè)(例如600×800個(gè))的微小鏡子(以下稱微鏡)110而構(gòu)成的鏡設(shè)備，在鏡設(shè)備110的表面，蒸鍍有Al等反射率高的材料，使其反射率為90％以上。而且，各微鏡110由包含鉸鏈與架座的支柱(圖示省略)所支撐。
所以，在對(duì)DMD 106的SRAM單元108中寫入數(shù)字信號(hào)時(shí)，由支柱所支撐的微鏡110，以對(duì)角線為中心，相對(duì)于配置有DMD106的基部側(cè)，在±α°(例如±10°)的范圍內(nèi)傾斜。就是說，通過對(duì)應(yīng)于圖像信號(hào)控制DMD106的微鏡110的傾斜，能夠使入射于DMD106的光分別向微鏡110的傾斜方向反射。順便一提的是，圖19A是表示微鏡110為ON的狀態(tài)，即傾斜+α°的狀態(tài)。圖19是表示微鏡110為OFF的狀態(tài)，即傾斜-α°的狀態(tài)。而且在由OFF狀態(tài)的微鏡110反射光束的方向上，配置有光吸收體(圖示省略)。
而且，如上所述，DMD106是稍稍傾斜而配置，使在長(zhǎng)度方向上配置多個(gè)(例如800個(gè))微鏡110的微鏡列，在短邊方向上配置多組(例如600組)而形成，進(jìn)而其短邊方向的邊(短邊)與副掃描方向成規(guī)定的角度(例如1～5°)。圖20A表示在DMD106不傾斜配置情況下的各微鏡110的反射光像(曝光束)104的掃描軌跡，圖20B表示在DMD106傾斜規(guī)定角度θ的情況下的反射光像(曝光束)104的掃描軌跡。這樣，由于在DMD106傾斜時(shí)，各微鏡110的各曝光光束的掃描軌跡(掃描線)的節(jié)距P2，能夠比DMD106不傾斜情況下的掃描線的節(jié)距P1窄，所以能夠大幅度地提高分辨率。
進(jìn)而，由于由不同的微鏡列在同一掃描線上重復(fù)曝光(多重曝光)，所以能夠控制曝光位置的微小量，從而實(shí)現(xiàn)高精細(xì)的曝光。所以，能夠通過對(duì)主掃描方向上配列的多個(gè)曝光頭100之間的連接點(diǎn)進(jìn)行微小量的曝光位置控制，而無(wú)臺(tái)階差地連接。還有，由于DMD106的傾斜度θ微小，所以在DMD106傾斜情況下的掃描寬度W2與DMD106不傾斜的情況下的掃描線寬度W1大體相同。而且，即使在與副掃描方向垂直的方向上以錯(cuò)開規(guī)定的間隔的鋸齒狀配置各微鏡列，以取代DMD106的傾斜，當(dāng)然也可以得到同樣的效果。
而且，在驅(qū)動(dòng)控制曝光頭100的控制裝置中(圖示省略)，組裝入未圖示的圖像信息處理部與鏡驅(qū)動(dòng)控制部。在象素信息處理部中，基于對(duì)應(yīng)于從控制激光曝光裝置10的全體的控制器(圖示省略)而輸入的配線圖案的象素信息，對(duì)于每一個(gè)曝光頭100生成驅(qū)動(dòng)控制DMD106的應(yīng)控制的區(qū)域內(nèi)的各微鏡110的控制信號(hào)。而且，在鏡驅(qū)動(dòng)控制部中，基于在圖像信息處理部所生成的控制信號(hào)，對(duì)每個(gè)曝光頭100，控制DMD106的各微鏡110的角度為ON狀態(tài)或OFF狀態(tài)。
而且，如圖21所示，在DMD106的入射光一側(cè)，順序設(shè)置有具有在光纖的出射端部(發(fā)光點(diǎn))沿著與曝光區(qū)域102的長(zhǎng)邊方向相對(duì)應(yīng)的方向配置為一列的出射部114的光纖陣列光源112，對(duì)從光纖陣列光源112出射的激光進(jìn)行修正，使其在DMD106上聚光的透鏡系120，以及使透過透鏡系120的激光向DMD106反射的鏡116。而且，在DMD106的反射光一側(cè)，設(shè)置DMD106所反射的激光在基板材料200的被曝光面202上成像的透鏡系122、124，使DMD106與被曝光面202成為共軛關(guān)系。
如圖22A、22B所示，透鏡系120由將從光纖陣列光源112所出射的激光轉(zhuǎn)化為平行光的一對(duì)組合透鏡126，修正平行化的激光以使其光量分布均勻的一對(duì)組合透鏡128，以及將修正了光量分布的激光集中到DMD106上的聚光透鏡118所構(gòu)成。組合透鏡128具有以下功能，在激光出射端的配列方向上，使接近透鏡光軸的部分光束擴(kuò)展，離開光軸的部分光束收斂，并且，在與該配列方向相垂直的方向上，使光原封不動(dòng)地通過的功能，對(duì)激光進(jìn)行修正，使光量分布均勻。
而且，如圖23A所示，光纖陣列光源112設(shè)置有多個(gè)(例如6個(gè))激光模塊130，在各激光模塊130中，連接有多模式光纖132的一端。多模式光纖132的另一端，結(jié)合有型芯直徑與多模式光纖132相同，且包層直徑比多模式光纖132小的光纖134，如圖23C所示，通過將光纖134的出射端部(發(fā)光點(diǎn))在與副掃描方向垂直的主掃描方向上配置為一列，構(gòu)成激光出射部114。還有如圖23D所示，也可以將光纖134的出射部(發(fā)光點(diǎn))沿主掃描方向配置為兩列。
如圖23B所示，光纖134的出射端部，由表面平坦的兩枚支撐板136所夾持固定。而且，在光纖134的光出射側(cè)，為了保護(hù)光纖134的端面，配置有玻璃等透明的保護(hù)板138。保護(hù)板138可以是與光纖134的端面緊密結(jié)合而配置，也可以是與光纖134的端面密封而配置。光纖134的出射部由于光密度高，容易集塵而導(dǎo)致惡化，但通過配置保護(hù)板138，能夠防止塵埃向端面的附著，延遲惡化。
而且，如圖23B所示，由于包層直徑小的光纖134的出射端部無(wú)間隙地配置為一列，所以就會(huì)在包層直徑大的部分鄰接的兩條多模式光纖132之間堆疊多模式光纖132，與堆疊的多模式光纖132結(jié)合的光纖134的出射端，就被與在包層直徑大的部分鄰接的兩條多模式光纖132結(jié)合的兩條光纖134的出射端之間夾持而配置。這可以通過如下方式得到，即在包層直徑大的多模式光纖132的激光出射側(cè)的先端部分，將同軸結(jié)合有長(zhǎng)度為1～30cm的包層直徑小的光纖134的、例如光纖134的入射端面，在多模式光纖132的出射端面上，使二者中心軸相一致地熔融結(jié)合。
還有，作為多模式光纖132及光纖134，可以使用步變折射型光纖，緩變折射型光纖，以及復(fù)合型的光纖。如圖24所示，光纖134的芯134A的直徑與多模式光纖132的芯132A的直徑相同。即，光纖134的包層直徑＝60μm，芯徑＝25μm，而多模式光纖132的包層直徑＝125μm，芯徑＝25μm。而且，多模式光纖132的入射端面涂層的透過率為99.5％以上。
而且，雖然未圖示，也可以將在長(zhǎng)度較短、包層直徑較大的光纖上熔融結(jié)合有包層直徑較小的光纖的較短的光纖，通過套圈或光連接器等結(jié)合在多模式光纖132的出射端。這樣，使用光連接器等將短尺寸光纖(包層直徑小的光纖)，以可裝拆的方式結(jié)合于多模式光纖132時(shí)，由于在包層直徑小的光纖發(fā)生了破損等情況下，該部分的更換容易，所以能夠降低曝光頭100的保養(yǎng)維修所需要的費(fèi)用。還有，在以下的有些情況下，稱光纖134為多模式光纖132的出射端部。
激光模塊130由圖25所示的合成波激光光源(光纖光源)所構(gòu)成，該合成波激光光源，由熱封閉塊140上配置固定的多個(gè)(例如7個(gè))芯片狀的橫向多模式、或單模式的UV系半導(dǎo)體激光器LD1、LD2、LD3、LD4、LD5、LD6、LD7，與分別對(duì)應(yīng)于UV系半導(dǎo)體激光器LD1～LD7而設(shè)置的校直透鏡142、144、146、148、150、152、154，一個(gè)聚光透鏡156，以及一根多模式光纖132所構(gòu)成。就是說，由校直透鏡142～154及聚光透鏡156構(gòu)成聚光系統(tǒng)，由該聚光系統(tǒng)與多模式光纖132構(gòu)成合成波光學(xué)系。
所以，在曝光頭100中，從構(gòu)成光纖陣列光源112的合成波激光光源的各UV系半導(dǎo)體激光器LD1～LD7以發(fā)散狀態(tài)所出射的各激光光束B1、B2、B3、B4、B5、B6、B7，首先由對(duì)應(yīng)的校直透鏡轉(zhuǎn)換為平行光。而且，平行化的激光光束B1～B7，由聚光透鏡156進(jìn)行聚光，收束于多模式光纖132的芯132A的入射端面。
將收束于多模式光纖132的芯132A的入射端面的激光光束B1～B7，入射于該芯132A，在光纖中傳播，合成波為一條激光光束B。UV系半導(dǎo)體激光器LD1～LD7，振蕩波長(zhǎng)及最大輸出全部相同。此時(shí)的結(jié)合效率，例如為85％，在UV系半導(dǎo)體激光器LD1～LD7的各輸出為30mW的情況下，得到輸出約為180mW(＝30mW×0.85×7)的合成波激光光束B。
這樣，從結(jié)合于多模式光纖132的出射端部的光纖134出射的合成波激光光束B，例如如圖21、圖23C所示，在6條光纖134排列成陣列狀(高亮度的發(fā)光點(diǎn)沿主掃描方向配列成一列)的激光出射部114的情況下，該輸出是約為1W(＝180mW×6)的高輸出。還有，構(gòu)成合成波激光光源的UV系半導(dǎo)體激光器的個(gè)數(shù)也不限于是7個(gè)。
而且，如圖26、圖27所示，以上的合成波激光光源(UV系半導(dǎo)體激光器)與其它光學(xué)要素一起，收納于上方開口的箱狀外殼160內(nèi)。外殼160設(shè)置有能夠?qū)⑵溟_口閉塞的蓋162，通過脫氣處理后注入密封氣體，由蓋162將外殼160的開口部閉塞，在由外殼160與蓋162所構(gòu)成的封閉空間內(nèi)，將上述合成波的激光光源氣密密封。
在外殼160的底面上固定有基底板164，在該基底板164的上面安裝有熱封閉塊140，保持聚光透鏡156的聚光透鏡保持器158，以及保持多模式光纖132的入射端部的光纖保持器166。多模式光纖132的出射端部從外殼160的壁面上形成的開口向外殼160的外面引出。
而且，在熱封閉塊140的側(cè)面安裝有校直透鏡保持器168，保持校直透鏡142～154。在外殼160的橫截面上形成開口，通過該開口向外殼160的外面引出向UV系半導(dǎo)體激光器LD1～LD7供給驅(qū)動(dòng)電流的配線170。還有，在圖26、圖27中，為了避免圖的繁瑣化，在多個(gè)UV系半導(dǎo)體激光器中，僅對(duì)UV系半導(dǎo)體激光器LD7賦予符號(hào)。多個(gè)校直透鏡中，僅對(duì)校直透鏡154賦予符號(hào)。
而且，校直透鏡142～154的安裝部分的正面形狀示于圖28。各個(gè)校直透鏡142～154，形成為由平行平面將包含設(shè)置有外球面的圓形透鏡的光軸的區(qū)域細(xì)長(zhǎng)切分的形狀。該細(xì)長(zhǎng)形狀的校直透鏡142～154，例如可以由樹脂或光學(xué)玻璃模壓成形而得到。而且，校直透鏡142～154的長(zhǎng)度方向與UV系半導(dǎo)體激光器LD1～LD7的發(fā)光點(diǎn)的配列方向(圖中左右方向)垂直，且在發(fā)光點(diǎn)的配列方向上緊密相接配置。
而且，作為UV系半導(dǎo)體激光器LD1～LD7，設(shè)置有發(fā)光寬度為2μm的活性層，在與活性層平行方向、垂直方向的束散角，例如分別為10°、30°的狀態(tài)下，使用各激光光束B1～B7發(fā)出的激光。這些UV系半導(dǎo)體激光器LD1～LD7的發(fā)光點(diǎn)在與活性層平行的方向上并排成一列而設(shè)置。所以，由各發(fā)光點(diǎn)所發(fā)出的激光束B1～B7，在對(duì)于細(xì)長(zhǎng)形狀的各校直透鏡142～154，束散角度大的方向與長(zhǎng)度方向相一致，束散角度小的方向與寬度方向(與長(zhǎng)度方向垂直的方向)相一致的狀態(tài)下入射。
而且，聚光透鏡156，形成為由平行平面將包含設(shè)有非球面的圓形透鏡光軸的區(qū)域細(xì)長(zhǎng)地切取、在校直透鏡142～154的配列方向，即水平方向上長(zhǎng)，在與其垂直的方向上短的形狀。該聚光透鏡156，例如也可以由樹脂或光學(xué)玻璃的模壓成形而得到。
圖像位置檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)接著，對(duì)圖像位置檢測(cè)裝置180加以說明。圖像位置檢測(cè)裝置180，如上所述，包含在激光曝光裝置10的寬度方向上架設(shè)的門18的上部，且在曝光頭100的上游側(cè)垂直設(shè)置的兩臺(tái)CCD照相機(jī)182、184，與未圖示的調(diào)準(zhǔn)控制部。兩臺(tái)CCD照相機(jī)182、184作為攝像元件而設(shè)置有二維CCD的同時(shí)，還設(shè)置有作為攝像時(shí)光源的、一次發(fā)光時(shí)間極短的閃光燈，設(shè)定各CCD元件的受光靈敏度，使得僅在該閃光燈發(fā)光時(shí)才能攝像。調(diào)準(zhǔn)控制部處理來自兩臺(tái)CCD照相機(jī)182、184的圖像信號(hào)，向所述控制器輸出，對(duì)應(yīng)于由各CCD照相機(jī)182、184所攝像的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置的位置信息。
另一方面，在基板材料200的被曝光面202上，預(yù)先設(shè)定形成與配線圖案相對(duì)應(yīng)的潛像的描繪區(qū)域204，與該描繪區(qū)域204相對(duì)應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(圖示省略)在四角形成，而且，CCD照相機(jī)182、184在由臺(tái)架部件20所吸附保持并以規(guī)定的速度輸送來的基板材料200，通過其正下方的攝像位置(讀取位置)時(shí)，在規(guī)定的時(shí)刻使閃光燈發(fā)光，接受由該閃光燈發(fā)出的光的反射光，從而對(duì)基板材料200中包含調(diào)準(zhǔn)標(biāo)記的攝像范圍分別進(jìn)行攝像。
對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，是通過在基板材料200的被曝光面202上設(shè)置圓形的貫通孔或凹部而形成。由此，能夠檢測(cè)出臺(tái)架部件20上的基板材料200的位置(描繪區(qū)域)。還有，CCD照相機(jī)也不限于圖示的2臺(tái)。而且，CCD照相機(jī)182、184是分別以基板材料200的不同區(qū)域作為攝像范圍。因此，各CCD照相機(jī)182、184與作為攝像對(duì)象的基板材料200上形成的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置相對(duì)應(yīng)，可能調(diào)整該位置。還有，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記也可以不是貫通孔或凹部，而是利用在基板材料200的被曝光面202上預(yù)先形成的作為配線圖案的焊盤。
臺(tái)架部件及上下循環(huán)裝置的結(jié)構(gòu)接著，基于圖1～圖7對(duì)臺(tái)架部件20及其上下循環(huán)裝置的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。還有，為了說明的方便，在對(duì)臺(tái)架部件20區(qū)別為臺(tái)架部件20A、臺(tái)架部件20B而說明的情況下，有與其相對(duì)應(yīng)，對(duì)雙方同等的部件賦予英文字母A、B而區(qū)別的情況。如上所述，臺(tái)架部件20是形成規(guī)定厚度的大體矩形的平板，其內(nèi)部形成空洞。而且，其上面(正面)是用于載置基板材料200的平面狀的載置面。在該載置面上，穿透設(shè)置有由負(fù)壓吸附基板材料200的多個(gè)空氣吸引用小孔30。
而且，在臺(tái)架部件20的下面部，連接著具有作為通向臺(tái)架部件20的負(fù)壓發(fā)生用電纜的電源線或空氣配管的電纜支架40的一端(以下稱“先端部”)，該電支架纜40的另一端(以下稱“基部”)45上，同樣連接著具有電源線或空氣配管的電纜支架50。也就是說，在臺(tái)架部件20具有空氣吸引用真空泵等真空發(fā)生裝置(圖示省略)的情況下，成為設(shè)置有該真空發(fā)生裝置驅(qū)動(dòng)用的電源線的電纜支架40、50，在不具備真空發(fā)生裝置的情況下，成為設(shè)置有與另外設(shè)置的真空泵等真空發(fā)生裝置(圖示省略)相連接的空氣配管的電纜支架40、50。
各電纜支架40A、40B，各自的先端部與靠近臺(tái)架部件20A的側(cè)壁12(后述第一導(dǎo)向槽26與軌29之間)的下面部，以及靠近臺(tái)架部件20B的側(cè)壁14(后述第一導(dǎo)向槽26與軌29之間)的下面部相互連接，由能夠分別追蹤上下移動(dòng)的臺(tái)架部件20A、臺(tái)架部件20B而變形的柔性管等所構(gòu)成。而且，各電纜支架50A、50B，能夠分別在側(cè)壁12、14的內(nèi)側(cè)所形成的與輸送方向(回復(fù)方向)相平行的導(dǎo)向物36、38內(nèi)滑動(dòng)地設(shè)置，各電纜支架50A、50B與所述基部45，可沿著該導(dǎo)向槽36、38向輸送方向及回復(fù)方向移動(dòng)。
所以，即使是各臺(tái)架部件20A、20B向上下方向、輸送方向、回復(fù)方向移動(dòng)，電纜支架40A、40B及電纜支架50A、50B也能夠?qū)ζ渥粉櫠苿?dòng)。由此，電纜支架40、50不會(huì)發(fā)生纏繞，或造成妨礙等不良的情況，不會(huì)發(fā)生阻礙各臺(tái)架部件20A、20B的移動(dòng)等不良的情況。
還有，希望導(dǎo)向槽36、38僅在所述基部45的移動(dòng)范圍內(nèi)形成，電纜支架50A、50B從導(dǎo)向槽36、38中上游側(cè)(也有下游側(cè)的情況)的端部所穿透的貫通孔12B、14B(圖7中僅表示了側(cè)壁12)向外部取出。但也可以將導(dǎo)向槽36、38延長(zhǎng)設(shè)置到側(cè)壁12、14的上游側(cè)(或下游側(cè))的端部，從那里像外部取出電纜支架50A、50B。無(wú)論是哪種情況，電纜支架50都不會(huì)由于彎曲變形等從導(dǎo)向槽36、38內(nèi)向臺(tái)架部件20的下方等突出，臺(tái)架部件20中，隨時(shí)供給電力或負(fù)壓。
而且，在側(cè)壁12的上面，在大體全長(zhǎng)上設(shè)置有與輸送方向(回復(fù)方向)平行的滾珠絲杠46與導(dǎo)軌56，在側(cè)壁14的上面，也大體貫通全長(zhǎng)設(shè)置有與輸送方向(回復(fù)方向)平行的滾珠絲杠48與導(dǎo)軌58。而且，在滾珠絲杠46、48的上游側(cè)(也可以是下游側(cè))的端部，分別安裝有可正向、逆向旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)52、54。該馬達(dá)52、54根據(jù)由未圖示的輸送控制部所輸出的控制脈沖信號(hào)而旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，其輸送控制部連接于所述控制器。
而且，該滾珠絲杠46、48的兩端部附近，分別由一對(duì)支撐部47、49所支撐，在各支撐部47、49之間的滾珠絲杠46、48上，螺合設(shè)置有作為分別輸送臺(tái)架部件20A、20B的上部輸送機(jī)構(gòu)的線性行走體42、44。線性行走體42、44是向輸送方向移動(dòng)各臺(tái)架部件20A、20B的部件，在線性行走體42、44的外側(cè)下部穿設(shè)的、具有螺紋的孔部中，滾珠絲杠46、48以螺合的狀態(tài)而插通。
而且，在線性行走體42、44的內(nèi)部下側(cè)，形成分別可以在導(dǎo)軌56、58上自由滑動(dòng)地嵌合的、截面大體是倒“凹”字形的導(dǎo)向槽42A、44A。所以，通過由所述驅(qū)動(dòng)脈沖信號(hào)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)52、54，使?jié)L珠絲杠46、48正向及逆向旋轉(zhuǎn)，從而使線性行走體42、44沿著導(dǎo)軌56、58在輸送方向及回復(fù)方向以規(guī)定的速度(例如曝光時(shí)30mm/s)移動(dòng)。
而且，在與臺(tái)架部件20A的側(cè)壁12相向的側(cè)面部，突起設(shè)置有俯視為分岔狀的接合部22，在與臺(tái)架部件20B的側(cè)壁14相向的側(cè)面部，也突起設(shè)置有俯視為分岔狀的接合部24。而且，在側(cè)壁12、14的上面設(shè)置的線性行走體42、44的內(nèi)側(cè)上部，分別突起設(shè)置有從垂直方向插入嵌合于各分岔狀接合部22、24之間的接合部42B、44B。
所以，具有通過臺(tái)架部件20A、20B的升降，能夠使接合部42B、44B與接合部22、24能夠分別可自由裝拆地連接，通過線性行走體42、44向輸送方向的移動(dòng)，使臺(tái)架部件20A、20B受牽引而向輸送方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，就是說，臺(tái)架部件20A、20B的接合部22、24與線性行走體42、44的接合部42B、44B的連接，具有在垂直方向上很容易分開，但在水平方向上不能分開的結(jié)構(gòu)。由此，使臺(tái)架部件20A、20B向輸送方向移動(dòng)。
因此，在臺(tái)架部件20A、20B中，沒有必要設(shè)置自行走結(jié)構(gòu)，這樣能夠使該結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化。還有，通過臺(tái)架部件20A、20B的下降，解除了與此相連接的線性行走體42、44向回復(fù)方向移動(dòng)，在初期位置(裝載位置)，通過臺(tái)架部件20A、20B的上升，再次與其連接，依次將臺(tái)架部件20A、20B向輸送方向移動(dòng)。
而且，在臺(tái)架部件20A、20B中，在連接著電纜支架40A、40B的先端部的位置的外側(cè)方向下部(臺(tái)架部件20的兩端下部)，沿輸送方向(回復(fù)方向)突起設(shè)置有截面大體是倒“凹”形狀的一對(duì)第一導(dǎo)向槽26，在連接著電纜支架40A、40B的先端部的位置的內(nèi)側(cè)方向下部，沿輸送方向(回復(fù)方向)突起設(shè)置有具有截面大體是倒“凹”字形的第二導(dǎo)向槽28的一對(duì)的軌29。
而且，在側(cè)壁12、14的上面大體中央部，一體延伸設(shè)置有向內(nèi)方側(cè)伸出規(guī)定的寬度，且在輸送方向上長(zhǎng)的伸出部12A、14A，在該伸出部12A、14A上，沿著輸送方向(回復(fù)方向)、且在伸出部12A、14A的全長(zhǎng)上突起設(shè)置有第一導(dǎo)向槽26可滑動(dòng)地嵌合的上部導(dǎo)軌32、34。
而且，在側(cè)壁12、14間的最下部，以與側(cè)壁12、14的長(zhǎng)度方向(輸送方向和回復(fù)方向)大體相同的長(zhǎng)度、且與側(cè)壁12、14間大體相同的寬度，配置有規(guī)定厚度的平板狀設(shè)置臺(tái)60，在圖7的側(cè)視圖中，與伸出部12A、14A的下方相接的設(shè)置臺(tái)60上，沿著輸送方向(回復(fù)方向)突起設(shè)置有與伸出部12A、14A(上部導(dǎo)軌32、34)大體相同長(zhǎng)度的、可滑動(dòng)地嵌合于第二導(dǎo)向槽28的一對(duì)下部導(dǎo)軌62、64。
所以，(構(gòu)成在向回復(fù)方向移動(dòng)時(shí)的導(dǎo)向的)下部導(dǎo)軌62、64的軌道寬度比(構(gòu)成在向輸送方向移動(dòng)時(shí)導(dǎo)向的)上部導(dǎo)軌32、34的軌道寬度要窄。這樣的結(jié)構(gòu)可以使連接于臺(tái)架部件20的電纜支架40不與上部導(dǎo)軌32、34及下部導(dǎo)軌62、64干涉。就是說，由于電纜支架40連接于第一導(dǎo)向槽26與第二導(dǎo)向槽28(軌29)之間，在寬度方向上，伸出部12A與伸出部14A之間留有規(guī)定的間隔，所以在臺(tái)架部件20在其兩端下部支撐于上部導(dǎo)軌32、34，向輸送方向移動(dòng)時(shí)，電纜支架40就通過伸出部12A與伸出部14A之間而移動(dòng)。
這樣，在臺(tái)架部件20沿著下部導(dǎo)軌62、64而移動(dòng)時(shí)，由于下部導(dǎo)軌62、64所支撐的軌29(第二導(dǎo)向槽28)在電纜支架40內(nèi)側(cè)，所以該電纜支架40在下部導(dǎo)軌62、64的外側(cè)移動(dòng)。這樣，使下部導(dǎo)軌62、64的軌道寬度與上部導(dǎo)軌32、34的軌道寬度不同(變窄)時(shí)，電纜支架40就能夠不妨礙臺(tái)架部件20的移動(dòng)而追蹤移動(dòng)。
而且，在設(shè)置臺(tái)60的上游側(cè)端部與下游側(cè)端部，分別設(shè)置有升降移動(dòng)臺(tái)架部件20的第一升降機(jī)66與第二升降機(jī)68，這些第一升降機(jī)66與第二升降機(jī)68都是相同的結(jié)構(gòu)，分別具有由油壓進(jìn)行規(guī)定高度上下移動(dòng)的第一汽缸66B及第二汽缸68B。還有，該第一汽缸66B及第二汽缸68B相當(dāng)于本發(fā)明中第一升降部件與第二升降部件的一例。
在第一汽缸66B及第二汽缸68B的上部，分別水平一體安裝有在輸送方向(回復(fù)方向)上長(zhǎng)的矩形平板狀第一升降臺(tái)66A及第二升降臺(tái)68A，在該第一升降臺(tái)66A及第二升降臺(tái)68A上，分別突起設(shè)置有與下部導(dǎo)軌62、64具有相同間隔(軌道寬度)的第一切換軌72、74及第二切換軌76、78。所以，臺(tái)架部件20是在第一升降臺(tái)66A及第二升降臺(tái)68A上通過第二導(dǎo)向槽28(軌29)而支撐于第一切換軌72、74或者第二切換軌76、78的結(jié)構(gòu)。
而且，第一升降臺(tái)66A及第二升降臺(tái)68A的輸送方向的長(zhǎng)度，考慮到基板材料200的輸送方向的長(zhǎng)度，和在第一升降臺(tái)66A及第二升降臺(tái)68A進(jìn)行下降時(shí)，第一切換軌72、74及第二切換軌76、78與下部導(dǎo)軌62、64相連續(xù)(參照?qǐng)D4)，即，連接為一體的情況而確定。這樣，第一切換軌72、74及第二切換軌76、78與下部導(dǎo)軌62、64相連續(xù)(一體連接)時(shí)，臺(tái)架部件20向下部導(dǎo)軌62、64的交接(移動(dòng))能夠容易且順利地進(jìn)行。
而且，最好第一升降臺(tái)66A及第二升降臺(tái)68A的輸送方向(或回復(fù)方向)的內(nèi)側(cè)的端部66C、68C，能夠與伸出部12A、14A的輸送方向(或回復(fù)方向)中的端部12C、14C(圖7中僅表示了側(cè)壁12)，在俯視圖上為同一直線，或位于其外側(cè)的位置。由此，在第一升降臺(tái)66A及第二升降臺(tái)68A上升時(shí)，不與各伸出部12A、14A干涉，所以能夠得到激光曝光裝置10的寬度方向縮短的結(jié)構(gòu)。
還有，在從上部導(dǎo)軌32、34向第二切換軌76、78，以及從第一切換軌72、74向上部導(dǎo)軌32、34交接臺(tái)架部件20時(shí)，由于臺(tái)架部件20的第二導(dǎo)向槽28支撐于第一切換軌72、74或第二切換軌76、78的同時(shí)，其第一導(dǎo)向槽26是支撐于上部導(dǎo)軌32、34的狀態(tài)，所以其移動(dòng)能容易且順利地進(jìn)行。
而且，在下部導(dǎo)軌62、64之間，設(shè)置有作為將臺(tái)架部件20向初期位置(裝載位置)以一定程度的高速(一方的臺(tái)架部件移動(dòng)曝光部期間，另一方的臺(tái)架部件能夠移動(dòng)到攝像位置(讀取位置)的速度，例如1m/s左右)回復(fù)移動(dòng)的下部輸送裝置的皮帶輸送機(jī)70。規(guī)定皮帶輸送機(jī)70的高度使其輸送面(上面)與臺(tái)架部件20的軌29間的下面部緊密相接，由此使臺(tái)架部件20沿下部導(dǎo)軌62、64向回復(fù)方向輸送。還有，這樣的下部輸送裝置，也不限于皮帶輸送機(jī)70，只要是能夠以一定程度的高速(1m/s左右)使臺(tái)架部件20移動(dòng)，可以是任意的結(jié)構(gòu)。
而且，在第二升降機(jī)68的兩側(cè)，設(shè)置有用于將臺(tái)架部件20從第二升降臺(tái)68A送出到皮帶輸送機(jī)70的送出裝置(圖示省略)。該送出裝置例如具有接合于臺(tái)架部件20A的接合部22及臺(tái)架部件20B的接合部24的結(jié)合部，通過該結(jié)合部結(jié)合于接合部22、24，向回復(fù)方向移動(dòng)，使臺(tái)架部件20從第二升降臺(tái)68A送出到下部導(dǎo)軌62、64及皮帶輸送機(jī)70。還有，對(duì)送出裝置的結(jié)構(gòu)沒有特別的限制，例如也可以是設(shè)置在設(shè)置臺(tái)60的輸送方向外側(cè)，由活塞桿等推壓部件將臺(tái)架部件20向回復(fù)方向推壓，從第二升降臺(tái)68A送出到下部導(dǎo)軌62、64及皮帶輸送機(jī)70上的結(jié)構(gòu)。
而且，從皮帶輸送機(jī)70向第一升降臺(tái)66A上的移動(dòng)，可以利用在皮帶輸送機(jī)70上以一定程度的高速(例如1m/s)輸送來的臺(tái)架部件20的回復(fù)方向的慣性力來實(shí)現(xiàn)。所以，在第一升降臺(tái)66A上，設(shè)置有使臺(tái)架部件20在第一升降臺(tái)66A上的規(guī)定位置停止的停止裝置(圖示省略)。該停止裝置，例如可以是僅在第一升降臺(tái)66A的第一切換軌72、74上設(shè)置突起等停止器(圖示省略)而構(gòu)成，也可以是在第一升降機(jī)66的兩側(cè)等另行設(shè)置具有停止器功能的停止裝置(圖示省略)的結(jié)構(gòu)。無(wú)論怎樣，只要是能夠?qū)⑴_(tái)架部件20停止在第一升降臺(tái)66A上規(guī)定的位置，可以采用任意的停止裝置。
而且，與上述同樣，還可以設(shè)置將臺(tái)架部件20送向第一升降臺(tái)66A的送出裝置(圖示省略)。在這種情況下，希望該送出裝置中具有在第一升降臺(tái)66A的規(guī)定位置上停止臺(tái)架部件20的停止功能。還有，這種情況下的送出裝置，也不限于設(shè)有結(jié)合于接合部22、24的結(jié)合部的送出裝置，例如也可以是設(shè)置在設(shè)置臺(tái)60的回復(fù)方向外側(cè)，將臺(tái)架部件20從皮帶輸送機(jī)70上引出而載置于第一升降臺(tái)66A上的結(jié)構(gòu)。
曝光裝置的動(dòng)作接著參照?qǐng)D2～圖6，對(duì)在具有以上結(jié)構(gòu)的激光曝光裝置10中一連串的動(dòng)作加以說明。首先，在初期位置(裝載位置)，由第一汽缸66B使第一升降臺(tái)66A待機(jī)于上升位置。此時(shí)，臺(tái)架部件20A通過第二導(dǎo)向槽28而支撐于第一切換軌72、74，與其接合部22，側(cè)壁12上的線性行走體42的接合部42B相連接。
然后，由未圖示的裝料機(jī)(基板供給裝置)將基板材料200A裝載于臺(tái)架部件20A的裝載面上。此時(shí)，由于是通過電纜支架40A、50A由真空泵等對(duì)臺(tái)架部件20A供給負(fù)壓，所以從裝載面上穿透設(shè)置的多個(gè)小孔30A吸引空氣，通過該作用使基板材料200A以緊密結(jié)合的狀態(tài)固定于裝載面上。
這樣，在將基板材料200A吸附保持于臺(tái)架部件20A的裝載面后，由來自輸送控制部的驅(qū)動(dòng)脈沖信號(hào)而驅(qū)動(dòng)馬達(dá)52，使?jié)L珠絲杠46旋轉(zhuǎn)。這樣，線性行走體42就沿著導(dǎo)軌56向輸送方向移動(dòng)，臺(tái)架部件20A通過第1導(dǎo)向槽26從第1切換軌72、74向上部導(dǎo)軌32、34移動(dòng)的同時(shí)，以規(guī)定的速度向輸送方向移動(dòng)。并且，此時(shí)電纜支架40A從伸出部12A與伸出部12B之間通過。而且，由垂直設(shè)置于門18的CCD照相機(jī)182、184，對(duì)基板材料200A的四角所設(shè)置的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行攝像，檢測(cè)出基板材料200A的描繪區(qū)域204的位置。
就是說，基板材料200A的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記到達(dá)CCD照相機(jī)182、184的攝像位置(讀取位置)時(shí)，閃光燈發(fā)光，由CCD照相機(jī)182、184對(duì)被曝光面202中包含對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的攝像區(qū)域進(jìn)行攝像。此時(shí)，由CCD照相機(jī)182、184所得到的攝像信息輸出到對(duì)準(zhǔn)控制部。對(duì)準(zhǔn)控制部將攝像信息轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)于沿著對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的掃描方向及寬度方向的位置的位置信息，向控制器輸出該位置信息。
控制器基于來自對(duì)準(zhǔn)控制部的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置信息，判斷與描繪區(qū)域204相對(duì)應(yīng)設(shè)置的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置，并從該對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置分別判斷沿著描繪區(qū)域204的掃描方向及寬度方向的位置，和相對(duì)于描繪區(qū)域204的掃描方向的傾斜量。就是說，控制器在判斷臺(tái)架部件20A上的基板材料200A的位置的同時(shí)，基于圖像信息判斷基板材料200A中各對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置，判斷該描繪區(qū)域204。
而且，控制器基于沿著描繪區(qū)域204的掃描方向的位置計(jì)算出對(duì)于描繪區(qū)域204開始曝光的時(shí)刻，同時(shí)基于沿描繪區(qū)域204寬度方向的位置及對(duì)于掃描方向的傾斜量，對(duì)對(duì)應(yīng)于配線圖案的圖像信息實(shí)行變換處理，將變換處理后的圖像信息存儲(chǔ)于幀存儲(chǔ)器。這里，作為變換處理的內(nèi)容，包含以坐標(biāo)原點(diǎn)為中心旋轉(zhuǎn)圖像信息的坐標(biāo)變換處理，沿著對(duì)應(yīng)于寬度方向的坐標(biāo)軸將圖像信息平行移動(dòng)的坐標(biāo)變換處理。進(jìn)而，根據(jù)需要，控制器還可以實(shí)行對(duì)應(yīng)于沿著描繪區(qū)域204的寬度方向及掃描方向的伸長(zhǎng)量，使圖像信息伸長(zhǎng)或縮短的變換處理。
這樣所得到的變換處理后的圖像信息及描繪區(qū)域204的位置信息，與臺(tái)架部件20A相關(guān)聯(lián)，暫時(shí)存儲(chǔ)于控制器的幀存儲(chǔ)器內(nèi)，在將基板材料200A從臺(tái)架部件20A上(從激光曝光裝置10)送到用于輸送到下一工序的輸送裝置(未圖示)之后，將其從幀存儲(chǔ)器中消去。
另一方面，臺(tái)架部件20A的第二導(dǎo)向槽28從第一升降臺(tái)66A的第一切換軌72、74脫離后，第一升降臺(tái)66A通過第一汽缸66B而下降。然后，通過皮帶輸送機(jī)70回復(fù)輸送移動(dòng)來的臺(tái)架部件20B向第一升降臺(tái)66A移動(dòng)。就是說，以規(guī)定的速度(1m/s)在皮帶輸送機(jī)70上及下部導(dǎo)軌62、64上輸送來的臺(tái)架部件20B，通過其朝向回復(fù)方向的慣性力與在第一升降臺(tái)66A的第一切換軌72、74上設(shè)置的停止器(圖示省略)，移至第一升降臺(tái)66A上，同時(shí)停止在規(guī)定的位置。還有，也可以由未圖示的送出裝置將臺(tái)架部件20B從皮帶輸送機(jī)70上及下部導(dǎo)軌63、64上送出到第一切換軌72、74上，并停止在規(guī)定的位置。
在臺(tái)架部件20B完全移至第一升降臺(tái)66A之后，由第一汽缸66B使第一升降臺(tái)66A上升，臺(tái)架部件20B的連接部24連接于側(cè)壁14上的線性行走體44的連接部44B。而且，與上述同樣地將下一個(gè)基板材料200B裝載于該臺(tái)架部件20B的裝載面上，通過利用負(fù)壓從小孔吸引空氣的作用而吸附保持于該裝載面，這一狀態(tài)示于圖2。這樣，在臺(tái)架部件20B上吸附保持基板材料200B之后，線性行走體44以規(guī)定的速度向輸送方向移動(dòng)，臺(tái)架部件20B也向輸送方向移動(dòng)。而且，由CCD照相機(jī)182、184對(duì)基板材料200B的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行攝像。
另一方面，拍攝了對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的基板材料200A，通過臺(tái)架部件20A(線性行走體42)進(jìn)一步向輸送方向移動(dòng)，而供給到垂直設(shè)置于門16的曝光頭100的曝光位置。然后，以規(guī)定的速度(例如30mm/s)移動(dòng)的同時(shí)，基于CCD照相機(jī)182、184的攝像而由對(duì)準(zhǔn)控制部進(jìn)行了位置檢測(cè)的描繪區(qū)域204，基于對(duì)應(yīng)于配線圖案的圖像信息而曝光，在基板材料200A的描繪區(qū)域204上形成配線圖案等潛像(圖像)。就是說，由于通過基板材料200A與臺(tái)架部件20A一起向輸送方向移動(dòng)，能夠使曝光頭100相對(duì)地向回復(fù)方向副掃描，所以在基板材料200A上，對(duì)于每一個(gè)曝光頭100順次形成帶狀的已曝光區(qū)域206(參照?qǐng)D16、圖17A、圖17B)。
這里，對(duì)該曝光處理工序進(jìn)行詳細(xì)說明。首先，控制器判斷臺(tái)架部件20A上的基板材料200A的位置，基于幀存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的描繪區(qū)域204的位置信息，判斷描繪區(qū)域204的先端到達(dá)曝光位置的時(shí)刻。然后，與該描繪區(qū)域204的先端到達(dá)曝光位置的時(shí)刻同步，將開始曝光信號(hào)輸出到圖像信息處理部。由此，圖像信息處理部按照多條線順次讀出幀存儲(chǔ)器中所存儲(chǔ)的圖像信息，基于讀出的圖像信息對(duì)每一個(gè)曝光頭100生成控制信號(hào)。而且，鏡驅(qū)動(dòng)控制部基于該生成的控制信號(hào)對(duì)于每一個(gè)曝光頭100，將各DMD106的微鏡110控制為ON狀態(tài)或OFF狀態(tài)。
這樣，在對(duì)DMD106的微鏡110進(jìn)行ON、OFF控制后，從光纖陣列光源112對(duì)DMD106照射激光，ON狀態(tài)的微鏡110所反射的激光，由透鏡系122、124在基板材料200A的被曝光面202上成像。就是說，從光纖陣列光源112所出射的激光按照各象素進(jìn)行ON、OFF，基板材料200A的描繪區(qū)域204以與DMD106的使用象素?cái)?shù)大體相同數(shù)目的象素單位(曝光區(qū)域)進(jìn)行曝光。還有，這里所說的象素信息，是用2值(圓點(diǎn)記錄的有無(wú))來表示構(gòu)成圖像的各象素濃度的數(shù)據(jù)，在本實(shí)施形式中的曝光頭100的曝光處理時(shí)間為15秒。
臺(tái)架部件20A上的基板材料200A的曝光終了時(shí)，臺(tái)架部件20B已經(jīng)由CCD照相機(jī)182、184對(duì)裝載于此的基板材料200B的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行攝像，并進(jìn)入到該描繪區(qū)域204的位置檢測(cè)工序，所以該臺(tái)架部件20B上的基板材料200B的曝光繼續(xù)開始。就是說，控制器在對(duì)于基板材料200A的描繪區(qū)域204的曝光完了時(shí)，與該描繪區(qū)域204同樣，基于變換處理過的圖像信息及位置信息，對(duì)于下一個(gè)基板材料200B的描繪區(qū)域204實(shí)行曝光。
另一方面，完成了基板材料200的曝光處理的臺(tái)架部件20A進(jìn)一步由線性行走體42向輸送方向輸送，從上部導(dǎo)軌32、34移動(dòng)載置到通過第二汽缸68B待機(jī)于上升位置的第二升降臺(tái)68A的第二切換軌76、78上。就是說，從由第一導(dǎo)向槽26支撐的狀態(tài)移動(dòng)到由第二導(dǎo)向槽28支撐的狀態(tài)。而且，當(dāng)臺(tái)架部件20A完全移動(dòng)到第二升降臺(tái)68A上時(shí)(到基板材料200的取出位置時(shí))，由解除真空泵等對(duì)于臺(tái)架部件20A施加的負(fù)壓，由未圖示的卸載機(jī)(基板取出裝置)將基板材料200A從臺(tái)架部件20A的裝載面上取出，而且，該基板材料(印刷線路基板)200A由未圖示的輸送裝置送到下一工序。
除去了基板材料200A的第二升降臺(tái)68A上的臺(tái)架部件20A，通過第二汽缸68B而下降，接合部22從線性行走體42的接合部42B離開。該狀態(tài)示于圖3。去除了接合部22的線性行走體42，通過馬達(dá)52向與輸送滾珠絲杠46時(shí)相反方向的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，沿著導(dǎo)軌56向原來的位置(初期位置)以一定程度的高速回復(fù)移動(dòng)。此時(shí)，由于線性行走體42在側(cè)壁12上移動(dòng)，且在與臺(tái)架部件20B的接合部24相反一側(cè)的側(cè)面部上沒有設(shè)置接合部，所以不會(huì)發(fā)生與在側(cè)壁14上移動(dòng)的線性行走體44、即臺(tái)架部件20B的沖突等不希望的情況。
另一方面，在裝載有臺(tái)架部件20A的狀態(tài)下下降到最下部的第二升降臺(tái)68A上，其第二切換軌76、78與設(shè)置臺(tái)60上的下部導(dǎo)軌62、64一體連接。就是說，第二切換軌76、78的回復(fù)方向側(cè)的端面與下部導(dǎo)軌62、64的輸送方向側(cè)的端面大體無(wú)間隔地正對(duì)。這樣，由未圖示的送出裝置，將臺(tái)架部件20A從第二升降臺(tái)68A的第二切換軌76、78上向下部導(dǎo)軌62、64上及皮帶輸送機(jī)70上送出。
而且，向下部導(dǎo)軌62、64及皮帶輸送機(jī)70上送出的臺(tái)架部件20A，由該皮帶輸送機(jī)70向回復(fù)方向高速(例如1m/s)移動(dòng)，從下部導(dǎo)軌62、64上向第一升降臺(tái)66A的第一切換軌72、74，與上述臺(tái)架部件20B同樣地移動(dòng)。這種狀態(tài)示于圖4。還有，此時(shí)電纜支架40由于向第二切換軌76、78，下部導(dǎo)軌62、64，第一切換軌72、74的外側(cè)移動(dòng)，所以不會(huì)產(chǎn)生妨礙等不希望的情況。
這樣，臺(tái)架部件20A完全裝載于第一升降臺(tái)66A上之后，由第一汽缸66B使第一升降臺(tái)66A上升，臺(tái)架部件20A的接合部22與待機(jī)中的線性行走體42的接合部42B相連接。而且，下一個(gè)基板材料200C裝載于臺(tái)架部件20A的裝載面，由負(fù)壓而吸附保持，該狀態(tài)示于圖5。
基板材料200C吸附保持后，線性行走體42以規(guī)定的速度向輸送方向移動(dòng)，由CCD照相機(jī)182、184對(duì)基板材料200C的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行攝像。該狀態(tài)示于圖6。還有，臺(tái)架部件20A的曝光終了后，至此為止的工序大約15秒完成。臺(tái)架部件20B上的基板材料200B的曝光終了時(shí)，可以馬上開始臺(tái)架部件20A上的基板材料200C的曝光。
而且，在臺(tái)架部件20B上吸附保持的基板材料200B的曝光終了后，臺(tái)架部件20B當(dāng)然也可以與臺(tái)架部件20A同樣，由圖3、圖4、圖5所示的工序進(jìn)行回復(fù)動(dòng)作，將下一個(gè)新的基板材料裝載于裝載面，重復(fù)進(jìn)行上述動(dòng)作。這樣，該激光曝光裝置10就能夠不間斷(幾乎沒有時(shí)間間隔)地進(jìn)行曝光處理，使曝光頭100的工作效率提高。所以能夠提高印刷線路基板的制造效率。
這里，由一臺(tái)臺(tái)架部件在相同高度位置(同一面上)往復(fù)運(yùn)動(dòng)(水平移動(dòng))的同時(shí)進(jìn)行曝光處理的以前的激光曝光裝置，與二臺(tái)臺(tái)架部件上下循環(huán)移動(dòng)的同時(shí)進(jìn)行曝光處理的本發(fā)明的激光曝光裝置10中，對(duì)一枚基板材料曝光處理時(shí)的節(jié)拍時(shí)間的比較示于表1。
從表1可知，由本發(fā)明的激光曝光裝置10，與以前相比，能夠使一枚基板材料的曝光時(shí)間縮短12秒。即制造一枚印刷線路基板的時(shí)間縮短到原來的3/5，使制造效率得到飛躍性地提高。
表1 接著，參照?qǐng)D8～圖15，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施形式詳細(xì)說明。對(duì)于與上述第一實(shí)施形式的部件共同的部分，都賦予同一符號(hào)，對(duì)重復(fù)說明進(jìn)行適宜省略。
曝光裝置的概要激光曝光裝置10設(shè)置有三臺(tái)以上(圖中為三臺(tái))一邊將基板材料200吸附于其正面(上面)一邊向輸送方向移動(dòng)的規(guī)定厚度的大體矩形平板狀的臺(tái)架部件20。還有，由于三臺(tái)的臺(tái)架部件20都具有相同的結(jié)構(gòu)，所以在以下有些情況下將一個(gè)臺(tái)架部件為臺(tái)架部件20A，另一個(gè)臺(tái)架部件為臺(tái)架部件20B，剩下的一個(gè)為臺(tái)架部件20C來說明。而且，對(duì)于基板200也有將臺(tái)架部件20A上吸附保持的基板材料為基板材料200A，將臺(tái)架部件20B上吸附保持的基板材料為基板材料200B，將臺(tái)架部件20C上吸附保持的基板材料為基板材料200C而進(jìn)行說明的情況。
三臺(tái)臺(tái)架部件20，分別由后述的上部輸送裝置232、234而向輸送方向移動(dòng)，停止在規(guī)定位置(后述第二升降臺(tái)84A上)，之后下降，由后述的下部輸送裝置92向回復(fù)方向移動(dòng)。而且，在規(guī)定的位置(后述第一升降臺(tái)82A上)停止之后上升，再一次向輸送方向移動(dòng)。就是說，三臺(tái)臺(tái)架部件20，具有分別上下移動(dòng)、向輸送方向及回復(fù)方向移動(dòng)的、可上下循環(huán)移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，移動(dòng)到上部的輸送路徑時(shí)，吸附保持的基板材料200被曝光，該基板材料200去除后，移動(dòng)到下部的回復(fù)路徑，回復(fù)到原來的初期位置(裝載基板材料200的位置)。
在臺(tái)架部件20的移動(dòng)路徑(輸送路徑及回復(fù)路徑)的下方配置有基臺(tái)30，在該基臺(tái)30的寬度方向的兩端，且在臺(tái)架部件20的移動(dòng)路徑的兩側(cè)，左右對(duì)稱地豎立設(shè)置有從正面看大體是倒“L”字形的一對(duì)側(cè)壁12、14。該一對(duì)側(cè)壁12、14具有相同的結(jié)構(gòu)，但為了說明的方便，將朝著輸送方向的左側(cè)稱為壁12，右側(cè)稱為壁14。而且，在側(cè)壁12、14的長(zhǎng)度方向略中央部，以規(guī)定的間隔(離開沿臺(tái)架部件20的輸送方向的長(zhǎng)度以上)并排設(shè)置有跨越臺(tái)架部件20的移動(dòng)路徑、從正面看大體呈倒“凹”字形的兩個(gè)門16、18。
門16、18的兩下部分別固定于側(cè)壁12、14的上面，在下游側(cè)的門16的上部安裝有多個(gè)曝光頭100，在上游側(cè)的門18上部安裝有構(gòu)成圖像位置檢測(cè)裝置180的兩臺(tái)CCD照相機(jī)182、184。曝光頭100以能夠向通過門16(圖像形成部)的基板材料200照射激光光束B的狀態(tài)朝向下方固定，CCD照相機(jī)182、184也以能夠?qū)νㄟ^門18(圖像位置檢測(cè)部)的基板材料200的位置(描繪區(qū)域)檢測(cè)用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(圖示省略)進(jìn)行攝像的狀態(tài)朝向下方固定。
所以，激光曝光裝置10主要有以下的動(dòng)作。首先，基板材料200A在吸附保持于臺(tái)架部件20A的狀態(tài)下輸送，由CCD照相機(jī)182、184對(duì)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行攝像，檢測(cè)出該位置(描繪區(qū)域)，而且，基于該檢測(cè)結(jié)果，由曝光頭100對(duì)規(guī)定的描繪區(qū)域曝光。曝光終了后，基板材料(印刷線路基板)200A從臺(tái)架部件20A上卸載。另一方面，此時(shí)，臺(tái)架部件20B在已經(jīng)吸附保持著下一個(gè)基板材料200B的狀態(tài)下輸送，由CCD照相機(jī)182、184進(jìn)行位置檢測(cè)并開始曝光，而且臺(tái)架部件20C也進(jìn)而吸附保持基板材料200C，成為向由CCD照相機(jī)182、184進(jìn)行位置檢測(cè)的位置輸送前的輸送待機(jī)狀態(tài)。
就是說，卸載了前一個(gè)基板材料(印刷線路基板)的臺(tái)架部件20B，在臺(tái)架部件20A上的基板材料200A曝光期間，通過該臺(tái)架部件20A的下方向初期位置(裝載位置)回復(fù)移動(dòng)，裝載下一個(gè)基板材料200B，進(jìn)入由CCD照相機(jī)182、184進(jìn)行位置檢測(cè)的工序。而且，卸載了下一個(gè)基板材料(印刷線路基板)的臺(tái)架部件20C也是在臺(tái)架部件20A上的基板材料200A曝光期間，通過該臺(tái)架部件20A的下方向初期位置(裝載位置)回復(fù)移動(dòng)，進(jìn)而進(jìn)入裝載下一個(gè)基板材料200C的工序。
在該激光曝光裝置10中，由于能夠通過各臺(tái)架部件20A、20B、20C的上下循環(huán)移動(dòng)，而不間斷地順次進(jìn)行基板材料200的位置檢測(cè)及曝光，所以能夠提高曝光頭100的工作效率，從而提高印刷線路基板的制造效率。
臺(tái)架部件及上下循環(huán)裝置的結(jié)構(gòu)接著參照?qǐng)D8～圖15，對(duì)臺(tái)架部件20及上下循環(huán)裝置的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。還有，為了說明的方便，在將臺(tái)架部件20區(qū)別為臺(tái)架部件20A、臺(tái)架部件20B、臺(tái)架部件20C而說明的情況下，有與其相對(duì)應(yīng)，對(duì)在兩方同等的結(jié)構(gòu)賦予英文字母A、B、C而區(qū)別的情況。如上所述，臺(tái)架部件20形成為規(guī)定厚度的大體矩形平板狀，其內(nèi)部為空洞。而且，其上面(表面)為裝載基板材料200的平面狀的裝載面(臺(tái)架面)21，在該裝載面21上，穿透設(shè)置有多個(gè)利用負(fù)壓對(duì)基板材料200進(jìn)行吸附的空氣吸引用小孔228。
而且，在與臺(tái)架部件20的側(cè)壁12、14相對(duì)面的兩側(cè)面部，一體突起設(shè)置有連接有后述的線性行走體232、234的接合部262、264的接合部22、24。該接合部22、24，例如形成為具有俯視大體呈“口”字形的孔22A、24A的筒狀，在接合部22、24中臺(tái)架部件20側(cè)的內(nèi)面(孔22A、24A內(nèi))，設(shè)置有連接電源線的端子(圖示省略)，或與空氣配管連通的帶單向閥的配管(圖示省略)。而且，在臺(tái)架部件20的下面角部附近，分別一體突起設(shè)置有與輸送方向平行的軌26，在該軌26上形成截面大體呈是倒“凹”字形的導(dǎo)向槽26A。
另一方面，在側(cè)壁12的上面，設(shè)置有與輸送方向(回復(fù)方向)平行的、規(guī)定長(zhǎng)度的滾珠絲杠72，在該滾珠絲杠72的兩側(cè)、沿著側(cè)壁14全長(zhǎng)設(shè)置有一對(duì)切換軌76。而且，在側(cè)壁14的上面，也設(shè)置有與輸送方向(回復(fù)方向)平行、規(guī)定長(zhǎng)度的滾珠絲杠74，在該滾珠絲杠74的兩側(cè)設(shè)置有一對(duì)沿側(cè)壁14的全長(zhǎng)的切換軌78。而且，在滾珠絲杠72、74的上游側(cè)(也可以是下游側(cè))的端部，分別安裝有可正向、逆向旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)73、75。該馬達(dá)73、75具有由未圖示的輸送控制部所輸出的驅(qū)動(dòng)脈沖信號(hào)而旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的結(jié)構(gòu)，其輸送控制部與上述控制器相連接。
而且，在該滾珠絲杠72、74的兩端部附近分別由一對(duì)支撐部(圖示省略)所支撐，在各支撐部之間的滾珠絲杠72、74上，在輸送方向及回復(fù)方向可自由移動(dòng)地支撐有作為分別輸送臺(tái)架部件20A、20B、20C的上部輸送裝置的線性行走體232、234。就是說，在線性行走體232、234的下面?zhèn)?，一體設(shè)置有內(nèi)部具有螺紋的筒狀部件232A、234A(參照?qǐng)D13)，在該筒狀部件232A、234A中以螺紋結(jié)合的方式插入滾珠絲杠72、74。
而且，在線性行走體232、234的下面四角部附近，分別一體突起設(shè)置有與輸送方向平行的軌36、38。在各軌36、38上形成截面大體是倒“凹”字形的導(dǎo)向槽36A、38A，與各導(dǎo)軌76、78滑動(dòng)自如地嵌合。所以，具有通過由上述驅(qū)動(dòng)脈沖信號(hào)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)73、75，使?jié)L珠絲杠72、74正向、逆向旋轉(zhuǎn)，從而可以使線性行走體232、234沿著切換軌76、78向輸送方向及回復(fù)方向以規(guī)定的速度(例如曝光時(shí)為30mm/s的低速)移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。
而且，在該線性行走體232、234的上面，一體豎立設(shè)置有上下方向長(zhǎng)的導(dǎo)向壁242、244，在該導(dǎo)向壁242、244的內(nèi)面(與臺(tái)架部件20相對(duì)的面)上，在上下方向上，貫通全長(zhǎng)一體設(shè)置有一對(duì)導(dǎo)軌246、248。而且，在該導(dǎo)向壁242、244的內(nèi)面?zhèn)龋O(shè)置有可自由升降移動(dòng)的支撐板52、54。就是說，在該支撐板52、54的外面(不與臺(tái)架部件20相對(duì)的面)且四角處，分別一體突起設(shè)置有上下方向長(zhǎng)的導(dǎo)軌56、58，在各導(dǎo)軌56、58上形成與導(dǎo)軌246、248可自由滑動(dòng)地嵌合，截面大體為倒“凹”字形的導(dǎo)向槽56A、58A。
而且，如圖13、圖15所示，在一對(duì)導(dǎo)軌246、248之間，分別設(shè)置有滾珠絲杠66、68。在各支撐板52、54的外面?zhèn)戎醒?，一體突起設(shè)置有該滾珠絲杠66、68以螺紋接合的狀態(tài)插通，內(nèi)部具有螺紋的筒狀部件52A、54A。而且，進(jìn)而將能夠使?jié)L珠絲杠66、68沿正逆兩方向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的馬達(dá)67、69安裝于導(dǎo)向壁242、244的下端(線性行走體232、234)。所以，與上述相同，具有通過由驅(qū)動(dòng)脈沖信號(hào)驅(qū)動(dòng)該馬達(dá)67、69，使?jié)L珠絲杠66、68正逆向旋轉(zhuǎn)，使支撐板52、54能夠沿著導(dǎo)軌246、248在上下方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。
而且，在該支撐板52、54的內(nèi)面(與抬價(jià)部件20對(duì)向的面)的大體中央，一體突起設(shè)置有與上述臺(tái)架部件20的接合部22、24相連接的接合部262、264。該接合部262、264的插入孔部22A、24A的先端部262A、264A向下方彎曲成90度，形成側(cè)視大體為“L”字形，至少該先端部262A、264A的形狀，形成截面大體為“口”字形的棱柱狀，與孔部22A、24A的形狀相吻合。還有，孔部22A、24A的形狀也不限于圖中所示的情況，如果該形狀進(jìn)行了適宜的變更，與此相吻合，先端部262A、264A的形狀也作適宜的變更。
而且，通過將該先端部262A、264A從上方插入接合部22、24的孔部22A、24A，使二者成為能夠自由裝拆的連接。也就是說，通過支撐板52、54的升降移動(dòng)，使二者進(jìn)行連接，或?qū)⑦B接解除。接合部262、264與接合部22、24在垂直方向(接合部262、264的插入方向)上能夠自由裝拆，但在水平方向(與接合部262、264的插入方向垂直的方向)不能裝拆。所以，由于能夠由線性行走體232、234將臺(tái)架部件20向該水平方向即輸送方向適宜地牽引移動(dòng)，所以沒有必要在臺(tái)架部件20中設(shè)置自行走機(jī)構(gòu)，能夠使該結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化。
還有，如后所述，解除了與臺(tái)架部件20的連接的線性行走體232、234向回復(fù)方向移動(dòng)時(shí)，支撐板52、54上升，接合部262、264退避到上部位置，使接合部262、264不與后述的臺(tái)架部件20的接合部22、24發(fā)生干涉。而且，即使如后所述臺(tái)架部件20上升，由于接合部262、264一直位于接合部22、24的上方，所以不會(huì)形成妨礙。
而且，在接合部262、264上，連接著具有用于在臺(tái)架部件20中發(fā)生負(fù)壓的電源線或空氣配管的電纜支架40、50。就是說，臺(tái)架部件20在具有空氣吸引用真空泵等真空發(fā)生裝置(圖中省略)的情況下，是設(shè)置有該真空發(fā)生裝置驅(qū)動(dòng)用的電源線的電纜支架40、50，而在不具有真空發(fā)生裝置的情況下，是設(shè)置有與另外設(shè)置的真空泵等真空發(fā)生裝置(圖示省略)相連接的空氣配管的電纜支架40、50。
各電纜支架40、50由柔性管等構(gòu)成，以能夠追蹤線性行走體232、234的移動(dòng)并變形，分別沿側(cè)壁12、14的上面而配置。而且，其先端部在線性行走體232、234的接合部262、264從下游側(cè)(或者也可以從上游側(cè))向上方回轉(zhuǎn)而連接(參照?qǐng)D15)。所以，線性行走體232、234沿第二切換軌76、78移動(dòng)時(shí)，各電纜支架40、50為其中途部彎曲成半圓弧狀的狀態(tài)并追蹤的結(jié)構(gòu)。由此，不會(huì)發(fā)生該電纜支架40、50纏繞，或阻礙線性行走體232、234的移動(dòng)的現(xiàn)象。
而且，連接電纜支架40、50的接合部262、264，在電纜支架40、50是電源線的情況下，其電源線內(nèi)設(shè)，在其先端部262A、264A上安裝連接端子(圖示省略)。而且，在這種情況下，在接合部22、24的孔部22A、24A的臺(tái)架部件20側(cè)的內(nèi)面上，設(shè)置有與該連接端子(插頭)相連接的端子(圖示省略)。另一方面，在電纜支架40、50為空氣配管的情況下，在接合部262、264中內(nèi)設(shè)或形成與該空氣配管相連通的空氣配管，在其先端部262A、264A上，安裝具有開口的連接配管(圖示省略)。而且，在這種情況下，在所述孔部22A、24A的臺(tái)架部件20側(cè)的內(nèi)面上，設(shè)置著具有與該連接配管連接的開口的帶單向閥的配管(圖示省略)。
這里，使設(shè)置在臺(tái)架部件20的兩側(cè)面部的配管為帶單向閥的配管，是為了在線性行走體232、234的接合部262、264與一方的接合部22、24連結(jié)時(shí)，不會(huì)從另一方的接合部22、24中的孔部22A、24A的內(nèi)面(配管)吸引空氣，即為了使從小孔228的吸引力不下降。還有，也可以在電纜支架40、50上同時(shí)設(shè)置電源線與空氣配管，在這種情況下，電源線可以用于馬達(dá)67、69的驅(qū)動(dòng)。
而且，如圖13、圖14所示，在側(cè)壁12、14的上部中央，且相互對(duì)面的端面?zhèn)?，以?guī)定的長(zhǎng)度及寬度形成下側(cè)向內(nèi)側(cè)伸出的臺(tái)階部12A、14A，在該臺(tái)階部12A、14A上分別設(shè)置防振部件190。防振部件190只要是能夠抑制振動(dòng)的彈性體，可以是任意的材料，例如可以采用防振橡膠等。而且，以兩端的臺(tái)階部60A支撐在該防振部件190上的狀態(tài)，支撐臺(tái)60架設(shè)于側(cè)壁12、14之間。
在支撐臺(tái)60上，貫通支撐臺(tái)60的長(zhǎng)度方向(輸送方向)的全長(zhǎng)而一體突起設(shè)置有一對(duì)上部導(dǎo)軌270，在臺(tái)架部件20的下面突起設(shè)置的軌26上形成的導(dǎo)向槽26A可自由滑動(dòng)地嵌合。而且，在基臺(tái)30上，在支撐臺(tái)60的下方配置有與支撐臺(tái)60同樣長(zhǎng)度的設(shè)置臺(tái)90，在該設(shè)置臺(tái)90上一體突起設(shè)置有貫通全長(zhǎng)、且具有與上部導(dǎo)軌270相同間隔(軌道寬度)的一對(duì)下部導(dǎo)軌80。
所以，具有至少難以對(duì)沿著上部導(dǎo)軌270移動(dòng)的臺(tái)架部件20傳遞振動(dòng)等的結(jié)構(gòu)。就是說，由于設(shè)置有上部導(dǎo)軌270的支撐臺(tái)60是通過防振部件190而支撐，所以難以傳遞來自側(cè)壁12、14的振動(dòng)。進(jìn)而，由于上部導(dǎo)軌270與下部導(dǎo)軌80是上下獨(dú)立設(shè)置且不兼用，所以例如沿下部導(dǎo)軌80移動(dòng)的臺(tái)架部件20C就難以向沿上部導(dǎo)軌270移動(dòng)的臺(tái)架部件20A、20B傳遞振動(dòng)。因此，在基板材料200的對(duì)準(zhǔn)處理中，就不會(huì)發(fā)生位置偏差(品質(zhì)不良)，在曝光處理中不會(huì)發(fā)生圖像質(zhì)量不良。
而且，在設(shè)置臺(tái)90的上游側(cè)與下游側(cè)，分別設(shè)置有升降移動(dòng)臺(tái)架部件20的第一升降臺(tái)82與第二升降臺(tái)84。這些第一升降臺(tái)82與第二升降臺(tái)84具有相同的結(jié)構(gòu)，分別設(shè)置有由油壓、在規(guī)定高度上下動(dòng)作的第一汽缸82B與第二汽缸84B。在第一汽缸82B與第二汽缸84B的上部，分別一體水平安裝有在輸送方向(回復(fù)方向)長(zhǎng)的矩形平板狀的第一升降臺(tái)82A與第二升降臺(tái)84A，在該第一升降臺(tái)82A與第二升降臺(tái)84A上，分別突起設(shè)置有與下部導(dǎo)軌80具有相同間隔(軌道寬度)的一對(duì)第一切換軌86及第二切換軌88。
而且，第一升降臺(tái)82A與第二升降臺(tái)84A的輸送方向的長(zhǎng)度，考慮到基板材料200的輸送方向的長(zhǎng)度，和在第一升降臺(tái)82A與第二升降臺(tái)84A上升時(shí)，第一切換軌86及第二切換軌88與上部導(dǎo)軌270相連續(xù)，下降時(shí)與下部導(dǎo)軌80相連續(xù)，即各軌道連接成為一體的情況而決定。這樣，第一切換軌86及第二切換軌88與上部導(dǎo)軌270及下部導(dǎo)軌80相連續(xù)(一體連接)時(shí)，臺(tái)架部件20向上部導(dǎo)軌270及向下部導(dǎo)軌80的移交(移動(dòng))就能夠容易且順利進(jìn)行。
還有，希望這些第一升降臺(tái)82與第二升降臺(tái)84也能夠通過防振部件192而設(shè)置于設(shè)置臺(tái)90。具有這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，能夠抑制第一升降臺(tái)82A與第二升降臺(tái)84A升降移動(dòng)時(shí)的振動(dòng)，就難以向沿著上部導(dǎo)軌270移動(dòng)的臺(tái)架部件20傳遞振動(dòng)。
而且，如圖13～圖15所示，在設(shè)置臺(tái)90的一側(cè)(圖示是側(cè)壁14，但也可以是側(cè)壁12)，設(shè)置有使臺(tái)架部件20向初期位置(裝載位置)以一定程度的高速(在一個(gè)臺(tái)架部件在曝光部移動(dòng)期間，其它的臺(tái)架部件能夠移動(dòng)到攝像位置(讀取位置)或裝載位置的速度，例如1m/s)回復(fù)移動(dòng)的作為下部輸送裝置的線性行走體92，以及使該線性行走體92沿回復(fù)方向(輸送方向)往復(fù)運(yùn)動(dòng)的鏈或同步皮帶94。
線性行走體92從側(cè)面看形成為大致“凹”字形，在穿透設(shè)置于其下部的孔部92B中游動(dòng)插入桿96。桿96支撐于分別豎立設(shè)置于基臺(tái)30的上游側(cè)端部附近與下游側(cè)端部附近的一對(duì)支柱98，支柱98上分別可旋轉(zhuǎn)地支撐著皮帶輪95。還有，在一方的支柱98上，設(shè)置有驅(qū)動(dòng)支撐于此的皮帶輪95旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)(圖示省略)。
而且，同步皮帶94卷繞在該一對(duì)皮帶輪95上，從線性行走體92的外面(與側(cè)壁14相對(duì)的面)延長(zhǎng)設(shè)置的安裝板92C，安裝于該同步皮帶94。由此，構(gòu)成線性行走體92可對(duì)于同步皮帶94自由滑動(dòng)，且可以與同步皮帶94一體移動(dòng)支撐的結(jié)構(gòu)。而且，在該線性行走體92上形成有嵌合一方的接合部24的接合部92A。該接合部92A為以“凹”字形形成的線性行走體92的凹下的部分，該接合部92A的形狀(凹下部分的形狀)與接合部24的外形相吻合。
所以，形成為臺(tái)架部件20通過第二升降臺(tái)84下降時(shí)，接合部24嵌合在線性行走體92的接合部92A中的結(jié)構(gòu)，二者相嵌合時(shí)，皮帶輪95旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，同步皮帶94向圖14所示的箭頭A方向移動(dòng)，臺(tái)架部件20從第二升降臺(tái)84上向第一升降臺(tái)82A上(從取出位置向裝載位置)，沿第二切換軌88、下部導(dǎo)軌80、第一切換軌86而輸送。還有，下部輸送裝置并不限于這樣的結(jié)構(gòu)，只要是能夠以一定程度的高速(1m/s左右)將臺(tái)架部件20移動(dòng)，可以是任意的結(jié)構(gòu)。
曝光裝置的動(dòng)作參照?qǐng)D9～圖12，對(duì)以上結(jié)構(gòu)的激光曝光裝置10中下面一系列的動(dòng)作加以說明。首先，在初期位置(裝載位置)，第一升降臺(tái)82A通過第一汽缸82B待機(jī)于上升位置。此時(shí)，臺(tái)架部件20A通過導(dǎo)向槽26A支撐于第一切換軌86，第一切換軌86與上部導(dǎo)軌270連接為一體。就是說，第二切換軌88的輸送方向側(cè)的端面，與上部導(dǎo)軌270的回復(fù)方向側(cè)的端面大體無(wú)間隔地正對(duì)。
而且，由未圖示的裝料機(jī)(基板供給裝置)將基板材料200A裝載于臺(tái)架部件20A的裝載面21A上。此時(shí)，由于在臺(tái)架部件20A上，通過電纜支架50及接合部264，由真空泵等供給負(fù)壓，從穿透設(shè)置于裝載面21A的多個(gè)小孔228A吸引空氣，所以由該作用將基板材料200A以緊密接合的狀態(tài)固定在裝載面21A上。而且，在臺(tái)架部件20A的接合部24的孔部24A中，通過支撐板54的下降移動(dòng)而插入并連接側(cè)壁14上的線性行走體234的接合部264的先端部264A。
這樣，在基板材料200A吸附保持于臺(tái)架部件20A的裝載面21A上，與線性行走體234的接合部264的接合部24相連接時(shí)，由來自輸送控制部的驅(qū)動(dòng)脈沖信號(hào)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)75，使?jié)L珠絲杠74旋轉(zhuǎn)。這樣，線性行走體234就沿導(dǎo)軌78向輸送方向移動(dòng)，臺(tái)架部件20A在從第一切換軌86向上部導(dǎo)軌270順利移動(dòng)裝載的同時(shí)，還以規(guī)定的速度向輸送方向移動(dòng)。而且，由垂直設(shè)置于門18的CCD照相機(jī)182、184對(duì)設(shè)置于基板材料200A四角的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行攝像，檢測(cè)出基板材料200A的描繪區(qū)域204的位置。
控制器基于來自對(duì)準(zhǔn)控制部的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置信息，判斷與描繪區(qū)域204所對(duì)應(yīng)設(shè)置的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置，并從該對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記位置分別判斷描繪區(qū)域204沿掃描方向及寬度方向的位置，和描繪區(qū)域204相對(duì)于掃描方向的傾斜量。
而且，控制器在基于描繪區(qū)域204沿掃描方向的位置計(jì)算出對(duì)于描繪區(qū)域204開始曝光的時(shí)刻的同時(shí)，還基于描繪區(qū)域204沿寬度方向的位置及相對(duì)于掃描方向的傾斜量，對(duì)對(duì)應(yīng)于配線圖案的圖像信息實(shí)行變換處理，將變換處理后的圖像信息存儲(chǔ)于幀存儲(chǔ)器內(nèi)。
這樣所得到的變換處理后的圖像信息及描繪區(qū)域204的位置信息，與臺(tái)架部件20A相關(guān)聯(lián)而暫時(shí)存儲(chǔ)于控制器的幀存儲(chǔ)器內(nèi)，在基板材料200A從臺(tái)架部件20A上(從激光曝光裝置10)送出到向下一工序輸送的未圖示的輸送裝置之后，從幀存儲(chǔ)器中消去。
然后，對(duì)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行了攝像的基板材料200A，通過臺(tái)架部件20A(線性行走體234)進(jìn)一步向輸送方向移動(dòng)，供給到垂直設(shè)置于門16的曝光頭100的曝光位置。而且，在以規(guī)定的速度(例如30mm/s)移動(dòng)的同時(shí)，根據(jù)CCD照相機(jī)182、184的攝像，利用調(diào)準(zhǔn)控制部進(jìn)行了位置檢測(cè)的描繪區(qū)域204，基于對(duì)應(yīng)于配線圖案的圖像信息而曝光，在基板材料200A的描繪區(qū)域204上形成配線圖案等潛像(圖像)。就是說，由于通過基板材料200A與臺(tái)架部件20A一起向輸送方向的移動(dòng)，使曝光頭100相對(duì)地向回復(fù)方向副掃描，所以在基板材料200A上對(duì)于每一個(gè)曝光頭100順次形成已曝光區(qū)域206(參照?qǐng)D9、圖10)。
由于突起設(shè)置有上部導(dǎo)軌270的支撐臺(tái)60，通過防振部件190支撐于側(cè)壁12、14，進(jìn)而，第一升降臺(tái)82及第二升降臺(tái)84也通過防振部件192而設(shè)置于設(shè)置臺(tái)90，所以在臺(tái)架部件20A在上部導(dǎo)軌270移動(dòng)期間，就難以向該臺(tái)架部件20A傳遞振動(dòng)等。所以，不會(huì)產(chǎn)生圖像質(zhì)量不良等。
另一方面，臺(tái)架部件20A的導(dǎo)向槽26A從第一升降臺(tái)82的第一切換軌86脫離后，第一升降臺(tái)82A通過第一汽缸82B下降。而且，由線性行走體92以規(guī)定速度(1m/s)回復(fù)輸送移動(dòng)來的臺(tái)架部件20B移動(dòng)到第一升降臺(tái)82A上。就是說，從下部導(dǎo)軌80上移送到第一升降臺(tái)82A的同時(shí)，停止在規(guī)定的位置。
臺(tái)架部件20B完全移動(dòng)到第一升降臺(tái)82A上后，由第一汽缸82B使第一升降臺(tái)82A上升。而且與上述同樣，下一基板材料200B裝載于該臺(tái)架部件20B的裝載面21B，通過由負(fù)壓從小孔228B吸引空氣的作用，吸附保持于該裝載面21B上。
這樣，在臺(tái)架部件20B上吸附保持基板材料200B之后，側(cè)壁12上的線性行走體232的支撐板52下降移動(dòng)，在臺(tái)架部件20B的接合部22的孔部22A中，插入連接接合部262的先端部262A。而且，與上述同樣，由輸送控制部的驅(qū)動(dòng)脈沖信號(hào)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)73，使?jié)L珠絲杠72旋轉(zhuǎn)，線性行走體232沿著導(dǎo)軌76向輸送方向移動(dòng)。就是說，臺(tái)架部件20B以規(guī)定的速度向輸送方向(從第一切換軌86向上部導(dǎo)軌270)移動(dòng)，由CCD照相機(jī)182、184對(duì)基板材料200B的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行攝像。
另一方面，臺(tái)架部件20B的導(dǎo)向槽26A從第一升降臺(tái)82A的第一切換軌86脫離后，由第一汽缸82B使第一升降臺(tái)82A再次下降。而且，由線性行走體92以規(guī)定的速度(1m/s)將回復(fù)輸送移動(dòng)來的臺(tái)架部件20C移動(dòng)到第一升降臺(tái)82A上。就是說，從下部導(dǎo)軌80向第一升降臺(tái)82A上移動(dòng)裝載的同時(shí)，停止在規(guī)定的位置。
臺(tái)架部件20C完全移送到第一升降臺(tái)82A上之后，由第一汽缸82B使第一升降臺(tái)82A上升。而且，與上述同樣，將下一個(gè)基板材料200C裝載于臺(tái)架部件20C的裝載面21C上，由通過負(fù)壓從小孔228C吸引空氣的作用，吸引保持于該裝載面21C。該狀態(tài)示于圖9。
如圖9所示，由于臺(tái)架部件20A上的基板材料200A的曝光終了后，臺(tái)架部件20B已經(jīng)由CCD照相機(jī)182、184對(duì)裝載于此的基板材料200B的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行攝像，該描繪區(qū)域204的位置檢測(cè)工序已經(jīng)完成，所以繼續(xù)開始該臺(tái)架部件20B上的基板材料200B的曝光。就是說，控制器在對(duì)于基板材料200A的描繪區(qū)域204的曝光完成時(shí)，與對(duì)于該描繪區(qū)域204的情況同樣，基于變換處理后的圖像信息及位置信息，對(duì)下一個(gè)基板材料200B的描繪區(qū)域204實(shí)行曝光。
而且，對(duì)基板材料200A的曝光終了的臺(tái)架部件20A進(jìn)一步由線性行走體234向輸送方向輸送，從上部導(dǎo)軌270向通過第二汽缸84B待機(jī)于上升位置的第二升降臺(tái)84A的第二切換軌88上移動(dòng)。還有，此時(shí)由于上部導(dǎo)軌270與第二切換軌88連接為一體，即上部導(dǎo)軌270的輸送方向側(cè)的端面與第二切換軌88的回復(fù)方向側(cè)的端面大體無(wú)間隔地正對(duì)，所以臺(tái)架部件20A順利地移送到第二升降臺(tái)84A。
而且，臺(tái)架部件20A完全移送到第二升降臺(tái)84A上并停止時(shí)(到達(dá)基板材料200的取出位置時(shí))，解除由真空泵等施加于臺(tái)架部件20A的負(fù)壓，由未圖示的卸載機(jī)(基板取出位置)將基板材料(印刷線路基板)200A從臺(tái)架部件20A的裝載面21A取下。而且，由未圖示的輸送裝置將該基板材料(印刷線路基板)200A輸送到下一個(gè)工序。
另一方面，去除了基板材料200A的第二升降臺(tái)84A上的臺(tái)架部件20A，通過第二汽缸84B而下降，線性行走體234的接合部264從接合部24脫離。而且，脫離了接合部264的線性行走體234，通過馬達(dá)75向與輸送時(shí)相反方向的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠74，在側(cè)壁14上以一定的高速沿導(dǎo)軌78向原來的位置(初期位置)回復(fù)移動(dòng)。
還有，在線性行走體234回復(fù)運(yùn)動(dòng)之前，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)69，旋轉(zhuǎn)滾珠絲杠68，使支撐板54上升，接合部264退避到上部位置。由此，線性行走體234可以不與臺(tái)架部件20B、20C的接合部24干涉地移動(dòng)。就是說，在側(cè)壁14上移動(dòng)的線性行走體234，不會(huì)發(fā)生與臺(tái)架部件20B、20C的沖突等不希望的情況。由于電纜支架50也以反向旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)在側(cè)壁14上，僅與線性行走體234追蹤移動(dòng)，所以不會(huì)發(fā)生纏繞。
這樣，線性行走體234回復(fù)移動(dòng)到裝載位置之后，支撐板54下降移動(dòng)，在該裝載位置待機(jī)的臺(tái)架部件20C的接合部24上連接接合部264。而且與上述同樣，由來自輸送控制部的驅(qū)動(dòng)脈沖信號(hào)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)75，旋轉(zhuǎn)滾珠絲杠74，使線性行走體234沿著導(dǎo)軌78向輸送方向移動(dòng)。就是說，臺(tái)架部件20C向輸送方向(從第一切換軌86向上部導(dǎo)軌270)以規(guī)定的速度移動(dòng)，由CCD照相機(jī)182、184對(duì)基板材料200C的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行攝像。該狀態(tài)示于圖10。
另一方面，在裝載了臺(tái)架部件20A的狀態(tài)下，下降到最下部的第二升降臺(tái)84A上，其第二切換軌88與設(shè)置臺(tái)90的下部導(dǎo)軌80一體連接。就是說，第二切換軌88的回復(fù)方向側(cè)的端面，與下部導(dǎo)軌80的輸送方向側(cè)的端面是大體無(wú)間隔地正對(duì)。而且，線性行走體92的接合部92A上嵌合接合部24，通過運(yùn)行同步皮帶94，使線性行走體92向回復(fù)方向移動(dòng)。由此，臺(tái)架部件20A能夠從第二升降臺(tái)84A的第二切換軌88上順利地送出到下部導(dǎo)軌80上。還有，臺(tái)架部件20A送出到下部導(dǎo)軌80時(shí)，第二升降臺(tái)84A馬上上升，在上升位置待機(jī)，以接受下一個(gè)臺(tái)架部件20B。
這樣，送出到下部導(dǎo)軌80上的臺(tái)架部件20A，由該線性行走體92高速(例如1m/s)向回復(fù)方向移動(dòng)，與上述臺(tái)架部件20B、20C同樣地從下部導(dǎo)軌80向在下降位置待機(jī)的第一升降臺(tái)82A的第一切換軌86上移動(dòng)。還有，此時(shí)，由于下部導(dǎo)軌80與第一切換軌86連接為一體，即下部導(dǎo)軌80的回復(fù)方向側(cè)的端面與第一切換軌86的輸送方向側(cè)的端面大體無(wú)間隔地正對(duì)，所以臺(tái)架部件20A能夠順利地移送到第一升降臺(tái)82A上。
臺(tái)架部件20A完全裝載于第一升降臺(tái)82A之后，由第一汽缸82B使第一升降臺(tái)82A上升，伴隨著該上升移動(dòng)，接合部24從線性行走體92的接合部92A脫離。而且，在該上升位置，下一個(gè)基板材料200D裝載于臺(tái)架部件20A的裝載面21A，由負(fù)壓吸引保持。該狀態(tài)示于圖11。
另一方面，對(duì)基板材料200B的曝光終了的臺(tái)架部件20B由線性行走體232進(jìn)一步向輸送方向輸送，從上部導(dǎo)軌270向通過第二汽缸84B待機(jī)于上升位置的第二升降臺(tái)84A的第二切換軌88上移動(dòng)。該狀態(tài)示于圖12。而且，臺(tái)架部件20B完全移送到第二升降臺(tái)84A上后停止時(shí)(到達(dá)基板材料200的取出位置時(shí))，解除由真空泵等對(duì)臺(tái)架部件20B施加的負(fù)壓，由未圖示的卸載機(jī)(基板取出裝置)將基板材料(印刷線路基板)200B從臺(tái)架部件20B的裝載面21B上去除，由未圖示的輸送裝置輸送到下一工序。
其后，第二升降臺(tái)84A下降，線性行走體232的接合部262從臺(tái)架部件20B的接合部22脫離后，接合部262由支撐板52退避到上升位置，線性行走體232在側(cè)壁12上回復(fù)移動(dòng)。而且，在裝載位置待機(jī)的臺(tái)架部件20A的接合部22上連接有該接合部262，臺(tái)架部件20A以規(guī)定的速度向輸送方向移動(dòng)，重復(fù)進(jìn)行上述動(dòng)作。還有，臺(tái)架部件20B、20C也與臺(tái)架部件20A同樣進(jìn)行回復(fù)動(dòng)作，下一個(gè)新的基板材料裝載于該裝載面21B、21C，重復(fù)進(jìn)行上述動(dòng)作。
以上，在激光曝光裝置10中，通過各臺(tái)架部件20A、20B、20C重復(fù)進(jìn)行上述動(dòng)作，能夠幾乎不間斷地進(jìn)行曝光處理，可提高曝光頭100的工作效率。所以能夠提高印刷線路基板的制造效率。還有，臺(tái)架部件20的數(shù)量也不限于圖示的三臺(tái)，如果設(shè)置三臺(tái)以上并使之上下循環(huán)移動(dòng)，當(dāng)然能夠進(jìn)一步提高印刷線路基板的制造效率。
本發(fā)明并不僅限于上述第一及第二實(shí)施形式中的激光曝光裝置，還可以適用于對(duì)PS板、CT印刷板等感光性印刷板，感光紙等感光材料進(jìn)行曝光的曝光裝置等。而且，作為對(duì)它們進(jìn)行曝光的光束，在激光光束以外，也可以使用可見光、X射線等。進(jìn)而，本發(fā)明還可以適用于噴墨方式的圖像形成裝置。
也可以裝置位置與取出位置相同，即基板的裝載與取出可以在同一位置進(jìn)行。
而且，也可以上側(cè)的輸送裝置比下側(cè)的輸送裝置輸送精度高。
根據(jù)本發(fā)明，能夠在移動(dòng)記錄介質(zhì)的同時(shí)，高效率地進(jìn)行在該記錄介質(zhì)上形成圖像的圖像形成處理，所以能夠提高其制造效率。
權(quán)利要求
1.一種圖像形成裝置，為用于在記錄介質(zhì)(200)上形成圖像的圖像形成裝置，其特征在于包含可分別裝載記錄介質(zhì)(200)、并可沿規(guī)定的循環(huán)路徑移動(dòng)的第一及第二臺(tái)架(20(20A、20B))，以及至少在對(duì)第一臺(tái)架(20A)上的記錄介質(zhì)(200)形成圖像的過程中，驅(qū)動(dòng)第二臺(tái)架(20B)，使第二臺(tái)架(20B)與第一臺(tái)架(20A)的動(dòng)作相獨(dú)立，沿著不阻礙第一臺(tái)架(20A)的動(dòng)作的范圍的循環(huán)路徑移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像形成裝置，其特征在于循環(huán)路徑包含上方路徑、下方路徑、連接上方路徑的上游側(cè)與下方路徑的下游側(cè)的第一升降路徑、以及連接上方路徑的下游側(cè)與下方路徑的上游側(cè)的第二升降路徑。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖像形成裝置，其特征在于包含沿上方路徑而設(shè)置、在記錄介質(zhì)(200)上形成圖像用的圖像形成部(100)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖像形成裝置，其特征在于上方路徑包含在臺(tái)架(20)上裝載記錄介質(zhì)(200)用的裝載位置、以及從臺(tái)架(20)取出記錄介質(zhì)(200)用的取出位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖像形成裝置，其特征在于驅(qū)動(dòng)裝置包含(i)驅(qū)動(dòng)第一臺(tái)架(20A)，使第一臺(tái)架(20A)沿上方路徑移動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)部(42，46，52等)；(ii)驅(qū)動(dòng)第二臺(tái)架(20B)，使第二臺(tái)架(20B)沿上方路徑移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)部(44，48，54等)；(iii)驅(qū)動(dòng)各臺(tái)架(20A、20B)，使各臺(tái)架(20A、20B)沿下方路徑移動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)部(70)；(iv)引導(dǎo)沿上方路徑移動(dòng)的各臺(tái)架的一對(duì)上部導(dǎo)軌(32，34)；(v)引導(dǎo)沿下方路徑移動(dòng)的各臺(tái)架的一對(duì)下部導(dǎo)軌(62，64)；(vi)驅(qū)動(dòng)各臺(tái)架，使各臺(tái)架沿第一上升路徑上升的第一升降機(jī)(66)；以及(vii)驅(qū)動(dòng)各臺(tái)架，使各臺(tái)架沿第二上升路徑上升的第二升降機(jī)(68)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的圖像形成裝置，其特征在于上部導(dǎo)軌(32，34)之間的尺寸與下部導(dǎo)軌(62，64)之間的尺寸相互不同。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的圖像形成裝置，其特征在于各臺(tái)架(20A、20B)包含可結(jié)合于上部導(dǎo)軌(32，34)的一對(duì)第一導(dǎo)向槽(26)，以及可結(jié)合于下部導(dǎo)軌(62，64)的一對(duì)第二導(dǎo)向槽(28)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的圖像形成裝置，其特征在于第一升降機(jī)(66)包含可支撐各臺(tái)架的第一升降臺(tái)(66A)與可使第一升降臺(tái)(66A)升降的第一升降部件(66B)；第一升降臺(tái)(66A)包含可結(jié)合于第二導(dǎo)向槽(28)的一對(duì)軌(72，74)；第二升降機(jī)(68)包含可支撐各臺(tái)架的第二升降臺(tái)(68A)與可使第二升降臺(tái)(68A)升降的第二升降部件(68B)；第二升降臺(tái)(68A)包含可結(jié)合于第二導(dǎo)向槽(28)的一對(duì)軌(76，78)。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的圖像形成裝置，其特征在于第一驅(qū)動(dòng)部(42，46，52等)包含可自由解除地連接第一臺(tái)架(20A)、并與第一臺(tái)架(20A)共同移動(dòng)的線性行走體(42)；第二驅(qū)動(dòng)部(44，48，54等)包含可自由解除地連接第二臺(tái)架(20B)、并與第二臺(tái)架(20B)共同移動(dòng)的線性行走體(44)。
10.一種圖像形成裝置，為用于在記錄介質(zhì)(200)上形成圖像的圖像形成裝置，其特征在于包含可分別裝載記錄介質(zhì)(200)、并可沿規(guī)定的循環(huán)路徑移動(dòng)的至少3個(gè)臺(tái)架(20(20A、20B、20C))，以及至少在對(duì)一個(gè)臺(tái)架上的記錄介質(zhì)(200)形成圖像的過程中，驅(qū)動(dòng)其余臺(tái)架，使其余臺(tái)架可以與該一個(gè)臺(tái)架的動(dòng)作相獨(dú)立，沿著不阻礙該一個(gè)臺(tái)架(20A)的動(dòng)作的范圍的循環(huán)路徑，相互獨(dú)立地移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的圖像形成裝置，其特征在于循環(huán)路徑包含上方路徑、下方路徑、連接上方路徑的上游側(cè)與下方路徑的下游側(cè)的第一升降路徑、以及連接上方路徑的下游側(cè)與下方路徑的上游側(cè)的第二升降路徑。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的圖像形成裝置，其特征在于包含沿上方路徑設(shè)置在上游側(cè)、獲取有關(guān)記錄介質(zhì)(200)的位置信息用的位置信息獲取部(180)，以及沿上方路徑設(shè)置在下游側(cè)、在記錄介質(zhì)(200)上形成圖像用的圖像形成部(100)。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的圖像形成裝置，其特征在于上方路徑包含在臺(tái)架(20)上裝載記錄介質(zhì)(200)用的裝載位置、以及從臺(tái)架(20)取出記錄介質(zhì)(200)用的取出位置。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的圖像形成裝置，其特征在于驅(qū)動(dòng)裝置包含(i)驅(qū)動(dòng)一個(gè)臺(tái)架，使該一個(gè)臺(tái)架沿上方路徑移動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)部(232，72，73等)；(ii)驅(qū)動(dòng)另一臺(tái)架，使該另一臺(tái)架跟隨上述一個(gè)臺(tái)架沿上方路徑移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)部(234，74，75等)；(iii)驅(qū)動(dòng)各臺(tái)架，使各臺(tái)架沿下方路徑移動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)部(92，94等)；(iv)引導(dǎo)沿上方路徑移動(dòng)的各臺(tái)架的一對(duì)上部導(dǎo)軌(270，270)；(v)引導(dǎo)沿下方路徑移動(dòng)的各臺(tái)架的一對(duì)下部導(dǎo)軌(80，80)；(vi)驅(qū)動(dòng)各臺(tái)架，使各臺(tái)架沿第一上升路徑上升的第一升降機(jī)(82)；以及(vii)驅(qū)動(dòng)各臺(tái)架，使各臺(tái)架沿第二上升路徑上升的第二升降機(jī)(84)。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的圖像形成裝置，其特征在于上部導(dǎo)軌(270，270)之間的尺寸與下部導(dǎo)軌(80，80)之間的尺寸大致相同。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的圖像形成裝置，其特征在于各臺(tái)架包含可結(jié)合于上部導(dǎo)軌(270，270)及下部導(dǎo)軌(80，80)的一對(duì)導(dǎo)向槽(26A)。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的圖像形成裝置，其特征在于第一升降機(jī)(82)包含可支撐各臺(tái)架的第一升降臺(tái)(82A)與可使第一升降臺(tái)(82A)升降的第一升降部件(82B)；第一升降臺(tái)(82A)包含可結(jié)合于各臺(tái)架的導(dǎo)向槽(26A)的一對(duì)軌(86，86)；第二升降機(jī)(84)包含可支撐各臺(tái)架的第二升降臺(tái)(84A)與可使第二升降臺(tái)(84A)升降的第二升降部件(84B)；第二升降臺(tái)(84A)包含可結(jié)合于各臺(tái)架的導(dǎo)向槽(26A)的一對(duì)軌(88，88)。
18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的圖像形成裝置，其特征在于第一驅(qū)動(dòng)部(232，72，73等)包含可自由解除地連接一個(gè)臺(tái)架，并與該一個(gè)臺(tái)架共同移動(dòng)的線性行走體(232)；第二驅(qū)動(dòng)部(234，74，75等)包含可跟隨上述一個(gè)臺(tái)架而自由解除地連接另一臺(tái)架，并與該另一臺(tái)架共同移動(dòng)的線性行走體(234)；第三驅(qū)動(dòng)部(92，94等)包含可自由解除地連接各臺(tái)架，并與各臺(tái)架共同移動(dòng)的線性行走體(92)。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的圖像形成裝置，其特征在于第一驅(qū)動(dòng)部(232，72，73等)的線性行走體(232)與第二驅(qū)動(dòng)部(234，74，75等)的線性行走體(234)，與對(duì)應(yīng)的臺(tái)架相連接時(shí)，向該對(duì)應(yīng)的臺(tái)架提供記錄介質(zhì)吸附用的負(fù)壓。
20.根據(jù)權(quán)利要求14所述的圖像形成裝置，其特征在于所述導(dǎo)軌(270，270)包含防振裝置(190，190)。
21.一種圖像形成裝置，為用于在記錄介質(zhì)上形成圖像的圖像形成裝置，其特征在于具有裝載所述記錄介質(zhì)的多個(gè)臺(tái)架部件，以及循環(huán)機(jī)構(gòu)，將所述臺(tái)架部件按所述記錄介質(zhì)的裝載位置、向該記錄介質(zhì)上形成圖像的位置、以及該記錄介質(zhì)的取出位置的順序循環(huán)輸送，并將一個(gè)臺(tái)架部件與其它臺(tái)架部件上下錯(cuò)開輸送。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的圖像形成裝置，其特征在于所述多個(gè)臺(tái)架部件按相同的路徑輸送。
23.根據(jù)權(quán)利要求21所述的圖像形成裝置，其特征在于所述循環(huán)機(jī)構(gòu)具有上下配置的兩個(gè)橫向輸送路，以及使所述臺(tái)架部件在該兩個(gè)橫向輸送路的各端部之間移動(dòng)的兩個(gè)縱向輸送路。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的圖像形成裝置，其特征在于所述輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)而具有將所述臺(tái)架部件沿所述兩個(gè)橫向輸送路分別輸送的兩個(gè)輸送部，所述兩個(gè)橫向輸送路的一方包含所述圖像形成位置，該兩個(gè)橫向輸送路的一方的輸送部，比另一方的輸送部輸送精度高。
25.根據(jù)權(quán)利要求23所述的圖像形成裝置，其特征在于所述循環(huán)機(jī)構(gòu)進(jìn)而具有將所述臺(tái)架部件沿所述兩個(gè)橫向輸送路分別輸送的兩個(gè)輸送部，所述兩個(gè)橫向輸送路的一方包含所述圖像形成位置，該兩個(gè)橫向輸送路的一方的輸送部，比另一方的輸送部輸送精度低。
26.根據(jù)權(quán)利要求23所述的圖像形成裝置，其特征在于所述兩個(gè)橫向輸送路的一方，包含所述圖像形成位置，同時(shí)包含檢測(cè)記錄介質(zhì)的位置的位置檢測(cè)位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種圖像形成裝置，在裝載位置將記錄介質(zhì)裝載于臺(tái)架部件，在臺(tái)架部件通過圖像形成部的同時(shí)，在記錄介質(zhì)上形成圖像，在取出位置將形成了圖像的記錄介質(zhì)從臺(tái)架部件取出，在這樣的圖像形成裝置中，設(shè)置有兩個(gè)臺(tái)架部件，并且具有在一個(gè)臺(tái)架部件裝載記錄介質(zhì)、通過圖像形成部期間，使另一個(gè)臺(tái)架部件在圖像形成部的下方、從取出位置向裝載位置移動(dòng)的上下循環(huán)裝置。由此，能夠高效率地對(duì)記錄介質(zhì)進(jìn)行圖像形成處理，提高其制造效率。
文檔編號(hào)G03F7/20GK1578596SQ20041006215
公開日2005年2月9日 申請(qǐng)日期2004年7月5日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月3日
發(fā)明者寺田和廣, 橋口昭浩 申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社